JP3461832B2 - 電気メッキ装置 - Google Patents

電気メッキ装置

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JP3461832B2
JP3461832B2 JP51308495A JP51308495A JP3461832B2 JP 3461832 B2 JP3461832 B2 JP 3461832B2 JP 51308495 A JP51308495 A JP 51308495A JP 51308495 A JP51308495 A JP 51308495A JP 3461832 B2 JP3461832 B2 JP 3461832B2
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サンテック・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト
キアニー,ケヴィン・デイヴィッド・ニコラス
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    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
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    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/02Electroplating of selected surface areas
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
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  • Coating With Molten Metal (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、継続して移動する金属あるいは金属化され
たストリップ上のある選択された領域を選択的にメッキ
するための電解質セルに関する。
このようなセルは装置に取り付けられて使用され、特
に表面処理や貴金属で集積回路(リードフレーム)用の
コネクタのメッキをするために使用されていた。
我々は、以下の文献の存在を知っている。即ち、GB−
A−2117405(ナショナル セミコンダクタ)、GB−A
−2094344(オーウェン)、WO−81/03187(コンタク
タ)、USP−A−4155815(フランシス)およびEugene
B.Madalによって発行された“金属仕上げ”の1987年1
月号第29〜31頁である。これらが開示している内容のい
づれも、本発明が目的とする特徴を開示していないが、
技術的な背景を示すために引用した。
本発明は、加工材料が処理電解液と接触する、装置の
電解質的処理ゾーンを通して、加工材料を移送するため
の手段を有し、前記移送手段は、電解液が前記規定の領
域だけに接触するように前記加工材料をマスクするマス
ク手段を付与し、前記移送手段は、前記加工材料を前記
マスク手段と整合して位置決めするインデックス手段を
付与するエンドレスチェーンを有し、また前記装置はマ
スクされた加工材料に電解液を供給する手段と、一の電
極としての加工材料と他の電極としての加工材料との間
で電流を流すための手段とを有する、連続して移動する
導電性加工材料の規定された領域を選択的に電解質的に
処理するための装置を提供する。このような装置を以
下、上記タイプの装置として呼ぶ。
本発明の主目的は、発明の特徴の点で数多くに及ぶ。
幾つかのあるいは2またはそれ以上の点で、上記タイプ
の装置と両立して結合して使用することができる。また
本発明の主題はそのような結合にも及ぶ。
本発明の第1の側面では、加工材料を移送するための
手段が、非導電性材料から成る接続されたリンクででき
た2つのエンドレスチェーンコンベアを有し、これら2
つのエンドレスチェーンコンベアの間に、加工材料が処
理ゾーンを通過する間、該加工材料を保持している。
本発明の第2の側面では、2つのエンドレスチェーン
コンベアが少なくとも前記処理ゾーンにおいて互いに整
合した関係を維持することを確実にするために、インデ
ックス手段を設ける。
このインデックス手段はチェーンによって与えられる
共同係合構造を有する。
本発明の第3の側面では、エンドレスチェーンコンベ
アの各々が、少なくとも前記処理ゾーン内において支持
構造を有する。該支持構造は互いの方向へ接近したり離
れたりして動くように取り付けられていることが好まし
い。
本発明の第4の側面では、前記支持構造は固定され互
いに向き合った関係で保持するための手段を有し、該関
係にある状態ではエンドレスチェーンコンベアは、互い
に整合してスライドが自由にできる。この場合、固定さ
れ互いに向き合った関係にある前記支持構造を保持する
ための手段が、インデックス手段とクランプ手段とを有
することが好ましい。またインデックス手段は、前記支
持構造により付与され、前記支持構造に支持される共同
係合構造を有していてもよい。
本発明の第5の側面では、前記2つのエンドレスチェ
ーンコンベアは少なくとも処理ゾーンにあるとき互いに
係合し、前記コンベアの1つのみが駆動手段を有し、駆
動するコンベアは、処理ゾーンにおいて該駆動するコン
ベアと整合する他のコンベアを支持するように作動す
る。
本発明の第6の側面では、前記エンドレスチェーンコ
ンベアの少なくとも1つが、少なくとも前記処理ゾーン
において支持構造を有し、また前記支持構造に前記コン
ベアを保持しながら、同時に前記コンベアを前記構造に
沿ってスライドさせることができるように、少なくとも
前記処理ゾーン内の前記支持構造に係合している。
また両方のエンドレスチェーンコンベアは、少なくと
も前記処理ゾーンにおいて支持構造を有し、また両方の
エンドレスチェーンコンベアは、前記各コンベアがその
各々の支持構造に保持されながら、前記支持構造に沿っ
てスライドすることができるように、少なくとも前記処
理ゾーン内の各支持構造に係合していることが好まし
い。コンベアは、共働する突起と凹所とを有する共働手
段によって、その支持構造に係合されていてもよい。突
起は前記チェーンコンベア内に位置決めされ、凹所は前
記支持構造内に位置決めされていることが好ましい。こ
の側面の一形態として、前記突起と凹所とは、前記チェ
ーンコンベアの動く方向に垂直な断面が、実質上三角形
である。
本発明の第7の側面では、前記エンドレスチェーンコ
