JP3481908B2 - ワイヤーソー用水溶性切削液 - Google Patents
ワイヤーソー用水溶性切削液Info
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- JP3481908B2 JP3481908B2 JP2000302972A JP2000302972A JP3481908B2 JP 3481908 B2 JP3481908 B2 JP 3481908B2 JP 2000302972 A JP2000302972 A JP 2000302972A JP 2000302972 A JP2000302972 A JP 2000302972A JP 3481908 B2 JP3481908 B2 JP 3481908B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤーソー用切削
液に関する。さらに詳しくは、シリコンやガラスなどの
被加工物を、ワイヤーソーを用い、遊離砥粒を水溶性切
削液に分散させた砥粒スラリーを連続的に供給しながら
スライシングを行う際の水溶性切削液に関する。
液に関する。さらに詳しくは、シリコンやガラスなどの
被加工物を、ワイヤーソーを用い、遊離砥粒を水溶性切
削液に分散させた砥粒スラリーを連続的に供給しながら
スライシングを行う際の水溶性切削液に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、シリコンインゴットなど硬脆材料
を切断する方法としては、切り屑の発生量が少なく、加
工速度が速い等の点からワイヤーソーが利用されてい
る。その際に用いられる切削液としては、被加工物の洗
浄時にトリクロロメタンなどのハロゲン系溶剤または有
機溶剤が必要となる鉱物油を主成分とする切削油から、
水溶性のものへと替わってきている。水溶性切削液とし
ては、例えば、特開平１０−１３０６３５号公報には非
水性液から実質的になる低分子量ポリグリコール類が提
案されている。
を切断する方法としては、切り屑の発生量が少なく、加
工速度が速い等の点からワイヤーソーが利用されてい
る。その際に用いられる切削液としては、被加工物の洗
浄時にトリクロロメタンなどのハロゲン系溶剤または有
機溶剤が必要となる鉱物油を主成分とする切削油から、
水溶性のものへと替わってきている。水溶性切削液とし
ては、例えば、特開平１０−１３０６３５号公報には非
水性液から実質的になる低分子量ポリグリコール類が提
案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこれらを
用いて作成したスラリーでは、砥粒の分散性が不十分で
あるため、砥粒の沈降が早く、加工部分への砥粒の搬送
途中で配管に詰まりを生じたり、スライシング時の砥粒
の濃度にばらつきが生じるという問題があった。
用いて作成したスラリーでは、砥粒の分散性が不十分で
あるため、砥粒の沈降が早く、加工部分への砥粒の搬送
途中で配管に詰まりを生じたり、スライシング時の砥粒
の濃度にばらつきが生じるという問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記問題
を解決すべく鋭意検討した結果、特定の含窒素化合物を
用いることで、砥粒の分散性が良好となり、スラリー中
での砥粒の沈降速度を遅くさせることができることを見
いだし、本発明に到達した。即ち本発明は下記の３発明
である。
を解決すべく鋭意検討した結果、特定の含窒素化合物を
用いることで、砥粒の分散性が良好となり、スラリー中
での砥粒の沈降速度を遅くさせることができることを見
いだし、本発明に到達した。即ち本発明は下記の３発明
である。
【０００５】＜第１発明＞ 下記一般式（２）で示され
る化合物（Ｂ１）からなることを特徴とするワイヤーソ
ー用水溶性切削液。 ［式中、Ｒ1 は炭素数１〜１８のアルキル基、炭素数５
〜１８のシクロアルキル基、炭素数２〜１８のアルケニ
ル基、又は炭素数５〜１８のシクロアルケニル基；Ａは
炭素数２〜４のアルキレン基；ｍ1は０〜２０の整数、
ｎ1は０〜２０の整数を表す。ｍ1とｎ1の総和は４〜３
０の整数。ｍ1、ｎ1は同一でも異なっていてもよい。］
る化合物（Ｂ１）からなることを特徴とするワイヤーソ
ー用水溶性切削液。 ［式中、Ｒ1 は炭素数１〜１８のアルキル基、炭素数５
〜１８のシクロアルキル基、炭素数２〜１８のアルケニ
ル基、又は炭素数５〜１８のシクロアルケニル基；Ａは
