JP3533596B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents
配線基板の製造方法Info
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Description
ーホールに樹脂ペーストを充填して穴埋めする配線基板
の製造方法に関し、特に充填した樹脂ペーストを硬化し
た際に、この樹脂の表面が被充填基板の表面から凹むこ
とを防ぐことができる配線基板の製造方法に関する。
配線層を接続するために、スルーホールを形成し、さら
にそのスルーホール内周面にメッキを施してスルーホー
ル導体を形成することが行われている。このような配線
基板を製造するに際して、その上に樹脂絶縁層や配線層
を良好に形成するために、樹脂ペーストを充填して穴埋
めする方法が知られている。
硬化させて、充填樹脂を形成すると、充填樹脂は被充填
基板の表面よりも凹んでしまうことがあった。このよう
に充填樹脂が凹むのは、樹脂ペーストが加熱により流動
化して、被充填基板の表面に沿って濡れ広がり、スルー
ホール内の樹脂ペーストの量が少なくなる、いわゆるブ
リードアウトが発生するためである。このため、このま
ま樹脂ペーストを硬化させると、凹みが発生する。さら
に、樹脂ペーストの硬化収縮があるときは、その硬化収
縮によって凹みが助長されるものと考えられる。
平坦にするためには、新たに樹脂ペーストを塗布して凹
んだ部分に充填し、再度加熱して、新たに塗布した樹脂
ペーストを硬化させる必要があった。なお、この後、硬
化された充填樹脂を被充填基板の表面とが面一となるよ
うに研磨により整面する。つまり、このような製造方法
では、スルーホールの充填のために樹脂ペーストを2回
印刷し、さらに、これに伴い樹脂硬化工程も2回行わな
くてはならないので、作業行程が多く、その結果、配線
基板のコストアップとなる。
じる凹みは、複数のスルーホールが形成されるスルーホ
ール形成領域の最外周において最も顕著に発生すること
がわかった。隣接するスルーホールがあると、その隣接
するスルーホールから滲みだした樹脂ペーストにより、
1つのスルーホールから滲み出す樹脂ペーストの量が制
限されるのに対し、隣接するスルーホールが少ないスル
ーホール形成領域最外周のスルーホールにおいては、滲
み出す樹脂ペーストの量が多くなり、その結果、凹みが
大きくなってしまうからである。
のであって、被充填基板に形成したスルーホールに樹脂
ペーストを充填、穴埋めする場合に、樹脂ペーストを印
刷して加熱硬化させた際に、スルーホール内の充填樹脂
の表面が被充填基板の表面よりも凹むのを防止でき、作
業工程を減らすことにより、安価に製造できるプリント
配線板の製造方法を提供することを目的とする。
裏面間を貫通する複数のスルーホールを被充填基板のう
ちのスルーホール形成領域に形成する工程と、上記表面
側から上記スルーホール内に樹脂ペーストを充填して穴
埋め印刷するとともに、上記表面上に上記樹脂ペースト
と同じ樹脂ペーストを印刷し、ダミー印刷部を形成する
工程と、を含み、上記ダミー印刷部は、少なくとも上記
スルーホール形成領域を包囲して形成され、上記ダミー
印刷部は、複数の島状樹脂ペースト群よりなることを特
徴とする配線基板の製造方法である。その他の解決手段
は、表面と裏面間を貫通し、内周面に導体層が形成され
た複数のスルーホールを被充填基板のうちのスルーホー
ル形成領域に形成する工程と、上記表面側から上記スル
ーホール内に樹脂ペーストを充填して穴埋め印刷すると
ともに、上記表面上に上記樹脂ペーストと同じ樹脂ペー
ストを印刷し、ダミー印刷部を形成する工程と、を含
み、上記ダミー印刷部は、少なくとも上記スルーホール
形成領域を包囲して形成され、上記ダミー印刷部は、複
数の島状樹脂ペースト群よりなることを特徴とする配線
基板の製造方法である。
ールに穴埋め印刷する工程において、本来の目的である
スルーホールに充填されるばかりでなく、スルーホール
形成領域を包囲して、すなわち、最も凹みが発生し易い
スルーホール形成領域の最外周に隣接するように、ダミ
ー印刷部が形成される。したがって、樹脂ペーストを穴