ンベアの一方または両方が、ベルトと摩擦係合すること
で駆動される。
本発明の第8の側面では、各エンドレスチェーンコン
ベアは離れた支持構造に支持され、該支持構造と前記チ
ェーンとは互いに対して相対的に可動であり、これによ
り支持構造とチェーンとの間に加工材料を係合したり、
離れたりするように一緒に作動可能である。
本発明の第9の側面では、前記支持構造の一方または
両方が、該支持構造上のエンドレスチェーンコンベアを
摩擦係合し、前記コンベアを駆動するようになっている
ベルトを支持することができる。
本発明の第10の側面では、前記各駆動ベルトは、前記
加工材料から離れている前記チェーンコンベアのリンク
の表面に係合するように位置決めされる圧縮性ポリマー
の面を有し、前記処理ゾーン内で係合する。
本発明の第11の側面では、前記支持構造の各々が、少
なくとも前記処理ゾーンにおいて、前記支持構造に前記
チェーンを係合するための手段を支持する。
本発明の第12の側面では、各エンドレスチェーンは、
少なくともその戻り工程の一部において支持手段を有す
る。
本発明の第13の側面では、前記チェーンコンベアの少
なくとも1つのリンクが、前記マスク手段によって規定
される開口を有し、電解液出口手段が、電解生成物を生
じる傾向を減じるように各開口に出口を付与することを
確定している。
両方のエンドレスチェーンコンベアのリンクは、加工
材料に供給されるべき電解液が通る開口を有してもよ
い。
本発明の第14の側面では、前記開口は、前記2つのチ
ェーンのリンクが向かい合った状態で前記処理ゾーン内
で整合するように、2つのチェーンのリンクの中に位置
決めされており、また前記開口は整合していない。
本発明の第15の側面では、前記開口は、前記リンクが
前記処理ゾーン内で整合して各々が向かい合うときに整
合するように2つのチェーンのリンク中に位置決めされ
ている。
前記加工材料の両面には電解液を供給するための手段
を有することが好ましい。
本発明の第16の側面では、1つのコンベアを介して加
工材料の一面から加工材料を通過して、加工材料の他の
面に至り、そこを介して他のコンベアへ出るように電解
液を送るための手段を有する。
加工材料の各面に向かい合うアノードを有することが
好ましい。
また連続して移動する導電性加工材料の規定された領
域を選択的に電解質的に処理するための本発明の装置の
好ましい形態では、加工材料が処理電解液と接触する、
装置の電解質的処理ゾーンを通して、加工材料を移送す
るための移送手段を有し、前記移送手段は、電解液が前
記規定の領域だけに接触するように前記加工材料をマス
クするマスク手段を付与し、前記移送手段は、前記加工
材料を前記マスク手段と整合して位置決めするインデッ
クス手段を付与するエンドレスチェーンを有し、また前
記装置はマスクされた加工材料に電解液を供給する手段
と、一の電極としての加工材料と他の電極としての加工
材料との間で電流を流すための手段とを有し、前記加工
材料を移送するための移送手段は、非導電性材料から成
る接続されたリンクでできた2つのエンドレスチェーン
コンベアを有し、前記2つのエンドレスチェーンコンベ
アの間に、前記加工材料が前記処理ゾーンを通過する
間、該加工材料を保持しており、更に前記装置は、少な
くとも処理ゾーンにおいて、2つのエンドレスチェーン
コンベアが互いに整合状態にあることを確実にするため
のインデックス手段を有し、各エンドレスチェーンコン
ベアは分離した支持構造に支持され、前記支持構造とチ
ェーンとは、両者間に加工材料を係合したり離したりす
るように共働可能に互いに相対的に動くことができ、両
方のエンドレスチェーンコンベアは、少なくとも処理ゾ
ーンにおいて支持構造を有し、また両方のエンドレスチ
ェーンコンベアは少なくとも処理ゾーンにおいて、各コ
ンベアがその各々の支持構造に保持されながら前記構造
に沿ってスライドできるように各支持構造に係合され、
支持構造の一方または両方がベルト手段を支持し、該ベ
ルト手段がその支持位置においてエンドレスチェーンコ
ンベアと摩擦係合し、前記コンベアを駆動するようにな
っている。
本発明は種々の方法で実務的に使用でき、多くの特別
の実施例を発明と下記の関連図面に関する幾つかの側面
と共に説明する。
図1は、本発明の第1実施例の上方から見た部分断面
平面図である。
図2は、図1の左端であり、入口端からメッキゾーン
へ図1の二重チェーンコンベアアレイの片側を上方から
見た斜視図である。
図3は、加工材料の片面にスポットあるいはストリッ
プをメッキするための図1に示す実施例の一形態の断面
図である。
図4は、図3の中央領域のより詳細な図であって、加
工材料の両面上のスポットあるいはストリップを互いに
整合していない異なる位置でメッキするための図1に示
す実施例の形態を示す図である。
図5は、両面および例えばSIMM接触のような接触端を
メッキするための図1に示す実施例の形態を示す、図4
と同様な図である。
図6は、水平状態に配置され、1つのチェーンの3つ
のリンクを示す第1実施例で使用されたチェーンコンベ
アの1形態の上方から見た、より詳細な斜視図である。
図7は、繰り返しパターンと案内穴とを有する加工材
料を示し、リンクの長さと加工材料のピッチとの間の好
ましい関係を示す加工材料の拡大図である。
図8A、図8Bは、チェーンの1つだけを直接駆動する、
第1実施例とは異なる本発明の第2実施例の部分断面平
面図であり、図8Aは入口端を示す図である。
図9A、図9Bは、図8A、図8Bの実施例のチェーンの1つ
の側面図であり、図9Aは入口端を示す図である。
図10は、図3同様、図8に示す第2実施例の断面図で
ある。
図11は、図4同様の構造の、第2実施例の断面図であ
る。
図12は、図5同様の構造の、第2実施例の断面図であ
る。
図13は、パッドとリードフレームの中心領域の片面の
メッキしたい部分を示す典型的な加工材料の1形態の拡
大平面図およびその更に拡大したパターンとリードフレ
ームとを示す図である。
図14は、パッドをマスクしながらリードフレームだけ
をメッキできるようなリンクおよびマスキング構造の破
断斜視図である。
図15は、ある材料の上部に示す構造を縁メッキし、異
なる材料の底部に示す構造の両面をメッキする場合の異
なる典型的な加工材料を示す図13同様の図である。
図16は、本発明のコンベアチェーンの一対のリンクの
上部からの平面図であって、図6の構造の変形であり、
図12の構造に使用するのに適当なものを示すものであ
る。
図17は、図16の構造の入口側(即ち図16の右手側)か
ら見た一部側面図である。
図18は、リンクの内面から見た、マスキングプレート