炭素数２〜４のアルキレン基；ｍ1は０〜２０の整数、
ｎ1は０〜２０の整数を表す。ｍ1とｎ1の総和は４〜３
０の整数。ｍ1、ｎ1は同一でも異なっていてもよい。］
【０００６】＜第２発明＞ 第１発明の水溶性切削液
と、平均粒径１〜５０μｍの砥粒との、質量比が１：
０．５〜１：２の混合物からなるワイヤーソー用スラリ
ー。 ＜第３発明＞ このワイヤーソー用スラリーを連続的に
供給しながら、ワイヤーソーを用いて被加工物のスライ
シングを行うスライシング方法。
と、平均粒径１〜５０μｍの砥粒との、質量比が１：
０．５〜１：２の混合物からなるワイヤーソー用スラリ
ー。 ＜第３発明＞ このワイヤーソー用スラリーを連続的に
供給しながら、ワイヤーソーを用いて被加工物のスライ
シングを行うスライシング方法。
【０００７】
【発明の実施の形態】本第１発明に必要により用いる２
５℃における粘度が４０〜５００ｍＰａ・ｓである水溶
性エーテル（Ａ）において、水溶性とは、２０℃におい
て水１００質量部に対し３０質量部以上が完全に溶解す
るものを示し、好ましくは水に対し任意の割合で相溶す
るものである。また、（Ａ）の粘度はブルックフィール
ド粘度計で、ローター回転数３０ｒｐｍで測定した値で
ある。（Ａ）の粘度は、好ましくは４０〜３００ｍＰａ
・ｓ、さらに好ましくは４５〜２００ｍＰａ・ｓであ
る。（Ａ）の粘度が４０ｍＰａ・ｓ未満であると砥粒の
沈降が早くなり、５００ｍＰａ・ｓを超えると、作成し
たスラリーの粘度が高くなり取り扱いが困難である。
５℃における粘度が４０〜５００ｍＰａ・ｓである水溶
性エーテル（Ａ）において、水溶性とは、２０℃におい
て水１００質量部に対し３０質量部以上が完全に溶解す
るものを示し、好ましくは水に対し任意の割合で相溶す
るものである。また、（Ａ）の粘度はブルックフィール
ド粘度計で、ローター回転数３０ｒｐｍで測定した値で
ある。（Ａ）の粘度は、好ましくは４０〜３００ｍＰａ
・ｓ、さらに好ましくは４５〜２００ｍＰａ・ｓであ
る。（Ａ）の粘度が４０ｍＰａ・ｓ未満であると砥粒の
沈降が早くなり、５００ｍＰａ・ｓを超えると、作成し
たスラリーの粘度が高くなり取り扱いが困難である。
【０００８】（Ａ）は、非アミン系エーテルであって、
例えば、１個以上の活性水素（好ましくは水酸基）を有
する化合物（脂肪族もしくは脂環式アルコール、芳香族
アルコールなど）の（ポリ）オキシアルキレンエーテ
ル、この（ポリ）オキシアルキレンエーテルのモノもし
くはジアルキルエーテル、モノもしくはジアシル化物、
ホルマール縮合物およびジャンプ反応物等が挙げられ、
２種以上を併用してもよい。
例えば、１個以上の活性水素（好ましくは水酸基）を有
する化合物（脂肪族もしくは脂環式アルコール、芳香族
アルコールなど）の（ポリ）オキシアルキレンエーテ
ル、この（ポリ）オキシアルキレンエーテルのモノもし
くはジアルキルエーテル、モノもしくはジアシル化物、
ホルマール縮合物およびジャンプ反応物等が挙げられ、
２種以上を併用してもよい。
【０００９】上記脂肪族もしくは脂環式アルコールとし
ては、炭素数１〜４の１価アルコール（メタノール、エ
タノール、ブタノールなど）、炭素数２〜８の２価アル
コール（脂肪族ジオール、例えば、エチレングリコー
ル、プロピレングリコール、１，３−および１，４−ブ
タンジオール、１，６−ヘキサンジオール、ネオペンチ
ルグリコールなどのアルキレングリコール；および脂環
式ジオール、例えば、シクロヘキサンジオール、シクロ
ヘキサンジメタノールなどのシクロアルキレングリコー
ル）、炭素数３〜１２の３価アルコール（脂肪族トリオ
ール、例えば、グリセリン、トリメチロールプロパン、
トリメチロールエタン、ヘキサントリオールなどのアル
カントリオール）；炭素数５〜１８の４〜８価またはそ
れ以上の多価アルコール（脂肪族ポリオール、例えば、
ペンタエリスリトール、ソルビトール、マンニトール、
ソルビタン、ジグリセリン、ジペンタエリスリトールな
どのアルカンポリオールおよびその分子内もしくは分子
間脱水物；ならびにショ糖、グルコース、マンノース、
フラクトース、メチルグルコシドなどの糖類およびその
誘導体）が挙げられる。芳香族アルコールとしては、ピ
ロガロール、ハイドロキノンおよびフロログルシン等の
単環多価フェノール；ビスフェノールＡ、ビスフェノー
ルＦ、およびビスフェノールスルホン等のビスフェノー
ル類等が挙げられる。
ては、炭素数１〜４の１価アルコール（メタノール、エ
タノール、ブタノールなど）、炭素数２〜８の２価アル
コール（脂肪族ジオール、例えば、エチレングリコー
