JP3466637B2 - フッ素含有水の処理方法及び処理装置 - Google Patents
フッ素含有水の処理方法及び処理装置Info
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- JP3466637B2 JP3466637B2 JP08761892A JP8761892A JP3466637B2 JP 3466637 B2 JP3466637 B2 JP 3466637B2 JP 08761892 A JP08761892 A JP 08761892A JP 8761892 A JP8761892 A JP 8761892A JP 3466637 B2 JP3466637 B2 JP 3466637B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフッ素含有水の処理方法
の改良に関するものである。さらに詳しくいえば、本発
明は、フッ素系エッチング剤の廃液などからフッ素を高
純度のフッ化カルシウムとして効率よく回収するフッ素
含有水の処理方法に関するものである。
の改良に関するものである。さらに詳しくいえば、本発
明は、フッ素系エッチング剤の廃液などからフッ素を高
純度のフッ化カルシウムとして効率よく回収するフッ素
含有水の処理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体製造分野やその関連分野、
あるいは各種金属材料、単結晶材料、光学系材料などの
表面処理分野などにおいては、多量のエッチング剤が使
用されており、そして、このエッチング剤としては、主
にフッ化水素や、フッ化水素とフッ化アンモニウムを主
成分とするエッチング剤が用いられている。フッ化水素
を主成分とするエッチング剤は、通常フッ素をＨＦとし
て０.９重量％程度を含む薬剤であって大量に用いられ
ており、一方、フッ化水素及びフッ化アンモニウムを主
成分として含むエッチング剤（バッファードフッ酸）
は、その使用量は少ないものの、フッ素をＨＦとして通
常７重量％程度含有していることから、これらのエッチ
ング剤は廃水系統へ移行した際、高濃度フッ素含有廃液
となる。一方、エッチング途中やエッチング終了時に
は、これらのエッチング剤で処理された材料を大量の洗
浄水で洗浄するため、その洗浄工程からは、大量の低濃
度フッ素含有廃液が排出される。従来、これらの高濃度
フッ素含有廃液及び低濃度フッ素含有廃液は混合されて
一括処理されている。このフッ素含有廃液の処理には、
一般に水酸化カルシウム［Ｃａ(ＯＨ)2］などのカルシ
ウム化合物を添加してフッ化カルシウム（ＣａＦ2）と
して沈殿除去する方法が用いられている。しかしなが
ら、このようなフッ化カルシウムとして沈殿除去する方
法においては、フッ素含有水中に含まれるＳｉＯ2も、
そのほとんどが不溶化して沈殿するため、回収されたフ
ッ化カルシウムは純度が低いものとなって、再利用価値
が低減するのを免れないという問題がある。他方、炭酸
カルシウムを用いたフッ素処理方法が知られており、こ
の処理方法においては粉状や粒状の炭酸カルシウムが用
いられている。粉状の炭酸カルシウムの場合は、単に中
和剤として利用しているので、過剰に添加されることか
ら、沈殿物中に未反応の炭酸カルシウムが残存し、沈殿
物のフッ化カルシウム純度が低くなるのを免れない。ま
た、粒状の炭酸カルシウムを用いる場合も、これまで炭
酸カルシウム粒子のフッ化カルシウムへの転換率を予測
する手段がなく、回収物のフッ化カルシウム純度は不安
定であった。
あるいは各種金属材料、単結晶材料、光学系材料などの
表面処理分野などにおいては、多量のエッチング剤が使
用されており、そして、このエッチング剤としては、主
にフッ化水素や、フッ化水素とフッ化アンモニウムを主
成分とするエッチング剤が用いられている。フッ化水素
を主成分とするエッチング剤は、通常フッ素をＨＦとし
て０.９重量％程度を含む薬剤であって大量に用いられ
ており、一方、フッ化水素及びフッ化アンモニウムを主
成分として含むエッチング剤（バッファードフッ酸）
は、その使用量は少ないものの、フッ素をＨＦとして通