を示す、出口側でのリンクの一部側面図である。
図19は、図18の変形であり、穴の列の幅がわずかに小
さいスロットによって代えられたリンクを示す図であ
る。
図1、図2に示す形態、図3〜5に示す3つの異なる
形態および図6、7にはより詳細に示すセルは、従来の
選択的な電気メッキセルに比べて、改良された融通性の
高い操作性をもつメッキセルである。本発明のセルは、
電気メッキをしない部分を残しながら、加工材料の選択
的部分にメッキすることができる。選択的な領域は、所
望の形状の広い範囲のスポットあるいは加工材料の縁部
分のようなストリップまたは制限領域でもよい。
実施例では、加工材料に沿って加工材料の線形性を種
々変えることができる。横方向に取り扱う平面でない加
工材料でも可能である。
従来の構造に比べると、本発明では製造の融通性が大
きく増した。少しの改良を加えるだけの場合でも、本発
明の装置は以下の操作を実行すればよい。
(1)加工材料、例えばストリップの片面をメッキする
(片面だけに電解液を供給することによって)(図3、
10参照) (2)両面の同じ位置に同時にメッキする(他のコンベ
アの開口と整合したチェーンの開口を有し、同時に両面
に電解液を供給することによって) (3)両面の異なる位置に同時にメッキする(他のチェ
ーンの開口と整合していないチェーンの開口を有し、加
工材料の両面に同時に電解液を供給することによって)
(図4、図11参照) (4)加工材料のエッジ(ストリップ)をメッキする
(整合したエッジを、整合した両方のチェーンの開口に
位置決めし、好ましくは片面だけからエッジに電解液を
供給することによって)(図5、図12参照) (5)異なるメッキ材料の対向面あるいは対向エッジを
メッキする(本発明の2つの装置を両者間の適切な水洗
手段に沿って置き、第1装置の一面あるいは一方のエッ
ジにある材料をメッキし、向きを変えることなく、第2
装置の他の面あるいは他のエッジに異なる材料又は同じ
材料で異なる量をメッキすることによって) 第一実施例は2つのモジュールあるいはカセット、す
なわち固定カセット20と可動カセット120を有する。各
カセットは、リンクのエンドレスチェーン(30と130)
が上下方向に配置しており、各リンクは所定の範囲内で
相対的に動くように互いにヒンジ結合されている。尚、
本明細書中のエンドレスチェーンコンベアは、単にチェ
ーン、コンベア、エンドレスチェーンあるいはコンベア
チェーンと省略して表記する場合があるが、これらは同
一の意味で使用している。
チェーンは加工材料95を移送する機能とマスキングす
る機能とを有する。チェーンは加工材料インデックスゾ
ーン40、メッキゾーン41及び加工材料解放ゾーン42を通
り、各々走行位置43、44に戻る。加工材料インデックス
ゾーン41及び加工材料解放ゾーンを通り、各々走行位置
43、44に戻る。加工材料インデックスゾーン40では、加
工材料95が固定カセット20のチェーン30と可動カセット
120のチェーン130とのインデックス付けされた関係にあ
り、メッキゾーン41では、両チェーンを互いに並置して
たがいに押圧する。メッキゾーンの範囲は図の線41で示
された通りである。
エンドレスチェーン30は入口端31において曲がったガ
イド32により支持され、また出口端33において自由に回
転する案内ホイール34(ガイドによって置換可)により
支持される。
チェーン30は上下に配置され、長手方向に延びる第1
と第2の支持構造50、60によってガイド32とガイド34と
の間に支持され、支持構造50はメッキゾーンにあり、一
方支持構造60はリターンゾーンにあって支持構造50と同
じ距離だけ延びている。
チェーン130は、支持構造50、60と同じ構造を有する
第1と第2の支持構造150、160によって同様な方法で支
持されている。
このような支持の好ましい態様を図2に示す。図2に
は支持構造50と150の入口端が示されている。エンドレ
スチェーン30、130の内面は、支持構造50と150によって
提供される共働構造と関連して、自由にスライドできる
キー係合する形態を採る。
図2、3、4および5に示すように、これらの共働構
造はエンドレスチェーンの内面に設けた突起51、151で
あることが好ましく、突起51、151は支持構造50、150の
チェーン接触面の凹部55、155と係合する(凹部155は図
2に、凹部55は図3、4及び5に示されている)。
これにより少なくともメッキゾーンにあるチェーンを
支持構造に保持しながら、そこでスライドすることが自
由になる。
突起51と151は円錐支持面52、152(典型的にはチェー
ンの面に垂直方向に約20゜〜40゜、たとえば30゜傾いて
いる)を有する円錐形状のチェーンの内面から外側に延
び、チェーンの面に平行な平面53、153で終わることが
好ましい。凹所55と凹所155は整合しているが、わずか
に幅広の形状で深く形成されているため、突起が凹所に
入るとき、重力の影響で突起の上方に大きな隙間58、15
8ができ、また突起の端部51、151と凹所55、155の平ら
な内面57、157との間にも大きな隙間59、159ができる。
これらの隙間はチェーンと支持構造との間の遊びを許容
する点で重要であり、これにより装置は詰まることなく
(隙間158に入り込むことなく)、加工材料の垂直面で
弓なりになるような非直線的変形を収容できる。隙間15
9により、上反りすなわちそれらの長手方向に垂直な方
向に曲がった加工材料をも、本装置で扱うことができ
る。
第一実施例では、両カセット内のチェーン30、130が
圧縮性の要素とチェーンの材料に関して高い摩擦係数と
を有するチェーン接触面をもつキー係合した駆動ベルト
により駆動され、その結果がベルトが摩擦接触によりチ
ェーンを駆動することができる。ベルトはメッキゾーン
を介してチェーンを引き、このことは図7に関して以下
詳細に述べる打ち抜き交差の調節に関して重要な結果を
もつことになる。
キー係合したベルトは、固定カセット20内の符号65、
66及び可動カセット120内の符号165、166の二つ組にな
って配置される。
ベルト65、66は入口端31での上下の歯付きスプロケッ
ト67、167と、出口端33でのスプロケット69、169の周り
で駆動する。スプロケット69はベルト72を介してカセッ
トの外側に取り付けられた可変速度モータ71によって反
時計回りに駆動される(スプロケット169はモータ171と
ベルト172によって時計回りに駆動される)。ベルト6
5、66はチェーン30の端部に隣接する長手方向に延びる
スロット75、76(図3、4、5)内にあり支持構造51と
