JP3469495B2 - 電子部品用環境試験装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はカセットに保持され
た半導体ウェーハ等の電子部品の環境試験を行うための
電子部品用環境試験装置に関する。

【０００２】

【従来技術及び課題】従来、カセットに保持された半導
体ウェーハ（電子部品）に、温度負荷を与えて耐久試験
や良否判定試験を行う電子部品用環境試験装置は知られ
ている。この種の環境試験装置は、半導体ウェーハに試
験信号を付与するドライブ回路を備えるが、通常、この
ドライブ回路は、高温を避けるために試験槽の外部に配
設するとともに、試験槽の内部に収容したカセットは、
試験槽の内部に設けたコネクタを介して当該ドライブ回
路に接続していた。

【０００３】一方、本出願人は、既に、試験槽の内部
に、カセットに直接接触させるヒータ部を設けることに
より、カセットのみを局部的に加熱し、試験槽の内部全
体の高温化を回避した電子部品用環境試験装置（特願平
１０−３１４６１５号等）を提案した。同装置によれ
ば、試験装置本体に備えるカセット支持部にカセットを
装填したなら、カセット支持部を下降させることによ
り、カセットの一側コネクタと下方に位置する接続板部
の他側コネクタを接続し、もって、カセットに保持され
た半導体ウェーハと接続板部におけるドライブ回路を接
続するとともに、さらに、ヒータ部を下降させることに
より、当該ヒータ部をカセットに接触させてカセットを
局部的に加熱する。したがって、半導体ウェーハに試験
信号を付与するドライブ回路を、比較的低温となる試験
槽の内部に配設できるため、カセットとドライブ回路を
接続する配線の短縮化を図れるとともに、カセットにお
ける個々の半導体チップ部（電子部品）とドライブ回路
間の配線長さのバラツキを解消できる。

【０００４】ところで、このような電子部品用環境試験
装置では、コンタクタと円盤形のウェーハトレイを有す
るカセットを使用し、半導体ウェーハは当該コンタクタ
とウェーハトレイ間に挟まれて保持される。この場合、
ウェーハトレイには逆止弁を内蔵する被吸気口を有し、
この被吸気口からの真空吸引により、ウェーハトレイと
コンタクタの吸着状態が維持されている。一方、カセッ
トをカセット支持部に装填した際には、吸気装置に接続
された吸気口をカセットの被吸気口に接続し、ウェーハ
トレイを正規の負圧まで低下させることにより最適な吸
着状態を確保していた。

【０００５】しかし、カセットを正規の装填位置に装填
しても、実際にはＸ方向及びＹ方向におけるカセットの
位置に±２〔ｍｍ〕程度のズレを生じるとともに、特
に、カセットの角度にズレを生じた場合、角度のズレ
（例えば、±５゜程度）は僅かであっても、放射方向に
突出する被吸気口の先端位置のズレ（例えば、１５〔ｍ
ｍ〕程度）は無視できない大きくなり、結局、被吸気口
に対する吸気口の接続を安定かつ確実に行うことができ
ないという改善すべき点も残されていた。

【０００６】本発明は、このような課題を改善したもの
であり、カセットの被吸気口に対して、吸気装置に接続
された吸気口を正確に位置合わせすることにより、常に
安定かつ確実に接続し、信頼性をより高めることができ
る電子部品用環境試験装置の提供を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段及び実施の形態】本発明
は、電子部品（半導体ウェーハＷ）を保持するカセット
２…と、このカセット２…に保持された電子部品の環境
試験を行う試験装置本体３を備える電子部品用環境試験
装置１において、カセット２が試験装置本体３における
カセット支持部４に挿入された際に、挿入されたカセッ
ト２に係合し、当該カセット２に設けた被吸気口５…に
対して、吸気装置６に接続された吸気口７…を自動で位
置決めして接続を行う自動位置決め機構部８を設けたこ
とを特徴とする。