ル、プロピレングリコール、１，３−および１，４−ブ
タンジオール、１，６−ヘキサンジオール、ネオペンチ
ルグリコールなどのアルキレングリコール；および脂環
式ジオール、例えば、シクロヘキサンジオール、シクロ
ヘキサンジメタノールなどのシクロアルキレングリコー
ル）、炭素数３〜１２の３価アルコール（脂肪族トリオ
ール、例えば、グリセリン、トリメチロールプロパン、
トリメチロールエタン、ヘキサントリオールなどのアル
カントリオール）；炭素数５〜１８の４〜８価またはそ
れ以上の多価アルコール（脂肪族ポリオール、例えば、
ペンタエリスリトール、ソルビトール、マンニトール、
ソルビタン、ジグリセリン、ジペンタエリスリトールな
どのアルカンポリオールおよびその分子内もしくは分子
間脱水物；ならびにショ糖、グルコース、マンノース、
フラクトース、メチルグルコシドなどの糖類およびその
誘導体）が挙げられる。芳香族アルコールとしては、ピ
ロガロール、ハイドロキノンおよびフロログルシン等の
単環多価フェノール；ビスフェノールＡ、ビスフェノー
ルＦ、およびビスフェノールスルホン等のビスフェノー
ル類等が挙げられる。
【００１０】上記の（ポリ）オキシアルキレンエーテル
は、例えば、上記の活性水素を有する化合物に、付加物
の粘度が前記の範囲となるようにアルキレンオキサイド
を付加して得ることができる。アルキレンオキサイドと
しては、炭素数２〜４のものが好ましく、エチレンオキ
サイド（以下ＥＯと略記する）、プロピレンオキサイド
（以下ＰＯと略記する）、１，２−、２，３−、１，３
−および１，４−ブチレンオキサイドなどが挙げられ、
単独でも２種以上を使用してもかまわない。２種以上の
アルキレンオキサイドを用いた場合、付加の形態はブロ
ック付加、ランダム付加のいずれでもよく、付加の順序
は特に問わない。アルキレンオキサイドとしては、Ｅ
Ｏ、およびＥＯとＰＯの併用がさらに好ましく、アルキ
レンオキサイド中のＥＯが３０質量％以上のものがとく
に好ましく、４０質量％以上のものが最も好ましい。
は、例えば、上記の活性水素を有する化合物に、付加物
の粘度が前記の範囲となるようにアルキレンオキサイド
を付加して得ることができる。アルキレンオキサイドと
しては、炭素数２〜４のものが好ましく、エチレンオキ
サイド（以下ＥＯと略記する）、プロピレンオキサイド
（以下ＰＯと略記する）、１，２−、２，３−、１，３
−および１，４−ブチレンオキサイドなどが挙げられ、
単独でも２種以上を使用してもかまわない。２種以上の
アルキレンオキサイドを用いた場合、付加の形態はブロ
ック付加、ランダム付加のいずれでもよく、付加の順序
は特に問わない。アルキレンオキサイドとしては、Ｅ
Ｏ、およびＥＯとＰＯの併用がさらに好ましく、アルキ
レンオキサイド中のＥＯが３０質量％以上のものがとく
に好ましく、４０質量％以上のものが最も好ましい。
【００１１】上記の（ポリ）オキシアルキレンエーテル
のモノもしくはジアルキルエーテルは、例えば、（ポ
リ）オキシアルキレンエーテルをアルカリの存在下ハロ
ゲン化アルキル（炭素数１〜４、塩化メチルなど）と反
応させるこにより、モノもしくはジアシル化物は、例え
ば、脂肪族カルボン酸（炭素数２〜４、酢酸など）と反
応させることにより、ホルマール縮合物は、例えば、パ
ラホルムアルデヒド等で縮合反応させることにより、ジ
ャンプ反応物は、例えば、炭素数１〜４のジハロゲン化
アルカン（ジクロロメタンなど）でジャンプ反応させる
ことにより、それぞれ得ることができる。
のモノもしくはジアルキルエーテルは、例えば、（ポ
リ）オキシアルキレンエーテルをアルカリの存在下ハロ
ゲン化アルキル（炭素数１〜４、塩化メチルなど）と反
応させるこにより、モノもしくはジアシル化物は、例え
ば、脂肪族カルボン酸（炭素数２〜４、酢酸など）と反
応させることにより、ホルマール縮合物は、例えば、パ
ラホルムアルデヒド等で縮合反応させることにより、ジ
ャンプ反応物は、例えば、炭素数１〜４のジハロゲン化
アルカン（ジクロロメタンなど）でジャンプ反応させる
ことにより、それぞれ得ることができる。
【００１２】これらの中で好ましくは、脂肪族アルコー
ルの（ポリ）オキシアルキレンエーテル（ＥＯ付加物、
およびＥＯ・ＰＯ共付加物）であり、さらに好ましく
は、入手が容易なことから、メタノールのＥＯ付加物で
あるポリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチ
レングリコールのＥＯ付加物であるポリエチレングリコ