電解質供給手段よりも外側に位置する。すなわちベルト
65はチェーンの上部領域と係合し、ベルト66はチェーン
の下部領域と係合する。
ベルト165、166の構造と駆動は同様である。
図3、4、5に示すように、ベルト65、66、165、166
のチェーン接触面は、支持構造50、150の面のやや上方
にあり、チェーンの内面と支持構造の面との間に小さな
隙間61、62が形成されている。ベルト65、66、165、166
の圧縮可能な面層63、163の各々(図3、4、5参照)
は、硬いグレードであることが好ましい。各ベルト65、
165は、加工材料から離れているエンドレスチェーンコ
ンベア30,130のリンクの表面に係合するように位置決め
される圧縮性ポリマーの面を有し、この圧縮性ポリマー
の面が圧縮可能な面層63、163として、処理ゾーン内で
係合する。
電気メッキを、導電性(例えば金属性あるいは金属化
された)のカソードとなる加工材料を作ることによって
達成する。これは入口端97と出口端出口でカソードピッ
クアップ96で加工材料を接触することによって達成され
る。加工材料をアイドラーローラ98によって固定カセッ
ト20のチェーン30に導き、該チェーン30に対して押し付
ける。
図1に示す構造では、(符号81、181として孔を示す
ように)孔の開いたあるいはメッシュ状のアノード80、
180を介して加工材料95の両面に電解液を同時に供給す
る。カセットの外側にあるポンプ機構(図示せず)が、
入口82、182からアノードを介してマニフォールド83、1
83の中へ、また支持構造50、150の出口スロット84、184
の中へ、適切な流速と圧力で電解液を送り込む。(図
3、4、5参照、これらはわずかに異なる構造を示す
が、スロット84、184の好ましい形を示す。またスロッ
ト184は図2に示されている。) 電解質がチェーンに接し、チェーンの開口を通過して
両チェーンの間に支持され、そこにインデックスされた
加工材料95に付着し、電解質中の金属核種をチェーンの
開口によって区画された選択された領域に付着させる。
そして使用後の電解質は排出、すなわち回収される。こ
れをどのようにして行うかは、下記のように図10、11、
12に示されている。
図2を参照すると、ここには加工材料、チェーンイン
デックス機能、チェーン支持機能及び電解質供給機能が
図式的にはっきりと示されるが、チェーン駆動機構を省
略してある。チェーン駆動機構は図1に全体が示され、
また図3、4、5、6にも示されている。
インデックス付けは本発明の重要な特徴であり、イン
デックス付けを以下詳細に説明する。
すべてのカセットは、最初に、共働機構、例えばピン
88と孔89によって、例えば固定カセット20内のピン88が
可動カセット120の孔89に位置決めされることによって
(図10、11、12参照)、互いに整合される。これらのピ
ンと孔は外側、例えばそれらが自由な動きを邪魔されな
いようにチェーン30、130の上方又は下方に位置決めさ
れる。可動カセット120は横断バー91、92(図8A、8B参
照)にスライド可能に係止しており、横断バー91、92に
は固定カセットが固定されている。ピン88が孔89内に係
合すると、可動カセットは、カセットの上下に好ましく
は位置決めされているバネ負荷可調節圧力クランプ99
(図3参照)によって固定カセットに固定される。
第2に、2つのチェーンが共働機構、例えばチェーン
30内のピン36、37とチェーン130内の孔136、137(図3
参照)、反対にベルト130内のピン138、139とチェーン3
0内の孔38、39(図1、2参照)、によって互いにイン
デックス付け(整合)される。
第3に、加工材料95は、加工材料95のインデックス孔
94とベルト130の孔49とに係合するベルト30内のピン93
によってインデックス付け(整合)される。
電解質供給機能に関して、電解液がチェーンの内面に
供給される段階まで述べてきた。
チェーンは、好ましくは低い熱膨張率の非伝導性樹脂
製のリンク24でできている。リンク24は各チェーン30、
130において同じである。
図1、2は直線形態で且つ入口31と出口33の周りでは
巻くように互いを接続した多くのリンクを示す。図6は
3つの個々のリンク24a,24b及び24cを示す。
上述したように電解液はアノード80、180の孔81、181
を通ってマニフォールド83、183を介して吸い上げら
れ、リンク24内の開口26を介して加工材料95にアクセス
する。
開口26は加工材料95のメッキしたいエリアあるいはゾ
ーンを画成するのを助ける。加工材料95は金属製あるい
は金属化された表面のストリップでもよい。特に図2に
示されるストリップ95は接触足100、101を有し、図2で
はこれらの足の端部がリンクの開口26と位置合わせさ
れ、片面にメッキがなされる。図2に示されるように、
各リンク24はそのような2つの開口26を有し、これによ
り隣接する一対の隣接足をメッキすることができる。再
び図6を参照(図2も併せて)すると、加工材料接触面
が、圧縮性絶縁材料、例えばシリコンゴム製(係合ベル
ト65、66、165、166の表面より柔らかい(より圧縮性が
ある))のシール板46に形成される。
リンク24はそれらの面28内の長手方向に延びる凹所27
を有し、該凹所27は、加工材料95の方向へ向けて配置さ
れている。開口26が該凹所27を貫通し、凹所は開口26の
端部を越えてリンクの端部の方まで十分な距離延びてい
る。
シール板46が凹所27内に緊密に嵌まり込むように配置
され、またシール板46はメッキされるべき加工材料の領
域を規定する開口49を有する。シール板46には案内穴48
が形成され、開口49が開口26と整合すると同時に、各シ
ール板46が隣接するリンク、例えば24a,24b(図6参
照)の間の接続部を横切って延びるように、案内穴48の
位置がシール板46に対して位置決めされている。
シール板46はメッキ条件に耐えるエラストマー材料で
できていることが好ましく、例えば凹所27の側壁に対し
て外側に、そしてそれらの当接端に対して長手方向に押
し潰されることによりシール性が増すように圧縮できる
ことが望ましい。シール板46は、エンドレスチェーンの
両端の周りでリンクの通路を邪魔しないように可撓性を
有することが望ましい。シール板46は適宜の接着剤でリ
ンク24に固定されている。
案内穴48は、加工材料95のインデックス孔94に整合す
るリンク24のインデックスピン93を受け入れるように大
きさが決められている。
シール板46の両端が、符号125の地点で面取りされて
おり、これによりシール板46同士が重なり合い、シール