埋め印刷した後、樹脂ペーストを加熱硬化させても、ス
ルーホール内の樹脂の表面が、被充填基板の表面よりも
凹むことがない。
じたのは、前述したように、主にブリードアウトが原因
で、さらに、樹脂の硬化収縮も凹みを助長するものと考
えられる。ところが、本発明では、被充填基板のうち、
スルーホール形成領域を包囲するように、予め樹脂ペー
ストを印刷し、ダミー印刷部を形成しておくため、加熱
時にダミー印刷部の樹脂ペーストも濡れ広がり、特にス
ルーホール形成領域の最外周のスルーホールに充填され
た樹脂ペーストの濡れ広がりが抑制される。その結果、
スルーホール内の樹脂ペーストの減少が抑制される。こ
のため、充填した樹脂ペーストが硬化収縮したとして
も、スルーホール内の充填樹脂の表面が被充填基板の表
面よりも凹むことがない。
面が被充填基板の表面よりも凹んでできた空間を補充
し、平坦化するために、再度樹脂ペーストを塗布し、再
度加熱硬化させる必要がなくなる。このため、樹脂ペー
スト印刷工程および樹脂ペースト硬化工程をそれぞれ1
工程ずつ従来よりも省略することができるため、安価に
配線基板を製造することができる。
に貫通するスルーホールを備える被充填基板であればよ
く、単層の被充填基板であってもよいし、複数層の絶縁
層を積層した被充填基板であってもよい。また、この被
充填基板は、充填樹脂形成後、そのままICチップ等の
電子部品を搭載する配線基板として用いてもよいし、こ
の被充填基板をいわゆるコア基板として用い、この上に
さらに絶縁層および配線層を積層したものをICチップ
等の電子部品を搭載する配線基板として用いてもよい。
ば、ドリルやレーザなどで穿孔する方法が挙げられ、さ
らにスルーホールの内周壁には、スルーホール導体をメ
ッキ等により形成する方法を用いることができる。
ーホールの位置に対応した複数の透孔と、島状ペースト
を形成するための複数の透孔とを形成した印刷用マスク
を用意し、これを被充填基板の上に載置して、その上か
ら樹脂ペーストを印刷するのが好ましい。このようなマ
スクを用いることで、樹脂ペーストのスルーホールへの
充填およびダミー印刷部の形成が容易にできるからであ
る。
きるものであればよいが、被充填基板の熱膨張率と同程
度の熱膨張率であるものが好ましい。熱応力の発生を少
なくできるからである。また、前述したように樹脂硬化
工程の際、スルーホール内の充填樹脂の表面が被充填基
板の表面から凹むのを抑制するために、熱硬化収縮の少
ないものが良い。また、樹脂ペーストの中に、シリカ、
アルミナ等の無機粉末を混入させても良く、さらには、
Cu粉末、Ag粉末等の導体粉末を含有させて導電性を
付与したものでもよい。なお、樹脂ペーストに導電性の
ものを用いる場合には、スルーホール内壁面のスルーホ
ール導体は必ずしも必要ではない。
る表面を研磨して、充填したスルーホールの表面と被充
填基板の表面とが面一になるように加工する。その後、
絶縁層を積層し、さらに、その上に配線層を形成するな
どして、必要に応じて複数層積層して多層配線基板を製
造することができる。
を用いる場合、樹脂印刷充填工程および樹脂硬化工程
後、上記した研磨を行い、その後、エッチング法などに
よって、被充填基板表面に配線層を形成する。表面が金
属層で覆われた被充填基板は、例えば、両面銅張り基板
を用意し、スルーホールを形成し、スルーホール内壁面
を含み基板の全面に無電解メッキ及び電解メッキを施す
ことにより形成される。
する複数のスルーホールを被充填基板のうちのスルーホ
ール形成領域に形成する工程と、上記表面側から上記ス
ルーホール内に樹脂ペーストを充填して穴埋め印刷する
とともに、上記表面上に上記樹脂ペーストと同じ樹脂ペ
ーストを印刷し、ダミー印刷部を形成する工程と、を含
み、上記ダミー印刷部は、少なくとも上記スルーホール
形成領域を包囲して形成され、上記ダミー印刷部は、上
記スルーホール形成領域内のうち、スルーホールの密度
が疎の領域にも形成されることを特徴とする配線基板の
製造方法である。その他の解決手段は、表面と裏面間を
貫通し、内周面に導体層が形成された複数のスルーホー
ルを被充填基板のうちのスルーホール形成領域に形成す