ール、およびグリセリンのＥＯ・ＰＯ共付加物であり、
特に好ましくは、ポリエチレングリコールである。
（Ａ）の数平均分子量（ヒドロキシル価換算による。た
だしＯＨ基を有しないものはゲルパ−ミュレ−ションク
ロマトグラフによる）は、上記粘度の範囲のものであれ
ば、特に制限されるものではないが、好ましくは１００
〜２０００、さらに好ましくは１６０〜１０００であ
る。
ルの（ポリ）オキシアルキレンエーテル（ＥＯ付加物、
およびＥＯ・ＰＯ共付加物）であり、さらに好ましく
は、入手が容易なことから、メタノールのＥＯ付加物で
あるポリエチレングリコールモノメチルエーテル、エチ
レングリコールのＥＯ付加物であるポリエチレングリコ
ール、およびグリセリンのＥＯ・ＰＯ共付加物であり、
特に好ましくは、ポリエチレングリコールである。
（Ａ）の数平均分子量（ヒドロキシル価換算による。た
だしＯＨ基を有しないものはゲルパ−ミュレ−ションク
ロマトグラフによる）は、上記粘度の範囲のものであれ
ば、特に制限されるものではないが、好ましくは１００
〜２０００、さらに好ましくは１６０〜１０００であ
る。
【００１３】本第１発明の一般式（２）で示される化合
物（Ｂ１）において、Ｒ1 は炭素数１〜１８のアルキル
基、炭素数５〜１８のシクロアルキル基、炭素数２〜１
８のアルケニル基、または炭素数５〜１８のシクロアル
ケニル基である。炭素数１〜１８のアルキル基として
は、直鎖状でも分岐状でもよく、メチル、エチル、プロ
ピル、オクチル、ラウリル、ミリスチル、パルミチル、
ステアリル、２−エチルヘキシル基などが挙げられ、好
ましくはラウリル、ミリスチル、パルミチル、ステアリ
ル基など、炭素数１２〜１８の直鎖アルキル基である。
炭素数が１８を超えると水溶性が不足する。炭素数５〜
１８のシクロアルキル基としては、シクロヘキシル基な
どが挙げられる。炭素数が１８を超えると水溶性が不足
する。炭素数２〜１８のアルケニル基としては、直鎖状
でも分岐状でもよく、アリル、ヘキセニル、オレイル基
などが挙げられ、好ましくはオレイル基である。炭素数
が１８を超えると水溶性が不足する。炭素数５〜１８の
シクロアルケニル基としては、シクロヘキセニル基など
が挙げられる。炭素数が９を超えると水溶性が不足す
る。
物（Ｂ１）において、Ｒ1 は炭素数１〜１８のアルキル
基、炭素数５〜１８のシクロアルキル基、炭素数２〜１
８のアルケニル基、または炭素数５〜１８のシクロアル
ケニル基である。炭素数１〜１８のアルキル基として
は、直鎖状でも分岐状でもよく、メチル、エチル、プロ
ピル、オクチル、ラウリル、ミリスチル、パルミチル、
ステアリル、２−エチルヘキシル基などが挙げられ、好
ましくはラウリル、ミリスチル、パルミチル、ステアリ
ル基など、炭素数１２〜１８の直鎖アルキル基である。
炭素数が１８を超えると水溶性が不足する。炭素数５〜
１８のシクロアルキル基としては、シクロヘキシル基な
どが挙げられる。炭素数が１８を超えると水溶性が不足
する。炭素数２〜１８のアルケニル基としては、直鎖状
でも分岐状でもよく、アリル、ヘキセニル、オレイル基
などが挙げられ、好ましくはオレイル基である。炭素数
が１８を超えると水溶性が不足する。炭素数５〜１８の
シクロアルケニル基としては、シクロヘキセニル基など
が挙げられる。炭素数が９を超えると水溶性が不足す
る。
【００１４】一般式（２）中のＡは炭素数２〜４のアル
キレン基であり、ＡＯは炭素数２〜４のオキシアルキレ
ン基を表す。ｍ 1＋ｎ 1個のＡＯは、同一でも異なってい
てもよい。具体的には、例えば、ＥＯ、ＰＯ、１，２
−、２，３−、１，３−および１，４−ブチレンオキサ
イドなどの炭素数２〜４のアルキレンオキサイドを付加
することにより生成するオキシアルキレン基である。Ａ
の炭素数は、好ましくは２および／または３である。ま
た、ｍ 1およびｎ 1は、炭素数２〜４のオキシアルキレン
基の数、すなわちアルキレンオキサイドの付加モル数を
表し、同一でも異なっていてもよい。ｍ 1およびｎ 1は、
０〜２０の整数であり、好ましくは０〜１０である。ｍ
1、ｎ 1が２０を超えるとスラリーの粘度が高くなり安定
に供給することができない。
キレン基であり、ＡＯは炭素数２〜４のオキシアルキレ
ン基を表す。ｍ 1＋ｎ 1個のＡＯは、同一でも異なってい
てもよい。具体的には、例えば、ＥＯ、ＰＯ、１，２
−、２，３−、１，３−および１，４−ブチレンオキサ
イドなどの炭素数２〜４のアルキレンオキサイドを付加
することにより生成するオキシアルキレン基である。Ａ
