JP3554886B2 - 配線基板 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板内部に高誘電体層と電極層とからなるコンデンサが内蔵された配線基板に関し、特に高誘電体層を貫通する部位での信号配線間のキャパシタンスおよびクロストークノイズを低減させる構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、複数の絶縁層と導体層を交互に積層して形成され、主面側にICチップ等を、または裏面側にマザーボード等を接続することができ、基板内部にコンデンサが内蔵形成された配線基板が知られている。このような配線基板においては、主面側にICチップ等の接続端子に対応したハンダバンプ(接続端子)が多数形成され、一方、裏面側には、マザーボード等の接続端子に対応した接続パッド(外部接続端子)が多数形成されている。
【0003】
このうち、主面に形成されたハンダバンプは電源電位と接続する電源バンプ(第1接続端子)と、接地電位を接続する接地バンプ(第2接続端子)と、信号を出入力するための信号バンプ(第3接続端子)とをそれぞれ多数有している。これらの接続端子は、主面に略格子状に密集して配置されている。特に、電源バンプと接地バンプとは略格子状に密集した密集領域をなしている。
【0004】
また、内蔵されたコンデンサは、上記密集領域を含んで形成された第1導体層および第2導体層と、第1導体層および第2導体層の間に挟まれた高誘電体層からなる。第1導体層は第1接続配線を介して電源バンプ(第1接続端子)および電源パッド(第1外部接続端子)と接続されている。第1接続配線は、第2導体層に形成された第2貫通孔内を通るため、第2導体層とは絶縁されている。また、第2導体層は第2接続配線を介して接地バンプ(第2接続端子)および接地パッド(第2外部接続端子)と接続されている。第2接続配線は第1導体層に形成された第1貫通孔内を通り、第1導体層とは絶縁されている。
【0005】
ところで、このようなコンデンサ内蔵型配線基板は、多数積層された絶縁層の一部を高誘電体材料からなる高誘電体層とし、この高誘電体層を電極層により挟持した構造の内蔵コンデンサを有している。各電極層とハンダバンプとを結ぶ接続配線のインダクタンスを下げるため、内蔵コンデンサはハンダバンプ(接地バンプ、電源バンプ)の真下部分、すなわち、密集領域を厚さ方向に投影した投影密集領域に設けられる。このような構造の配線基板において、投影密集領域の外側の周縁領域においては、電極層を設けず、信号用の配線(ビア導体)等が多数形成される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、電極層が設けられない周縁領域においても、絶縁層はコンデンサ部分と同じ高誘電体層からなるため、高誘電体層表面に設けられる信号用の配線やビア導体相互間でキャパシタンスが大きくなり、また、隣接する信号用の配線やビア間でクロストークノイズが発生するという問題がある。
【0007】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、本発明の目的は、内蔵コンデンサの外側の周縁領域において、信号配線間のキャパシタンスおよびクロストークノイズを低減させることができるコンデンサ内蔵型配線基板を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
しかして、その手段は、主面と裏面とを有する配線基板であって、上記主面に形成され、ICチップの端子と接続するための多数の接続端子であって、多数の第1接続端子、第2接続端子、および第3接続端子を含み、上記第1接続端子および第2接続端子の少なくとも一部は、上記第1接続端子と第2接続端子とが密集する密集領域をなして配置された接続端子と、上記裏面に形成された第1外部接続端子、第2外部接続端子、および第3外部接続端子からなる外部接続端子と、上記配線基板の内部に、高誘電体層を介して少なくとも上記密集領域を厚さ方向に投影した投影密集領域に積層され、コンデンサの電極を構成する複数の略平板状の導体層であって、第1貫通孔を有し、電源電位に接続される第1導体層と、第2貫通孔を有し、接地電位に接続される第2導体層と、上記第1接続端子と上記第1導体層と上記第1外部接続端子とを接続し、上記第2貫通孔内に位置し、第2導体層と絶縁する第1接続配線と、上記第2接続端子と上記第2導体層と上記第2外部接続端子とを接続し、上記第1貫通孔内に位置し、第1導体層と絶縁する第2接続配線と、上記密集領域を厚さ方向に投影した投影密集領域の外側の周縁領域内の高誘電体層を貫通するビア導体を含み、上記第3接続端子と上記第3外部接続端子とを接続する信号伝達用の第3接続配線と、からなり、上記ビア導体相互間には、上記高誘電体層を貫通する接地電位に接続される接地ビア導体が形成されていることを特徴とする配線基板である。