【０００８】この場合、好適な実施の形態により、被吸
気口５…は、カセット２の中心２ｏに対して放射方向に
設ける。一方、自動位置決め機構部８は、吸気口７…を
被吸気口５…に対して進退移動させる直進駆動部１０を
有する可動部１１と、この可動部１１をカセット２の出
入方向へ変位自在に支持し、かつ吸気口７…が常に正規
の装填位置Ｘｓに装填されたカセット２の中心２ｏを向
くようにガイドする円弧状のガイド部１２と、可動部１
１をカセット２の取出方向へ付勢するスプリング１３
と、可動部１１に設け、挿入されるカセット２に係止す
ることにより、カセット２が正規の装填位置Ｘｓにある
ときに吸気口７…を被吸気口５…に対して同一直線Ｌｏ
上に位置させるフック部１４を備えて構成できる。ま
た、可動部１１は、直進駆動部１０として駆動シリンダ
１０ｃを備え、この駆動シリンダ１０ｃを、吸気口７…
の進退方向に対して一定のストローク範囲Ｚｓで進退変
位自在に支持するとともに、この駆動シリンダ１０ｃに
フック部１４を固定し、かつ当該駆動シリンダ１０ｃの
駆動ロッド１０ｒ…に吸気口７…を取付け、この吸気口
７…を、スプリング１５…により進退方向後方へ付勢
し、かつ位置規制部１６…により進退方向後方へ位置規
制してなる。他方、試験装置本体３には、カセット２が
カセット支持部４の中途位置Ｘｍまで挿入されたなら、
当該カセット２にフック部１７…を係止して正規の装填
位置Ｘｓまで自動で引き込むとともに、当該装填位置Ｘ
ｓのカセット２を係合部１８…により中途位置Ｘｍまで
自動で押し出す自動装填機構部１９を設けることが望ま
しい。

【０００９】これにより、カセット２が試験装置本体３
におけるカセット支持部４に挿入されれば、挿入途中の
カセット２に自動位置決め機構部８が係合し、当該カセ
ット２に設けた被吸気口５…に対して、吸気装置６に接
続された吸気口７…を自動で位置決めして接続を行う。
即ち、挿入途中のカセット２が可動部１１に設けたフッ
ク部１４に係止すれば、可動部１１はスプリング１３の
付勢に抗してカセット２と一緒に変位する。この際、可
動部１１は円弧状のガイド部１２にガイドされ、カセッ
ト２が正規の装填位置Ｘｓに装填されれば、吸気口７…
は被吸気口５…に対して同一直線Ｌｏ上に位置し、正確
に位置決めされる。この場合、装填位置Ｘｓにおけるカ
セット２の角度にズレを生じても、そのズレに対応して
吸気口７…の位置も追従変位するため、吸気口７…は被
吸気口５…に対して常に同一直線上に位置し、正確に位
置決めされる。そして、直進駆動部１０を駆動制御すれ
ば、吸気口７…が前進して被吸気口５…に接続される。
この場合、可動部１１に、駆動シリンダ１０ｃを備え、
この駆動シリンダ１０ｃを、吸気口７…の進退方向に対
して一定のストローク範囲Ｚｓで進退変位自在に支持す
るとともに、この駆動シリンダ１０ｃにフック部１４を
固定し、かつ当該駆動シリンダ１０ｃの駆動ロッド１０
ｒ…に吸気口７…を取付け、この吸気口７…を、スプリ
ング１５…により進退方向後方へ付勢し、かつ位置規制
部１６…により進退方向後方へ位置規制すれば、最初に
駆動ロッド１０ｒ…が突出しても、駆動シリンダ１０ｃ
はスプリング１５…の押圧作用により、吸気口７…が停
止した状態でストローク範囲Ｚｓだけ後退するため、駆
動シリンダ１０ｃに固定したフック部１４もストローク
範囲Ｚｓだけ後退し、フック部１４の進退方向における
カセット２の位置決めが行われる。また、駆動シリンダ
１０ｃがストローク範囲Ｚｓだけ後退した後は、可動部
１１により位置規制されるため、駆動ロッド１０ｒ…の
突出に従って、吸気口７…が前進し、被吸気口５…に接
続される。

【００１０】

【実施例】次に、本発明に係る好適な実施例を挙げ、図
面に基づき詳細に説明する。

【００１１】まず、本実施例に係る電子部品用環境試験
装置１の構成について、図１〜図１１を参照して説明す
る。

【００１２】図８は、同環境試験装置１における試験装
置本体３の外観を示す。試験装置本体３は正面パネル２
０に設けた複数の出入口２１…を有する試験槽２２を備
える。また、試験槽２２の右側には機器ボックス２３を
設け、この機器ボックス２３の正面パネル２４にはディ
スプレイ２５と操作パネル２６を配するとともに、下部
にはコンピュータ等の収容部２７を設ける。なお、２８
…は各出入口２１…の横に配した設定表示部である。

