JP3501183B2 - 半導体集積回路の内部電源電圧供給回路 - Google Patents

半導体集積回路の内部電源電圧供給回路

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  • Control Of Electrical Variables (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路に関し、
特に、高集積メモリに採用される技術であって、外部電
源電圧を所定のレベルにして内部電源電圧を発生し供給
する内部電源電圧供給回路(internal Vcc generator)
に関する。
【0002】
【従来の技術】最近の飛躍的な半導体素子製造技術の発
展により、メモリに代表される半導体集積回路の集積度
はますます向上している。このような高集積の集積回路
に採用される技術の1つに、線幅のより小さくなった各
信号線を用いて製造される素子の信頼性を高くし、また
素子の動作電圧の変化に従う特性を安定化させるために
提案された内部電源電圧供給回路がある。この技術は、
内部電源電圧供給回路を集積回路に内蔵して、それによ
り外部から印加される外部電源電圧を電圧降下させて内
部電源電圧を発生して供給することで、集積回路内部に
は外部電源電圧が変化しても一定レベルの電源電圧が供
給されるようにした技術で、現在では広く採用されてい
る。
【0003】このような内部電源電圧供給回路には、よ
く知られているように、外部電源電圧を入力として所定
の内部電源電圧を出力する内部電源ドライバ回路、外部
電源電圧を入力としてその入力レベルが所定のレベルに
なるか否かを判断するための参照信号として基準電圧を
発生する基準電圧発生回路、そして内部電源ドライバ回
路を通じて出力される内部電源電圧が所定のレベルを維
持するか否かを検出する検出回路等が必須的に備えられ
る。このような構成において、集積回路内には内部電源
ドライバ回路から内部電源電圧の供給が行われ、したが
って内部電源ドライバ回路は、外部電源電圧の印加によ
り正確で且つ安定した内部電源電圧を供給しなければな
らない。
【0004】これに関連して、図7に、現在の最も一般
的な内部電源電圧供給回路における内部電源ドライバ回
路を示す。この回路構成は、全体的にみると、基準信号
SREF及び内部電源電圧int.Vccを差動入力と
した差動増幅器からなる比較器の構成であることが分か
る。
【0005】基準信号REFは例えばBGR(band gap
reference)回路のような基準電圧発生回路から出力さ
れる基準信号で、動作電圧や温度変化等にあまり影響さ
れず一定の電圧で供給される信号である。BGR回路に
関しては、本願出願人による韓国特許出願第91−10
193号『基準電圧発生回路』、あるいは、Suresh M.
Menon の米国特許第4,795,918号等に詳細に開
示されている。そして基準信号SREF(level Shifti
ng REF)は、基準信号REFをより高い電圧にレベ
ル変換した信号であり、基準信号REFの電圧が実際に
使用される内部電源電圧int.Vccのレベルより低
いので、その基準電圧レベルを一定な比率で高めた信号
である。
【0006】図7の回路の動作特性を簡単に説明すると
次のようなものとなる。集積回路がパワーアップ(電源
ON)されると外部電源電圧ext.Vccが供給さ
れ、基準信号SREFをゲートに受けるNMOSトラン
ジスタ10の電流により接続ノード6の電圧は接地電圧
GND端へ放電される。これによりPMOSドライバ1
8が導通して出力ノードとしての内部電源ノード20が
充電される。そして、内部電源ノード20の電圧が上昇
して基準信号SREFの電圧より高くなると、NMOS
トランジスタ12がON・OFFする結果、内部電源電
圧int.Vccが所定の電圧レベルに維持される。
【0007】このような内部電源ドライバ回路の構成で
は、比較器としての出力を負帰還(negative feedbac
k)してあり、つまり比較器の入力を仮想短絡(virtual
shor:V+=V−,I=0)させる概念をそのまま利
用している。したがって、基準信号SREFの電圧は内
部電源電圧int.Vccと同じとされ、集積回路内全
体に供給される電源電圧はPMOSドライバ18を通じ
て供給されるようになっている。そのため、内部電源電
圧を駆動するPMOSドライバ18のサイズを大きく
し、その動作制御を行う差動増幅器(2、4、10、1
