JP2000266946A - 波長合分波光回路及びその製造方法 - Google Patents
波長合分波光回路及びその製造方法Info
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- optical circuit
- light irradiation
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 初期状態でＴＥ・ＴＭモード間に中心波長差
がある場合や、光照射による等価屈折率変化に偏光依存
性がある場合においても、ＴＥモードとＴＭモードを同
時にＩＴＵグリッドに合わせることが可能な波長合分波
光回路及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 光路１を伝搬させた光波をその波長によ
り合波・分波する波長合分波光回路において、光路１に
光を照射した複数の光照射領域３１、３２を形成し、光
照射領域３１、３２各々における屈折率変化と複屈折率
変化との比が互いに異なることを特徴としている。
がある場合や、光照射による等価屈折率変化に偏光依存
性がある場合においても、ＴＥモードとＴＭモードを同
時にＩＴＵグリッドに合わせることが可能な波長合分波
光回路及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 光路１を伝搬させた光波をその波長によ
り合波・分波する波長合分波光回路において、光路１に
光を照射した複数の光照射領域３１、３２を形成し、光
照射領域３１、３２各々における屈折率変化と複屈折率
変化との比が互いに異なることを特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光波を波長により
合波・分波する波長合分波光回路及びその製造方法に関
し、特に、ＴＥモードとＴＭモードを同時にＩＴＵ（国
際電気通信連合：International Telecommunication Un
ion）グリッドに合わせることで波長特性を精密に制御
し得る波長合分波光回路及びその製造方法に関するもの
である。
合波・分波する波長合分波光回路及びその製造方法に関
し、特に、ＴＥモードとＴＭモードを同時にＩＴＵ（国
際電気通信連合：International Telecommunication Un
ion）グリッドに合わせることで波長特性を精密に制御
し得る波長合分波光回路及びその製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】近年、光通信の大容量化に向けて、複数
の波長の光信号を同一の光路を用いて伝送する波長多重
光通信システムの研究開発が進められている。この波長
多重光通信システムにおいては、規定の波長間隔、例え
ば０．８ｎｍ間隔で高密度に波長多重された光信号を合
波・分波するためのデバイスとして、アレイ導波路回折
格子型光合分波回路、マッハツェンダー型光回路等の波
長合分波光回路を適用した光デバイスが求められてい
る。この波長多重光通信システムの実際の運用において
は、ＩＴＵが基準波長を設定しており、波長合分波光回
路の各チャンネル中心波長はこの基準波長に一致しなけ
ればならない。この基準波長は慣例にならってＩＴＵグ
リッドといわれている。また、波長合分波光回路の透過
波長特性においては、透過率が最大になる波長をチャン
ネル中心波長と定義している。
の波長の光信号を同一の光路を用いて伝送する波長多重
光通信システムの研究開発が進められている。この波長
多重光通信システムにおいては、規定の波長間隔、例え
ば０．８ｎｍ間隔で高密度に波長多重された光信号を合
波・分波するためのデバイスとして、アレイ導波路回折
格子型光合分波回路、マッハツェンダー型光回路等の波
長合分波光回路を適用した光デバイスが求められてい
る。この波長多重光通信システムの実際の運用において
は、ＩＴＵが基準波長を設定しており、波長合分波光回
路の各チャンネル中心波長はこの基準波長に一致しなけ
ればならない。この基準波長は慣例にならってＩＴＵグ
リッドといわれている。また、波長合分波光回路の透過
波長特性においては、透過率が最大になる波長をチャン
ネル中心波長と定義している。
【０００３】図１４は、従来より一般的に用いられてい
るアレイ導波路回折格子型波長合分波光回路を示す平面
図であり、図において、１はアレイ導波路回折格子を構
成するアレイ導波路、２はアレイ導波路１の入力側に光
接続されたスラブ導波路、３はアレイ導波路１の出力側
に光接続されたスラブ導波路、４はスラブ導波路２の入
力側に光接続された入力導波路、５はスラブ導波路３の
出力側に光接続された出力導波路である（このアレイ導
波路回折格子型光回路は、例えば、１９９６年電子情報
通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会講演論文集
１、Ｃ−３、ｐ１６２等に記載されている）。
るアレイ導波路回折格子型波長合分波光回路を示す平面
図であり、図において、１はアレイ導波路回折格子を構
成するアレイ導波路、２はアレイ導波路１の入力側に光
接続されたスラブ導波路、３はアレイ導波路１の出力側
に光接続されたスラブ導波路、４はスラブ導波路２の入
力側に光接続された入力導波路、５はスラブ導波路３の
出力側に光接続された出力導波路である（このアレイ導
波路回折格子型光回路は、例えば、１９９６年電子情報
通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会講演論文集
１、Ｃ−３、ｐ１６２等に記載されている）。
【０００４】次に、このアレイ導波路回折格子型波長合
分波光回路の動作原理について説明する。波長多重光信
号は、入力導波路４の１つのポートに入力した後、スラ
ブ導波路２に入力する。スラブ導波路２では、この波長
多重光信号は回折により広がり、アレイ導波路１を構成
する複数の導波路に入力する。このアレイ導波路１の各
導波路間には光路長差ΔＬが付与されているため、スラ
ブ導波路３の入口では、波長多重光信号の等位相面は伝
搬方向に対し傾きを有することとなる。この傾きは光信
号の波長に依存するので、スラブ導波路３の出口におい
て光信号は波長ごとに異なった位置に集光し、出力導波
路５の各ポートに各波長が振り分けられる。ここで、回
折次数をｍ、導波路の等価屈折率をｎeffとすると、入
力導波路４の中心ポートから入力された光信号のうち出
力導波路５の中心ポートに出力される光信号の波長λは
次式で表される。 λ＝ｎeff・ΔＬ／ｍ ……（１）
分波光回路の動作原理について説明する。波長多重光信
号は、入力導波路４の１つのポートに入力した後、スラ
ブ導波路２に入力する。スラブ導波路２では、この波長
多重光信号は回折により広がり、アレイ導波路１を構成
する複数の導波路に入力する。このアレイ導波路１の各
導波路間には光路長差ΔＬが付与されているため、スラ
ブ導波路３の入口では、波長多重光信号の等位相面は伝
搬方向に対し傾きを有することとなる。この傾きは光信
号の波長に依存するので、スラブ導波路３の出口におい
て光信号は波長ごとに異なった位置に集光し、出力導波
路５の各ポートに各波長が振り分けられる。ここで、回
折次数をｍ、導波路の等価屈折率をｎeffとすると、入
力導波路４の中心ポートから入力された光信号のうち出
力導波路５の中心ポートに出力される光信号の波長λは
次式で表される。 λ＝ｎeff・ΔＬ／ｍ ……（１）
【０００５】図１５は、従来より一般的に用いられてい
るマッハ・ツェンダー型光回路を示す平面図であり、図
において、６は光路長差ΔＬを有する１対のアーム、７
は一対のアーム６の入力側に光接続された３ｄＢカプ
ラ、８は一対のアーム６の出力側に光接続された３ｄＢ
カプラ、９は３ｄＢカプラ７の入力側に光接続された入
力導波路、１０は３ｄＢカプラ８の出力側に光接続され
た出力導波路である（このマッハ・ツェンダー型光回路
は、例えば、アプライド・オプティクス、第３７巻、第
２２４２頁〜第２２４４頁、１９９８年（Applied Opti
cs, vol.37, pp.2242-2244, 1998）等に記載されてい
る）。
るマッハ・ツェンダー型光回路を示す平面図であり、図
において、６は光路長差ΔＬを有する１対のアーム、７
は一対のアーム６の入力側に光接続された３ｄＢカプ
ラ、８は一対のアーム６の出力側に光接続された３ｄＢ
カプラ、９は３ｄＢカプラ７の入力側に光接続された入
力導波路、１０は３ｄＢカプラ８の出力側に光接続され
た出力導波路である（このマッハ・ツェンダー型光回路
は、例えば、アプライド・オプティクス、第３７巻、第
２２４２頁〜第２２４４頁、１９９８年（Applied Opti
cs, vol.37, pp.2242-2244, 1998）等に記載されてい
る）。
【０００６】次に、このマッハ・ツェンダー型光回路の
動作原理について説明する。入力導波路９に設けた入力
ポート１１より入力された信号光は、３ｄＢカプラ７に
より２つのアーム６ａ、６ｂに等分配される。これらの
アーム６ａ、６ｂには光路長差ΔＬが設けられているの
で、各アーム６ａ、６ｂを伝搬してきた信号光は３ｄＢ
カプラ８の入口で相対的な位相差を有する。この位相差
は信号光の波長に依存するので、信号光の各波長が出力
導波路１０の２つのポートに振り分けられる。ここで、
回折次数をｍ、導波路の等価屈折率をｎeffとすると、
入力ポート１１から入力された光信号のうち出力ポート
１２に出力される光信号の波長λは次式で表される。 λ＝ｎeff・ΔＬ／（ｍ＋１／２） ……（２）
動作原理について説明する。入力導波路９に設けた入力
ポート１１より入力された信号光は、３ｄＢカプラ７に
より２つのアーム６ａ、６ｂに等分配される。これらの
アーム６ａ、６ｂには光路長差ΔＬが設けられているの