の炭素数は、好ましくは２および／または３である。ま
た、ｍ 1およびｎ 1は、炭素数２〜４のオキシアルキレン
基の数、すなわちアルキレンオキサイドの付加モル数を
表し、同一でも異なっていてもよい。ｍ 1およびｎ 1は、
０〜２０の整数であり、好ましくは０〜１０である。ｍ
1、ｎ 1が２０を超えるとスラリーの粘度が高くなり安定
に供給することができない。
【００１５】（Ｂ1）の具体例としては、炭素数１〜１
８のアルキルアミンに炭素数２〜４のアルキレンオキサ
イドが付加された構造の化合物；炭素数５〜１８のシク
ロアルキルアミンに炭素数２〜４のアルキレンオキサイ
ドが付加された構造の化合物；炭素数２〜１８のアルケ
ニルアミンに炭素数２〜４のアルキレンオキサイドが付
加された構造の化合物；炭素数５〜１８のシクロアルケ
ニルアミンに炭素数２〜４のアルキレンオキサイドが付
加された構造の化合物などが挙げられ、２種以上を併用
してもよい。（Ｂ1）は、２０℃において水１００質量
部に対し１０質量部以上が完全に溶解するものが好まし
く、特に好ましくは水に対し任意の割合で相溶するもの
である。
８のアルキルアミンに炭素数２〜４のアルキレンオキサ
イドが付加された構造の化合物；炭素数５〜１８のシク
ロアルキルアミンに炭素数２〜４のアルキレンオキサイ
ドが付加された構造の化合物；炭素数２〜１８のアルケ
ニルアミンに炭素数２〜４のアルキレンオキサイドが付
加された構造の化合物；炭素数５〜１８のシクロアルケ
ニルアミンに炭素数２〜４のアルキレンオキサイドが付
加された構造の化合物などが挙げられ、２種以上を併用
してもよい。（Ｂ1）は、２０℃において水１００質量
部に対し１０質量部以上が完全に溶解するものが好まし
く、特に好ましくは水に対し任意の割合で相溶するもの
である。
【００１６】本第１発明の（Ｂ１）は、ｍ 1とｎ 1の総和
が３〜４０の整数であるものであり、好ましくはｍ 1と
ｎ 1の総和が４〜３０のものである。（Ｂ１）を用いた
場合、必ずしも（Ａ）を用いる必要がないため水溶性切
削液を作成する際に配合の手間を省略することができ
る。（Ｂ１）の粘度は好ましくは４０〜３００ｍＰａ・
ｓ、特に好ましくは４５〜２００ｍＰａ・ｓである。
（Ｂ１）の粘度が４０ｍＰａ・ｓ以上であると砥粒の沈
降が遅くなり、５００ｍＰａ・ｓ以下であると、作成し
たスラリーの粘度が低く取り扱いが容易である。
が３〜４０の整数であるものであり、好ましくはｍ 1と
ｎ 1の総和が４〜３０のものである。（Ｂ１）を用いた
場合、必ずしも（Ａ）を用いる必要がないため水溶性切
削液を作成する際に配合の手間を省略することができ
る。（Ｂ１）の粘度は好ましくは４０〜３００ｍＰａ・
ｓ、特に好ましくは４５〜２００ｍＰａ・ｓである。
（Ｂ１）の粘度が４０ｍＰａ・ｓ以上であると砥粒の沈
降が遅くなり、５００ｍＰａ・ｓ以下であると、作成し
たスラリーの粘度が低く取り扱いが容易である。
【００１７】本第１発明の水溶性切削液中の、（Ｂ１）
の質量割合は砥粒の分散安定性の関点から、（Ａ）と
（Ｂ１）の合計質量に対して好ましくは５質量％以上、
さらに好ましくは１０質量％以上である。
の質量割合は砥粒の分散安定性の関点から、（Ａ）と
（Ｂ１）の合計質量に対して好ましくは５質量％以上、
さらに好ましくは１０質量％以上である。
【００１８】本第１発明の水溶性切削液には、作業時の
引火の危険性を少なくすることを目的として必要により
水を配合してもよい。水の配合量は性能に悪影響を及ぼ
さない量の範囲であれば特に限定されるものではない
が、（Ｂ１）と必要により（Ａ）の合計１００質量部に
対し、好ましくは２５０質量部以下であり、さらに好ま
しくは５質量部以上１５０質量部以下である。２５０質
量部以下であるとと砥粒の分散安定性が良好であり、５
質量部以上では引火の危険性を確実に回避できる。
引火の危険性を少なくすることを目的として必要により
水を配合してもよい。水の配合量は性能に悪影響を及ぼ
さない量の範囲であれば特に限定されるものではない
が、（Ｂ１）と必要により（Ａ）の合計１００質量部に
対し、好ましくは２５０質量部以下であり、さらに好ま
しくは５質量部以上１５０質量部以下である。２５０質
量部以下であるとと砥粒の分散安定性が良好であり、５
質量部以上では引火の危険性を確実に回避できる。
【００１９】本発明の水溶性切削液を用いてスライシン
グされた被加工物を洗浄する際に、洗浄液が強酸または
強アルカリ性を示さないように（好ましくは１質量％の