【００１３】一方、図９は一枚の半導体ウェーハ（電子
部品）Ｗを保持するカセット２を示す。このカセット２
は試験槽２２（試験装置本体３）に収容されて目的の環
境試験が行われる。カセット２は最下部に四角形に形成
したカセットベース９１を有し、このカセットベース９
１の下面周縁部には補強フレーム９２を固着するととも
に、カセットベース９１の上面周縁部には係止用フレー
ム９３を固着する。この係止用フレーム９３の後部は、
後述するフック部１７…が係止する被係止部９３ｃとな
る。また、カセットベース９１には後述するコネクタ基
板部４５から上方に突出した位置決めピン４７…が挿入
してコネクタ基板部４５に対する位置決めを行う位置決
め孔９４…を設けるとともに、カセットベース９１及び
補強フレーム９２の左右には、後述するカセット支持部
４側のスリットレール部４ｐｓ，４ｑｓに装填する係合
辺部２ｐ，２ｑを形成する。さらに、カセット２の裏面
となるカセットベース９１の下面の所定位置には、複数
の一側コネクタ（例えば、インレット）９５…を配設す
る。なお、一側コネクタ９５…は、通常、六十端子のコ
ネクタが十〜二十個配される。また、カセットベース９
１の上面には、サブヒータを内蔵する円盤形のコンタク
タ９６を取付けるとともに、このコンタクタ９６と円盤
形のウェーハトレイ９７間に半導体ウェーハＷを挟んで
保持する。

【００１４】この場合、円盤形のウェーハトレイ９７の
外周縁には、図１に示すように、放射方向に突出した被
吸気口取付部９８を設け、この被吸気口取付部９８の先
端に、逆止弁を内蔵する一対の被吸気口５，５を取付け
る。この被吸気口５，５の向きは、カセット２の中心２
ｏに対して放射方向となる。カセット２は、予め、被吸
気口５…から真空吸引することにより、ウェーハトレイ
９７とコンタクタ９６の吸着状態が維持されている。ま
た、被吸気口取付部９８の両側には、後述する自動位置
決め機構部８におけるフック部１４が係止する一対の係
止用切欠凹部９９，９９を設ける。なお、コンタクタ９
６は半導体ウェーハＷの回路に接触する多数の接触子を
有するガラス基板であり、各接触子は一側コネクタ９５
…に接続される。

【００１５】他方、図１〜図７，図１０及び図１１は試
験装置本体３の内部構造を示す。３１と３２は試験槽２
２の内部における左右に離間して配した固定フレームで
ある。固定フレーム３１と３２間には複数の水平支持板
３３…を上下方向に一定間隔置きに架設する。そして、
任意の水平支持板３３の上面には接続板部４１を取付け
る。接続板部４１は水平支持板３３の上面に支持脚を４
２…を介して配設した回路基板部４３と、この回路基板
部４３の上に補強フレーム４４を介して配設したコネク
タ基板部４５を有する。この場合、回路基板部４３に
は、半導体ウェーハＷに試験信号を供給するドライブ回
路を備えるとともに、コネクタ基板部４５の上面には、
カセット２の一側コネクタ９５…に接続する複数の他側
コネクタ（例えば、アウトレット）４６…を配設する。
なお、４７…はコネクタ基板部４５から上方に突出した
位置決めピンであり、カセット２側に設けた位置決め孔
９４…（図９参照）に挿入して、コネクタ基板部４５と
カセット２を正確に位置決めする機能を有する。

【００１６】一方、水平支持板３３の上面には、四本の
ガイドシャフト３４…を起設し、このガイドシャフト３
４…によりカセット支持部４及びヒータ部６１を昇降自
在に支持する。この場合、カセット支持部４にはガイド
シャフト３４…に対応する位置にリニアベアリング３５
…を取付け、このリニアベアリング３５…にガイドシャ
フト３４…を挿通させるとともに、ヒータ部６１にもガ
イドシャフト３４…に対応する位置にリニアベアリング
３６…を取付け、このリニアベアリング３６…にガイド
シャフト３４…を挿通させる。これにより、位置の固定
された接続板部４１の上方に昇降自在のカセット支持部
４が配され、さらに、カセット支持部４の上方に昇降自
在のヒータ部６１が配される。また、水平支持板３３の
上面には、カセット支持部４を昇降させる左右一対の駆
動シリンダ３７…及びヒータ部６１を昇降させる左右一
対の駆動シリンダ３８…を取付ける。

【００１７】カセット支持部４は、図４に示すように、
左支持板部４ｐ，右支持板部４ｑ及び後支持板部４ｒに
よりコの字形に構成し、左支持板部４ｐと右支持板部４
ｑの内縁には、前述したカセット２の係合辺部２ｐ及び
２ｑが装填（挿入）するスリットレール部４ｐｓ及び４
ｑｓを設ける。