で、各アーム６ａ、６ｂを伝搬してきた信号光は３ｄＢ
カプラ８の入口で相対的な位相差を有する。この位相差
は信号光の波長に依存するので、信号光の各波長が出力
導波路１０の２つのポートに振り分けられる。ここで、
回折次数をｍ、導波路の等価屈折率をｎeffとすると、
入力ポート１１から入力された光信号のうち出力ポート
１２に出力される光信号の波長λは次式で表される。 λ＝ｎeff・ΔＬ／（ｍ＋１／２） ……（２）
【０００７】図１６は、従来より一般的に用いられてい
るリング共振器型光回路を示す平面図であり、図におい
て、１３はリング導波路、１４は入力導波路、１５は出
力導波路である（このリング共振器型光回路は、例え
ば、岡本；「光導波路の基礎」、第１６０頁〜第１６５
頁、コロナ社等に記載されている）。ここで、モード次
数をｍ、導波路の等価屈折率をｎeff、リング導波路１
３の長さをＬとすると、出力導波路１５に出力される光
信号の波長λは次式で表される。 λ＝ｎeff・Ｌ／ｍ ……（３）
るリング共振器型光回路を示す平面図であり、図におい
て、１３はリング導波路、１４は入力導波路、１５は出
力導波路である（このリング共振器型光回路は、例え
ば、岡本；「光導波路の基礎」、第１６０頁〜第１６５
頁、コロナ社等に記載されている）。ここで、モード次
数をｍ、導波路の等価屈折率をｎeff、リング導波路１
３の長さをＬとすると、出力導波路１５に出力される光
信号の波長λは次式で表される。 λ＝ｎeff・Ｌ／ｍ ……（３）
【０００８】図１７は、従来より一般的に用いられてい
るファブリ・ペロー共振器型光回路を示す平面図であ
り、図において、１６は直線導波路、１７、１８は共振
ミラーである（このファブリ・ペロー共振器型光回路
は、例えば、小山、西原；「光波電子工学」、第３８頁
〜第４２頁、コロナ社に記載されている）。ここで、モ
ード次数をｍ、導波路の等価屈折率をｎeff、共振器の
長さ（共振ミラー１７、１８間の長さ）をＬとすると、
共振波長λは次式で表される。 λ＝２・ｎeff・Ｌ／ｍ ……（４）
るファブリ・ペロー共振器型光回路を示す平面図であ
り、図において、１６は直線導波路、１７、１８は共振
ミラーである（このファブリ・ペロー共振器型光回路
は、例えば、小山、西原；「光波電子工学」、第３８頁
〜第４２頁、コロナ社に記載されている）。ここで、モ
ード次数をｍ、導波路の等価屈折率をｎeff、共振器の
長さ（共振ミラー１７、１８間の長さ）をＬとすると、
共振波長λは次式で表される。 λ＝２・ｎeff・Ｌ／ｍ ……（４）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の光回
路では、式（１）〜（４）に示すように、アレイ導波路
回折格子型波長合分波光回路やマッハ・ツェンダー型光
回路等の波長合分波光回路のチャンネル中心波長をＩＴ
Ｕグリッドと一致させるためには、回折次数ｍ、光路長
差ΔＬ、等価屈折率ｎeffを適当な値に設定すればよい
が、光導波路の製造工程においては、光路長差ΔＬ及び
等価屈折率ｎeffが設定した値から変動した場合に、こ
れら波長合分波光回路のチャンネル中心波長にＩＴＵグ
リッドからのズレが生じてしまうという問題点がある。
路では、式（１）〜（４）に示すように、アレイ導波路
回折格子型波長合分波光回路やマッハ・ツェンダー型光
回路等の波長合分波光回路のチャンネル中心波長をＩＴ
Ｕグリッドと一致させるためには、回折次数ｍ、光路長
差ΔＬ、等価屈折率ｎeffを適当な値に設定すればよい
が、光導波路の製造工程においては、光路長差ΔＬ及び
等価屈折率ｎeffが設定した値から変動した場合に、こ
れら波長合分波光回路のチャンネル中心波長にＩＴＵグ
リッドからのズレが生じてしまうという問題点がある。
【００１０】この問題点を解決する方法としては、波長
合分波光回路の光導波路に紫外線を照射しチャンネル中
心波長を制御することでＩＴＵグリッドからのズレを解
消する方法がある。この方法は、ゲルマニウム添加石英
系ガラスに紫外線を照射すると、この石英系ガラスの屈
折率が高くなる現象を利用したものである（この方法
は、例えば、エレクトロニクス・レターズ、第３４巻、
第７８０頁〜第７８１頁、１９９８年（Electronics Le
tters, vol.34, pp.780-781, 1998）等に記載されてい
る）。
合分波光回路の光導波路に紫外線を照射しチャンネル中
心波長を制御することでＩＴＵグリッドからのズレを解
消する方法がある。この方法は、ゲルマニウム添加石英
系ガラスに紫外線を照射すると、この石英系ガラスの屈
折率が高くなる現象を利用したものである（この方法
は、例えば、エレクトロニクス・レターズ、第３４巻、
第７８０頁〜第７８１頁、１９９８年（Electronics Le
tters, vol.34, pp.780-781, 1998）等に記載されてい
る）。
【００１１】しかしながら、この紫外線を照射する方法
では、チャンネル中心波長を制御する前にＴＥ・ＴＭモ
ード間に中心波長差があった場合や、紫外線照射による
等価屈折率変化に偏光依存性があった場合に、ＴＥモー
ドとＴＭモードを同時にＩＴＵグリッドに合わせること
ができないという問題点があった。また、上述した偏光
依存性がある場合の波長制御法では、中心波長の平均変
位量δλとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ
（Δλ）の比を一定になるように設定しているために、
一般にはこれらを独立に制御することができず、ＴＥモ
ードとＴＭモードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに
合わせることができないという問題点があった。
では、チャンネル中心波長を制御する前にＴＥ・ＴＭモ
ード間に中心波長差があった場合や、紫外線照射による
等価屈折率変化に偏光依存性があった場合に、ＴＥモー
ドとＴＭモードを同時にＩＴＵグリッドに合わせること
ができないという問題点があった。また、上述した偏光
依存性がある場合の波長制御法では、中心波長の平均変
位量δλとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ
（Δλ）の比を一定になるように設定しているために、
一般にはこれらを独立に制御することができず、ＴＥモ
ードとＴＭモードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに
合わせることができないという問題点があった。
【００１２】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、初期状態でＴＥ・ＴＭモード間に中心波長
差がある場合や、光照射による等価屈折率変化に偏光依
存性がある場合においても、ＴＥモードとＴＭモードを
同時にＩＴＵグリッドに合わせることが可能な波長合分
波光回路及びその製造方法を提供することを目的とす
る。
のであって、初期状態でＴＥ・ＴＭモード間に中心波長
差がある場合や、光照射による等価屈折率変化に偏光依
存性がある場合においても、ＴＥモードとＴＭモードを
同時にＩＴＵグリッドに合わせることが可能な波長合分
波光回路及びその製造方法を提供することを目的とす
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、様々な研
究を重ねた結果、ＴＥモードとＴＭモードを同時に制御
可能な波長合分波光回路及びその製造方法を見いだし
た。ここで、アレイ導波路回折格子型波長合分波光回路
を例にとり、最も一般的な、等価屈折率と光照射による
屈折率変化に偏光依存性がある場合の波長制御法につい
て説明する。
究を重ねた結果、ＴＥモードとＴＭモードを同時に制御
可能な波長合分波光回路及びその製造方法を見いだし
た。ここで、アレイ導波路回折格子型波長合分波光回路
を例にとり、最も一般的な、等価屈折率と光照射による
屈折率変化に偏光依存性がある場合の波長制御法につい
て説明する。
【００１４】一般に、ＴＥモードの等価屈折率をｎTE、
ＴＭモードの等価屈折率をｎTMとすると、制御前の中心
波長λはそれぞれのモードについて次式で表される。 λTE＝ｎTE・ΔＬ／ｍ ……（５） λTM＝ｎTM・ΔＬ／ｍ ……（６） 式（５）と式（６）の差を、制御前のＴＥ・ＴＭモード
間中心波長差Δλと定義すると、この中心波長差Δλは
次式で表される。 Δλ＝λTM−λTE ……（７）
ＴＭモードの等価屈折率をｎTMとすると、制御前の中心
波長λはそれぞれのモードについて次式で表される。 λTE＝ｎTE・ΔＬ／ｍ ……（５） λTM＝ｎTM・ΔＬ／ｍ ……（６） 式（５）と式（６）の差を、制御前のＴＥ・ＴＭモード
間中心波長差Δλと定義すると、この中心波長差Δλは
次式で表される。 Δλ＝λTM−λTE ……（７）
【００１５】このアレイ導波路回折格子型波長合分波光
回路に対して、図１８に示すように、アレイ導波路１に
三角形状の光照射領域１９を設け、各導波路への光照射
長さがアレイ導波路１の外側ほど長くなるように設定す
る。このときの隣り合った導波路間の照射長さの差をδ
Ｌとする。また、各導波路のコアまたはクラッドは光誘
起屈折率変化を有するものとし、光照射によるＴＥモー
ドの等価屈折率変化をΔｎTE、ＴＭモードの等価屈折率
変化をΔｎTMとする。
回路に対して、図１８に示すように、アレイ導波路１に
三角形状の光照射領域１９を設け、各導波路への光照射
長さがアレイ導波路１の外側ほど長くなるように設定す
る。このときの隣り合った導波路間の照射長さの差をδ
Ｌとする。また、各導波路のコアまたはクラッドは光誘
起屈折率変化を有するものとし、光照射によるＴＥモー
ドの等価屈折率変化をΔｎTE、ＴＭモードの等価屈折率
変化をΔｎTMとする。
【００１６】このような光照射によりアレイ導波路１に
光路長差ΔｎTE・δＬ、ΔｎTM・δＬが付与される結