水溶液とした際のｐＨが５〜９）、本発明の水溶性切削
液に、更にｐＨ調整剤を性能に悪影響を及ぼさない量の
範囲（好ましくは切削液中５．０質量％以下）で含有さ
せることができる。上記ｐＨ調整剤としては、燐酸、硼
酸などの無機酸；酢酸、クエン酸、蓚酸、乳酸などのカ
ルボン酸；水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのア
ルカリ金属の水酸化物などが挙げられる。
グされた被加工物を洗浄する際に、洗浄液が強酸または
強アルカリ性を示さないように（好ましくは１質量％の
水溶液とした際のｐＨが５〜９）、本発明の水溶性切削
液に、更にｐＨ調整剤を性能に悪影響を及ぼさない量の
範囲（好ましくは切削液中５．０質量％以下）で含有さ
せることができる。上記ｐＨ調整剤としては、燐酸、硼
酸などの無機酸；酢酸、クエン酸、蓚酸、乳酸などのカ
ルボン酸；水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのア
ルカリ金属の水酸化物などが挙げられる。
【００２０】本第１発明の水溶性切削液は、（Ｂ１）と
必要により（Ａ）および／または水をあらかじめ配合し
たものであっても、以下に述べるスラリー配合時に個々
に加えたものであってもよい。配合方法は特に限定され
ず、例えば常温で通常の方法で撹拌することにより得る
ことができる。
必要により（Ａ）および／または水をあらかじめ配合し
たものであっても、以下に述べるスラリー配合時に個々
に加えたものであってもよい。配合方法は特に限定され
ず、例えば常温で通常の方法で撹拌することにより得る
ことができる。
【００２１】本発明のワイヤーソー用水溶性切削液は、
好ましくは、炭化珪素、アルミナ、ダイヤモンドなどの
平均粒径１〜５０μｍの砥粒と、質量比で１：０．５〜
１：２の割合で混合され、砥粒が分散されたワイヤーソ
ー用スラリーとして、スライシングする際に用いられ
る。本発明の砥粒スラリーを適用される被加工物として
は、シリコン、アルミニウム、ガラス、セラミック、合
成石英、水晶、サファイアなどが挙げられるが、特に、
シリコンインゴットをスライシングする際に用いるのが
好適である。
好ましくは、炭化珪素、アルミナ、ダイヤモンドなどの
平均粒径１〜５０μｍの砥粒と、質量比で１：０．５〜
１：２の割合で混合され、砥粒が分散されたワイヤーソ
ー用スラリーとして、スライシングする際に用いられ
る。本発明の砥粒スラリーを適用される被加工物として
は、シリコン、アルミニウム、ガラス、セラミック、合
成石英、水晶、サファイアなどが挙げられるが、特に、
シリコンインゴットをスライシングする際に用いるのが
好適である。
【００２２】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に説明する
が、本発明はこれに限定されない。以下において、部お
よび％はそれぞれ質量部および質量％を示す。なお、数
平均分子量は水酸基価から算出し、また粘度は前記の方
法により求めた。
が、本発明はこれに限定されない。以下において、部お
よび％はそれぞれ質量部および質量％を示す。なお、数
平均分子量は水酸基価から算出し、また粘度は前記の方
法により求めた。
【００２３】実施例１
オレイルアミンのＥＯ５モル付加物〔一般式（２）にお
けるｍ1＋ｎ1＝５、数平均分子量４９０〕５０部と炭化
珪素砥粒（信濃電気精錬製）５０部を混合し、実施例１
のスラリーを得た。
けるｍ1＋ｎ1＝５、数平均分子量４９０〕５０部と炭化
珪素砥粒（信濃電気精錬製）５０部を混合し、実施例１
のスラリーを得た。
【００２４】比較例１
ポリエチレングリコール（数平均分子量３００、８０ｍ
Ｐａ・ｓ／２５℃）５０部と炭化珪素砥粒（信濃電気精
錬製）５０部を混合し、比較例１のスラリーを得た。
Ｐａ・ｓ／２５℃）５０部と炭化珪素砥粒（信濃電気精
錬製）５０部を混合し、比較例１のスラリーを得た。
【００２５】次に、実施例１および比較例１のスラリー
１００ｍｌを、１００ｍｌの活栓付きメスシリンダーに
とり静置した後、４時間毎に全容量に占める、沈降物の
容量の割合を測り、砥粒の分散性を評価した。
１００ｍｌを、１００ｍｌの活栓付きメスシリンダーに
とり静置した後、４時間毎に全容量に占める、沈降物の
容量の割合を測り、砥粒の分散性を評価した。
【００２６】
【表１】
【００２７】この結果から、本発明のワイヤーソー用水
溶性切削液を用いて作成したスラリーは砥粒の分散性に
優れることが判る。
溶性切削液を用いて作成したスラリーは砥粒の分散性に