常７重量％程度含有していることから、これらのエッチ
ング剤は廃水系統へ移行した際、高濃度フッ素含有廃液
となる。一方、エッチング途中やエッチング終了時に
は、これらのエッチング剤で処理された材料を大量の洗
浄水で洗浄するため、その洗浄工程からは、大量の低濃
度フッ素含有廃液が排出される。従来、これらの高濃度
フッ素含有廃液及び低濃度フッ素含有廃液は混合されて
一括処理されている。このフッ素含有廃液の処理には、
一般に水酸化カルシウム［Ｃａ(ＯＨ)2］などのカルシ
ウム化合物を添加してフッ化カルシウム（ＣａＦ2）と
して沈殿除去する方法が用いられている。しかしなが
ら、このようなフッ化カルシウムとして沈殿除去する方
法においては、フッ素含有水中に含まれるＳｉＯ2も、
そのほとんどが不溶化して沈殿するため、回収されたフ
ッ化カルシウムは純度が低いものとなって、再利用価値
が低減するのを免れないという問題がある。他方、炭酸
カルシウムを用いたフッ素処理方法が知られており、こ
の処理方法においては粉状や粒状の炭酸カルシウムが用
いられている。粉状の炭酸カルシウムの場合は、単に中
和剤として利用しているので、過剰に添加されることか
ら、沈殿物中に未反応の炭酸カルシウムが残存し、沈殿
物のフッ化カルシウム純度が低くなるのを免れない。ま
た、粒状の炭酸カルシウムを用いる場合も、これまで炭
酸カルシウム粒子のフッ化カルシウムへの転換率を予測
する手段がなく、回収物のフッ化カルシウム純度は不安
定であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
従来のフッ素含有水の処理方法が有する欠点を克服し、
炭酸カルシウムによるフッ素含有水の処理方法におい
て、高純度のフッ化カルシウムを安定して回収する方法
を提供することを目的としてなされたものである。
従来のフッ素含有水の処理方法が有する欠点を克服し、
炭酸カルシウムによるフッ素含有水の処理方法におい
て、高純度のフッ化カルシウムを安定して回収する方法
を提供することを目的としてなされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、フッ素含有水
を炭酸カルシウム充填層に上向流で通水して処理する
際、該充填層の入口液と出口液のフッ素濃度又はpHがほ
ぼ同一になるまで通水処理することにより、ほぼ１００
％近い純度のフッ化カルシウムを回収しうることを見い
出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、 （１）複数の炭酸カルシウム充填反応塔の直列系であっ
て、該複数の炭酸カルシウム充填反応塔の直列系の１段
目の入口にフッ素濃度計又はpH計を設け、さらに、各炭
酸カルシウム充填反応塔の出口にもフッ素濃度計又はpH
計を設けた直列系に、フッ素含有水を全炭酸カルシウム
充填反応塔に対して上向流で通水して、該フッ素含有水
中のフッ素を除去するとともにフッ化カルシウムを回収
するにあたり、１段目の炭酸カルシウム充填反応塔の入
口直前のフッ素濃度計又はpH計と該塔の出口に設けたフ
ッ素濃度計又はpH計の数値がほぼ同一になるまで通水処
理し、ほぼ同一になった後に、１段目の炭酸カルシウム
充填反応塔への通水を中止して、２段目の炭酸カルシウ
ム充填塔に通水を切り替え、同時に、前記通水を中止し
た炭酸カルシウム充填反応塔内の高純度フッ化カルシウ
ムを新規炭酸カルシウムに入れ替え、該新規炭酸カルシ
ウム充填反応塔を複数の炭酸カルシウム充填反応塔の直
列系の最後尾に連結し、以下同一の手順で順次１段目炭
酸カルシウム充填反応塔を最後尾にメリーゴーランド方
式で切り替えることを特徴とするフッ素含有水の処理方
法、 （２）直列に連結した複数の炭酸カルシウム充填反応塔
にフッ素含有水を上向流で通水することにより、該フッ
素含有水中のフッ素を除去するとともにフッ化カルシウ
ムを回収する装置であって、該複数の炭酸カルシウム充
填反応塔の直列系の１段目の入口直前にフッ素濃度計又
はpH計を設け、さらに、各炭酸カルシウム充填反応塔の
出口にもフッ素濃度計又はpH計を設けた装置系に、１段