【００１８】そして、このカセット支持部４には、カセ
ット２が挿入された際に、挿入されたカセット２に係合
し、当該カセット２に設けた被吸気口５…に対して、吸
気装置６に接続された吸気口７…を自動で位置決めして
接続を行う自動位置決め機構部８を付設する。

【００１９】次に、自動位置決め機構部８の構成につい
て図１〜図３を参照して説明する。この自動位置決め機
構部８は、図９に示すように、カセット支持部４におけ
る右支持板部４ｑの上面に配設する。自動位置決め機構
部８は、図１に示すように、吸気口７…を被吸気口５…
に対して進退移動させる直進駆動部１０を有する可動部
１１を備える。即ち、可動部１１は、矩形状のベース部
５１を有し、このベース部５１に、直進駆動部１０を構
成する駆動シリンダ１０ｃを配設する。この場合、駆動
シリンダ１０ｃは一対のガイド体５２，５２により吸気
口７…の進退方向に対して一定のストローク範囲Ｚｓで
進退変位自在に支持される。そして、この駆動シリンダ
１０ｃにフック部１４を固定するとともに、駆動シリン
ダ１０ｃの一対の駆動ロッド１０ｒ，１０ｒには、前記
被吸気口５，５に対応する一対の吸気口７，７を有する
吸気口ブロック５３を取付ける。フック部１４はベース
部５１から前方へＬ形に突出し、カセット２がカセット
支持部４に挿入された際に、カセット２に設けた係止用
切欠凹部９９に係止する。この場合、フック部１４がカ
セット２に係止し、カセット２が正規の装填位置Ｘｓに
あれば、カセット２に角度のズレが生じても、後述する
ガイド部１２の作用により、吸気口７…を被吸気口５…
に対して同一直線Ｌｏ上に位置させる機能を有する。ま
た、この吸気口ブロック５３とベース部５１間には、一
対のスプリング１５，１５を架設し、吸気口７…を進退
方向後方へ付勢するとともに、吸気口ブロック５３に対
して一対の位置規制部１６，１６により進退方向後方へ
の位置規制を行う。なお、実施例ではガイド体５２，５
２の先端部が位置規制部１６…を兼用する。これによ
り、駆動ロッド１０ｒ…が引込まれていれば、吸気口ブ
ロック５３は位置規制部１６…に係止し、駆動シリンダ
１０ｃはストローク範囲Ｚｓの前端に位置する。

【００２０】一方、右支持板部４ｑの上面には、図１に
示すように、可動部１１をカセット２の出入方向へ変位
自在に支持し、かつ吸気口７…が常に正規の装填位置Ｘ
ｓに装填されたカセット２の中心２ｏを向くようにガイ
ドする円弧状のガイド部１２を配設する。ガイド部１２
は円弧状に湾曲した一枚の板材により形成し、両端を右
支持板部４ｑの上面に起設した一対の支柱５４，５４に
より支持する。そして、ベース部５１の上面に設けた四
つの空転ローラ５５…をガイド部１２に装填し、このガ
イド部１２により可動部１１を移動自在に支持する。即
ち、ガイド部１２の外縁部と内縁部がガイドレールにな
るため、内側に配した二つの空転ローラ５５…をガイド
部１２の外縁部に係合させ、外側に配した二つの空転ロ
ーラ５５…をガイド部１２の内縁部に係合させる。

【００２１】また、可動部１１と右支持板部４ｑ間には
スプリング１３を架設し、当該可動部１１をカセット２
の取出方向へ付勢する。さらに、各吸気口７…は配管５
６を介して真空ポンプ等の吸気装置６に接続する。以上
により、自動位置決め機構部８が構成される。

【００２２】他方、カセット支持部４には、カセット２
が中途位置Ｘｍまで挿入されたなら、当該カセット２に
フック部１７…を係止して正規の装填位置Ｘｓまで自動
で引き込むとともに、当該装填位置Ｘｓのカセット２を
係合部１８…により中途位置Ｘｍまで自動で押し出す自
動装填機構部１９を付設する。

【００２３】次に、自動装填機構部１９の構成について
具体的に説明する。まず、図４及び図１０に示すよう
に、カセット支持部４の左支持板部４ｐと右支持板部４
ｑの上面における内縁近傍には、左右一対のフック規制
部７４，７４を固定して設ける。各フック規制部７４…
は、カセット支持部４に挿入されたカセット２の中途位
置Ｘｍの近傍に配設する。各フック規制部７４…は、上
方へ起立したＬ形形状の基部７５…と、この基部７５…
の先端から左右方向内方へ水平に突出した規制片部７６
…からなる。