果、中心波長λは次式に示すように変化する。 λTE'＝（ｎTE・ΔＬ＋ΔｎTE・δＬ）／ｍ ……（８） λTM'＝（ｎTM・ΔＬ＋ΔｎTM・δＬ）／ｍ ……（９） ここで、式（８）と式（９）の差を制御後のＴＥ・ＴＭ
モード間中心波長差Δλ’と定義すると、この中心波長
差Δλ’は次式で表される。 Δλ’＝λTM'−λTE' ……（１０）
光路長差ΔｎTE・δＬ、ΔｎTM・δＬが付与される結
果、中心波長λは次式に示すように変化する。 λTE'＝（ｎTE・ΔＬ＋ΔｎTE・δＬ）／ｍ ……（８） λTM'＝（ｎTM・ΔＬ＋ΔｎTM・δＬ）／ｍ ……（９） ここで、式（８）と式（９）の差を制御後のＴＥ・ＴＭ
モード間中心波長差Δλ’と定義すると、この中心波長
差Δλ’は次式で表される。 Δλ’＝λTM'−λTE' ……（１０）
【００１７】図１９は光照射前後の中心波長λの変化ダ
イアグラムを示す図であり、中心波長λの変位量δλ
は、各モードについて式（５）と式（８）の差及び式
（６）と式（９）の差として次式で表される。 δλTE＝λTE'−λTE＝ΔｎTE・δＬ／ｍ ……（１１） δλTM＝λTM'−λTM＝ΔｎTM・δＬ／ｍ ……（１２） ここで、式（１１）と式（１２）の平均値を中心波長λ
の平均変位量δλと定義し、式（１１）と式（１２）の
差をＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（Δλ）
と定義すると、平均変位量δλ及び変位量δ（Δλ）は
次式で表される。 δλ＝（δλTE＋δλTM）／２＝Δｎ・δＬ／ｍ ……（１３） δ（Δλ）＝Δλ’−Δλ＝ΔＢ・δＬ／ｍ ……（１４） ただし、Δｎは平均屈折率変化、ΔＢは複屈折率変化で
あり、これらは次式で表される。 Δｎ＝（ΔｎTE＋ΔｎTM）／２ ……（１５） ΔＢ＝ΔｎTE−ΔｎTM ……（１６）
イアグラムを示す図であり、中心波長λの変位量δλ
は、各モードについて式（５）と式（８）の差及び式
（６）と式（９）の差として次式で表される。 δλTE＝λTE'−λTE＝ΔｎTE・δＬ／ｍ ……（１１） δλTM＝λTM'−λTM＝ΔｎTM・δＬ／ｍ ……（１２） ここで、式（１１）と式（１２）の平均値を中心波長λ
の平均変位量δλと定義し、式（１１）と式（１２）の
差をＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（Δλ）
と定義すると、平均変位量δλ及び変位量δ（Δλ）は
次式で表される。 δλ＝（δλTE＋δλTM）／２＝Δｎ・δＬ／ｍ ……（１３） δ（Δλ）＝Δλ’−Δλ＝ΔＢ・δＬ／ｍ ……（１４） ただし、Δｎは平均屈折率変化、ΔＢは複屈折率変化で
あり、これらは次式で表される。 Δｎ＝（ΔｎTE＋ΔｎTM）／２ ……（１５） ΔＢ＝ΔｎTE−ΔｎTM ……（１６）
【００１８】ここで、平均屈折率変化Δｎ及び複屈折率
変化ΔＢに、ある光照射条件を与え、δＬを媒介変数と
してδλ−δ（Δλ）平面を考えると、式（１３）及び
式（１４）は、図２０に示すように、傾きΔＢ／Δｎの
直線２０で表わされ、中心波長の平均変位量δλとＴＥ
・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（Δλ）との比
は、一定値ΔＢ／Δｎになることがわかる。
変化ΔＢに、ある光照射条件を与え、δＬを媒介変数と
してδλ−δ（Δλ）平面を考えると、式（１３）及び
式（１４）は、図２０に示すように、傾きΔＢ／Δｎの
直線２０で表わされ、中心波長の平均変位量δλとＴＥ
・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（Δλ）との比
は、一定値ΔＢ／Δｎになることがわかる。
【００１９】特別な場合として、ΔＢ＝０、すなわち光
照射による等価屈折率変化量が偏光に依存しない場合を
考えると、式（１４）によりＴＥ・ＴＭモード間中心波
長差は変化しないことがわかる。これにより、制御前の
初期状態において中心波長はＴＥモードとＴＭモードと
で一致していなければならないことがわかる。言い換え
ると、初期状態においてＴＥ・ＴＭモード間中心波長差
がゼロであり尚且つ光照射による等価屈折率変化量が偏
光に依存しない場合には、ＴＥモード、ＴＭモードの中
心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わせることができ
る。しかしながら、前述のように中心波長の平均変位量
δλとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（△
λ）の比が一定値に限定されているため、一般的にはこ
れらを独立に制御することはできず、ＴＥモードとＴＭ
モードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わせるこ
とはできない。
照射による等価屈折率変化量が偏光に依存しない場合を
考えると、式（１４）によりＴＥ・ＴＭモード間中心波
長差は変化しないことがわかる。これにより、制御前の
初期状態において中心波長はＴＥモードとＴＭモードと
で一致していなければならないことがわかる。言い換え
ると、初期状態においてＴＥ・ＴＭモード間中心波長差
がゼロであり尚且つ光照射による等価屈折率変化量が偏
光に依存しない場合には、ＴＥモード、ＴＭモードの中
心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わせることができ
る。しかしながら、前述のように中心波長の平均変位量
δλとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（△
λ）の比が一定値に限定されているため、一般的にはこ
れらを独立に制御することはできず、ＴＥモードとＴＭ
モードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わせるこ
とはできない。
【００２０】本発明の波長合分波光回路の波長制御方法
は、２つの光照射領域にそれぞれ異なった条件で光照射
を行うものである。平均屈折率変化△ｎと複屈折変化△
Ｂの比は、第１の光照射と第２の光照射において異なっ
た値を持つ。すなわち、本発明の本質は、図２０のδλ
−δ（△λ）平面において、傾き△Ｂ／△ｎの異なる２
つの直線を組み合わせることにある。これにより、中心
波長の平均変位量δλとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差
の変位量δ（△λ）はそれぞれ独立に制御することが可
能となり、初期状態でＴＥ・ＴＭモード間に中心波長差
があり、光照射による等価屈折率変化量に偏光依存性が
ある場合にもＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時
にＩＴＵグリッドに合わせることが可能になる。
は、２つの光照射領域にそれぞれ異なった条件で光照射
を行うものである。平均屈折率変化△ｎと複屈折変化△
Ｂの比は、第１の光照射と第２の光照射において異なっ
た値を持つ。すなわち、本発明の本質は、図２０のδλ
−δ（△λ）平面において、傾き△Ｂ／△ｎの異なる２
つの直線を組み合わせることにある。これにより、中心
波長の平均変位量δλとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差
の変位量δ（△λ）はそれぞれ独立に制御することが可
能となり、初期状態でＴＥ・ＴＭモード間に中心波長差
があり、光照射による等価屈折率変化量に偏光依存性が
ある場合にもＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時
にＩＴＵグリッドに合わせることが可能になる。
【００２１】本発明者等は、上記の知見に基づき、次の
様な波長合分波光回路及びその製造方法を提供した。す
なわち、請求項１記載の波長合分波光回路は、光路を伝
搬させた光波をその波長により合波・分波する波長合分
波光回路において、前記光路に光を照射した複数の光照
射領域を形成し、該光照射領域各々における屈折率変化
と複屈折率変化との比が互いに異なることを特徴として
いる。
様な波長合分波光回路及びその製造方法を提供した。す
なわち、請求項１記載の波長合分波光回路は、光路を伝
搬させた光波をその波長により合波・分波する波長合分
波光回路において、前記光路に光を照射した複数の光照
射領域を形成し、該光照射領域各々における屈折率変化
と複屈折率変化との比が互いに異なることを特徴として
いる。
【００２２】請求項２記載の波長合分波光回路は、請求
項１記載の波長合分波光回路において、前記光路を、光
を照射することにより屈折率が変化する材料を含む光導
波路としたことを特徴としている。
項１記載の波長合分波光回路において、前記光路を、光
を照射することにより屈折率が変化する材料を含む光導
波路としたことを特徴としている。
【００２３】請求項３記載の波長合分波光回路は、光波
を複数の光路に分岐させた後に合流させ干渉させること
により、前記光波をその波長により合波・分波する波長
合分波光回路において、分岐された各光路に光を照射し
た複数の光照射領域を形成し、該光照射領域各々におけ
る屈折率変化と複屈折率変化との比が互いに異なること
を特徴としている。
を複数の光路に分岐させた後に合流させ干渉させること
により、前記光波をその波長により合波・分波する波長
合分波光回路において、分岐された各光路に光を照射し
た複数の光照射領域を形成し、該光照射領域各々におけ
る屈折率変化と複屈折率変化との比が互いに異なること
を特徴としている。
【００２４】請求項４記載の波長合分波光回路は、請求
項３記載の波長合分波光回路において、前記複数の光路
をアレイ導波路回折格子のアレイ導波路とし、該アレイ
導波路に光照射した複数の光照射領域を形成してなるこ