の一助となっている。このようなシールは、リンク24の
両端を、例えば互いに雄、雌にしたり、一端側に段状の
突出部を設け他端側にはこれと整合する段状の凹部を設
けるなど、一部を重ねて整合させるように形成すること
によって高めることができる。そのような形態は、また
マスキング板にも使用できる。図16はそのような形態の
一例を示している。
図6、7に関して、リンク24a、24b,24cが、それらの
移動チェーン30、130の占める位置にしたがってリンク
間の距離を軸方向に変えることができるように構成され
るルースアタッチメントによって接続されていることが
わかる。実際、図面(図6)に示されるように、ピン11
1の支持面113がループ112の孔の中で自由にスライドで
きるように、長く延びたループ112と協働してリンク24
に固定される、釘やびょう(個々ではピン111と呼ぶ)
のようなこれらのアタッチメント要素がある。これによ
りリンク24(24a,24b,24c)は互い接触したり(リンク2
4a、24b参照)、あるいは互いに離れたりして(リンク2
4bと24cを参照)、チェーンの戻りの循環のために十分
な角度的な機動性が得られるようになっている。なお、
この機動性を改良するために更に好ましくは、リンク24
の軸側の面を面取りすることができるが(図6参照)、
この構造的特徴は本質的ではない。ピン111をリンク24
の材料中へ打ち込むことができる。リンク24は電気的な
絶縁ポリマー樹脂で作ることが好ましい。なお、しかし
図6に示す構造では、ピン111のヘッド114を無差別な方
向に向けることはできない。なぜならそれは特別の形
状、すなわち円形ではなくリンクに直角に向いた平坦部
115を有し、その幅が支持面111の直径に対応するからで
ある。このような構造により、チェーンは容易に移動す
ることができる。実際にチェーンが平面上に進行した後
で、リンクの1つが次のリンク(あるいは前のリンク)
に対して折れ曲がることが十分でき、これによりピン11
1の平面部113が互いの進行方向に向けられて、ループ11
2を自由に引っ張ることができる。しかし、この形状は
随意であり、びょう111は円形あるいは多角形のヘッド
を有していてもよく、この場合にはびょうの一部にネジ
を切ってリンクの材料の中へネジ込むこともできる。
本発明の電解セルで使用されるチェーンのリンクの長
さL(図6参照)は、メッキする加工材料のピッチA
(図7参照)の機能を決定する。加工材料のピッチは、
後者の2つの各パターンを分ける距離になるように規定
される。
図2を参照すると、繰り返しパターンが各々に案内穴
94を有することがわかる。このように図2の加工材料の
ピッチAは、案内穴94から案内穴94bまで、すなわち隣
接する案内穴94の中心同士の距離の2倍である。
そのような加工材料95の一部が図7に示され、そこに
はチェーン30のリンク24によって支持されるピン93に対
してこの加工材料を位置決めするための2つの穴94、94
bも示されている。ストリップのピッチは「A」で示さ
れ、案内ピン93の半径は「R2」で示される。リンク24の
長さは、A−R2とA−Xの間の値をとることが望まし
い。ここでXは加工材料を作るとき、例えば打ち抜くと
きの長さAに対するプラス、マイナスの公差を示す。図
7はピン93を示し、このピン93は、半径R2が望ましい。
柄が穴94、94bの直径2R1よりもわずかに小さな寸法を有
し、ピン93の先端93aがピン93の柄の直径2R2の10分の1
より小さい直径2R3を有する。図7を参照すると加工材
料(公差X)のピッチAの誤差が、ピン93の柄と穴94、
94bとの間の直径2(R1−R2)の差に対応する値を超え
ないと仮定すれば、リンクの長さLが穴へのピンの係合
のときにA−R1とA−Xとの間に維持されるならば、隣
接するリンク24は互いに十分離れており、ピン93の先端
93aは、穴94、94bの円の中心の方向へ向く。このように
して加工材料95へのリンクの係合を容易に行うことがで
きる。
伸縮性のあるリンク結合112によってヒンジ結合され
たリンク24でできたチェーン30、130が、メッキゾーン4
1内でインデックスされることを思い出すであろう。こ
れは隣接するリンク、例えば符号24a、24bで表すリンク
の間の軸方向の遊びPは、少なくとも加工材料の離れて
隣接する案内穴、例えば94と94bの距離の全公差X(最
も極端な公差の場合)ほどになることが必要であるが、
ピン93の[直径(2R2)−全公差](R2はピン93の半
径)を超えるべきではないことを意味する。
このようにして以下の関係が好ましく適用される。即
とXはP以下であり、Pは(2R2−X)以下である。
マスクリンク24の長さLは以下の関係によって定義さ
れることが好ましい。A−R2はL以下であり、LはA−
X以下である。
実際には、直径1.5mm(R1−750マイクロメーター)の
穴93と、柄が1.4mmの直径R2及び先端93aが10〜20マイク
ロメーターの直径R3を有するピン93では、平均ピッチA
の両側で50マイクロメーターの誤差Xが容易に許容でき
る。通常の打ち抜き全公差は、一般には10〜30mmの距離
に対して約20マイクロメーターを超えることはないか
ら、装置がメッキすべき加工材料95の一部に関してマス
クリンク24を効率的に位置決めするための打ち抜き誤差
を容易に許容できる。
上記での言及は、戻り工程43、44と支持構造60、160
(図1参照)についてである。これらは図3により詳細
に示されている。これらの構造の各々に示されるよう
に、本質的には上方に面している傾斜した棚、フックあ
るいはレールがあり、その上に突起51、151が支えられ
ており、また戻り工程中にはそれらに沿って突起が自由
にスライドできる。この自由な工程を維持して、チェー
ンの隣接するリンク24を戻り工程において互いに離れた
状態にすることが望ましい。図8Bに示す実施例ではこの
状態を維持することを助けている。出口ガイドすなわち
ホイール34、134が出口端33の方へ外側へ付勢されてい
る。これは例えば垂直方向に位置決めされ、円弧状のス
ロット79、179内に位置決めされる端部78、178を有する
ヘリカルトーションスプリング77、177によりバネ付勢
されている。この構造では全体構造内のどんな温度膨張
も吸収することを助ける。
図8〜図12に示す第2の実施例は、いくつかの点で第
1の実施例とは異なるが、同じ部材には同じ参照符号を
付している。特に第2の実施例は異なる考え方で構成さ
れており、入口端は左手側でなく右手側にある。さらに
チェーンを固定カセット20内のチェーン30を駆動する1