目の炭酸カルシウム充填反応塔への通水を２段目の炭酸
カルシウム充填反応塔に通水を切り替える手段、１段目
炭酸カルシウム充填反応塔内のフッ化カルシウムを新規
炭酸カルシウムと入れ替えする手段、充填後の該反応塔
を前記複数の炭酸カルシウム充填反応塔の直列系の最後
尾に連結する手段、以下同一の手順で順次１段目炭酸カ
ルシウム充填反応塔をメリーゴーランド方式で切り替え
る手段を有することを特徴とするフッ素含有水の処理装
置、 （３）反応塔へのフッ素含有水の通水を間欠的に供給す
る手段を有する第２項記載のフッ素含有水の処理装置、 （４）反応塔内に空気をバブリングさせる手段を有する
第２項又は第３項記載のフッ素含有水の処理装置、及び （５）炭酸カルシウム充填塔の容積の３倍以上の容量で
あるフッ素含有水貯留タンクを有する第１項、第２項、
第３項又は第４項記載のフッ素含有水の処理装置、を提
供するものである。
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、フッ素含有水
を炭酸カルシウム充填層に上向流で通水して処理する
際、該充填層の入口液と出口液のフッ素濃度又はpHがほ
ぼ同一になるまで通水処理することにより、ほぼ１００
％近い純度のフッ化カルシウムを回収しうることを見い
出し、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、 （１）複数の炭酸カルシウム充填反応塔の直列系であっ
て、該複数の炭酸カルシウム充填反応塔の直列系の１段
目の入口にフッ素濃度計又はpH計を設け、さらに、各炭
酸カルシウム充填反応塔の出口にもフッ素濃度計又はpH
計を設けた直列系に、フッ素含有水を全炭酸カルシウム
充填反応塔に対して上向流で通水して、該フッ素含有水
中のフッ素を除去するとともにフッ化カルシウムを回収
するにあたり、１段目の炭酸カルシウム充填反応塔の入
口直前のフッ素濃度計又はpH計と該塔の出口に設けたフ
ッ素濃度計又はpH計の数値がほぼ同一になるまで通水処
理し、ほぼ同一になった後に、１段目の炭酸カルシウム
充填反応塔への通水を中止して、２段目の炭酸カルシウ
ム充填塔に通水を切り替え、同時に、前記通水を中止し
た炭酸カルシウム充填反応塔内の高純度フッ化カルシウ
ムを新規炭酸カルシウムに入れ替え、該新規炭酸カルシ
ウム充填反応塔を複数の炭酸カルシウム充填反応塔の直
列系の最後尾に連結し、以下同一の手順で順次１段目炭
酸カルシウム充填反応塔を最後尾にメリーゴーランド方
式で切り替えることを特徴とするフッ素含有水の処理方
法、 （２）直列に連結した複数の炭酸カルシウム充填反応塔
にフッ素含有水を上向流で通水することにより、該フッ
素含有水中のフッ素を除去するとともにフッ化カルシウ
ムを回収する装置であって、該複数の炭酸カルシウム充
填反応塔の直列系の１段目の入口直前にフッ素濃度計又
はpH計を設け、さらに、各炭酸カルシウム充填反応塔の
出口にもフッ素濃度計又はpH計を設けた装置系に、１段
目の炭酸カルシウム充填反応塔への通水を２段目の炭酸
カルシウム充填反応塔に通水を切り替える手段、１段目
炭酸カルシウム充填反応塔内のフッ化カルシウムを新規
炭酸カルシウムと入れ替えする手段、充填後の該反応塔
を前記複数の炭酸カルシウム充填反応塔の直列系の最後
尾に連結する手段、以下同一の手順で順次１段目炭酸カ
ルシウム充填反応塔をメリーゴーランド方式で切り替え
る手段を有することを特徴とするフッ素含有水の処理装
置、 （３）反応塔へのフッ素含有水の通水を間欠的に供給す
る手段を有する第２項記載のフッ素含有水の処理装置、 （４）反応塔内に空気をバブリングさせる手段を有する
第２項又は第３項記載のフッ素含有水の処理装置、及び （５）炭酸カルシウム充填塔の容積の３倍以上の容量で
あるフッ素含有水貯留タンクを有する第１項、第２項、
第３項又は第４項記載のフッ素含有水の処理装置、を提
供するものである。
【０００５】以下、本発明を添付図面に従って詳細に説
明する。図１は、本発明方法を実施するための１例の説
明図であって、まずエッチング廃水等のフッ素含有水
（被処理液）１はＮｏ.１被処理液タンク２又はＮｏ.２