とを特徴としている。
項３記載の波長合分波光回路において、前記複数の光路
をアレイ導波路回折格子のアレイ導波路とし、該アレイ
導波路に光照射した複数の光照射領域を形成してなるこ
とを特徴としている。
【００２５】請求項５記載の波長合分波光回路は、請求
項３記載の波長合分波光回路において、前記複数の光路
をマッハ・ツェンダー干渉計型光回路のアーム部とし、
このアーム部に光照射した複数の光照射領域を形成して
なることを特徴としている。
項３記載の波長合分波光回路において、前記複数の光路
をマッハ・ツェンダー干渉計型光回路のアーム部とし、
このアーム部に光照射した複数の光照射領域を形成して
なることを特徴としている。
【００２６】請求項６記載の波長合分波光回路は、光波
を光路内を周回あるいは往復させて共振させることによ
り、前記光波をその波長により合波・分波する波長合分
波光回路において、前記光路に光を照射した複数の光照
射領域を形成し、該光照射領域各々における屈折率変化
と複屈折率変化との比が互いに異なることを特徴として
いる。
を光路内を周回あるいは往復させて共振させることによ
り、前記光波をその波長により合波・分波する波長合分
波光回路において、前記光路に光を照射した複数の光照
射領域を形成し、該光照射領域各々における屈折率変化
と複屈折率変化との比が互いに異なることを特徴として
いる。
【００２７】請求項７記載の波長合分波光回路は、請求
項６記載の波長合分波光回路において、前記光路をリン
グ導波路とし、該リング導波路に光照射した複数の光照
射領域を形成してなることを特徴としている。
項６記載の波長合分波光回路において、前記光路をリン
グ導波路とし、該リング導波路に光照射した複数の光照
射領域を形成してなることを特徴としている。
【００２８】請求項８記載の波長合分波光回路は、請求
項６記載の波長合分波光回路において、前記光路を共振
器内導波路とし、この共振器内導波路に光照射した複数
の光照射領域を形成してなることを特徴としている。
項６記載の波長合分波光回路において、前記光路を共振
器内導波路とし、この共振器内導波路に光照射した複数
の光照射領域を形成してなることを特徴としている。
【００２９】請求項９記載の波長合分波光回路は、請求
項１ないし８のいずれか１項記載の波長合分波光回路に
おいて、前記光路のコアまたはクラッドを、ゲルマニウ
ム添加石英系ガラス、酸化窒化珪素、ポリイミド系高分
子材料、ポリシラン系高分子材料のいずれかにより構成
したことを特徴としている。
項１ないし８のいずれか１項記載の波長合分波光回路に
おいて、前記光路のコアまたはクラッドを、ゲルマニウ
ム添加石英系ガラス、酸化窒化珪素、ポリイミド系高分
子材料、ポリシラン系高分子材料のいずれかにより構成
したことを特徴としている。
【００３０】請求項１０記載の波長合分波光回路の製造
方法は、光波を光路を伝搬させることにより、その波長
により合波・分波する波長合分波光回路の製造方法にお
いて、前記光路の複数の領域に光を照射することによ
り、前記光路に屈折率変化と複屈折率変化との比が互い
に異なる複数の光照射領域を形成することを特徴として
いる。
方法は、光波を光路を伝搬させることにより、その波長
により合波・分波する波長合分波光回路の製造方法にお
いて、前記光路の複数の領域に光を照射することによ
り、前記光路に屈折率変化と複屈折率変化との比が互い
に異なる複数の光照射領域を形成することを特徴として
いる。
【００３１】請求項１１記載の波長合分波光回路の製造
方法は、請求項１０記載の波長合分波光回路の製造方法
において、前記光は、紫外線またはＸ線のいずれかであ
ることを特徴としている。
方法は、請求項１０記載の波長合分波光回路の製造方法
において、前記光は、紫外線またはＸ線のいずれかであ
ることを特徴としている。
【００３２】
【発明の実施の形態】本発明の波長合分波光回路及びそ
の製造方法の各実施形態について図面に基づき説明す
る。 ［第１の実施形態］図１は本発明の第１の実施形態のア
レイ導波路回折格子型波長合分波光回路を示す平面図で
あり、図において、３１はアレイ導波路１に形成され光
を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ1、複屈折率変化
がΔＢ1となる三角形状の第１の光照射領域、３２はア
レイ導波路１に第１の光照射領域２１に近接して形成さ
れ光を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ2、複屈折率
変化がΔＢ2となる三角形状の第２の光照射領域であ
る。
の製造方法の各実施形態について図面に基づき説明す
る。 ［第１の実施形態］図１は本発明の第１の実施形態のア
レイ導波路回折格子型波長合分波光回路を示す平面図で
あり、図において、３１はアレイ導波路１に形成され光
を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ1、複屈折率変化
がΔＢ1となる三角形状の第１の光照射領域、３２はア
レイ導波路１に第１の光照射領域２１に近接して形成さ
れ光を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ2、複屈折率
変化がΔＢ2となる三角形状の第２の光照射領域であ
る。
【００３３】この第１の光照射領域３１及び第２の光照
射領域３２それぞれの底辺は、共にアレイ導波路１の外
側に位置している。このアレイ導波路回折格子型波長合
分波光回路は、チャンネル数が１６、チャンネル間隔が
１００ＧＨｚ、回折次数ｍが５０〜７０、光路長差が５
０〜１００μｍとなるように設定されており、アレイ導
波路１の本数は数１０〜１００本程度である。
射領域３２それぞれの底辺は、共にアレイ導波路１の外
側に位置している。このアレイ導波路回折格子型波長合
分波光回路は、チャンネル数が１６、チャンネル間隔が
１００ＧＨｚ、回折次数ｍが５０〜７０、光路長差が５
０〜１００μｍとなるように設定されており、アレイ導
波路１の本数は数１０〜１００本程度である。
【００３４】このアレイ導波路回折格子型波長合分波光
回路の出力導波路５は、図２に示すように、シリコン基
板３３上に下層クラッド層３４が形成され、この下層ク
ラッド層３４上の光導波路を形成すべき部分にコア３５
が形成され、この下層クラッド層３４及びコア３５の上
に上層クラッド層３６が形成されている。
回路の出力導波路５は、図２に示すように、シリコン基
板３３上に下層クラッド層３４が形成され、この下層ク
ラッド層３４上の光導波路を形成すべき部分にコア３５
が形成され、この下層クラッド層３４及びコア３５の上
に上層クラッド層３６が形成されている。
【００３５】下層クラッド層３４及び上層クラッド層３
６の組成は石英系ガラスであり、コア３５の組成はゲル
マニウム添加石英系ガラスである。このコア３５とクラ
ッド３４、３６の比屈折率差は０．３〜１％程度に設定
されている。また、下層クラッド層３４と上層クラッド
層３６の膜厚はそれぞれ１０〜１５μｍであり、コア３
５の断面の大きさは４μｍ×４μｍ〜６μｍ×６μｍで
ある。
６の組成は石英系ガラスであり、コア３５の組成はゲル
マニウム添加石英系ガラスである。このコア３５とクラ
ッド３４、３６の比屈折率差は０．３〜１％程度に設定
されている。また、下層クラッド層３４と上層クラッド
層３６の膜厚はそれぞれ１０〜１５μｍであり、コア３
５の断面の大きさは４μｍ×４μｍ〜６μｍ×６μｍで
ある。
【００３６】次に、このアレイ導波路回折格子型波長合
分波光回路の作用について図３及び図４に基づき説明す
る。図３に示すように、第１の光照射領域３１に、平均
屈折率変化Δｎ1、複屈折率変化ΔＢ1となるように光３
７を照射したとき、この第１の光照射領域３１の底辺の
長さＬ1を変えてδＬ1を変化させることにより、図４に
示すように、中心波長の平均変位量δλ及びＴＥ・ＴＭ
モード間中心波長差の変位量δ（Δλ）が直線４１の第
１象限部分を移動する。
分波光回路の作用について図３及び図４に基づき説明す
る。図３に示すように、第１の光照射領域３１に、平均
屈折率変化Δｎ1、複屈折率変化ΔＢ1となるように光３
７を照射したとき、この第１の光照射領域３１の底辺の
長さＬ1を変えてδＬ1を変化させることにより、図４に
示すように、中心波長の平均変位量δλ及びＴＥ・ＴＭ
モード間中心波長差の変位量δ（Δλ）が直線４１の第
１象限部分を移動する。
【００３７】また、第２の光照射領域３２に、平均屈折
率変化Δｎ2、複屈折率変化ΔＢ2となるように光３８を
照射したとき、この第２の光照射領域３２の底辺の長さ
Ｌ2を変えてδＬ2を変化させることにより、中心波長の
平均変位量δλ及びＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変
位量δ（Δλ）が直線４２の第１象限部分を移動する。
率変化Δｎ2、複屈折率変化ΔＢ2となるように光３８を
照射したとき、この第２の光照射領域３２の底辺の長さ
Ｌ2を変えてδＬ2を変化させることにより、中心波長の
平均変位量δλ及びＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変
位量δ（Δλ）が直線４２の第１象限部分を移動する。
【００３８】したがって、第１の光照射領域３１及び第
２の光照射領域３２にそれぞれ光照射をおこなったと
き、第１の光照射領域３１及び第２の光照射領域３２そ
れぞれの底辺の長さを変えてδＬ1、δＬ2を調節するこ
とで、図４において直線４１〜４４で描かれた平行四辺
形４５内の任意の（δλ、δ（Δλ））の組み合わせを
実現することができる。このように、第１の光照射領域
３１及び第２の光照射領域３２それぞれに照射する光の
強度を変えることにより、平均屈折率変化Δｎと複屈折
率変化ΔＢの比ΔＢ／Δｎ、すなわち直線４１、４２の