【００２４】一方、７７はフック機構部であり、左右に
長いフック支持プレート７８を有する。このフック支持
プレート７８は、左右両側が左支持板部４ｐの上面に設
けたガイドレール部７９ｐ（図５参照）及び右支持板部
４ｑの上面に設けたガイドレール部７９ｑ（図７参照）
によって前後へ平行移動自在に支持される。また、フッ
ク支持プレート７８の下面には、三つのブラケット８０
…により回動自在に支持されるシャフト８１を配設し、
このシャフト８１に左右一対のフック部１７，１７を取
付ける。この場合、各ブラケット８０…は、カセット２
の後部に当接可能であり、装填位置Ｘｓに装填されたカ
セット２を中途位置Ｘｍ側へ押し出すための係合部１８
…を兼用する。フック部１７…は図１０に示すように、
シャフト８１の後方に位置するカム部１７ｃ…と前方に
位置するフック本体部１７ｍ…からなり、自然状態では
フック本体部１７ｍ…の自重及びフック支持プレート７
８へのカム部１７ｃ…の係止により、図１１に示す係止
位置Ｘｃに変位する。この係止位置Ｘｃでは、フック本
体部１７ｍ…の先端がカセット２の被係止部９３ｃ（係
止用フレーム９３の後部）に係止可能である。また、フ
ック規制部７４…とフック機構部７７の関係は、図１０
に示すように、フック機構部７７を装填位置Ｘｓ側から
中途位置Ｘｍ側へ移動させることにより、カセット２が
中途位置Ｘｍまで移動した際に、フック部１７…のカム
部１７ｃ…が規制片部７６…に当接し、カム部１７ｃ…
が下方へ押されるとともに、フック本体部１７ｍ…の先
端が上方に変位、即ち、フック部１７…がカセット２に
対する係止を解除する係止解除位置Ｘｒに変位する関係
にある。

【００２５】さらに、左支持板部４ｐの上面には図５に
示すように、駆動シリンダ８２ｃを設置し、図４に示す
ように、駆動シリンダ８２ｃにおける駆動ロッド８２ｒ
の先端は、回動部を介してフック支持プレート７８に結
合する。これにより、駆動シリンダ８２ｃを駆動制御す
れば、フック機構部７７が前後に移動し、カセット支持
部４に挿入されたカセット２を、装填位置Ｘｓ又は中途
位置Ｘｍに移動させることができる。

【００２６】他方、任意のヒータ部（メインヒータ）６
１は、リニアベアリング３６…を取付けたヒータ支持板
部６２と、このヒータ支持板部６２に支持され、かつ上
側に位置する温調プレート６３と、下側に位置するアダ
プタ６４からなる。このアダプタ６４は円盤形に形成
し、温調プレート６３の下面に取付けることにより、加
熱面を前述したコンタクタ９６の受熱面に適合させる。

【００２７】以上、任意の水平支持板３３上の構成につ
いて説明したが、他の複数の水平支持板３３…上の構成
も同一に構成される。

【００２８】次に、本実施例に係る環境試験装置１の使
用方法及び各部の動作について、図１〜図１３を参照し
て説明する。

【００２９】まず、非使用時には、各カセット支持部４
…及びヒータ部６１…は上昇位置で停止している。

【００３０】一方、使用時には、予め用意したカセット
２…を、試験装置本体３の各出入口２１…から試験槽２
２の内部に収容し、カセット２の係合辺部２ｐ，２ｑを
カセット支持部４のスリットレール部４ｐｓ，４ｑｓに
挿入する。この場合、図１０に示すように、フック機構
部７７は、前回試験されたカセット２を中途位置Ｘｍま
で移動させた位置にあるため、フック部１７…は係止解
除位置Ｘｒに変位している。したがって、カセット２が
図１０に仮想線２ｓで示す中途位置Ｘｍまで挿入されれ
ば、カセット２は仮想線で示す検出スイッチＳＷにより
検出される。これにより、駆動シリンダ８２ｃが駆動制
御され、フック機構部７７は中途位置Ｘｍ側から装填位
置Ｘｓ側に移動せしめられる。

【００３１】この際、フック部１７…はフック規制部７
４…から離間するため、フック本体部１７ｍ…の先端が
下方へ変位、即ち、係止位置Ｘｃへ変位し、フック本体
部１７ｍ…の先端はカセット２の被係止部９３ｃに係止
する。よって、図１１に示すように、中途位置Ｘｍのカ
セット２はフック機構部７７により引き込まれ、正規の
装填位置Ｘｓに自動で装填されるとともに、確実かつ正
確に装填される。なお、装填位置Ｘｓのカセット２は不
図示の検出スイッチにより検出され、駆動シリンダ８２
ｃの駆動は停止する。