被処理液タンク３に移送される。このタンクは被処理液
の均一化及び安定化のために設置され、２基以上あると
都合がよい。被処理液は、例えばＮｏ.１タンク２に移
送され、満水になったら混合して均一化し、ポンプ４に
より、径０.１〜０.５mm程度の粒状炭酸カルシウムが充
填された１段目の反応塔５へ供給する。一方、新たに排
出される被処理液はＮｏ.２タンク３に入れ貯留する。
被処理液タンク２及び３の容量は反応塔容量の３倍以上
が望ましい。
明する。図１は、本発明方法を実施するための１例の説
明図であって、まずエッチング廃水等のフッ素含有水
（被処理液）１はＮｏ.１被処理液タンク２又はＮｏ.２
被処理液タンク３に移送される。このタンクは被処理液
の均一化及び安定化のために設置され、２基以上あると
都合がよい。被処理液は、例えばＮｏ.１タンク２に移
送され、満水になったら混合して均一化し、ポンプ４に
より、径０.１〜０.５mm程度の粒状炭酸カルシウムが充
填された１段目の反応塔５へ供給する。一方、新たに排
出される被処理液はＮｏ.２タンク３に入れ貯留する。
被処理液タンク２及び３の容量は反応塔容量の３倍以上
が望ましい。
【０００６】被処理液はポンプ４によって１段目の反応
塔５に上向流で供給される。上記エッチング廃水等の中
には、通常フッ化水素又はフッ化水素とフッ化アンモニ
ウムとが含まれており、フッ化水素によって二酸化炭素
ガスが発生するので、被処理液を下向流で供給すると、
塔内はガス流によって水切れ現象が生じ、供給液の偏流
をもたらし、反応が阻害されるという好ましくない事態
を招来する。本発明においては、該被処理液の供給は、
ポンプ４により間欠的に行うのが望ましい。この間欠的
な通水により、前記したように発生する二酸化炭素ガス
の作用と相俟って、炭酸カルシウムのかたまりを効果的
にほぐすことができ、炭酸カルシウムは効率よくフッ化
カルシウムに変換される。運転−停止の流量、時間につ
いては、被処理液中のフッ素濃度、充填炭酸カルシウム
の粒度や充填高さ、被処理液温度などにより影響を受け
るので、それらに応じて最適条件を適宜選ぶのがよい。
塔５に上向流で供給される。上記エッチング廃水等の中
には、通常フッ化水素又はフッ化水素とフッ化アンモニ
ウムとが含まれており、フッ化水素によって二酸化炭素
ガスが発生するので、被処理液を下向流で供給すると、
塔内はガス流によって水切れ現象が生じ、供給液の偏流
をもたらし、反応が阻害されるという好ましくない事態
を招来する。本発明においては、該被処理液の供給は、
ポンプ４により間欠的に行うのが望ましい。この間欠的
な通水により、前記したように発生する二酸化炭素ガス
の作用と相俟って、炭酸カルシウムのかたまりを効果的
にほぐすことができ、炭酸カルシウムは効率よくフッ化
カルシウムに変換される。運転−停止の流量、時間につ
いては、被処理液中のフッ素濃度、充填炭酸カルシウム
の粒度や充填高さ、被処理液温度などにより影響を受け
るので、それらに応じて最適条件を適宜選ぶのがよい。
【０００７】本発明においては、フッ化水素含有量の極
めて少ない被処理液を処理する場合には、所望により、
空気を反応塔内に連続的又は間欠的にバブリングさせて
もよいし、該被処理液に塩化水素などの酸を添加しても
よい。なお、被処理液のpHは４〜６の範囲が好ましく、
必要ならばアルカリや酸を添加してpH調整を行ってもよ
い。１段目の反応塔５から出た処理液は、全量第２段目
の反応塔８に流入されるとともに、１段目の反応塔５で
発生したガスも分離することなく、２段目の反応塔８に
導入される。
めて少ない被処理液を処理する場合には、所望により、
空気を反応塔内に連続的又は間欠的にバブリングさせて
もよいし、該被処理液に塩化水素などの酸を添加しても
よい。なお、被処理液のpHは４〜６の範囲が好ましく、
必要ならばアルカリや酸を添加してpH調整を行ってもよ
い。１段目の反応塔５から出た処理液は、全量第２段目
の反応塔８に流入されるとともに、１段目の反応塔５で
発生したガスも分離することなく、２段目の反応塔８に
導入される。
【０００８】本発明においては、炭酸カルシウム充填層