傾きを制御することができる。
２の光照射領域３２にそれぞれ光照射をおこなったと
き、第１の光照射領域３１及び第２の光照射領域３２そ
れぞれの底辺の長さを変えてδＬ1、δＬ2を調節するこ
とで、図４において直線４１〜４４で描かれた平行四辺
形４５内の任意の（δλ、δ（Δλ））の組み合わせを
実現することができる。このように、第１の光照射領域
３１及び第２の光照射領域３２それぞれに照射する光の
強度を変えることにより、平均屈折率変化Δｎと複屈折
率変化ΔＢの比ΔＢ／Δｎ、すなわち直線４１、４２の
傾きを制御することができる。
【００３９】次に、このアレイ導波路回折格子型波長合
分波光回路の製造方法について図３に基づき説明する。
まず、アレイ導波路１上に膜厚１μｍ程度のアルミニウ
ムを蒸着し、このアルミニウム膜の第１の光照射領域３
１及び第２の光照射領域３２に対応する部分を三角形状
に除去する。ここで、除去した第１の三角形５１、第２
の三角形５２の底辺の長さはともに２ｍｍである。
分波光回路の製造方法について図３に基づき説明する。
まず、アレイ導波路１上に膜厚１μｍ程度のアルミニウ
ムを蒸着し、このアルミニウム膜の第１の光照射領域３
１及び第２の光照射領域３２に対応する部分を三角形状
に除去する。ここで、除去した第１の三角形５１、第２
の三角形５２の底辺の長さはともに２ｍｍである。
【００４０】次いで、波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマ
レーザを用いて、第１の三角形５１にパルスエネルギー
が２２ｍＪ／ｃｍ2の紫外線を、第２の三角形５２にパ
ルスエネルギーが７０ｍＪ／ｃｍ2の紫外線をそれぞれ
照射する。なお、パルス周波数は１００Ｈｚ、照射時間
は３０分である。このとき得られる中心波長の平均変位
量はδλ＝０．３８ｎｍ、ＴＥ・ＴＭモード間中心波長
差の変位量はδ（Δλ）＝０．０６ｎｍであり、これは
図４の点Ａに対応する。
レーザを用いて、第１の三角形５１にパルスエネルギー
が２２ｍＪ／ｃｍ2の紫外線を、第２の三角形５２にパ
ルスエネルギーが７０ｍＪ／ｃｍ2の紫外線をそれぞれ
照射する。なお、パルス周波数は１００Ｈｚ、照射時間
は３０分である。このとき得られる中心波長の平均変位
量はδλ＝０．３８ｎｍ、ＴＥ・ＴＭモード間中心波長
差の変位量はδ（Δλ）＝０．０６ｎｍであり、これは
図４の点Ａに対応する。
【００４１】本実施形態によれば、中心波長の平均変位
量δλとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（Δ
λ）をそれぞれ独立に制御することができ、初期状態で
ＴＥ・ＴＭモード間に中心波長差がある場合や、光照射
による等価屈折率変化量に偏光依存性がある場合におい
ても、ＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時にＩＴ
Ｕグリッドに合わせることができる。
量δλとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（Δ
λ）をそれぞれ独立に制御することができ、初期状態で
ＴＥ・ＴＭモード間に中心波長差がある場合や、光照射
による等価屈折率変化量に偏光依存性がある場合におい
ても、ＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時にＩＴ
Ｕグリッドに合わせることができる。
【００４２】したがって、光導波路に光照射を行なうこ
とによりＴＥモード・ＴＭモードの中心波長をそれぞれ
独立に制御し、ＴＥモード・ＴＭモード双方の中心波長
を同時にＩＴＵグリッドに合わせたアレイ導波路回折格
子型波長合分波光回路を提供することができる。
とによりＴＥモード・ＴＭモードの中心波長をそれぞれ
独立に制御し、ＴＥモード・ＴＭモード双方の中心波長
を同時にＩＴＵグリッドに合わせたアレイ導波路回折格
子型波長合分波光回路を提供することができる。
【００４３】［第２の実施形態］図５は本発明の第２の
実施形態のアレイ導波路回折格子型波長合分波光回路を
示す平面図であり、このアレイ導波路回折格子型波長合
分波光回路が上述した第１の実施形態のアレイ導波路回
折格子型波長合分波光回路と異なる点は、第１の光照射
領域３１の底辺がアレイ導波路１の内側に、第２の光照
射領域３２の底辺がアレイ導波路１の外側にそれぞれ位
置している点であり、その他の構成は第１の実施形態と
全く同様である。
実施形態のアレイ導波路回折格子型波長合分波光回路を
示す平面図であり、このアレイ導波路回折格子型波長合
分波光回路が上述した第１の実施形態のアレイ導波路回
折格子型波長合分波光回路と異なる点は、第１の光照射
領域３１の底辺がアレイ導波路１の内側に、第２の光照
射領域３２の底辺がアレイ導波路１の外側にそれぞれ位
置している点であり、その他の構成は第１の実施形態と
全く同様である。
【００４４】このアレイ導波路回折格子型波長合分波光
回路では、第１の光照射領域３１が逆向きであるため、
図４に示す平行四辺形４６になる。本実施形態において
も、第１の実施形態と全く同様に、中心波長の平均変位
量δλとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（Δ
λ）をそれぞれ独立に制御することができ、初期状態で
ＴＥ・ＴＭモード間に中心波長差がある場合や、光照射
による等価屈折率変化量に偏光依存性がある場合におい
ても、ＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時にＩＴ
Ｕグリッドに合わせることができる。
回路では、第１の光照射領域３１が逆向きであるため、
図４に示す平行四辺形４６になる。本実施形態において
も、第１の実施形態と全く同様に、中心波長の平均変位
量δλとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（Δ
λ）をそれぞれ独立に制御することができ、初期状態で
ＴＥ・ＴＭモード間に中心波長差がある場合や、光照射
による等価屈折率変化量に偏光依存性がある場合におい
ても、ＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時にＩＴ
Ｕグリッドに合わせることができる。
【００４５】［第３の実施形態］図６は本発明の第３の
実施形態のアレイ導波路回折格子型波長合分波光回路を
示す平面図であり、このアレイ導波路回折格子型波長合
分波光回路が上述した第１の実施形態のアレイ導波路回
折格子型波長合分波光回路と異なる点は、第１の光照射
領域３１の底辺がアレイ導波路１の外側に、第２の光照
射領域３２の底辺がアレイ導波路１の内側にそれぞれ位
置している点であり、その他の構成は第１及び第２の実
施形態と全く同様である。
実施形態のアレイ導波路回折格子型波長合分波光回路を
示す平面図であり、このアレイ導波路回折格子型波長合
分波光回路が上述した第１の実施形態のアレイ導波路回
折格子型波長合分波光回路と異なる点は、第１の光照射
領域３１の底辺がアレイ導波路１の外側に、第２の光照
射領域３２の底辺がアレイ導波路１の内側にそれぞれ位
置している点であり、その他の構成は第１及び第２の実
施形態と全く同様である。
【００４６】このアレイ導波路回折格子型波長合分波光
回路では、第２の光照射領域３２が逆向きであるため、
図４に示す平行四辺形４７になる。本実施形態において
も、第１及び第２の実施形態と全く同様に、ＴＥモード
とＴＭモードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わ
せることができる。
回路では、第２の光照射領域３２が逆向きであるため、
図４に示す平行四辺形４７になる。本実施形態において
も、第１及び第２の実施形態と全く同様に、ＴＥモード
とＴＭモードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わ
せることができる。
【００４７】［第４の実施形態］図７は本発明の第４の
実施形態のアレイ導波路回折格子型波長合分波光回路を
示す平面図であり、このアレイ導波路回折格子型波長合
分波光回路が上述した第１の実施形態のアレイ導波路回
折格子型波長合分波光回路と異なる点は、第１の光照射
領域３１及び第２の光照射領域３２それぞれの底辺が、
共にアレイ導波路１の内側に位置している点であり、そ
の他の構成は第１〜第３の実施形態と全く同様である。
実施形態のアレイ導波路回折格子型波長合分波光回路を
示す平面図であり、このアレイ導波路回折格子型波長合
分波光回路が上述した第１の実施形態のアレイ導波路回
折格子型波長合分波光回路と異なる点は、第１の光照射
領域３１及び第２の光照射領域３２それぞれの底辺が、
共にアレイ導波路１の内側に位置している点であり、そ
の他の構成は第１〜第３の実施形態と全く同様である。
【００４８】このアレイ導波路回折格子型波長合分波光
回路では、第１の光照射領域３１及び第２の光照射領域
３２が逆向きであるため、図４に示す平行四辺形４８に
なる。本実施形態においても、第１〜第３の実施形態と
全く同様に、ＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時
にＩＴＵグリッドに合わせることができる。
回路では、第１の光照射領域３１及び第２の光照射領域
３２が逆向きであるため、図４に示す平行四辺形４８に
なる。本実施形態においても、第１〜第３の実施形態と
全く同様に、ＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時
にＩＴＵグリッドに合わせることができる。
【００４９】以上説明したように、第１の実施形態〜第
４の実施形態を適当に選択することにより、図４に示す
大きな平行四辺形ＡＢＣＤ内の任意の（δλ、δ（Δ
λ））の組み合わせを実現することができる。すなわ