る工程と、上記表面側から上記スルーホール内に樹脂ペ
ーストを充填して穴埋め印刷するとともに、上記表面上
に上記樹脂ペーストと同じ樹脂ペーストを印刷し、ダミ
ー印刷部を形成する工程と、を含み、上記ダミー印刷部
は、少なくとも上記スルーホール形成領域を包囲して形
成され、上記ダミー印刷部は、上記スルーホール形成領
域内のうち、スルーホールの密度が疎の領域にも形成さ
れることを特徴とする配線基板の製造方法である。
等の一つの印刷部でスルーホール形成領域を包囲するも
のであってもよいし、複数の印刷部により包囲するもの
であってもよい。複数の印刷部により包囲する形態とし
ては、それぞれが、円形、楕円形、多角形などの、複数
の島状樹脂ペースト群よりなるものが挙げられる。この
それぞれの島状樹脂ペーストは、スルーホールの開口面
積よりも小さい開口面積のものが好ましい。このため、
印刷用マスクに設けられる透孔は、スルーホール印刷充
填用の透孔の開口面積よりも小さい開口面積の透孔を設
け、島状樹脂ペーストの印刷用に用いるとよい。
ホール形成領域内のうち、スルーホールの密度が疎の領
域にも形成するとよい。スルーホール形成領域内におい
ても、設計に応じてスルーホールの密度が疎の領域が生
じた場合、密度が疎の領域ではスルーホールへ充填する
ための樹脂ペーストの流れ出し量が多くなるため、充填
樹脂の凹みが生じることがある。これに対し、スルーホ
ール領域内においても、スルーホールの密度が疎の領域
にも、ダミー印刷部を形成するとよい。
て、図を参照しつつ説明する。平面視略矩形状で略板形
状をなす被充填基板1の表面から見た平面図を図1に示
し、その部分拡大断面図を図2に示す。この被充填基板
1は、スルーホール形成領域2内に、表面と裏面を貫通
する多数のスルーホール3を備えている。このスルーホ
ール3の内壁面には、スルーホール導体4が形成され、
表面および裏面(図示しない)の金属層5、5を互いに
電気的に接続している。
ド−トリアジン)基板の上下両面に銅箔が貼り付けられ
た両面銅張基板の所定箇所にドリルによりスルーホール
3を穿設し、その後、スルーホール3の内壁面および上
下面の銅箔の表面に無電解銅メッキ、電解銅メッキを施
して形成される。これにより、スルーホール内壁面にス
ルーホール導体4が形成される。
応した穴埋め用透孔7(開口径φ525μm)および後
述するダミー印刷部9を形成するためのダミー印刷部用
透孔8(開口径φ300μm)が形成されたステンレス
製メタルマスク(厚さ100μm)6を用意する。そし
て、図3に示すように、樹脂印刷充填工程において、被
充填基板上にこのマスク6を載置し、その上から、樹脂
ペーストを印刷する。この印刷では、スルーホール3に
樹脂ペースト10を穴埋め充填するのと同時に、ダミー
印刷部9を印刷する。
および図5に示すように、スルーホール3にそれぞれ樹
脂ペースト10が、その一部が被充填基板1の表面から
突出するように充填されている。さらに、被充填基板1
の表面には、印刷面積が略円形状で、略半球状の島状の
ダミー印刷部9が、スルーホール形成領域2を包囲して
印刷される。なお、図4は、被充填基板1の平面図を、
図5は図4の被充填基板1の部分拡大断面図を示してい
る。
ル形成領域内においても、スルーホール3相互の間隔が
疎の領域にも配置する。各スルーホール3の相互の間隔
が広く、一のスルーホール3から間隙1mm以内の近傍
に他のスルーホール3が存在しないところには、その一
のスルーホール3の近傍にダミー印刷部9を形成する。
また、本実施形態では、スルーホール領域の外周に2列
のダミー印刷部9を形成したが、これに限らず、1列で
あってもよいし、また、必要に応じて3列以上のダミー
印刷部を設けても良い。
を120℃にて20分間加熱して、樹脂ペースト10と
ダミー印刷部9を硬化させる(図6参照)。樹脂ペース
ト10およびダミー印刷部9は、この加熱時に、一旦流
動化して被充填基板の表面に沿って濡れ拡がろうとし、
樹脂11が被充填基板1の表面を覆い、またスルーホー
ル3を充填する。この際、本実施形態では、スルーホー
ル形成領域2の外側およびスルーホール領域2内のスル
ーホール3の密度が疎の部分にダミー印刷部を形成した