の入口液及び出口液のpH又はフッ素濃度を監視すること
が必要であるので、１段目反応塔５の入口及び出口ライ
ンの適当な場所にpH計やフッ素濃度計６及び７が設けら
れる。１段目反応塔５の処理液は２段目反応塔８に供給
されるが、１段目反応塔の入口液及び出口液のpHやフッ
素濃度がほぼ一致したら、ポンプ４の運転を止めて通水
を停止し、１段目反応塔内の充填物を抜き出してフッ化
カルシウムを回収する。この際、該充填物に付着する被
処理液の水切り及び水洗を行ってから抜き出しする方が
フッ化カルシウムの純度が向上するとともに、移送時の
危険対策にもなるので有利である。２段目反応塔８の処
理液９はpH計やフッ素濃度計１０によって処理効果を確
認し、処理水として排出する。
の入口液及び出口液のpH又はフッ素濃度を監視すること
が必要であるので、１段目反応塔５の入口及び出口ライ
ンの適当な場所にpH計やフッ素濃度計６及び７が設けら
れる。１段目反応塔５の処理液は２段目反応塔８に供給
されるが、１段目反応塔の入口液及び出口液のpHやフッ
素濃度がほぼ一致したら、ポンプ４の運転を止めて通水
を停止し、１段目反応塔内の充填物を抜き出してフッ化
カルシウムを回収する。この際、該充填物に付着する被
処理液の水切り及び水洗を行ってから抜き出しする方が
フッ化カルシウムの純度が向上するとともに、移送時の
危険対策にもなるので有利である。２段目反応塔８の処
理液９はpH計やフッ素濃度計１０によって処理効果を確
認し、処理水として排出する。
【０００９】１段目反応塔５の入口液及び出口液のpH又
はフッ素濃度がほぼ一致して、１段目反応塔５の充填材
を抜き出した後は、新たな炭酸カルシウムを充填する
が、その場合、被処理水の通水は反応塔８→反応塔５の
方向に行うメリーゴーランド方式とする。この場合、pH
計やフッ素濃度計の役割もそれに応じて変わることにな
る。また、本発明方法においては反応塔の入口及び出口
のフッ素濃度から、フッ素の除去量を算出することによ
って、塔内の充填材のフッ化カルシウムへの転換率を知
ることが可能であり、その結果、充填材の取り替え日を
予測することができる。このような処理によって、ほぼ
１００％に近い純度のフッ化カルシウムを回収すること
ができる。
はフッ素濃度がほぼ一致して、１段目反応塔５の充填材
を抜き出した後は、新たな炭酸カルシウムを充填する
が、その場合、被処理水の通水は反応塔８→反応塔５の
方向に行うメリーゴーランド方式とする。この場合、pH
計やフッ素濃度計の役割もそれに応じて変わることにな
る。また、本発明方法においては反応塔の入口及び出口
のフッ素濃度から、フッ素の除去量を算出することによ
って、塔内の充填材のフッ化カルシウムへの転換率を知
ることが可能であり、その結果、充填材の取り替え日を
予測することができる。このような処理によって、ほぼ
１００％に近い純度のフッ化カルシウムを回収すること
ができる。
【００１０】
【実施例】次に実施例により本発明をさらに詳細に説明
するが、本発明はこれらの例によってなんら限定される
ものではない。
するが、本発明はこれらの例によってなんら限定される
ものではない。
【００１１】実施例１
径０.２５mmの粒状炭酸カルシウム１００ミリリットル
を内径３０mmのカラムに充填した。このカラム２本をシ
リーズに連結し、１段目カラムに被処理液をＳＶ１ｈｒ
-1の流速で通水し、２段目カラムから処理液を抜き出し
た。被処理液として、ＮＨ4Ｆ、ＨＦ及びＨ2ＳｉＦ6を
混合して純水に加え、ＨＦ／全Ｆモル比０.１３、フッ
素濃度２２〜２５ｇ・Ｆ／リットル、ＳｉＯ2濃度０〜２
ｇ／リットルのものを調製して用いた。４８時間通水
後、運転を止めて、カラム入口液及び１段目カラム出口
液と２段目カラム出口液のフッ素濃度及びpHを測定する
とともに、各カラムの充填物を水洗後に抜き出し、フッ
化カルシウムの純度を測定した。なお、フッ化カルシウ
ムの純度はＪＩＳ Ｋ-１４６８のウインラード／ウイン
ター法に準じて求めた。結果を第１表に示す。
を内径３０mmのカラムに充填した。このカラム２本をシ
リーズに連結し、１段目カラムに被処理液をＳＶ１ｈｒ
-1の流速で通水し、２段目カラムから処理液を抜き出し