2、16)の電流レベル、特にNMOSトランジスタ1
6を通じて流れる電流レベルを、待機電流抑制のために
相対的に小さくする必要がある。その結果として、PM
OSドライバ18のリアクションタイム、すなわちPM
OSドライバ18を制御するゲート制御信号が基準信号
SREFと内部電源電圧int.Vccとの間の電圧差
により変化する際に必要な時間が長くなってしまう。
【0008】このような現象により、集積回路の重要な
動作変換点で内部電源電圧int.Vccが不必要に変
動し得ることになる。例えばメモリの場合、メモリが非
選択状態にあると仮定すると内部電源ノード20から流
れる電流はほとんどないので、PMOSドライバ18の
ゲートの接続ノード6はPMOSドライバ18を非導通
化させるレベルの電圧となる。そして非選択状態から選
択状態に変換すると、内部電源ノード20から流れる電
流が急激に増加して接続ノード6によりPMOSドライ
バ18が導通となる。このとき、内部電源ノード20へ
電流を供給するまでに上記のような理由から一定の時間
τ1を要するので、この時間τ1の間に内部電源電圧i
nt.Vccのレベルがダウンしてしまいメモリの動作
に影響する。また逆に、メモリが選択状態から非選択状
態に移る場合には、接続ノード6の制御電圧によりPM
OSドライバ18の電流が制御されるまでに時間τ1を
要するため、その間に余分な電流が流れて内部電源電圧
int.Vccの電圧レベルが外部電源電圧ext.V
ccのレベルへキックアップ(kick−up)することにな
ってしまう。
【0009】図8の電圧波形図に、このような現象を説
明する図7の回路の動作特性を示す。図2(A)を参照
すると分かるように、動作状態に応じて時間τ1により
内部電源電圧int.Vccは変動し、特に時点t1で
は、内部電源電圧int.Vccが外部電源電圧ex
t.Vccのレベルへキックアップしている。このよう
に内部電源電圧int.Vccがキックアップを起こす
と、図7の回路では、これを放電して待機電流とするま
でかなりの時間を要する。これは、しばらくの間内部電
源電圧int.Vccのレベルが定められたレベルより
高く維持される結果を招くので、信頼性に影響するおそ
れがある。さらには、上記のような時間τ1の存在は集
積回路のチップ選択信号バーCSの遷移時間の長短によ
り動作速度が変化するという問題を発生させる。
【0010】また、図7の回路では、外部電源電圧ex
t.Vccと内部電源電圧int.Vccの各電圧が近
いレベルにある場合、差動増幅器(2、4、10、1
2、16)の差動利得が減少してしまい、時間τ1がよ
り長くなる。このようになると、接続ノード6がPMO
Sドライバ18を常に導通させる方へバイアスをかける
ことになり、DC曲線に内部電源電圧int.Vccの
キックアップ現象が現れやすくなる。図9にそのキック
アップ現象の電圧波形を示す。このような現象は特に、
外部電源電圧ext.Vccのレベルが3V程度にあ
り、内部電源電圧int.Vccを3Vとして動作する
ような場合に深刻となる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】以上のような従来技術
に着目して、本発明の目的は、信頼性の高い内部電源電
圧供給回路を提供することにある。具体的には、第1
に、内部電源電圧のキックアップ現象を防止できるよう
な内部電源電圧供給回路を提供する。第2に、内部電源
電圧の変動に起因した内部回路の動作速度低下を防止で
きるような内部電源電圧供給回路を提供する。第3に、
集積回路(チップ)の選択・非選択切り換えによる内部
電源電圧のレベル降下、上昇現象を極力抑制できるよう
な内部電源電圧供給回路を提供する。第4に、パワーア
ップ等に際して継続的に差動増幅動作を遂行してより安
定的な内部電源電圧を供給できるような内部電源ドライ
バ回路を有する内部電源電圧供給回路を提供する。
【0012】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明による内部電源電圧供給回路は、内部電
源ドライバ回路への入力にオフセットを発生させるオフ
セット発生回路を備え、このオフセットに対応してドラ
イバから内部電源電圧を出力するようにする。また、オ
フセット発生回路によるオフセット電圧に対応させて内
部電源電圧を電圧変化させるパワーアップ制御回路を設
け、差動増幅器を常時アクティブ状態に維持するように
する。さらに、基準信号及び内部電源電圧を所定レベル
