JP4988163B2 - アレイ導波路格子の波長特性を調整するための方法およびマスク - Google Patents
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Description
L3(i)=a3×m3+a2×m2+a1×m+a0
ここで、mは規格化導波路番号であり、m=i/Nとしている。また、本実施例では、a3≠0、L3(i)>0とする。すなわち、位相調整マスクの開口部は、導波路番号の3次関数となるようにその形状を決定する。
L2(i)=b2×m2+b1×m+b0
ただし、b2≠0、L2(i)>0とする。
L1(i)=c1×m+c0
ただし、c1≠0、L1(i)>0
L3(i)’=L3(i)/Δφi
直線導波路部に均一に紫外光を照射するには、例えば直線導波路の方向に沿って紫外光をスキャンするか、またはUVランプ光を円筒形状レンズなどを通して照射することにより実現することができる。
11 MMI型の入力導波路形状
12 Y分岐型の入力導波路形状
13 パラボラ型に直線導波路を付加した入力導波路形状
100 アレイ導波路格子
101 入力用光導波路
102 分岐用スラブ光導波路
103 アレイ光導波路
104 合波用スラブ導波路
105 出力用光導波路
107 波長板
200 位相調整マスク
201、304、305、500、501 開口部
202 アライメントマーク
601 直線導波路部
Claims (12)
- アレイ導波路格子の導波路に紫外光を照射して波長特性を調整するための方法であって、
前記アレイ導波路回折格子の波長特性を調整するアレイ導波路に対応する光路の本数をNa本とし、順番に前記光路の番号をi(i=−N〜N:N=(Na−1)/2)とし、前記光路の規格化番号をm=i/Nとして、紫外光を照射する導波路の各光路の長さL3(i)は、3次の項a3×m3を含み、L3(i)の長さ分だけ紫外光を照射することにより、前記アレイ導波路回折格子の透過スペクトルの傾きを変化させ、調整対象をアレイ導波路の最外側または最内側からNa本の光路とした場合、−N番(N=(Na−1)/2)からN番まで番号を付けた調整対象のアレイ導波路の0番目の光路は、前記調整するアレイ導波路の中心に一致することを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、L3(i)は、1次の項a1×mを含み、L3(i)の係数を−0.45<a1/a3<−0.06とすることを特徴とする方法。
- 請求項1または2に記載の方法であって、L3(i)は、2次の項a2×m2を含まないことを特徴とする方法。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載の方法であって、
導波路の既に紫外光を照射した領域とは別の領域にL1(i)=c1×m+c0として紫外光をさらに照射することを特徴とする方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の方法であって、アレイ導波路の直線部分に紫外光を照射することを特徴とする方法。
- 請求項1ないし5のいずれかに記載の方法であって、
紫外光を照射して導波路の単位長さあたりの位相変化量を測定することと、
前記位相変化量に基づいてL3(i)を補正することと
をさらに備えることを特徴とする方法。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の方法であって、紫外光を照射する時間を変えることによって波長特性の調整量を制御することを特徴とする方法。
- アレイ導波路格子の導波路に紫外光を照射して波長特性を調整するためのマスクにおいて、
前記アレイ導波路回折格子の波長特性を調整するアレイ導波路に対応する光路の本数をNa本とし、順番に前記光路の番号をi(i=−N〜N:N=(Na−1)/2)とし、前記光路の規格化番号をm=i/Nとして、前記マスクの開口部の形状は、紫外線を照射する導波路の各光路の長さL3(i)が3次の項a3×m3を含むように設計され、前記マスクの開口部に紫外光を照射することにより、前記アレイ導波路回折格子の透過スペクトルの傾きを変化させ、調整対象をアレイ導波路の最外側または最内側からNa本の光路とした場合、−N番(N=(Na−1)/2)からN番まで番号を付けた調整対象のアレイ導波路の0番目の光路は、前記調整するアレイ導波路の中心に一致し得るように構成されたことを特徴とするマスク。 - 請求項8に記載のマスクにおいて、L3(i)は、1次の項a1×mを含み、L3(i)の係数は、−0.45<a1/a3<−0.06の範囲であることを特徴とするマスク。
- 請求項8または9に記載のマスクにおいて、L3(i)は、2次の項a2×m2を含まないことを特徴とするマスク。
- 請求項8ないし10のいずれかに記載のマスクにおいて、前記マスクは、L3(i)を満たす複数の異なる形状の開口部を有することを特徴とするマスク。
- 請求項8ないし11のいずれかに記載のマスクにおいて、前記開口部は、複数に分割して形成されたことを特徴とするマスク。
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