ち、波長制御前におけるＩＴＵグリッドからの中心波長
のズレが平行四辺形ＡＢＣＤ内の任意のδλであり、Ｔ
Ｅ・ＴＭモード間中心波長差が平行四辺形ＡＢＣＤ内の
任意のδ（Δλ）であるようなアレイ導波路回折格子型
波長合分波光回路の波長を制御することにより、ＩＴＵ
グリッドからの中心波長のズレとＴＥ・ＴＭモード間中
心波長差を同時にゼロにすることができる。
４の実施形態を適当に選択することにより、図４に示す
大きな平行四辺形ＡＢＣＤ内の任意の（δλ、δ（Δ
λ））の組み合わせを実現することができる。すなわ
ち、波長制御前におけるＩＴＵグリッドからの中心波長
のズレが平行四辺形ＡＢＣＤ内の任意のδλであり、Ｔ
Ｅ・ＴＭモード間中心波長差が平行四辺形ＡＢＣＤ内の
任意のδ（Δλ）であるようなアレイ導波路回折格子型
波長合分波光回路の波長を制御することにより、ＩＴＵ
グリッドからの中心波長のズレとＴＥ・ＴＭモード間中
心波長差を同時にゼロにすることができる。
【００５０】［第５の実施形態］図８は本発明の第５の
実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路を示す平面図で
あり、図において、５１は長い方のアーム６ａに形成さ
れ光を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ1、複屈折率
変化がΔＢ1となる長さＬ1の第１の光照射領域、５２は
長い方のアーム６ａに第１の光照射領域５１に近接して
形成され光を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ2、複
屈折率変化がΔＢ2となる長さＬ2の第２の光照射領域で
ある。
実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路を示す平面図で
あり、図において、５１は長い方のアーム６ａに形成さ
れ光を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ1、複屈折率
変化がΔＢ1となる長さＬ1の第１の光照射領域、５２は
長い方のアーム６ａに第１の光照射領域５１に近接して
形成され光を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ2、複
屈折率変化がΔＢ2となる長さＬ2の第２の光照射領域で
ある。
【００５１】このマッハ・ツェンダー型光回路の作用
は、上述した第１の実施形態のアレイ導波路回折格子型
波長合分波光回路と全く同様であるから、説明を省略す
る。このマッハ・ツェンダー型光回路を製造するには、
長い方のアーム６ａ上にアルミニウムを蒸着し、このア
ルミニウム膜の第１の光照射領域５１及び第２の光照射
領域５２に対応する部分を、それぞれ所定の長さ除去す
る。次いで、ＡｒＦエキシマレーザ等を用いて、第１の
光照射領域５１に対応するアーム６ａの部分及び第２の
光照射領域５２に対応するアーム６ａの部分に、パルス
エネルギーが異なる紫外線をそれぞれ照射する。
は、上述した第１の実施形態のアレイ導波路回折格子型
波長合分波光回路と全く同様であるから、説明を省略す
る。このマッハ・ツェンダー型光回路を製造するには、
長い方のアーム６ａ上にアルミニウムを蒸着し、このア
ルミニウム膜の第１の光照射領域５１及び第２の光照射
領域５２に対応する部分を、それぞれ所定の長さ除去す
る。次いで、ＡｒＦエキシマレーザ等を用いて、第１の
光照射領域５１に対応するアーム６ａの部分及び第２の
光照射領域５２に対応するアーム６ａの部分に、パルス
エネルギーが異なる紫外線をそれぞれ照射する。
【００５２】本実施形態によれば、中心波長の平均変位
量δλとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（Δ
λ）をそれぞれ独立に制御することができ、初期状態で
ＴＥ・ＴＭモード間に中心波長差がある場合や、光照射
による等価屈折率変化量に偏光依存性がある場合におい
ても、ＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時にＩＴ
Ｕグリッドに合わせることができる。
量δλとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（Δ
λ）をそれぞれ独立に制御することができ、初期状態で
ＴＥ・ＴＭモード間に中心波長差がある場合や、光照射
による等価屈折率変化量に偏光依存性がある場合におい
ても、ＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時にＩＴ
Ｕグリッドに合わせることができる。
【００５３】したがって、光導波路に光照射を行なうこ
とによりＴＥモード・ＴＭモードの中心波長をそれぞれ
独立に制御し、ＴＥモード・ＴＭモード双方の中心波長
を同時にＩＴＵグリッドに合わせたマッハ・ツェンダー
型光回路を提供することができる。
とによりＴＥモード・ＴＭモードの中心波長をそれぞれ
独立に制御し、ＴＥモード・ＴＭモード双方の中心波長
を同時にＩＴＵグリッドに合わせたマッハ・ツェンダー
型光回路を提供することができる。
【００５４】［第６の実施形態］図９は本発明の第６の
実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路を示す平面図で
あり、このマッハ・ツェンダー型光回路が上述した第５
の実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路と異なる点
は、第１の光照射領域５１を短い方のアーム６ｂに形成
した点であり、その他の構成は第５の実施形態と全く同
様である。
実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路を示す平面図で
あり、このマッハ・ツェンダー型光回路が上述した第５
の実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路と異なる点
は、第１の光照射領域５１を短い方のアーム６ｂに形成
した点であり、その他の構成は第５の実施形態と全く同
様である。
【００５５】このマッハ・ツェンダー型光回路の作用
は、上述した第２の実施形態のアレイ導波路回折格子型
波長合分波光回路と全く同様であるから、説明を省略す
る。また、このマッハ・ツェンダー型光回路の製造方法
は、上述した第５の実施形態のマッハ・ツェンダー型光
回路の製造方法と全く同様である。本実施形態において
も、第５の実施形態と全く同様に、ＴＥモードとＴＭモ
ードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わせること
ができる。
は、上述した第２の実施形態のアレイ導波路回折格子型
波長合分波光回路と全く同様であるから、説明を省略す
る。また、このマッハ・ツェンダー型光回路の製造方法
は、上述した第５の実施形態のマッハ・ツェンダー型光
回路の製造方法と全く同様である。本実施形態において
も、第５の実施形態と全く同様に、ＴＥモードとＴＭモ
ードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わせること
ができる。
【００５６】［第７の実施形態］図１０は本発明の第７
の実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路を示す平面図
であり、このマッハ・ツェンダー型光回路が上述した第
５の実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路と異なる点
は、第２の光照射領域５２を短い方のアーム６ｂに形成
した点であり、その他の構成は第５の実施形態と全く同
様である。
の実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路を示す平面図
であり、このマッハ・ツェンダー型光回路が上述した第
５の実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路と異なる点
は、第２の光照射領域５２を短い方のアーム６ｂに形成
した点であり、その他の構成は第５の実施形態と全く同
様である。
【００５７】このマッハ・ツェンダー型光回路の作用
は、上述した第３の実施形態のアレイ導波路回折格子型
波長合分波光回路と全く同様であるから、説明を省略す
る。また、このマッハ・ツェンダー型光回路の製造方法
は、上述した第５の実施形態のマッハ・ツェンダー型光
回路の製造方法と全く同様である。本実施形態において
も、第５及び第６の実施形態と全く同様に、ＴＥモード
とＴＭモードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わ
せることができる。
は、上述した第３の実施形態のアレイ導波路回折格子型
波長合分波光回路と全く同様であるから、説明を省略す
る。また、このマッハ・ツェンダー型光回路の製造方法
は、上述した第５の実施形態のマッハ・ツェンダー型光
回路の製造方法と全く同様である。本実施形態において
も、第５及び第６の実施形態と全く同様に、ＴＥモード
とＴＭモードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わ
せることができる。
【００５８】［第８の実施形態］図１１は本発明の第８
の実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路を示す平面図
であり、このマッハ・ツェンダー型光回路が上述した第
５の実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路と異なる点
は、第１の光照射領域５１及び第２の光照射領域５２