電圧降下させて差動増幅器の差動入力とするレベルダウ
ン回路を設け、外部電源電圧より低い中間レベルで比較
動作を行えるようにして外部電源電圧と内部電源電圧の
レベルが近い場合でもキックアップ現象を防止できるよ
うにする。
【0013】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付の図面を
参照して詳細に説明する。尚、図面中の同じ部分には可
能限り同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
【0014】本明細書で用いている『内部電源ドライバ
回路』は、実質的に内部電源電圧int.Vccを出力
するPMOSドライバと、このPMOSドライバにより
出力される内部電源電圧int.Vcc及び基準信号を
差動入力として比較し差動増幅を行う差動増幅器と、を
少なくとも含んだ回路を意味するものとする。尚、当然
ながら、NMOS、PMOSの各電界効果トランジスタ
はユニポーラ素子である。
【0015】図1に、本発明による内部電源電圧供給回
路における内部電源ドライバ回路の構成例を概略的に示
す。発生される内部電源電圧int.Vccは外部電源
電圧ext.Vccを所定レベル電圧降下させたもので
あり、また、基準信号SREFは、内部電源電圧in
t.Vccに相応する電圧を有し、内部電源電圧in
t.Vccのレベルを感知するための参照信号として使
用される信号である。
【0016】本実施例の内部電源電圧供給回路は、基準
信号SREFを受けてレベルダウンさせるための第1レ
ベルダウン回路(LDS:level down shifter)26
と、内部電源電圧int.Vccを受けてレベルダウン
させるための第2レベルダウン回路28と、第1レベル
ダウン回路26及び第2レベルダウン回路28の各出力
信号を入力とし、これらに応答して差動入力にオフセッ
トを発生するオフセット発生回路24と、このオフセッ
ト発生回路24の出力に応答して内部電源電圧int.
Vccを発生する内部電源ドライバ回路22と、基準信
号SREF及び内部電源電圧int.Vccを入力と
し、パワーアップ時等に電源電圧の変動を防止するため
基準信号SREF及び内部電源電圧int.Vccの各
電圧を調節するパワーアップ制御回路30と、から構成
される。
【0017】図1に示すように、この実施例ではオフセ
ット発生回路24を内部電源ドライバ回路22内に含め
た構成としている(具体的には後述する)が、特にこれ
に限定されるものではなく、独立した回路として設計す
ることも可能である。
【0018】図2に、図1のような内部電源電圧供給回
路の具体例を示す。同図に示す基準信号REFは、例え
ば上述の従来例と同様にして発生された温度等の変動に
鈍感な特性を有する基準信号であり、基準信号SREF
はその基準信号REFを増幅して得た基準信号である。
【0019】この例の内部電源電圧供給回路は、内部電
源ドライバ回路22として、チャネルが外部電源電圧e
xt.Vcc端と接続ノード36との間に形成され、ゲ
ートが接続ノード38に接続されたPMOSトランジス
タ32と、チャネルが外部電源電圧ext.Vcc端と
接続ノード38との間に形成され、ゲートが接続ノード
38に接続されたPMOSトランジスタ34と、接続ノ
ード36にドレインが接続されたNMOSトランジスタ
40と、接続ノード38にドレインが接続されたNMO
Sトランジスタ42と、チャネルがNMOSトランジス
タ40、42の各ソースと接地電圧GND端との間に形
成され、ゲートに基準信号REFを受けるNMOSトラ
ンジスタ50と、チャネルが外部電源電圧ext.Vc
c端と内部電源ノード60との間に形成され、ゲートが
接続ノード36に接続されたPMOSドライバ54と、
を備えている。
【0020】また、第1レベルダウン回路26として、
基準信号SREFをレベルダウンさせてNMOSトラン
ジスタ40のゲートが接続された接続ノード46に出力
するダイオード44、そして、第2レベルダウン回路2
8として、内部電源ノード60における内部電源電圧i
nt.VccをレベルダウンさせてNMOSトランジス
タ42のゲートが接続された接続ノード58に出力する
ダイオード56を備える。そしてさらに、チャネルが接
続ノード46と接地電圧GND端との間に形成され、ゲ
ートに基準信号REFを受けるNMOSトランジスタ4
8と、チャネルが接続ノード58と接地電源GND端と
の間に形成され、ゲートに基準信号REFを受けるNM
