JP3507632B2 - 回折格子レンズ - Google Patents

回折格子レンズ

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JP3507632B2
JP3507632B2 JP24505396A JP24505396A JP3507632B2 JP 3507632 B2 JP3507632 B2 JP 3507632B2 JP 24505396 A JP24505396 A JP 24505396A JP 24505396 A JP24505396 A JP 24505396A JP 3507632 B2 JP3507632 B2 JP 3507632B2
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    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
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    • G02OPTICS
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    • G11B7/135Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
    • G11B7/1353Diffractive elements, e.g. holograms or gratings

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光等を極小
スポットに集束させる回折格子レンズに係わり、特に光
ディスク用集束レンズとして用いるに適した回折格子レ
ンズ及びこれを用いた光ディスク装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、ビデオディスクやCD等の再生専
用ディスクは勿論のこと、追記形や書換形等の記録・再
生可能ディスクにおいては、記録情報の高密度化が益々
要求されている。そのためには、レーザ光を極小スポッ
トに集束させることのできる光源及び光学系が必要であ
る。
【0003】一般に、光源の波長λ及び集束レンズの開
口数NAに対して、集束された光の回折限界スポット径
sは、 s=c・λ/NA …(1) で与えられる。ここでcは、例えばガウス分布で強度が
1/e2 になる直径をとった場合0.67となる。一般
に、レンズの開口数は最大でも1であるから、上式から
分かるように、sはcλより小さくすることはできな
い。
【0004】極小スポットを得る有効な方法は光源の波
長λを短くすることであるが、光源として小型の半導体
レーザを用いる場合、短波長化には限度がある。また、
紫外域より短波長になると、レンズ材料の透明領域の制
約から従来の光学系を用いることができなくなってしま
う。
【0005】上記(1)式で示された限界を越える手法
として、ソリッドイマージョンレンズ(SIL)が提案
されている(例えば、B.D.Terris et al.:Appl.Phys.Le
tt.,65(1994)p.388 )。これは、図12に示したように
SIL中で集束された光のスポット径が、空気中での集
束スポット径より小さくできることを利用したものであ
る。スポット径をこのように小さくできるのは、屈折率
nが1より大きい媒質の中では開口数(=n sinθ)を
1より大きくできることによる。
【0006】このような光学系では、SILの表面に集
束された光はそのまま空気中に伝搬することはできず、
一部はいわゆるエバネッセント波となる。SILによる
極小スポットを利用するには、少なくともこのエバネッ
セント波を用いる必要があるため、ディスク基板はSI
Lの焦点近傍に保たなければならない。
【0007】しかしながら、この種の装置にあっては次
のような問題があった。即ち、図12のSILは曲率が
大きく無収差のレンズが必要であり、その作成は極めて
困難である。また、レンズが必然的に厚くなるため、小
型化や他の部品との位置合わせも難しいという問題点が
ある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】このように従来、光源
の短波長化の必要なしに極小スポットを得る手法として
SILが注目されているが、極小スポットを得るための
SILは作成が難しく、また光学系の小型化や他の部品
との位置合わせも難しいという問題があった。
【0009】本発明は、上記事情を考慮してなされたも
ので、その目的とするところは、光源の短波長化の必要
なしにスポット径の極小化をはかることができ、かつ小
型化,他の部品との集積化も容易な回折格子レンズを提
供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
(構成)本発明の骨子は、開口数が1より大きい回折格
子レンズにより、極小スポットへの集光を実現すること
にある。
【0011】 即ち本発明は、一面及び他面を有し屈折
率が1より大きい透光性基板と、この透光性基板の一面
に形成された回折格子からなるレンズ効果を有する回折