つのモータ71によって駆動する(わかりやすくするため
に、図8A、8Bではチェーンのほとんどを省略してあり、
図8Aには少しの部分だけ示してある)。チェーン130に
係合するチェーン30もまたそれを駆動する。この構造は
よりシンプルで、しかも優れた機械操作ができることが
わかった。
図8Aは、カソード接点96を通り、アイドラローラ98に
よって固定カセット20のチェーン30に対して押圧される
加工材料95と共に、装置の入力端を示している。固定カ
セット20は横断バー91、92(図8B)に取り付けられる。
可動カセット120もバー91、92に取り付けられるが、そ
こに固定されてはいない。可動カセット120はカセット2
0からスライドすることができ、バーから持ち上げられ
る。カセット20のピン88とカセット120の穴89(図10〜1
2参照)によって、カセット20にインデックス付け(整
合)がなされる。一度互いに2つのカセットをインデッ
クス付けするように整合状態になると、可動カセット12
0はスプリング負荷クランプ99によりカセット20にクラ
ンプされる。そしてこの装置は使用の準備がなされる。
図10、11及び12を特に参照すると、各カセット20は、
後壁141、天壁142及び底壁143とを有するハウジングを
有し、カセット120は後壁191、天壁192及び底壁193を有
する。上部クランプ99は天壁142に取り付けられ、壁193
の構造物を係合する。後壁141はベルト30のための戻り
支持構造60を支持し、後壁191はベルト130のための戻り
支持構造160を支持する。
底壁143、193は、吐き出し即ち再利用のために、カセ
ットから使用済みの電解液を排出させるための穴109
(図9A)を提供する。
図10、11、12の実施例の各々の固定カセットの前壁に
は、カセットインデックスピン88とスロット75、76を支
持する第1支持構造50が提供され、該スロット75、76に
は駆動ベルト65、66が走行し、また上記前壁にはチェー
ン30を支持するための凹所55と、図1のスロット84の代
わりの1列の入口穴204が提供される。
各穴204は円錐形のスロート205を有し、このスロート
205は支持部材50の後面内の上流に向かう穴あるいは溝2
07に通じる。支持構造50の後側はマニフォールド83を有
するマニフォールドボックス200によって閉鎖されてい
る。アノード80は支持部材50の後側とマニフォールドボ
ックス200との間にクランプされ、アノード80は電気供
給手段208を有する。穴あるいは溝207は、穴209と連通
し、穴209はカセットハウジングの内部へ通じるように
マニフォールド200の壁を貫通し、これにより、ドレー
ン穴109を介してカセットの外へ使用後の電解液を送り
出す。
図12に示すように、電解液入り口パイプ210がマニフ
ォールド83を付与するように設けられる。パイプ210が
天壁141を介してハウジング140に入いる。
また固定カセット20は係合駆動ホイール67、68を支持
し、そこには駆動ベルト65、66が取り付けられ、上記の
ようにカセットの周りでエンドレスチェーン30を駆動す
る。チェーン30を、第1支持部材50内であって第2支持
部材60(後壁141に取り付けられている)上の凹所60に
突起51が係止することによってカセット上に支持する。
チェーン20のリンク24は穴38、39を有する。これらはチ
ェーン130によって支持されるピン138、139を受け入
れ、ピンはこうしてベルト30に対してインデックス付け
され、ベルト30と整合して保持されることで駆動され
る。
上記のようにチェーンリンク24の各々は、プレートマ
スク46と加工材料インデックスピン93とを支持し、これ
らマスクとピンとはこの場合、固定カセット20に取り付
けられるチェーン30に支持されている。
上記で述べたカセットの構造は、図10、11、12に示す
実施例の全てに適合する。
相違は可動カセット120にある。
図10は、加工材料の片面だけに選択的に付着させるた
めの構造を示す。
この構造では、可動カセットのハウジング190は、チ
ェーン130の突起151用の凹所155を単に有する第1支持
構造150によって閉じられる前壁を有する。別な方法で
は支持構造は、その中に穴がない。支持構造150はプレ
ート299に取り付けられる。チェーン130のリンク24は、
開口26を含まず、マスキングプレート46も開口を含まな
い。したがって固定カセット20に面する加工材料95の側
だけが処理される。操作においては、電解液を孔204を
介して加工材料に供給し、おもて面に流し、溝207と穴2
09に沿って流し出して排出する。電解液を供給する圧力
は、これを循環するために十分な圧力である。
図11は加工材料95の両面を同時に処理するが、これを
整合していない位置で行う構造を示す。
固定カセットは、図10に関して述べたものと同じ構造
を有する。可動カセットは、300番台の符号を200番台に
代えて使用、例えば207の代わりに溝307を使用している
他は、可動カセットと同じ構造を前壁に有するハウジン
グ190を有する。さらに穴304は穴204からずれている。
図12は加工材料の端部を処理する構造を示す。
この構造ではハウジング140は図10、11で述べた構造
と同じである。
可動カセット用のハウジングは、第1支持構造150が
開口204に従ってその中に開口220を有する点、及びアノ
ード180が支持構造150とプレート299との間に位置決め
されている点を除き、図10のものと同じである。
プレート299は穴220に従って、穴を有する。穴220、2
21は同じサイズであり、穴204より大きな直径を有す
る。
使用において、電解液のほとんどが穴204を通って穴2
20、221に至り、ハウジング190を介して外へ出るが、そ
の供給は更に溝207と穴209とを介してハウジング140へ
の出口を与える。これにより電解液の作用により発生し
たガスの危険性の増大を避けることができる。この点を
除いて図12の構造は、図10、11の構造と同じである。
さて、図13を参照すると、パッド118とその周りのリ
ードフレーム117をメッキすべき部分として有する、打
ち抜かれた金属加工材料が大きく拡大されて示されてい
る。ピッチAは、インデックスピン93が使用時に整合す
る案内穴94の距離である。リンク24内の開口26、48とマ
スキングプレート46とは、参照符号26で示される。
図10に示す構造は加工材料の片面をメッキするために
使用でき、図11に示す構造はレジスタ(register)の外
側の両面をメッキするために使用できる。
図14は、パッド118のメッキを避けながら、リードフ