【0009】
上記配線基板によれば、高誘電体層を貫通する信号用のビア導体相互の間に接地電極に繋がった接地ビア導体を形成したため、シールド効果により、信号用のビア導体間のキャパシタンスおよびクロストークノイズを低減できる。
【0010】
なお、高誘電体層としては、電極となる導体層や高誘電体層ではない絶縁層などの材質、製法等を勘案して選択すればよいが、BaTiO3の他、たとえば、PbTiO3、PbZrO3、TiO2、SrTiO3、CaTiO3、MgTiO3、KNbO3、NbO3、NaTiO3、KTaO3、RbTaO3、(Na1/2Bi1/2)TiO3、Pb(Mg1/2W1/2)O3、(K1/2Bi1/2)TiO3などを主成分とした高誘電率セラミックが挙げられる。また、アルミナ、窒化アルミニウム、ムライト、ガラスセラミックなどのセラミックに、あるいはエポキシ樹脂やポリイミド樹脂、BT樹脂などの樹脂に、上記高誘電率セラミックのフィラーを添加した複合材料なども用いることができる。これらは要求されるコンデンサの静電容量その他に応じて適宜選択すればよい。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しつつ説明する。
本実施形態の配線基板1について、図1(a)に平面図を、図1(b)に側面図を、図2に部分拡大断面図を示す。この配線基板1は、図1(b)に示すように主面1Aと裏面1Bを有し、略矩形状の略板形状をなしている。配線基板1の主面1A側には図中に破線で示すICチップCH搭載することができる一方、裏面1B側には、図中に破線で示すマザーボードMBなど他の配線基板を接続することができる。
【0012】
搭載予定のICチップCHは、配線基板1とのIC接続端子として、ハンダバンプTを多数備えている。このハンダバンプTは、信号を入出力するための信号バンプTSの他、電源電位を受け入れる電源バンプTP、および接地電位を受け入れる接地バンプTGを多数有している。一方、この配線基板1を接続する予定のマザーボードMBも、配線基板1との接続端子として、信号バンプUS、電源バンプUP、および接地バンプUG等のハンダバンプUを多数有している。
【0013】
本実施形態の配線基板1は、図1(b)に示すように、その主面1Aに、ICチップCHのハンダバンプTと接続する接続端子として、多数のハンダバンプ3を有し、また、裏面1Bに、マザーボードMBのハンダバンプUと接続する接続端子として、多数の接続パッド(外部接続端子)5を有している。
このうち、主面1Aに形成された接続端子は、ICのハンダバンプT(電源バンプTP、接地バンプTG、信号バンプTS)に対応した電源バンプ(第1接続端子)3P、接地バンプ(第2接続端子)3G、および信号バンプ(第3接続端子)3Sをそれぞれ有している。これらのハンダバンプ3は、図1(a)に示すように、配線基板1の主面1Aに略格子状に並び、略矩形状のバンプ領域BRを形成している。
さらに詳細にいうと、このバンプ領域BRの略中央には、多数の電源バンプ3Pと接地バンプ3Gとが、150μmの格子間隔で互い違いに略格子状に密集して並んだ略矩形状の密集領域MRが形成されている。また、バンプ領域BRのうち密集領域MRを取り囲む領域に、信号バンプ3S、電源バンプ3P、および接地バンプ3Gが格子状に多数並んだ周囲領域SRが形成されている。
【0014】
一方、裏面1Bに形成された接続パッド5も、マザーボードのハンダバンプUに対応した信号パッド5S、電源パッド5P、および接地パッド5Gをそれぞれ多数有し、略矩形状のパッド領域を形成している。そして、パッド領域の略中央には、多数の電源パッド5Pと接地パッド5Gが互い違いに略格子状に配置されている。また、それらの周囲には、信号パッド5S、電源パッド5P、および接地パッド5Gが多数配置されている。