【００３２】また、カセット２が正規の装填位置Ｘｓに
達する手前では、カセット２に設けた係止用切欠凹部９
９に、自動位置決め機構部８のフック部１４が係止し、
可動部１１はスプリング１３の付勢に抗してカセット２
と一緒に変位する。この際、可動部１１は円弧状のガイ
ド部１２にガイドされ、カセット２が正規の装填位置Ｘ
ｓに装填されれば、図２に示すように、吸気口７…は被
吸気口５…に対して同一直線Ｌｏ上に位置し、正確に位
置決めされる。この場合、装填位置Ｘｓにおけるカセッ
ト２の角度にズレを生じても、そのズレに対応して吸気
口７…の位置も追従変位するため、吸気口７…は被吸気
口５…に対して常に同一直線上に位置し、正確に位置決
めされる。

【００３３】そして、駆動シリンダ１０ｃを駆動制御
し、駆動ロッド１０ｒ…を突出させれば、最初に、図２
に示すように、駆動シリンダ１０ｃはスプリング１５…
の押圧作用により、吸気口７…が停止した状態でストロ
ーク範囲Ｚｓだけ後退するため、駆動シリンダ１０ｃに
固定したフック部１４もストローク範囲Ｚｓだけ後退
し、仮想線１４ｓで示す位置まで移動することにより、
フック部１４の進退方向におけるカセット２の位置決め
が行われる。また、駆動シリンダ１０ｃがストローク範
囲Ｚｓだけ後退した後は、可動部１１により位置規制さ
れるため、駆動ロッド１０ｒ…の突出に従って、吸気口
７…が前進し、図３に示すように、被吸気口５…に接続
される。この場合、吸気口７…においては、駆動シリン
ダ１０ｃを駆動制御するタイミングで吸気を開始するた
め、被吸気口５…は吸気口７…に対する近接位置で吸引
接続される。

【００３４】次いで、スタートスイッチをオンにすれ
ば、駆動シリンダ３７が駆動制御され、図１２に示すよ
うに、カセット支持部４は仮想線で示す４ｓの位置から
実線で示す位置まで下降する。この結果、カセット支持
部４に支持されるカセット２は接続板部４１に当接し、
コネクタ基板部４５の位置決めピン４７…がカセット２
側に設けた位置決め孔９４…に挿入して、カセット２と
コネクタ基板部４５が正確に位置決めされるとともに、
カセット２の一側コネクタ９５はコネクタ基板部４５の
他側コネクタ４６に接続される。

【００３５】さらに、駆動シリンダ３８が駆動制御さ
れ、図１３に示すように、ヒータ部６１は仮想線で示す
６１ｓの位置から実線で示す位置まで下降する。これに
より、ヒータ部６１は、カセット支持部４に支持される
カセット２の上面に接触する。この場合、ヒータ部６１
は駆動シリンダ３８に対して上方への変位が許容されて
いるため、ヒータ部６１は自重のみでカセット２…に接
触する。

【００３６】以上の動作により、各カセット２…が試験
装置本体３にセットされ、半導体ウェーハＷはヒータ部
（メインヒータ）６１とコンタクタ９６に内蔵するサブ
ヒータにより、１２５℃に加熱される。また、不図示の
送風ファン及び換気ダクトにより試験槽２２内は４５℃
の比較的低温に維持される。一方、回路基板部４３のド
ライブ回路から半導体ウェーハＷには、コネクタ４６…
及び９５…を介して試験信号が付与され、予め設定した
試験時間だけ目的の環境試験が行われる。

【００３７】環境試験が終了すれば、駆動シリンダ３８
が駆動制御され、ヒータ部６１が上昇することにより、
ヒータ部６１とカセット２…の接触が解除されるととも
に、駆動シリンダ３７が駆動制御され、カセット支持部
４が上昇することにより、カセット２と接続板部４１の
接続が解除される。さらに、駆動シリンダ１０ｃが駆動
制御され、駆動ロッド１０ｒ…が引込まれることによ
り、吸気口７…と被吸気口５…の接続が解除される。