レーム117だけをメッキできるようにする手法を示す分
解斜示図である。
図14は、改良形態の開口26を有するフェース28内の凹
所27を備える1つのリンク24を示す。マスキングプレー
ト(シール板)46も示されており、これも改良形態の開
口48を有する。作業中には、加工材料をマスキングプレ
ート46の上方に置き、電解液をリンク24の下方から導入
(もしアッセンブリがプレート46から離れて、リンク24
の横から垂直に配置されている場合には)することを思
い出すであろう。
開口26と48は、パッド118を覆っている間に図13のリ
ードフレーム(例えば符号117で示す)に電解液を供給
する矩形の4ケ所で位置決めするスロットを与えるよう
に構成される。
開口26は同じ大きさであるが、開口26の周りの凹所27
の面には溝210を有する。対向する横断スロット211が凹
所27の面内に形成され、溝210を通って開口26から延び
ている。
アーム216を接着剤を付けて2つのスロット内に位置
決めするときに、凹所27の表面と平らになるようにプレ
ート215を保持するよう位置決め及び寸法決めされたア
ーム216を、絶縁プレート215が有する。このプレートは
また1つの面内に孔218を有する。プレートのエッジ220
は、それら自身とアーム216と開口26の内端との間にス
ロット225、226、227及び228を残す。電解液はこれらの
スロットを通過する。
マスキングプレート46は、主部分230とパッドマスキン
グ部分231の2つの部分から成る。主部分230は例えば図
6の実施例と同じ外形寸法であるが、リンク24内の溝21
0に緊密に且つ濡れのないようフィットとするようなリ
ブ234を有する。使用時には、リブ234が溝210内に位置
決めする。パッドマスキング部分は、孔218内に嵌ま
り、リンク24にパッド231を固定するようになっている
4つの突起236を有する。
従って矩形の環状電解液供給スロット240がマスキン
グプレートの2つの部分の間に形成され、このスロット
240が、部材231によってマスクされているパッド118の
部分がメッキされないようにして、リードフレーム117
だけをメッキするように電解液を供給する。
図15は、コネクタ構造350のチップ351、352をメッキ
し、その他の部分をメッキしない、上記図13と同様な図
を示す。マスクプレート内の孔49の形状が図面に重ねら
れており、この孔49はチップのメッキを行うために使用
することが好ましい。
図12の構造は、エッジのメッキを行うために使用で
き、チップの面をこの通過流アレイで達成できる。
図16は、接触状態にあるマスキングプレート46とリン
クが整合した状態でクランプされている加工材料95と共
に、互いに整合して配置されるコンベアチェーンの一対
のリンクを示す側面図である。
各リンク24は、面取り端部125と互いにかみ合うこと
のできる段付きの雄端126と雌端127を有する内面とを有
し、これらはシーリングを容易にするように重なりなが
ら、面取りにより接続リンクが互いに外側へ離れていく
ことを容易にしている。図6に示すようにリンク間の接
続は、ピン111とループ112を使用している。マスキング
プレートは、より小さな寸法をもつ同じ段付き形状であ
り、図6で述べたように隣接するリンク24間の接続はス
タッガー(staggered)接続の関係にある。
図17は図16の構造と、チェーン30側から見たときの図
10に示すようなリンク24とを示す側面図である。(図11
ではチェーン30、130は、このようなリンクを有す
る)。それらの入口スロート205を有する穴204が示さ
れ、リンクと突起51との間の接続が示されている。図に
示されるように、単一の突起も可能ではあるが、それよ
りも突起の多様性が各リンクに使用されている。
リンクの当接端での面取りと、共働係合構造126を図
に見ることができる。
マスキングプレート46の重なり合った端部と共働係合
構造126がリンクの一端を超えて延びているのを見るこ
とができる。リンク24の穴38、39が示され、ピン138、1
39(隠れたリンク内の)が穴38、39の中に位置決めさ
れ、2つのコンベアチェーンのリンクをインデックス付
けしている。
図18は、図17では見えないリンク24の後ろ側(チェー
ン130からみた)側面図である。隣接するリンク24間の
接続111、112、インデックスピン138、139及びマスキン
グプレート46を容易に見ることができ、リンク24のエッ
ジを超えたプレート46との重なりを見ることができる。
マスキングプレート内の穴48は、図15を参照して示さ
れるように特別な形状である。チェーン30のリンクによ
って支持されるピン93のための整合穴49も示されてい
る。
これらのピン93が、加工材料95の整合穴94を通り、穴
49の中に至ることが思い出されるであろう。
図19に示す図18の変形例では、穴48の列が穴204より
も幅がわずかに小さいスロット即ち隙間250によって代
えられており、これによりメッキを行うストライプが規
定される。
処理ゾーンを介してチェーンを押したり引込めたりす
ることができることを述べてきた。さらに1つのコンベ
アを引込め、他方のコンベアを押すこともできる。互い
に押圧された加工材料インデックスゾーン41にリンクを
設けて、それらの当接している端部を接触させて、その
ゾーンの中へ押し込むようにすることもできる。更にま
たリンクが互いに離れている、すなわちピンがリンク11
2の端部にあるときに、加工材料インデックスゾーン41
にリンクを設けるようにすることもできる。以上の構造
のいづれにおいても、加工材料のインデックス付けは、
図7に関して説明したように容易に行える。
上記のほとんどが、加工材料を垂直方向に配置するよ
うに装置を使用してきた。本発明の構造は、加工材料を
水平方向に配置したときでも、システムを90゜反転する
ことによって加工材料を取扱うことができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ツワーナー,エリク スイス国ツェーハー―1291 コムグニ, シュマン・オシェ・マルシャール 8 (72)発明者 アパリチオ,マリアーノ スイス国ツェーハー―1032 ロマネル /ローザンヌ,リュ・コヴタナ 9 (56)参考文献 特開 昭63−114998(JP,A) 特開 昭63−96290(JP,A) 特開 昭62−37390(JP,A) 特開 昭58−3992(JP,A) 特開 昭57−131384(JP,A) 特開 昭52−50936(JP,A) 特開 昭51−88440(JP,A) 特開 平5−255887(JP,A) 特開 平5−117893(JP,A) 特開 平2−93092(JP,A) 特公 平4−27317(JP,B2) 実公 昭57−43896(JP,Y2) 米国特許4155815(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C25D 5/02 C25D 7/12