OSトランジスタ52と、を有し、パワーアップ制御回
路30として、基準信号SREFをソースに受け、接続
ノード66にドレイン及びゲートが共通接続されたPM
OSトランジスタ62と、内部電源電圧int.Vcc
をソースに受け、接続ノード66にゲートが接続される
と共に接続ノード68にドレインが接続されたPMOS
トランジスタ64と、接続ノード66と接地電圧GND
端との間にチャネルが形成され、基準信号REFをゲー
トに受けるNMOSトランジスタ70と、接続ノード6
8と接地電源GND端との間にチャネルが形成され、基
準信号REFをゲートに受けるNMOSトランジスタ7
2と、内部電源ノード60と接地電源GND端との間に
コレクタ−エミッタが接続されると共に接続ノード68
にベースが接続されたNPN形バイポーラトランジスタ
74と、を備えている。
【0021】この内部電源電圧供給回路において、オフ
セット発生回路24としては実質的にNMOSトランジ
スタ40、42(NMOSトランジスタ50を含めても
よい)が該当する。また、NMOSトランジスタ48、
52は、ノード46、58の電圧が負荷の変動に敏感に
反応して変化するのを防止するために設けられており、
基準信号REFを利用してノード46、58の瞬間的な
電圧変化を監視するようになっている。
【0022】この回路の動作特性について次に説明す
る。図3にレベルダウン回路26、28を適用した場合
の差動増幅器の利得、図4にこの例の内部電源電圧供給
回路におけるDC曲線上での内部電源電圧int.Vc
cと外部電源電圧ext.Vccとの関係、図5にオフ
セット発生回路24及びパワーアップ制御回路30を用
いた場合の内部電源電圧int.Vccの変化を表す電
圧波形、図6にこの例の内部電源電圧供給回路における
選択・非選択切り換え時の内部電源電圧int.Vcc
の変化を表す電圧波形をそれぞれ示す。
【0023】図2に示す回路によれば、内部電源電圧i
nt.Vcc及び基準信号SREFの電圧(Vsre
f)が外部電源電圧ext.Vccに近い場合、差動増
幅器(32、34、40、42、50)の感度が鈍って
反応速度が低下することを防止するために、LDSを使
用して、接続ノード46、58にかかる電圧を外部電源
電圧ext.Vccの中間レベルとしてNMOSトラン
ジスタ40、42の動作で比較するようにしてある。こ
れにより、DC状態で内部電源電圧int.Vccが外
部電源電圧ext.Vccへ向かうキックアップ現象を
防止する。すなわち、第1、第2レベルダウン回路2
6、28による差動増幅器(32、34、40、42、
50)の動作範囲は図3に示すようになる。また、図4
に示す波形のように、従来例に関する図9で示したよう
なキックアップ現象が防止できる。
【0024】また、従来技術で問題となっていた集積回
路(チップ)の選択・非選択が切り替わる場合における
内部電源電圧int.Vccのレベルダウン、キックア
ップ現象を防止するために、オフセット発生回路(offs
et generator)24が備えられている。すなわち、この
実施例においては、NMOSトランジスタ42のサイズ
をNMOSトランジスタ40より小く形成することでオ
フセット発生回路24としている。これにより差動増幅
器(32、34、40、42、50)の差動入力にオフ
セットを発生させる。具体的には、NMOSトランジス
タ40のW/L(width/length)を20/1、NMOS
トランジスタ42のW/Lを15/1で形成してある。
そして、このオフセット発生回路24を効果的に利用す
るためにパワーアップ制御回路30を併用するようにな
っている。
【0025】パワーアップ制御回路30について説明す
ると、例えば内部電源電圧int.Vccが基準信号S
REF以上のある程度の電圧になると、PMOSトラン
ジスタ64が導通してバイポーラトランジスタ74のベ
ース電流が流れ、そしてこのベース電流に内部電源ノー
ド60からコレクタ電流が加わることにより、内部電源
電圧int.Vccのレベルは基準信号SREFのレベ
ルへ降下する。このようなパワーアップ制御回路30を
設けることにより、例えば電源線のバンプテスト(bump
test)でパワーダウンを円滑に行うことも可能にな
る。
【0026】さらに、パワーアップ制御回路30のPM
OSトランジスタ62、64、NMOSトランジスタ7
0、72のサイズを調整すれば、基準信号SREF及び
内部電源電圧int.Vccとの間の感知電圧差を0.