【0015】
この配線基板1は、図2に示すように、主面1Aを形成する第1絶縁層71から裏面1Bを形成する第11絶縁層81まで全部で11層の絶縁層が積層されたものである。そして、これらの絶縁層71〜81の層内や層間にはそれぞれビア導体や配線パターンが形成されている。
【0016】
この配線基板1の内部構造を大きく分類すると、第1絶縁層71〜第5絶縁層75からなる展開部9と、BaTiO3を主成分とする高誘電体層からなる第6絶縁層76〜第10絶縁層80等からなる内蔵コンデンサ13とに分けられる。なお、絶縁層71〜75、および81の材質は特に限定されないがセラミックやガラスセラミックなどを好適に用いることができる。
【0017】
このうち展開部9は、主として、前述したバンプ領域BRのうち、周縁領域SRに形成されたハンダバンプ3とこれらと対応する接続パッド5とを電気的に接続させるために、これらのハンダバンプと接続する配線、特に信号バンプ3Sと信号パッド5Sとを電気的に接続するためにの信号配線(第3接続配線)19等を引き回して配線基板1の周縁方向へ展開(ファンアウト)させるためのものである。一方、図2に示す投影密集領域TMR内では、電源バンプ3Pに接続した電源配線(第1接続配線)15、および、接地バンプ3Gに接続した接地配線(第2接続配線)17がそれぞれ主面1A側から裏面1B側へ向かって厚さ方向に延びている。
【0018】
また、内蔵コンデンサ13は、主として、投影密集領域TMR内において、電源バンプ3Pから延びた電源配線(第1接続配線)15が電源電極層(第1導体層)29、31、33に接続しており、また、接地バンプ3Gから延びた接地配線(第2接続配線)17が接地電極層(第2導体層)30、32、34に接続している。このように各電極層に接続するための電源配線15、接地配線17を投影密集領域TMRに集中させたために電源配線15、接地配線17のインダクタンスを低減できる。
【0019】
また、投影密集領域TMR内においては、上述した通り、電源配線15および接地配線17が集中するために、接地配線17と電源電極層29、31、33とを絶縁するために電源電極層29、31、33に設けられた第1貫通孔29K、31K、33Kも密集して形成されることとなる。同様に、電源配線19と接地電極層30、32、34とを絶縁するために接地電極層30、32、34に設けられた第2貫通孔30K、32K、34Kも密集して形成されることとなる。
【0020】
具体的には、投影密集領域TMR内においては、電源配線15と、これと隣接する接地配線17との間隔は、例えば150μm〜450μm程度に設定されている。したがって、第1貫通孔29K、31K、33K、第2貫通孔30K、32K、34Kとの間隔も、150μm〜450μm程度に設定されている。
【0021】
次に、投影密集領域TMRの周囲に設けられた配線基板内部の周縁領域TSRについて説明する。周縁領域TSRにおいては、展開部9にハンダバンプ3から展開された配線が形成されており、特に、信号バンプ3Sから延びて形成された信号配線19が集中的に配置されている。内蔵コンデンサ13周縁部分においては、信号配線19は、高誘電体層76〜80を貫通する信号ビア19Vを介して、いずれの電極層とも絶縁されつつ、信号パッド5Sとそれぞれ接続されている。
【0022】
信号配線19は、相互の間隔が1mm〜1.5mm程度(例えば1.27mm)に設定されている。このように信号配線19は、電源配線15や接地配線17と比べると、比較的間隔が広くなるように展開部9で展開(ファンアウト)されている。しかし、信号配線19は、高誘電体層76〜80を貫通するので、特に隣接する信号ビア19V同士のキャパシタンスが大きくなり、クロストークノイズが大きくなりがちである。
【0023】
これに対し、本実施形態の配線基板1においては、図3の平面図に示すように、信号ビアV(φ75μm)の間隔1.27mmの場合で、信号ビア19Vの中間に接地ビア18を設けている。なお、高誘電体層76〜80の誘電率は約5000である。このような構造にすることにより、接地ビア18によるシールド効果により、接地ビアを設けない場合の信号ビア間のキャパシタンスである25.8pFと比べ、信号ビア19V間のキャパシタンスを0.16pFまで低減できる。また、クロストークノイズも、接地ビアを設けない場合の数%〜10%から、シールド効果により、0.17%まで低減できる。