ので、樹脂11がわずかに濡れ拡がるだけで、すぐに被
充填基板1の表面を覆ってしまう。したがって、従来
は、スルーホール3の内で凹みが生じ易かったスルーホ
ール領域2の最外周のスルーホールや、スルーホール領
域内でスルーホール密度の低い部分においても、凹みが
発生せず、充填した樹脂11が被充填基板1の表面より
も十分に突出した状態にある。このように従来問題とな
っていたブリードアウトが抑制さるため、樹脂11が硬
化しても、その表面が被充填基板の表面よりも凹んだ状
態にはならない。このため、被充填基板1の表面よりも
凹んだ空間を穴埋めするために、再度樹脂ペーストを塗
布し、再度樹脂硬化工程を行う必要はなく、その分安価
に製造することができる。
ンダーによる研磨およびバフ研磨により仕上げ研磨を行
い、超音波洗浄により研磨屑などを除去し、図7に示す
ように、被充填基板1の表面と各スルーホール3内の充
填樹脂12とが面一になり、金属層5が全面に露出する
ように加工する。
基板1の表面を覆っている金属層7を加工して、所定パ
ターンの配線層15を形成する(図8参照)。その後
は、必要に応じて、絶縁層を積層し、さらにその上に配
線層を形成するなど、公知のビルドアップ工法を用い
て、配線基板(図示しない)を完成させる。なお、本実
施形態では、ダミー印刷部9が島状の樹脂ペーストから
なり、直径φ100〜350μmの略円形であるため、
ダミー印刷部9の印刷後、マスク6を剥がす際の型離れ
が非常によい。従って、連続生産が可能で歩留りが高
い。
説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるもので
はなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適
用できることは言うまでもない。例えば、上記実施形態
では、樹脂を充填した後で、金属層5をエッチングして
配線層15を形成したが、樹脂ペーストを印刷する前
に、金属層5をエッチングして配線層15を形成してお
いてもよい。また、スルーホール形成領域2は、被充填
基板1の上に複数形成されてもよい。その場合には、複
数のスルーホール形成領域2をそれぞれ包囲するように
ダミー印刷部9を形成すればよい。
刷充填工程前の状態を示す平面図である。
る。
ーストを印刷する樹脂印刷充填工程を示す説明図であ
る。
刷充填工程後の状態を示す平面図である。
る。
化工程後の状態を示す部分拡大断面図である。
程後の状態を示す部分拡大断面図である。
形成後の状態を示す部分拡大断面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 表面と裏面間を貫通する複数のスルーホ
ールを被充填基板のうちのスルーホール形成領域に形成
する工程と、 上記表面側から上記スルーホール内に樹脂ペーストを充
填して穴埋め印刷するとともに、上記表面上に上記樹脂
ペーストと同じ樹脂ペーストを印刷し、ダミー印刷部を
形成する工程と、を含み、 上記ダミー印刷部は、少なくとも上記スルーホール形成
領域を包囲して形成され、 上記ダミー印刷部は、複数の島状樹脂ペースト群よりな
ることを特徴とする配線基板の製造方法。 - 【請求項2】 表面と裏面間を貫通し、内周面に導体層
が形成された複数のスルーホールを被充填基板のうちの
スルーホール形成領域に形成する工程と、 上記表面側から上記スルーホール内に樹脂ペーストを充
填して穴埋め印刷するとともに、上記表面上に上記樹脂
ペーストと同じ樹脂ペーストを印刷し、ダミー印刷部を
形成する工程と、を含み、 上記ダミー印刷部は、少なくとも上記スルーホール形成
領域を包囲して形成され、 上記ダミー印刷部は、複数の島状樹脂ペースト群よりな
ることを特徴とする配線基板の製造方法。 - 【請求項3】 表面と裏面間を貫通する複数のスルーホ
ールを被充填基板のうちのスルーホール形成領域に形成
する工程と、 上記表面側から上記スルーホール内に樹脂ペーストを充
填して穴埋め印刷するとともに、上記表面上に上記樹脂
ペーストと同じ樹脂ペーストを印刷し、ダミー印刷部を
形成する工程と、を含み、 上記ダミー印刷部は、少なくとも上記スルーホール形成