1V〜0.3V程度の範囲で調節可能である。加えて、
選択切り換えに伴う内部電源電圧int.Vccのレベ
ルダウン、キックアップ現象を防止するため、常に一定
電流が内部電源ノード60に流れるアクティブ状態で差
動増幅器(32、34、40、42、50)を待機させ
ることが可能となる。この目的のためであれば、パワー
アップ制御回路30を単独で設けても可能である。
【0027】図5には、これらオフセット発生回路24
及びパワーアップ制御回路30を用いたときの内部電源
電圧int.Vccについて示してある。すなわち、オ
フセット発生回路24による差動入力のオフセット発生
で、出力される内部電源電圧int.Vccのレベルは
オフセット分増加する(IVC1)。そして、オフセッ
トで増加した内部電源電圧int.Vccがパワーアッ
プ制御回路30で感知されてIVC2レベルにダウンさ
せられる。つまり、待機状態でも内部電源ドライバ回路
22は実質的にアクティブ状態として継続的に動作する
ことになる。その結果、内部電源ドライバ回路22は、
選択・非選択の切り替わりを区別できない状態とされる
ので、図6に示すように、全体的なAC特性が安定した
内部電源電圧int.Vccを得ることができる。
【0028】図1のブロック構成に基づく図2の具体的
回路構成は、本発明の技術的思想を最適に実現した実施
例であるが、当該技術分野で通常の知識を有する者なら
ば、信号の論理やデバイス特性等を考慮して各種変形を
行えることは容易に推測できるであろう。尚、図3〜図
6に示した各波形図はシミュレーション結果であり、電
源電圧のレベル等により多少の変化があり得るが、その
特性自体には大きな変化はない。
【0029】
【発明の効果】以上述べてきたように、本発明による内
部電源電圧供給回路は、レベルダウン回路を介して基準
信号及び内部電源電圧を受けて比較するようにしたこと
で、内部電源電圧のキックアップ現象を効果的に抑制で
きる。また、差動入力にオフセットを発生させるオフセ
ット発生回路、そしてパワーアップ制御回路を備えるよ
うにしたことで、集積回路の選択・非選択切り換え時に
おける内部電源電圧のレベルダウン、キックアップ現象
を効果的に抑制することができる。したがって、非常に
安定した内部電源電圧を常に供給する信頼性の高い内部
電源電圧供給回路を提供することが可能で、そして内部
電源電圧の変動に起因した内部回路の動作速度の低下、
不安定化を防止できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による内部電源電圧供給回路のブロック
構成図。
【図2】本発明による内部電源電圧供給回路の具体例を
示す回路図。
【図3】本発明に係るレベルダウン回路を使用した場合
の差動増幅器の動作範囲を示す波形図。
【図4】本発明による内部電源電圧供給回路におけるD
C曲線上での内部電源電圧と外部電源電圧の関係を示す
波形図。
【図5】本発明に係るオフセット発生回路及びパワーア
ップ制御回路の動作特性による内部電源電圧の状態を示
す波形図。
【図6】本発明による内部電源電圧供給回路における選
択・非選択切り換え時の内部電源電圧の状態を示す波形
図。
【図7】従来技術による内部電源電圧供給回路を示す回
路図。
【図8】図7の回路の特性を説明する各種波形図。
【図9】従来技術による内部電源電圧供給回路における
DC曲線上での内部電源電圧と外部電源電圧の関係を示
す波形図。
【符号の説明】
22 内部電源ドライバ回路 24 オフセット発生回路 26 第1レベルダウン回路 28 第2レベルダウン回路 30 パワーアップ制御回路 ext.Vcc 外部電源電圧 int.Vcc 内部電源電圧 REF、SREF 基準信号 GND 接地
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−35924(JP,A) 特開 昭55−97616(JP,A) 特開 昭53−71252(JP,A) 実開 昭60−174920(JP,U) 実開 平4−67819(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G05F 1/445 G05F 1/56 G05F 1/613 G05F 1/618 G11C 11/34 H01L 27/04 H01L 21/82

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基準信号及び内部電源電圧を差動入力と
    する差動増幅器によりドライバを制御して内部電源電圧
    を出力するようになった内部電源電圧供給回路におい