格子パターンとを具備してなる回折格子レンズにおい
て、前記回折格子パターンは、前記基板の一面側に入射
された光線束を該基板の他面側に設けた焦点に集束させ
ると共に、該焦点を頂点として算出した開口数が1より
大きくなるように形成され、且つ前記回折格子パターン
の中央部には回折格子が形成されていない領域が設けら
れていることを特徴とする。また本発明は、一面及び他
面を有し屈折率が1より大きい透光性基板と、この透光
性基板の一面に形成された回折格子からなるレンズ効果
を有する第1及び第2の回折格子パターンとを具備して
なる回折格子レンズにおいて、第1の回折格子パターン
は、前記基板の一面側に入射された光線束を該基板の他
面側に設けた焦点に集束させると共に、該焦点を頂点と
して算出した開口数が1より大きくなるように形成さ
れ、第2の回折格子パターンは、第1の回折格子パター
ンの内側に設けられ、第1の回折格子パターンとは異な
るレンズ作用を有することを特徴とする回折格子レン
ズ。また本発明は、一面及び他面を有し屈折率が1より
大きい透光性基板と、この透光性基板の一面に形成され
た回折格子からなるレンズ効果を有する複数の回折格子
パターンとを具備してなる回折格子レンズにおいて、前
記各回折格子パターンは、前記基板の一面側に入射され
た光線束を該基板の他面側に設けた焦点に集束させると
共に、該焦点を頂点として算出した開口数が1より大き
くなるように形成されていることを特徴とする。
【0012】 ここで、本発明の望ましい実施態様とし
ては次のものがあげられる。 (1) 回折格子パターンが不等間隔同心円よりなること。(2) 回折された光が基板と空気との界面で全反射領域を
満たす角度となる領域のみに回折格子が形成されている
こと。(3) 複数の回折格子パターンが隣接して形成されている
こと。 (作用) 本発明によれば、屈折率が1より大きい透明基板の一主
面上に回折格子パターンを形成し、空気中より入射され
た光を基板側に回折させ、主面とは反対側の面近傍にお
ける焦点又は基板外側の仮想焦点に集束させるように
し、かつ回折された集束光の開口数が1より大きくなる
ようにしているので、入射光を空気中での回折限界より
小さい極小スポットに絞ることができる。また、回折格
子パターンは平面的に形成できるので、SILとは異な
り小型化が可能で、他の部品との集積化も容易となる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図示の実施
形態によって説明する。 (第1の実施形態)図1は、本発明の第1の実施形態に
係わる回折格子レンズの概略構成を示す平面図と断面図
である。
【0014】図中10は透明基板であり、この基板10
の表面にレンズ作用を有する回折格子のパターン11が
形成されている。この回折格子は、ブレーズ化された不
等間隔同心円からなり、入射光12を回折させて反対側
の基板表面の焦点に集束させるように、即ちレンズ作用
を有するようにパターンが設計されている。ここで、透
明基板10の屈折率をnとすると、回折格子レンズの開
口数NAは、 NA=n・sinθ …(2) で与えられる。従って、焦点面におけるスポット径は前
記(1)式から、 s=c・λ/(n・sinθ) …(3) となる。ここで、 sinθ>1/n …(4) となるようにθを設定すれば、(3)式のスポット径s
は空気中での回折限界スポット径cλより小さくできる
ことは明らかである。例えばn=1.8の場合、θ>3
4゜にすれば、この条件が満たされる。
【0015】このような回折格子レンズは、前記図12
のレンズに比べて平板で構成でき、作成も容易であると
いう利点がある。即ち、回折格子パターンは、例えば電
子ビーム描画やNC旋盤等を用いて容易に形成できる。
さらに、同心円パターンであるため、基板を直接NC旋
盤で加工することも可能であるし、金型を用いて複製す
ることも可能である。
【0016】次に、回折格子パターンの具体例を、図2
を用いて説明する。図2は、レンズ13により基板表面
からfの距離に集束するように入射してきた光を、hの
距離にある反対側基板表面に集束するように回折させる
回折格子レンズを示したものである。この回折格子レン
ズの中心からrの距離における格子位相Φは、次式で与
えられる。
【0017】 Φ=(2π/λ){(n22 +r21/2 −(f2 +r21/2 −(nh−f)}…(5) 中心からm番目の格子半径は Φ=2πm …(6) を満たすrの位置となる。例として、図1のように入射
光が平行光の場合、即ちf=∞の場合には、m番目の格
子半径rm は、 rm ={(mλ)2 +2mλ(nh)}1/2 …(7) で与えられる。
【0018】このように本実施形態によれば、透明基板
10上に回折格子パターン11を形成し、レンズの開口
数を1より大きくしているので、光源の短波長化の必要
なしに極小スポットへの集光を実現することができる。
そしてこの場合、従来のSIL等とは異なり平面的に構
成できることから、小型化をはかることができ、他の部
品との集積化も容易である。 (第2の実施形態)図1、図2は高い回折効率が得られ
るように、ブレーズ化された格子形状となっているが、
必ずしもこのようなブレーズ化格子でなくてもよい。例
えば、図3に示すように、透明基板10の表面に2値の