【0024】
さらに、本実施形態では、接地ビア18の径(φ300μm)を信号ビア19Vの径(φ75μm)よりも大きくしているので、信号ビア19Vの径と同径にした場合よりも、信号ビア19V間のキャパシタンスおよびクロストークノイズをより効果的に低減することができる。
【0025】
なお、信号ビア19Vと接地ビア18の配置の仕方は、図3の形態に限定されることなく、例えば、図4や図5に示すような配置も採用できる。
すなわち、図4に示した構造では、図3のものと比べて信号ビア19Vがより高密度に形成されている。また、図5に示した構造では、図3や図4に示したものに比べて、接地ビア18が信号ビア19Vを包囲するように列設されており、シールド効果がさらに強化されている。
【0026】
以上説明した通り、コンデンサを内蔵した配線基板において、コンデンサの周囲の高誘電体層を貫通する信号ビア相互間に、接地ビアを設けてあるため、信号ビア相互間の容量およびクロストークノイズを低減できる。さらに、接地ビアの径を信号ビアの径よりも大きくすると、隣接する信号ビア間の容量およびクロストークノイズの低減をより効果的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る配線基板を示す図であり、(a)は平面図であり、(b)は側面図である。
【図2】本発明の実施形態に係る配線基板の部分拡大断面図である。
【図3】本発明の実施形態に係る信号ビアおよび接地ビアの配置を示す平面図である。
【図4】図3とは異なる信号ビアおよび接地ビアの配置を示す平面図である。
【図5】図3、図4とは異なる信号ビアおよび接地ビアの配置を示す平面図である。
【符号の説明】
1 配線基板
3 ハンダバンプ(接続端子)
3P 電源バンプ(第1接続端子)
3G 接地バンプ(第2接続端子)
3S 信号バンプ(第3接続端子)
5 接続パッド(外部接続端子)
5P 電源パッド(第1外部接続端子)
5G 接地パッド(第2外部接続端子)
5S 信号パッド(第3外部接続端子)
9 展開部
13 内蔵コンデンサ
15 電源配線(第1接続配線)
17 接地配線(第2接続配線)
18 接地ビア
19 信号配線(第3接続配線)
19V 信号ビア
29、31、33 電源電極層(第1導電層)
30、32、34 接地電極層(第2電極層)
29K、31K、33K 第1貫通孔
30K、32K、34K 第2貫通孔
76〜80 高誘電体層
Claims (1)
- 主面と裏面とを有する配線基板であって、
上記主面に形成され、ICチップの端子と接続するための多数の接続端子であって、多数の第1接続端子、第2接続端子、および第3接続端子を含み、
上記第1接続端子および第2接続端子の少なくとも一部は、上記第1接続端子と第2接続端子とが密集する密集領域をなして配置された接続端子と、
上記裏面に形成された第1外部接続端子、第2外部接続端子、および第3外部接続端子からなる外部接続端子と、
上記配線基板の内部に、高誘電体層を介して少なくとも上記密集領域を厚さ方向に投影した投影密集領域に積層され、コンデンサの電極を構成する複数の略平板状の導体層であって、
第1貫通孔を有し、電源電位に接続される第1導体層と、
第2貫通孔を有し、接地電位に接続される第2導体層と、
上記第1接続端子と上記第1導体層と上記第1外部接続端子とを接続し、上記第2貫通孔内に位置し、第2導体層と絶縁する第1接続配線と、
上記第2接続端子と上記第2導体層と上記第2外部接続端子とを接続し、上記第1貫通孔内に位置し、第1導体層と絶縁する第2接続配線と、
上記密集領域を厚さ方向に投影した投影密集領域の外側の周縁領域内の高誘電体層を貫通するビア導体を含み、上記第3接続端子と上記第3外部接続端子とを接続する信号伝達用の第3接続配線と、からなり、
上記ビア導体相互間には、上記高誘電体層を貫通する接地電位に接続される接地ビア導体が形成されていることを特徴とする配線基板。
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