領域を包囲して形成され、 上記ダミー印刷部は、上記スルーホール形成領域内のう
ち、スルーホールの密度が疎の領域にも形成され ること
を特徴とする配線基板の製造方法。 - 【請求項4】 表面と裏面間を貫通し、内周面に導体層
が形成された複数のスルーホールを被充填基板のうちの
スルーホール形成領域に形成する工程と、 上記表面側から上記スルーホール内に樹脂ペーストを充
填して穴埋め印刷するとともに、上記表面上に上記樹脂
ペーストと同じ樹脂ペーストを印刷し、ダミー印刷部を
形成する工程と、を含み、 上記ダミー印刷部は、少なくとも上記スルーホール形成
領域を包囲して形成され、 上記ダミー印刷部は、上記スルーホール形成領域内のう
ち、スルーホールの密度が疎の領域にも形成され ること
を特徴とする配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18059099A JP3533596B2 (ja) | 1999-06-25 | 1999-06-25 | 配線基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18059099A JP3533596B2 (ja) | 1999-06-25 | 1999-06-25 | 配線基板の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003314584A Division JP2004007001A (ja) | 2003-09-05 | 2003-09-05 | 配線基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001007514A JP2001007514A (ja) | 2001-01-12 |
JP3533596B2 true JP3533596B2 (ja) | 2004-05-31 |
Family
ID=16085933
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18059099A Expired - Lifetime JP3533596B2 (ja) | 1999-06-25 | 1999-06-25 | 配線基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3533596B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103987190A (zh) * | 2014-05-12 | 2014-08-13 | 浪潮电子信息产业股份有限公司 | 一种优化差分过孔阻抗的方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE60312947T2 (de) * | 2002-09-24 | 2007-12-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma | Druckplatte, leiterplatte und verfahren zum drucken einer leiterplatte |
JP3972902B2 (ja) * | 2003-12-26 | 2007-09-05 | 松下電器産業株式会社 | 回路基板の製造方法および製造装置 |
-
1999
- 1999-06-25 JP JP18059099A patent/JP3533596B2/ja not_active Expired - Lifetime
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---|---|---|---|---|
CN103987190A (zh) * | 2014-05-12 | 2014-08-13 | 浪潮电子信息产业股份有限公司 | 一种优化差分过孔阻抗的方法 |
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---|---|
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