【００３８】そして、駆動シリンダ８２ｃが駆動制御さ
れ、フック機構部７７を中途位置Ｘｍ側へ移動させる。
この際、フック機構部７７に一体に有する係合部１８…
がカセット２の後部に当接するため、装填位置Ｘｓのカ
セット２は当該係合部１８…により押し出される。そし
て、カセット２を中途位置Ｘｍまで移動させれば、フッ
ク部１７…がフック規制部７４…に当接し、フック部１
７…は係止解除位置Ｘｒに変位する。即ち、カセット２
は自動で装填解除され、中途位置Ｘｍから取り出すこと
ができる。

【００３９】このように、本実施例に係る環境試験装置
１によれば、自動位置決め機構部８を設けることによ
り、カセット２が試験装置本体３のカセット支持部４に
挿入された際に、挿入されたカセット２に係合し、当該
カセット２に設けた被吸気口５…に対して、吸気装置６
に接続された吸気口７…を自動で位置決して接続を行う
ようにしたため、カセット２の被吸気口５…に対して、
吸気口７…を常に安定かつ確実に接続でき、信頼性をよ
り高めることができる。

【００４０】さらに、自動装填機構部１９を設けること
により、カセット２が試験装置本体３におけるカセット
支持部４の中途位置Ｘｍまで挿入されたなら、当該カセ
ット２にフック部１７…を係止して正規の装填位置Ｘｓ
まで自動で引き込むとともに、当該装填位置Ｘｓのカセ
ット２を係合部１８…により中途位置Ｘｍまで自動で押
し出すようにしたため、カセット２をカセット支持部４
の正規の装填位置Ｘｓに正確かつ確実に挿入することが
できる。この結果、カセット２のコネクタ９５…と接続
板部４１のコネクタ４６…を確実に接続できるととも
に、その損傷を回避でき、信頼性をより高めることがで
きる。また、カセット２…の挿入又は取出が容易とな
り、作業性及び安全性をより高めることができるととも
に、全自動化を容易に実現できる。

【００４１】以上、実施例について詳細に説明したが、
本発明はこのような実施例に限定されるものではなく、
細部の構成，形状，素材，数量，数値等において、本発
明の要旨を逸脱しない範囲で任意に変更，追加，削除で
きる。

【００４２】例えば、自動位置決め機構部８における各
部の構成は、同一機能を発揮する他の構成の採用を妨げ
るものではない。また、電子部品は半導体ウェーハＷを
例示したが、製品化された半導体チップや回路基板ある
いはコンデンサ等の任意の回路素子であってもよい。一
方、ヒータ部６１はカセット２を局部的に加熱する機能
を有するため、ヒータ部６１がカセット２に接触すると
は近接する場合も含む概念である。さらに、接続板部４
１に対してカセット支持部４及びヒータ部６１を昇降さ
せる動作は相対的なものであり、例えば、カセット支持
部４を固定し、接続板部４１を上昇させて接続を行う場
合なども含む概念である。

【００４３】

【発明の効果】このように本発明に係る電子部品用環境
試験装置は、カセットが試験装置本体におけるカセット
支持部に挿入された際に、挿入されたカセットに係合
し、当該カセットに設けた被吸気口に対して、吸気装置
に接続された吸気口を自動で位置決めして接続を行う自
動位置決め機構部を設けたため、次のような顕著な効果
を奏する。

【００４４】 電子部品（半導体ウェーハ）に試験信
号を付与するドライブ回路を、試験槽の内部に配設でき
るため、カセットとドライブ回路を接続する配線の短縮
化及びカセットにおける個々の電子部品とドライブ回路
間の配線長さのバラツキ解消を図れるという基本的効果
を享受できることに加え、カセットの被吸気口に対し
て、吸気装置に接続された吸気口を正確に位置合わせす
ることにより、常に安定かつ確実に接続し、信頼性をよ
り高めることができる。

【００４５】 好適な実施の形態により、吸気口を移
動させる駆動シリンダを、吸気口の進退方向に対して一
定のストローク範囲で進退変位自在に支持し、カセット
に係止するフック部を駆動シリンダに固定する構成を採
用すれば、吸気口を被吸気口に接続する前に、フック部
の進退方向におけるカセットの位置決めを行うことがで
きるため、より安定かつ確実な接続が保証され、信頼性
を更に高めることができる。

【００４６】 好適な実施の形態により、カセットが
カセット支持部の中途位置まで挿入されたなら、当該カ
セットにフック部を係止して正規の装填位置まで自動で
引き込むとともに、当該装填位置のカセットを係合部に
より中途位置まで自動で押し出す自動装填機構部を設け
れば、カセットを正規の装填位置に正確かつ確実に装填
できる相乗効果と相俟って、吸気口と被吸気口の更なる
安定かつ確実な接続が確保され、高度の信頼性を得るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の好適な実施例に係る環境試験装置にお
ける自動位置決め機構部の平面構成図、