    て、差動入力となる基準信号と内部電源電圧との間にオフセ
    ットを発生させることにより、そのオフセット分増加さ
    せた内部電源電圧をドライバから出力させるオフセット
    発生回路と、これによりドライバから出力されるオフセ
    ット分増加した内部電源電圧を電圧降下させることによ
    り、差動増幅器を常時アクティブ状態とするパワーアッ
    プ制御回路と、を備えた ことを特徴とする内部電源電圧
    供給回路。
  2. 【請求項2】 差動入力をゲートに受ける差動増幅器の
    トランジスタをサイズ調整することでオフセット発生回
    路を構成した請求項1記載の内部電源電圧供給回路。
  3. 【請求項3】 基準信号及び内部電源電圧を電圧降下さ
    せてオフセット発生回路に入力するレベルダウン回路を
    更に設けた請求項1又は請求項2記載の内部電源電圧供
    給回路。
  4. 【請求項4】 レベルダウン回路は、基準信号をレベル
    ダウンさせてオフセット発生回路に入力する第1レベル
    ダウン回路と、内部電源電圧をレベルダウンさせてオフ
    セット発生回路に入力する第2レベルダウン回路と、か
    らなる請求項3記載の内部電源電圧供給回路。
  5. 【請求項5】 レベルダウン回路をダイオード素子で構
    成した請求項3又は請求項4記載の内部電源電圧供給回
    路。
  6. 【請求項6】 パワーアップ制御回路は、基準信号を入
    力とし且つダイオード接続とされた第1ユニポーラトラ
    ンジスタと、第1ユニポーラトランジスタと接地端との
    間に設けられ、基準信号より低レベルの第2の基準信号
    によりゲート制御される第2ユニポーラトランジスタ
    と、内部電源電圧を入力とし、ゲートが第1ユニポーラ
    トランジスタのゲートに接続された第3ユニポーラトラ
    ンジスタと、第3ユニポーラトランジスタと接地端との
    間に設けられ、前記第2の基準信号によりゲート制御さ
    れる第4ユニポーラトランジスタと、第3及び第4ユニ
    ポーラトランジスタに並列接続され、ベースに第3トラ
    ンジスタの出力を受けるバイポーラトランジスタと、か
    ら構成される請求項1〜5のいずれか1項に記載の内部
    電源電圧供給回路。
  7. 【請求項7】 基準信号及び内部電源電圧を差動入力と
    する差動増幅器によりドライバを制御して内部電源電圧
    を出力するようになった内部電源電圧供給回路におい
    て、 基準信号をレベルダウンさせる第1レベルダウン回路
    と、内部電源電圧をレベルダウンさせる第2レベルダウ
    ン回路と、第1レベルダウン回路の出力と第2レベルダ
    ウン回路の出力との間にオフセットを発生させて差動入
    力とすることにより、そのオフセット分増加させた内部
    電源電圧をドライバから出力させるオフセット発生回路
    と、これによりドライバから出力されるオフセット分増
    加した内部電源電圧を電圧降下させることにより、差動
    増幅器を常時アクティブ状態とするパワーアップ制御回
    路と、を備えたことを特徴とする内部電源電圧供給回
    路。
  8. 【請求項8】 第1、第2レベルダウン回路をダイオー
    ドで構成した請求項7記載の内部電源電圧供給回路。
  9. 【請求項9】 差動入力をゲートに受ける差動増幅器の
    トランジスタをサイズ調整することでオフセット発生回
    路を構成した請求項7又は請求項8記載の内部電源電圧
    供給回路。
  10. 【請求項10】 パワーアップ制御回路は、基準信号を
    入力とし且つダイオード接続とされた第1ユニポーラト
    ランジスタと、第1ユニポーラトランジスタと接地端と
    の間に設けられ、基準信号より低レベルの第2の基準信
    号によりゲート制御される第2ユニポーラトランジスタ
    と、内部電源電圧を入力とし、ゲートが第1ユニポーラ
    トランジスタのゲートに接続された第3ユニポーラトラ
    ンジスタと、第3ユニポーラトランジスタと接地端との
    間に設けられ、前記第2の基準信号によりゲート制御さ
    れる第4ユニポーラトランジスタと、第3及び第4ユニ
    ポーラトランジスタに並列接続され、ベースに第3トラ
    ンジスタの出力を受けるバイポーラトランジスタと、か
    ら構成される請求項7〜9のいずれか1項に記載の内部
    電源電圧供給回路。
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