優れることが判る。
【００２８】
【発明の効果】本発明のワイヤーソー用水溶性切削液
は、砥粒の分散性に優れるため、スラリー中の砥粒の沈
降速度を遅くすることができ、その結果、スライシング
時の砥粒濃度のばらつきを小さくすることができる。ま
た本発明のワイヤーソー用水溶性切削液を使用し、スラ
イシングされたウエハは水で簡単に洗浄できることか
ら、作業環境に悪影響を及ぼさないものである。またシ
リコンのみならず、アルミニウム、ガラス、セラミッ
ク、合成石英、水晶、サファイアなどのスライシングに
有用である。
は、砥粒の分散性に優れるため、スラリー中の砥粒の沈
降速度を遅くすることができ、その結果、スライシング
時の砥粒濃度のばらつきを小さくすることができる。ま
た本発明のワイヤーソー用水溶性切削液を使用し、スラ
イシングされたウエハは水で簡単に洗浄できることか
ら、作業環境に悪影響を及ぼさないものである。またシ
リコンのみならず、アルミニウム、ガラス、セラミッ
ク、合成石英、水晶、サファイアなどのスライシングに
有用である。
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｃ１０Ｍ 149:14） Ｃ１０Ｎ 30:00 Ａ
Ｃ１０Ｎ 30:00 40:22
40:22
(56)参考文献 特開 平10−53789（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−60176（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−259395（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−216897（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−324889（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−130635（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−218594（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−110180（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−292691（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−158070（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C10M 173/00 - 173/02
C10M 105/18
C10M 105/60 - 105/62
C10M 105/68
C10M 107/32 - 107/34
C10M 107/44
C10M 129/16
C10M 133/06 - 133/10
C10M 133/16
C10M 145/24 - 145/38
C10M 149/14
C10M 169/04
C10N 20:02
C10N 30:00
C10N 30:04
C10N 40:22
B28D 5/04
Claims (6)
- 【請求項１】 下記一般式（２）で示される化合物（Ｂ
１）からなることを特徴とするワイヤーソー用水溶性切
削液。 ［式中、Ｒ1 は炭素数１〜１８のアルキル基、炭素数５
〜１８のシクロアルキル基、炭素数２〜１８のアルケニ
ル基、又は炭素数５〜１８のシクロアルケニル基；Ａは
炭素数２〜４のアルキレン基；ｍ1は０〜２０の整数、
ｎ1は０〜２０の整数を表す。ｍ1とｎ1の総和は４〜３
０の整数。ｍ1、ｎ1は同一でも異なっていてもよい。］ - 【請求項２】 前記（Ｂ１）が、炭素数１〜１８のアル
キルアミンに炭素数２〜４のアルキレンオキサイドが付
加された構造の化合物；炭素数５〜１８のシクロアルキ
ルアミンに炭素数２〜４のアルキレンオキサイドが付加
された構造の化合物；炭素数２〜１８のアルケニルアミ
ンに炭素数２〜４のアルキレンオキサイドが付加された
構造の化合物；炭素数５〜１８のシクロアルケニルアミ
ンに炭素数２〜４のアルキレンオキサイドが付加された
構造の化合物から選ばれるものである請求項１記載のワ
イヤーソー用水溶性切削液。 - 【請求項３】 さらに水を含有する請求項１又は２記載
のワイヤーソー用水溶性切削液。 - 【請求項４】 シリコンインゴットのスライシング加工