を、共に短い方のアーム６ｂに形成した点であり、その
他の構成は第５の実施形態と全く同様である。
の実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路を示す平面図
であり、このマッハ・ツェンダー型光回路が上述した第
５の実施形態のマッハ・ツェンダー型光回路と異なる点
は、第１の光照射領域５１及び第２の光照射領域５２
を、共に短い方のアーム６ｂに形成した点であり、その
他の構成は第５の実施形態と全く同様である。
【００５９】このマッハ・ツェンダー型光回路の作用
は、上述した第４の実施形態のアレイ導波路回折格子型
波長合分波光回路と全く同様であるから、説明を省略す
る。また、このマッハ・ツェンダー型光回路の製造方法
は、上述した第５の実施形態のマッハ・ツェンダー型光
回路の製造方法と全く同様である。本実施形態において
も、第５〜第７の実施形態と全く同様に、ＴＥモードと
ＴＭモードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わせ
ることができる。
は、上述した第４の実施形態のアレイ導波路回折格子型
波長合分波光回路と全く同様であるから、説明を省略す
る。また、このマッハ・ツェンダー型光回路の製造方法
は、上述した第５の実施形態のマッハ・ツェンダー型光
回路の製造方法と全く同様である。本実施形態において
も、第５〜第７の実施形態と全く同様に、ＴＥモードと
ＴＭモードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わせ
ることができる。
【００６０】［第９の実施形態］図１２は本発明の第９
の実施形態のリング共振器型光回路を示す平面図であ
り、図において、６１はリング導波路１３に形成され光
を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ1、複屈折率変化
がΔＢ1となる長さＬ1の第１の光照射領域、６２はリン
グ導波路１３に第１の光照射領域６１に近接して形成さ
れ光を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ2、複屈折率
変化がΔＢ2となる長さＬ2の第２の光照射領域である。
の実施形態のリング共振器型光回路を示す平面図であ
り、図において、６１はリング導波路１３に形成され光
を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ1、複屈折率変化
がΔＢ1となる長さＬ1の第１の光照射領域、６２はリン
グ導波路１３に第１の光照射領域６１に近接して形成さ
れ光を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ2、複屈折率
変化がΔＢ2となる長さＬ2の第２の光照射領域である。
【００６１】このリング共振器型光回路では、第１の光
照射領域６１に平均屈折率変化がΔｎ1、複屈折率変化
がΔＢ1となるように光を照射したとき、照射領域の長
さＬ1を変化させることにより、中心波長の平均変位量
δλ及びＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（Δ
λ）が図４に示す直線４１の第１象限部分を移動する。
また、第２の光照射領域６２に平均屈折率変化がΔ
ｎ2、複屈折率変化がΔＢ2となるように光を照射したと
き、照射領域の長さＬ2を変化させることにより、中心
波長の平均変位量δλ及びＴＥ・ＴＭモード間中心波長
差の変位量δ（Δλ）が図４に示す直線４２の第１象限
部分を移動する。
照射領域６１に平均屈折率変化がΔｎ1、複屈折率変化
がΔＢ1となるように光を照射したとき、照射領域の長
さＬ1を変化させることにより、中心波長の平均変位量
δλ及びＴＥ・ＴＭモード間中心波長差の変位量δ（Δ
λ）が図４に示す直線４１の第１象限部分を移動する。
また、第２の光照射領域６２に平均屈折率変化がΔ
ｎ2、複屈折率変化がΔＢ2となるように光を照射したと
き、照射領域の長さＬ2を変化させることにより、中心
波長の平均変位量δλ及びＴＥ・ＴＭモード間中心波長
差の変位量δ（Δλ）が図４に示す直線４２の第１象限
部分を移動する。
【００６２】したがって、第１の光照射領域６１及び第
２の光照射領域６２それぞれに光照射を行なったとき、
照射領域の長さＬ1、Ｌ2を調整することで、図４におい
て直線４１〜４４で描かれた平行四辺形４５内の任意の
（δλ、δ（Δλ））の組み合わせを実現することがで
きる。
２の光照射領域６２それぞれに光照射を行なったとき、
照射領域の長さＬ1、Ｌ2を調整することで、図４におい
て直線４１〜４４で描かれた平行四辺形４５内の任意の
（δλ、δ（Δλ））の組み合わせを実現することがで
きる。
【００６３】すなわち、波長制御前におけるＩＴＵグリ
ッドからの中心波長のズレが直線４１〜４４で描かれた
平行四辺形４５内の任意のδλであり、ＴＥ・ＴＭモー
ド間中心波長差が直線４１〜４４で描かれた平行四辺形
４５内の任意のδ（Δλ）であるようなリング共振器型
光回路の波長を制御することにより、ＩＴＵグリッドか
らの中心波長のズレとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差を
同時にゼロにすることができる。
ッドからの中心波長のズレが直線４１〜４４で描かれた
平行四辺形４５内の任意のδλであり、ＴＥ・ＴＭモー
ド間中心波長差が直線４１〜４４で描かれた平行四辺形
４５内の任意のδ（Δλ）であるようなリング共振器型
光回路の波長を制御することにより、ＩＴＵグリッドか
らの中心波長のズレとＴＥ・ＴＭモード間中心波長差を
同時にゼロにすることができる。
【００６４】［第１０の実施形態］図１３は本発明の第
１０の実施形態のファブリ・ペロー共振器型光回路を示
す平面図であり、図において、７１は直線導波路１６に
形成され光を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ1、複
屈折率変化がΔＢ1となる長さＬ1の第１の光照射領域、
７２は直線導波路１６に第１の光照射領域７１に近接し
て形成され光を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ2、
複屈折率変化がΔＢ2となる長さＬ2の第２の光照射領域
である。
１０の実施形態のファブリ・ペロー共振器型光回路を示
す平面図であり、図において、７１は直線導波路１６に
形成され光を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ1、複
屈折率変化がΔＢ1となる長さＬ1の第１の光照射領域、
７２は直線導波路１６に第１の光照射領域７１に近接し
て形成され光を照射した際に平均屈折率変化がΔｎ2、
複屈折率変化がΔＢ2となる長さＬ2の第２の光照射領域
である。
【００６５】このファブリ・ペロー共振器型光回路の作
用は、上述した第９の実施形態のリング共振器型光回路
と全く同様であるから、説明を省略する。本実施形態に
おいても、第９の実施形態のリング共振器型光回路と全
く同様に、ＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時に
ＩＴＵグリッドに合わせることができる。
用は、上述した第９の実施形態のリング共振器型光回路
と全く同様であるから、説明を省略する。本実施形態に
おいても、第９の実施形態のリング共振器型光回路と全
く同様に、ＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時に
ＩＴＵグリッドに合わせることができる。
【００６６】以上、本発明の波長合分波光回路及びその
製造方法の各実施形態について図面に基づき説明してき
たが、具体的な構成は上記各実施形態に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で設計の変更
等が可能である。第１の実施形態では、下層クラッド層
３４及び上層クラッド層３６の組成を石英系ガラス、コ
ア３５の組成をゲルマニウム添加石英系ガラスとした
が、コア３５をゲルマニウム添加石英系ガラス以外の組
成、例えば、酸化窒化珪素、ポリイミド系高分子材料、
ポリシラン系高分子材料等により構成し、下層クラッド
層３４及び上層クラッド層３６をコア３５より屈折率の
小さな組成により構成してもよい。また、アレイ導波路
１に第１の光照射領域３１及び第２の光照射領域３２を
形成する際に、パルスエネルギーが異なる紫外線を照射
したが、紫外線以外にＸ線を用いても同様の効果を奏す
ることができる。
製造方法の各実施形態について図面に基づき説明してき
たが、具体的な構成は上記各実施形態に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で設計の変更
等が可能である。第１の実施形態では、下層クラッド層
３４及び上層クラッド層３６の組成を石英系ガラス、コ
ア３５の組成をゲルマニウム添加石英系ガラスとした
が、コア３５をゲルマニウム添加石英系ガラス以外の組
成、例えば、酸化窒化珪素、ポリイミド系高分子材料、
ポリシラン系高分子材料等により構成し、下層クラッド
層３４及び上層クラッド層３６をコア３５より屈折率の
小さな組成により構成してもよい。また、アレイ導波路
１に第１の光照射領域３１及び第２の光照射領域３２を
形成する際に、パルスエネルギーが異なる紫外線を照射
したが、紫外線以外にＸ線を用いても同様の効果を奏す
ることができる。
【００６７】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明の波長合分波
光回路によれば、中心波長の平均変位量δλとＴＥ・Ｔ
Ｍモード間中心波長差の変位量δ（Δλ）をそれぞれ独
立に制御することができ、初期状態でＴＥ・ＴＭモード