た。被処理液として、ＮＨ4Ｆ、ＨＦ及びＨ2ＳｉＦ6を
混合して純水に加え、ＨＦ／全Ｆモル比０.１３、フッ
素濃度２２〜２５ｇ・Ｆ／リットル、ＳｉＯ2濃度０〜２
ｇ／リットルのものを調製して用いた。４８時間通水
後、運転を止めて、カラム入口液及び１段目カラム出口
液と２段目カラム出口液のフッ素濃度及びpHを測定する
とともに、各カラムの充填物を水洗後に抜き出し、フッ
化カルシウムの純度を測定した。なお、フッ化カルシウ
ムの純度はＪＩＳ Ｋ-１４６８のウインラード／ウイン
ター法に準じて求めた。結果を第１表に示す。
【００１２】
【表１】
【００１３】第１表から、被処理液と１段目カラム処理
液のフッ素濃度がほぼ同一になるとフッ化カルシウムの
純度が１００％近くなることが分かる。またpHについて
も同様なことが言える。１段目カラムでのフッ素除去率
が高い（未飽和）とその処理液中にＮＨ4ＣＯ3が多量に
含まれpHが上昇する。しかし、pH１０以下ではpHを調整
することなく、２段目カラムにてフッ素が除去される。
フッ化カルシウム純度とフッ素除去率との関係及びフッ
化カルシウム純度とpH比（処理液pH／被処理pH）との関
係を、それぞれ図１及び図２にグラフで示す。
液のフッ素濃度がほぼ同一になるとフッ化カルシウムの
純度が１００％近くなることが分かる。またpHについて
も同様なことが言える。１段目カラムでのフッ素除去率
が高い（未飽和）とその処理液中にＮＨ4ＣＯ3が多量に
含まれpHが上昇する。しかし、pH１０以下ではpHを調整
することなく、２段目カラムにてフッ素が除去される。
フッ化カルシウム純度とフッ素除去率との関係及びフッ
化カルシウム純度とpH比（処理液pH／被処理pH）との関
係を、それぞれ図１及び図２にグラフで示す。
【００１４】
【発明の効果】本発明のフッ素含有水の処理方法による
とほぼ１００％に近い純度のフッ化カルシウムが回収さ
れるので再資源化が容易になる。また充填材の取替頻度
が予測でき、計画的な運転操作が可能になる。
とほぼ１００％に近い純度のフッ化カルシウムが回収さ
れるので再資源化が容易になる。また充填材の取替頻度
が予測でき、計画的な運転操作が可能になる。
【図１】図１は本発明方法を実施するための１例の説明
図である。
図である。
【図２】図２は実施例において、フッ化カルシウム純度
とフッ素除去率との関係を示すグラフである。
とフッ素除去率との関係を示すグラフである。
【図３】図３は実施例において、フッ化カルシウム純度
とpH比（処理液pH／被処理液pH）との関係を示すグラフ
である。
とpH比（処理液pH／被処理液pH）との関係を示すグラフ
である。
【符号の説明】
１ 被処理液
２ Ｎｏ.１被処理液タンク
３ Ｎｏ.２被処理液タンク
４ ポンプ
５ １段目反応塔
６ pH計及び／又はフッ素濃度計
７ pH計及び／又はフッ素濃度計
８ ２段目反応塔
９ 処理液
１０ pH計及び／又はフッ素濃度計
１１ 流量計
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 高土居 忠
東京都新宿区西新宿３丁目４番７号 栗
田工業株式会社内
(56)参考文献 特開 昭50−127872（ＪＰ，Ａ)
特開 昭50−10798（ＪＰ，Ａ)
特開 昭59−36591（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−48191（ＪＰ，Ａ)
実開 昭61−79698（ＪＰ，Ｕ)
Claims (5)
- 【請求項１】複数の炭酸カルシウム充填反応塔の直列系
であって、該複数の炭酸カルシウム充填反応塔の直列系
の１段目の入口にフッ素濃度計又はpH計を設け、さら
に、各炭酸カルシウム充填反応塔の出口にもフッ素濃度
計又はpH計を設けた直列系に、フッ素含有水を全炭酸カ
ルシウム充填反応塔に対して上向流で通水して、該フッ
素含有水中のフッ素を除去するとともにフッ化カルシウ
ムを回収するにあたり、１段目の炭酸カルシウム充填反
応塔の入口直前のフッ素濃度計又はpH計と該塔の出口に
設けたフッ素濃度計又はpH計の数値がほぼ同一になるま