用である請求項１〜３の何れか記載の水溶性切削液。 - 【請求項５】 請求項１〜３の何れか記載の水溶性切削
液と、平均粒径１〜５０μｍの砥粒との、質量比が１：
０．５〜１：２の混合物からなるワイヤーソー用スラリ
ー。 - 【請求項６】 請求項５記載のワイヤーソー用スラリー
を連続的に供給しながら、ワイヤーソーを用いて被加工
物のスライシングを行うスライシング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000302972A JP3481908B2 (ja) | 1999-09-30 | 2000-10-02 | ワイヤーソー用水溶性切削液 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28060899 | 1999-09-30 | ||
| JP11-280608 | 1999-09-30 | ||
| JP2000302972A JP3481908B2 (ja) | 1999-09-30 | 2000-10-02 | ワイヤーソー用水溶性切削液 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003146104A Division JP4008847B2 (ja) | 1999-09-30 | 2003-05-23 | ワイヤーソー用水溶性切削液 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001164284A JP2001164284A (ja) | 2001-06-19 |
| JP3481908B2 true JP3481908B2 (ja) | 2003-12-22 |
Family
ID=26553845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000302972A Expired - Fee Related JP3481908B2 (ja) | 1999-09-30 | 2000-10-02 | ワイヤーソー用水溶性切削液 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3481908B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
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|---|---|---|---|---|
| DE112005003549B4 (de) * | 2005-05-11 | 2011-03-17 | Mitsubishi Electric Corp. | Verfahren zur Herstellung von Siliziumblöcken und Siliziumwafern |
| EP2075106B1 (en) | 2006-10-20 | 2013-05-01 | Mitsubishi Electric Corporation | Slurry for silicon ingot cutting and method of cutting silicon ingot therewith |
| JP2008103690A (ja) * | 2007-08-24 | 2008-05-01 | Mitsubishi Electric Corp | シリコンインゴット切断用スラリー |
| JP2009057423A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Kyodo Yushi Co Ltd | 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工油剤 |
| WO2017138570A1 (ja) * | 2016-02-10 | 2017-08-17 | 物産フードサイエンス株式会社 | 切削液、切削方法および切削面の平滑性向上剤 |
-
2000
- 2000-10-02 JP JP2000302972A patent/JP3481908B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001164284A (ja) | 2001-06-19 |
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