間に中心波長差がある場合や、光照射による等価屈折率
変化量に偏光依存性がある場合においても、ＴＥモード
とＴＭモードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わ
せることができる。
光回路によれば、中心波長の平均変位量δλとＴＥ・Ｔ
Ｍモード間中心波長差の変位量δ（Δλ）をそれぞれ独
立に制御することができ、初期状態でＴＥ・ＴＭモード
間に中心波長差がある場合や、光照射による等価屈折率
変化量に偏光依存性がある場合においても、ＴＥモード
とＴＭモードの中心波長を同時にＩＴＵグリッドに合わ
せることができる。
【００６８】したがって、光導波路に光照射を行なうこ
とによりＴＥモード・ＴＭモードの中心波長をそれぞれ
独立に制御し、ＴＥモード・ＴＭモード双方の中心波長
を同時にＩＴＵグリッドに合わせた波長合分波光回路を
提供することができる。
とによりＴＥモード・ＴＭモードの中心波長をそれぞれ
独立に制御し、ＴＥモード・ＴＭモード双方の中心波長
を同時にＩＴＵグリッドに合わせた波長合分波光回路を
提供することができる。
【００６９】また、本発明の波長合分波光回路の製造方
法によれば、特殊な装置等を用いることなく、しかも容
易に、中心波長の平均変位量δλとＴＥ・ＴＭモード間
中心波長差の変位量δ（Δλ）をそれぞれ独立に制御す
ることでＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時にＩ
ＴＵグリッドに合わせることができる波長合分波光回路
を製造することができる。
法によれば、特殊な装置等を用いることなく、しかも容
易に、中心波長の平均変位量δλとＴＥ・ＴＭモード間
中心波長差の変位量δ（Δλ）をそれぞれ独立に制御す
ることでＴＥモードとＴＭモードの中心波長を同時にＩ
ＴＵグリッドに合わせることができる波長合分波光回路
を製造することができる。
【図１】 本発明の第１の実施形態のアレイ導波路回折
格子型波長合分波光回路を示す平面図である。
格子型波長合分波光回路を示す平面図である。
【図２】 図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】 本発明の第１の実施形態のアレイ導波路回折
格子型波長合分波光回路の作用及び製造方法を示す図で
ある。
格子型波長合分波光回路の作用及び製造方法を示す図で
ある。
【図４】 本発明の第１の実施形態のアレイ導波路回折
格子型波長合分波光回路の作用を示す図である。
格子型波長合分波光回路の作用を示す図である。
【図５】 本発明の第２の実施形態のアレイ導波路回折
格子型波長合分波光回路を示す平面図である。
格子型波長合分波光回路を示す平面図である。
【図６】 本発明の第３の実施形態のアレイ導波路回折
格子型波長合分波光回路を示す平面図である。
格子型波長合分波光回路を示す平面図である。
【図７】 本発明の第４の実施形態のアレイ導波路回折
格子型波長合分波光回路を示す平面図である。
格子型波長合分波光回路を示す平面図である。
【図８】 本発明の第５の実施形態のマッハ・ツェンダ
ー型光回路を示す平面図である。
ー型光回路を示す平面図である。
【図９】 本発明の第６の実施形態のマッハ・ツェンダ
ー型光回路を示す平面図である。
ー型光回路を示す平面図である。
【図１０】 本発明の第７の実施形態のマッハ・ツェン
ダー型光回路を示す平面図である。
ダー型光回路を示す平面図である。
【図１１】 本発明の第８の実施形態のマッハ・ツェン
ダー型光回路を示す平面図である。
ダー型光回路を示す平面図である。
【図１２】 本発明の第９の実施形態のリング共振器型
光回路を示す平面図である。
光回路を示す平面図である。
【図１３】 本発明の第１０の実施形態のファブリ・ペ
ロー共振器型光回路を示す平面図である。
ロー共振器型光回路を示す平面図である。
【図１４】 従来のアレイ導波路回折格子型波長合分波
光回路を示す平面図である。
光回路を示す平面図である。
【図１５】 従来のマッハ・ツェンダー型光回路を示す
平面図である。
平面図である。
【図１６】 従来のリング共振器型光回路を示す平面図
である。
である。
【図１７】 従来のファブリ・ペロー共振器型光回路を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図１８】 従来のアレイ導波路に光照射領域を設けた
アレイ導波路回折格子型波長合分波光回路を示す平面図
である。
アレイ導波路回折格子型波長合分波光回路を示す平面図
である。
【図１９】 光照射前後の中心波長の変化ダイアグラム
を示す図である。
を示す図である。
【図２０】 中心波長の平均変位量とＴＥ・ＴＭモード
間中心波長差の変位量との関係を示す図である。
間中心波長差の変位量との関係を示す図である。
１ アレイ導波路 ２ スラブ導波路 ３ スラブ導波路 ４ 入力導波路 ５ 出力導波路 ６ １対のアーム ６ａ 長い方のアーム ６ｂ 短い方のアーム ７ ３ｄＢカプラ ８ ３ｄＢカプラ ９ 入力導波路 １０ 出力導波路 １３ リング導波路 １４ 入力導波路 １５ 出力導波路 １６ 直線導波路 １７、１８ 共振ミラー １９ 光照射領域 ２０ 直線 ３１ 第１の光照射領域 ３２ 第２の光照射領域 ３３ シリコン基板 ３４ 下層クラッド層 ３５ コア ３６ 上層クラッド層 ３７、３８ 光 ４１〜４４ 直線 ４５〜４８ 平行四辺形 ５１ 第１の光照射領域 ５２ 第２の光照射領域 ６１ 第１の光照射領域 ６２ 第２の光照射領域 ７１ 第１の光照射領域 ７２ 第２の光照射領域
Claims (11)
- 【請求項１】 光路を伝搬させた光波をその波長により
合波・分波する波長合分波光回路において、 前記光路に光を照射した複数の光照射領域を形成し、該
光照射領域各々における屈折率変化と複屈折率変化との
比が互いに異なることを特徴とする波長合分波光回路。 - 【請求項２】 前記光路を、光を照射することにより屈
折率が変化する材料を含む光導波路としたことを特徴と
する請求項１記載の波長合分波光回路。 - 【請求項３】 光波を複数の光路に分岐させた後に合流
させ干渉させることにより、前記光波をその波長により
合波・分波する波長合分波光回路において、 分岐された各光路に光を照射した複数の光照射領域を形
成し、該光照射領域各々における屈折率変化と複屈折率
変化との比が互いに異なることを特徴とする波長合分波
光回路。 - 【請求項４】 前記複数の光路をアレイ導波路回折格子
のアレイ導波路とし、 該アレイ導波路に光照射した複数の光照射領域を形成し
てなることを特徴とする請求項３記載の波長合分波光回
路。 - 【請求項５】 前記複数の光路をマッハ・ツェンダー干
渉計型光回路のアーム部とし、 このアーム部に光照射した複数の光照射領域を形成して
なることを特徴とする請求項３記載の波長合分波光回
路。 - 【請求項６】 光波を光路内を周回あるいは往復させて
共振させることにより、前記光波をその波長により合波
・分波する波長合分波光回路において、 前記光路に光を照射した複数の光照射領域を形成し、該
光照射領域各々における屈折率変化と複屈折率変化との
比が互いに異なることを特徴とする波長合分波光回路。 - 【請求項７】 前記光路をリング導波路とし、該リング
導波路に光照射した複数の光照射領域を形成してなるこ
とを特徴とする請求項６記載の波長合分波光回路。 - 【請求項８】 前記光路を共振器内導波路とし、この共
振器内導波路に光照射した複数の光照射領域を形成して
なることを特徴とする請求項６記載の波長合分波光回
路。 - 【請求項９】 前記光路のコアまたはクラッドを、ゲル
マニウム添加石英系ガラス、酸化窒化珪素、ポリイミド
系高分子材料、ポリシラン系高分子材料のいずれかによ
り構成したことを特徴とする請求項１ないし８のいずれ
か１項記載の波長合分波光回路。 - 【請求項１０】 光波を光路を伝搬させることにより、
その波長により合波・分波する波長合分波光回路の製造
方法において、 前記光路の複数の領域に光を照射することにより、前記
光路に屈折率変化と複屈折率変化との比が互いに異なる
複数の光照射領域を形成することを特徴とする波長合分
波光回路の製造方法。 - 【請求項１１】 前記光は、紫外線またはＸ線のいずれ
かであることを特徴とする請求項１０記載の波長合分波
光回路の製造方法。
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
| JP7270999A JP3698913B2 (ja) | 1999-03-17 | 1999-03-17 | 波長合分波光回路及びその製造方法 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006243011A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アレイ導波路格子の波長特性を調整するための方法およびマスク |
| JP2014512573A (ja) * | 2011-03-28 | 2014-05-22 | ジェムファイア コーポレイション | 偏光依存性が低減された光学装置 |
-
1999
- 1999-03-17 JP JP7270999A patent/JP3698913B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2014512573A (ja) * | 2011-03-28 | 2014-05-22 | ジェムファイア コーポレイション | 偏光依存性が低減された光学装置 |
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| JP3698913B2 (ja) | 2005-09-21 |
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