で通水処理し、ほぼ同一になった後に、１段目の炭酸カ
ルシウム充填反応塔への通水を中止して、２段目の炭酸
カルシウム充填塔に通水を切り替え、同時に、前記通水
を中止した炭酸カルシウム充填反応塔内の高純度フッ化
カルシウムを新規炭酸カルシウムに入れ替え、該新規炭
酸カルシウム充填反応塔を複数の炭酸カルシウム充填反
応塔の直列系の最後尾に連結し、以下同一の手順で順次
１段目炭酸カルシウム充填反応塔を最後尾にメリーゴー
ランド方式で切り替えることを特徴とするフッ素含有水
の処理方法。 - 【請求項２】直列に連結した複数の炭酸カルシウム充填
反応塔にフッ素含有水を上向流で通水することにより、
該フッ素含有水中のフッ素を除去するとともにフッ化カ
ルシウムを回収する装置であって、該複数の炭酸カルシ
ウム充填反応塔の直列系の１段目の入口直前にフッ素濃
度計又はpH計を設け、さらに、各炭酸カルシウム充填反
応塔の出口にもフッ素濃度計又はpH計を設けた装置系
に、１段目の炭酸カルシウム充填反応塔への通水を２段
目の炭酸カルシウム充填反応塔に通水を切り替える手
段、１段目炭酸カルシウム充填反応塔内のフッ化カルシ
ウムを新規炭酸カルシウムと入れ替えする手段、充填後
の該反応塔を前記複数の炭酸カルシウム充填反応塔の直
列系の最後尾に連結する手段、以下同一の手順で順次１
段目炭酸カルシウム充填反応塔をメリーゴーランド方式
で切り替える手段を有することを特徴とするフッ素含有
水の処理装置。 - 【請求項３】反応塔へのフッ素含有水の通水を間欠的に
供給する手段を有する請求項２記載のフッ素含有水の処
理装置。 - 【請求項４】反応塔内に空気をバブリングさせる手段を
有する請求項２又は３記載のフッ素含有水の処理装置。 - 【請求項５】炭酸カルシウム充填塔の容積の３倍以上の
容量であるフッ素含有水貯留タンクを有する請求項１、
２、３又は４記載のフッ素含有水の処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08761892A JP3466637B2 (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | フッ素含有水の処理方法及び処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08761892A JP3466637B2 (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | フッ素含有水の処理方法及び処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05253578A JPH05253578A (ja) | 1993-10-05 |
| JP3466637B2 true JP3466637B2 (ja) | 2003-11-17 |
Family
ID=13919964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08761892A Expired - Lifetime JP3466637B2 (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | フッ素含有水の処理方法及び処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3466637B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3192557B2 (ja) | 1994-08-26 | 2001-07-30 | シャープ株式会社 | 排水処理装置および排水処理方法 |
-
1992
- 1992-03-11 JP JP08761892A patent/JP3466637B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05253578A (ja) | 1993-10-05 |
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