回折格子パターン21を設けたものであっても良い。
【0019】このような2値の回折格子は、LSIの製
造プロセスと同様に、マスクを用いたリソグラフィ技術
で容易に作成可能であり、しかも量産にも適している。 (第3の実施形態)図1〜図3は回折された集束光の焦
点位置が基板反対側表面にある場合を示したが、光ディ
スクシステムに用いる場合には、ディスクや保護層の厚
さを考慮して回折格子レンズを設計する必要がある。即
ち、図4に示すようにディスク裏面側から光を照射する
場合は、ディスク15の厚さを考慮して回折格子レンズ
を設計する必要がある。
【0020】また、ディスク表面側から光を照射する場
合には、ディスク15の記録面上の保護層16の厚さを
考慮して回折格子レンズを設計する必要がある。保護層
16の厚さが無視できる場合には、図1〜図3の回折格
子レンズをそのまま用いることができる。 (第4の実施形態)図1〜図3の実施形態では、回折格
子領域が円形である場合を示したが、図5に示したよう
に回折格子領域は矩形でも良い。このような矩形領域の
回折格子が容易に作成できることは本発明の大きな特徴
である。
【0021】さらに、この回折格子レンズは、図6に示
すように複数個(例えば3個)を集積化することも容易
である。即ち、格子形状を2値の回折格子パターン(2
1a,21b,21c)とすれば、LSIの製造プロセ
スと同様にマスクを用いたリソグラフィ技術で容易に作
成することができる。そして、図6の回折格子レンズ
は、複数のトラックに対して同時に記録又は再生を行う
マルチトラック記録/再生に使用することができる。 (第5の実施形態)図7は、本発明の第5の実施形態に
係わる回折格子レンズを示す平面図と断面図である。回
折格子レンズの基本パターンは図3に示すものと同じで
あるが、これに加えて本実施形態では、回折格子の位相
がΛの周期で1次元的に変調されている。これにより、
回折されたビームは複数の焦点に集束される。また、焦
点の個数は位相を変調する関数で変えることができる。
【0022】図7に示すように3焦点を持つようなレン
ズとすることにより、3つのビームを用い、中心のビー
ムで情報の読取りを行い、両側のビームでトラッキング
を行う、3ビーム法(ツインスポット方式)によるトラ
ッキング制御が可能となる。この場合の焦点位置の間隔
dに対し、位相変調の周期Λは、 Λ=nλh/d …(8) で与えれば良い(λは波長、nは回折格子レンズ基板の
屈折率)。 (第6の実施形態)以上のような回折格子レンズにおい
ては、回折された光の一部は基板から外へ伝搬すること
はなくエバネッセント光となる。そのため、このように
して絞られた極小スポットを利用するためには、エバネ
ッセント光との相互作用のある距離までディスク面を近
付けるように、位置を制御することが重要である。
【0023】この距離が大きくなると、エバネッセント
光は急激に減衰し一部の伝搬光のみがディスク面に達す
ることになるので、もはや回折限界以下のスポットは利
用できなくなる。この場合に伝搬光成分はそれ程大きく
は減衰しないので、反射光を検出して焦点位置を検出し
ようとする場合には伝搬光成分が邪魔になる場合があ
る。
【0024】図8は、このような不要の伝搬光成分への
回折をなくすようにしたもので、回折格子パターン41
はr>r0 の領域のみに形成されている。ここで、 r0 =h・tanθ0 …(9) sinθ0 =1/n …(10) である。(9),(10)式より r0 =h/(n2 −1)1/2 …(11) となる。 (第7の実施形態)図8の回折格子パターンのない領域
には、焦点検出やトラッキング検出のための他の回折格
子パターンを形成しても良い。図9は、そのパターンの
例を示したものであり、回折格子パターン41の形成さ
れていない半径r0 の領域に回折格子パターン42が形
成されている。この例では回折格子パターン42は、デ
ィスク面からの反射光を非点収差を持つようなビームに
回折させるように、円形ではなく楕円形に形成されてい
る。これにより、いわゆる非点収差法による焦点検出/
制御が可能となる。
【0025】図10は、本実施形態の回折格子レンズを
用いた光学系の例を示したものである。図中40は表面
に集束用回折格子レンズ及び非点収差回折格子レンズの
各パターンが形成されている基板(本実施形態の回折格
子レンズ)、51は半導体レーザ、52はコリメーショ
ンレンズ、53はビームスプリッタ、54は光ディス
ク、55は4分割光検出器、56は差動アンプである。
【0026】このような構成において、ディスク54が
合焦点位置にある場合、ディスク54からの戻り光束の
形状は、4分割光検出器55上で円形となり差動アンプ
出力のエラー電圧は0となる。焦点ずれを生じると、戻
り光束の形状は長円形となり、フォーカスエラー電圧が
発生する。このようにしてフォーカス制御を行うことが
できる。そしてこの場合、従来の非点収差法では必須で
あった円筒レンズを省略することが可能となる。また、
4分割光検出器55の検出信号を基にトラッキング制御
を行うことも可能である。
【0027】なお、焦点検出法は、図10に示した非点
収差法に限るものではなく、種々の方法に対応させて回
折格子パターンを設計することができる。いずれにして