【図２】同環境試験装置における自動位置決め機構部の
動作説明図、

【図３】同環境試験装置における自動位置決め機構部の
動作説明図、

【図４】同環境試験装置の内部構造を示す一部断面平面
構成図、

【図５】同環境試験装置の内部構造の一部を示す正面構
成図、

【図６】同環境試験装置の内部構造の一部を示す一部断
面側面構成図、

【図７】同環境試験装置の内部構造の一部を示す側面構
成図、

【図８】同環境試験装置の外観正面図、

【図９】同環境試験装置におけるカセットの一部断面正
面図、

【図１０】同環境試験装置における自動装填機構部のカ
セット装填中の状態を示す一部断面側面構成図、

【図１１】同環境試験装置における自動装填機構部のカ
セット装填後の状態を示す一部断面側面構成図、

【図１２】同環境試験装置の動作説明図、

【図１３】同環境試験装置の動作説明図、

【符号の説明】

１ 電子部品用環境試験装置 ２… カセット ２ｏ カセットの中心 ３ 試験装置本体 ４ カセット支持部 ５… 被吸気口 ６ 吸気装置 ７… 吸気口 ８ 自動位置決め機構部 １０ 直進駆動部 １０ｃ 駆動シリンダ １０ｒ… 駆動ロッド １１ 可動部 １２ ガイド部 １３ スプリング １４ フック部 １５… スプリング １６… 位置規制部 １７… フック部 １８… 係合部 １９ 自動装填機構部 Ｗ 半導体ウェーハ（電子部品） Ｚｓ ストローク範囲 Ｘｓ 装填位置 Ｘｍ 中途位置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 由美夫 長野県須坂市大字幸高246番地 オリオ ン機械株式会社内 (72)発明者 石坂 政明 神奈川県横浜市港北区綱島東四丁目３番 １号 松下通信工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平10−116890（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−94441（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−44581（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/66

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子部品を保持するカセットと、このカ
   セットに保持された電子部品の環境試験を行う試験装置
   本体を備える電子部品用環境試験装置において、カセッ
   トが前記試験装置本体におけるカセット支持部に挿入さ
   れた際に、挿入されたカセットに係合し、当該カセット
   に設けた被吸気口に対して、吸気装置に接続された吸気
   口を自動で位置決めして接続を行う自動位置決め機構部
   を設けたことを特徴とする電子部品用環境試験装置。
2. 【請求項２】 前記被吸気口は、カセットの中心に対し
   て放射方向に設けてなることを特徴とする請求項１記載
   の電子部品用環境試験装置。
3. 【請求項３】 前記自動位置決め機構部は、前記吸気口
   を前記被吸気口に対して進退移動させる直進駆動部を有
   する可動部と、この可動部をカセットの出入方向へ変位
   自在に支持するとともに、吸気口が常に正規の装填位置
   に装填されたカセットの中心を向くようにガイドする円
   弧状のガイド部と、前記可動部をカセットの取出方向へ
   付勢するスプリングと、前記可動部に設け、挿入される
   カセットに係止することにより、カセットが正規の装填
   位置にあるときに前記吸気口を前記被吸気口に対して同
   一直線上に位置させるフック部を備えることを特徴とす
   る請求項１記載の電子部品用環境試験装置。
4. 【請求項４】 前記可動部は、前記直進駆動部として駆
   動シリンダを備え、この駆動シリンダを、前記吸気口の
   進退方向に対して一定のストローク範囲で進退変位自在
   に支持するとともに、この駆動シリンダに前記フック部
   を固定し、かつ当該駆動シリンダの駆動ロッドに前記吸
   気口を取付け、この吸気口を、スプリングにより進退方
   向後方へ付勢し、かつ位置規制部により進退方向後方へ
   位置規制してなることを特徴とする請求項３記載の電子
   部品用環境試験装置。
5. 【請求項５】 前記試験装置本体は、カセットが前記カ
   セット支持部の中途位置まで挿入されたなら、当該カセ
   ットにフック部を係止して正規の装填位置まで自動で引
   き込むとともに、当該装填位置のカセットを係合部によ
   り前記中途位置まで自動で押し出す自動装填機構部を備
   えることを特徴とする請求項１記載の電子部品用環境試
   験装置。
6. 【請求項６】 前記電子部品は半導体ウェーハであるこ
   とを特徴とする請求項１記載の電子部品用環境試験装
   置。