も、2種類以上の異なる機能の回折格子レンズを1枚の
基板の上に形成できることは本発明の大きな特長であ
る。 (第8の実施形態)第7の実施形態では、r<r0 の領
域に集束用回折格子レンズとは異なる非点収差回折格子
レンズのパターンを形成したが、焦点検出やトラッキン
グ検出のための異なる回折格子パターンを形成する領域
はr<r0 の領域に限定する必要はない。
【0028】具体的には、図11(a)のように集束用
回折格子レンズのパターン41の外側に非点収差回折格
子レンズのパターン62を設けてもよいし、図11
(b)のように内側と外側に収差回折格子レンズのパタ
ーン62a,62bをそれぞれに設けてもよい。
【0029】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
レーザ光を空気中での回折限界より小さい極小スポット
に絞ることができ、かつ小型化が可能で、他の部品との
集積化も容易な回折格子レンズを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に係わる回折格子レンズの概略
構成を示す図。
【図2】第1の実施形態の回折格子レンズにおける格子
位相を説明するための図。
【図3】第2の実施形態に係わる回折格子レンズの概略
構成を示す図。
【図4】第3の実施形態に係わる回折格子レンズの概略
構成を示す図。
【図5】第4の実施形態に係わる回折格子レンズの概略
構成を示す図。
【図6】第4の実施形態の回折格子レンズを複数個集積
化した構成を示す図。
【図7】第5の実施形態に係わる回折格子レンズの概略
構成を示す図。
【図8】第6の実施形態に係わる回折格子レンズの概略
構成を示す図。
【図9】第7の実施形態に係わる回折格子レンズの概略
構成を示す図。
【図10】第7の実施形態の回折格子レンズの応用例を
示す図。
【図11】第8の実施形態に係わる回折格子レンズの概
略構成を示す図。
【図12】従来のSILを示す図。
【符号の説明】
10…透明基板 11,21,31,41…回折格子レンズパターン 12…入射光 13…レンズ 15…光ディスク基板 16…保護層 42,62…非点収差回折格子レンズパターン 51…半導体レーザ 52…コリメーションレンズ 53…ビームスプリッタ 55…4分割光検出器 56…差動アンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 7/135

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一面及び他面を有し屈折率が1より大きい
    透光性基板と、この透光性基板の一面に形成された回
    格子からなるレンズ効果を有する回折格子パターンとを
    具備してなり、 前記回折格子パターンは、前記基板の一面側に入射され
    た光線束を該基板の他面側に設けた焦点に集束させると
    共に、該焦点を頂点として算出した開口数が1より大き
    くなるように形成され、且つ前記回折格子パターンの中
    央部には回折格子が形成されていない領域が設けられて
    いることを特徴とする回折格子レンズ。
  2. 【請求項2】一面及び他面を有し屈折率が1より大きい
    透光性基板と、この透光性基板の一面に形成された回
    格子からなるレンズ効果を有する第1及び第2の回折格
    子パターンとを具備してなり、 第1の回折格子パターンは、前記基板の一面側に入射さ
    れた光線束を該基板の他面側に設けた焦点に集束させる
    と共に、該焦点を頂点として算出した開口数が1より大
    きくなるように形成され、第2の回折格子パターンは、
    第1の回折格子パターンの内側に設けられ、第1の回折
    格子パターンとは異なるレンズ作用を有することを特徴
    とする回折格子レンズ。
  3. 【請求項3】一面及び他面を有し屈折率が1より大きい
    透光性基板と、この透光性基板の一面に形成された回
    格子からなるレンズ効果を有する複数の回折格子パター
    ンとを具備してなり、 前記各回折格子パターンは、前記基板の一面側に入射さ
    れた光線束を該基板の他面側に設けた焦点に集束させる
    と共に、該焦点を頂点として算出した開口数が1より大
    きくなるように形成されていることを特徴とする回折格
    子レンズ。
  4. 【請求項4】前記回折格子パターンは、不等間隔同心円
    に形成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れ
    かに記載の回折格子レンズ。
  5. 【請求項5】前記回折格子は、該回折格子で回折された
    光が前記基板と空気との界面で全反射となる領域のみに
    形成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか
    に記載の回折格子レンズ。
  6. 【請求項6】請求項1〜5のいずれかに記載の回折格子
    レンズを光学系の一部に用いたことを特徴とする光学装
    置。
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