Claims (12)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】連続して移動する導電性加工材料の規定さ
    れた領域を選択的に電解質的に処理するための装置であ
    って、該装置は 加工材料(95)が処理電解液と接触する、装置の電解質
    的処理ゾーン(41)を通して、加工材料(95)を移送す
    るための手段(30,130)を有し、 前記移送手段は、電解液が前記規定の領域だけに接触す
    るように前記加工材料の存在時にこれをマスクするマス
    ク手段(46)を付与し、 前記移送手段(30,130)は、前記加工材料(95)を前記
    マスク手段(46)と整合して位置決めする一のインデッ
    クス手段(93)を付与するエンドレスチェーン(30、13
    0)を有し、 また前記装置はマスクされた加工材料(95)の存在時に
    これに電解液を供給する手段(82,83,84,182,183,184)
    と、その存在時に一の電極となる加工材料(95)と他の
    電極(80、180)との間で電流を流すための手段(96,9
    7)とを有し、 前記加工材料(95)を移送するための手段(30,130)
    は、非導電性材料から成る接続されたリンクでできた2
    つのエンドレスチェーンコンベア(30,130)を有し、前
    記2つのエンドレスチェーンコンベアの間に、前記加工
    材料が存在して前記処理ゾーンを通過する間、該加工材
    料を保持しており、 各エンドレスチェーンコンベアは、2つのエンドレスチ
    ェーンコンベア(30,130)が少なくとも前記処理ゾーン
    (41)において互いに整合した関係を維持することを確
    実にするために互いに共同する他のインデックス手段
    (36,37,136,137,38,39,138,139)を備え、 前記各エンドレスチェーンコンベア(30,130)における
    隣接するリンク(24a、24b)が、エンドレスチェーンコ
    ンベアの長手方向に隣接するリンクの間で相対的に移動
    できるように接続されており、 前記エンドレスチェーンコンベアの一方(30)が他方の
    エンドレスチェーンコンベア(130)を越えて前記処理
    ゾーン(41)の上流へ延び、 前記一方のエンドレスチェーンコンベア(30)が、前記
    加工材料(95)の存在時にこれを前記マスク手段(46)
    と整合して位置決めするための前記一のインデックス手
    段(93)を付与し、 また前記装置は、存在する加工材料(95)を前記一方の
    エンドレスチェーンコンベア(30)と係合するように押
    圧するためのローラ手段(98)を備えることを特徴とす
    る装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載の装置であって、前記エンド
    レスチェーンコンベア(30,130)の各々が、少なくとも
    前記処理ゾーン(41)内において支持構造(50,60、15
    0、160)を有し、該支持構造は互いの方向へ接近したり
    離れたりして動くように取り付けられており、 前記支持構造(50,60、150、160)は、固定され互いに
    向き合った関係で保持するための第3のインデックス手
    段とクランプ手段(99)を有し、該関係にある状態では
    前記エンドレスチェーンコンベアは、互いに整合してス
    ライドが自由にできることを特徴とする装置。
  3. 【請求項3】請求項1または2記載の装置であって、前
    記他のインデックス手段は、前記エンドレスチェーンコ
    ンベアにより付与された共同係合構造(38,39,138,13
    9、36,37,136,137)を有することを特徴とする装置。
  4. 【請求項4】請求項2記載の装置であって、前記支持構
    造(50,60、150、160)に支持される共同係合構造(88,
    89)を有することを特徴とする装置。
  5. 【請求項5】請求項1〜4のいずれか1つの装置であっ
    て、 前記2つのエンドレスチェーンコンベアは少なくとも処
    理ゾーン(41)にあるとき互いに係合し(36,37,136,13
    7)、前記エンドレスチェーンコンベアの1つのみが駆
    動手段(65,165,66,166)を有し、駆動するエンドレス
    チェーンコンベアは、処理ゾーンにおいて該駆動するエ
    ンドレスチェーンコンベアと整合する他のエンドレスチ
    ェーンコンベアを支持するように作動することを特徴と
    する装置。
  6. 【請求項6】請求項1〜5のいずれか1つの装置であっ
    て、 前記エンドレスチェーンコンベア(30,130)の両方が、
    少なくとも前記処理ゾーン(41)において支持構造(5
    0,150)を有し、また前記各支持構造に前記各エンドレ
    スチェーンコンベア(30,130)を保持しながら、同時に
    前記エンドレスチェーンコンベアを前記構造に沿ってス
    ライドさせることができるように、少なくとも前記処理
    ゾーン内の前記各支持構造に係合していることを特徴と
    する装置。
  7. 【請求項7】請求項6記載の装置において、 エンドレスチェーンコンベアが、共働する突起(51,15
    1)と凹所(55,155)とを有する共働手段によって、そ
    の支持構造に係合されていることを特徴とする装置。
  8. 【請求項8】請求項1〜7のいずれかに記載の装置にお
    いて、 各エンドレスチェーンコンベアは離れた支持構造に支持
    され、該支持構造と前記エンドレスチェーンコンベアと
    は互いに対して相対的に可動であり、これにより支持構
    造とエンドレスチェーンコンベアとの間に加工材料を係
    合したり、離れたりするように一緒に作動可能であり、 前記支持構造の一方または両方が、該支持構造上にエン
    ドレスチェーンコンベアを摩擦係合し、前記エンドレス
    チェーンコンベアを駆動するようになっているベルト
    (65,165,66,166)を支持し、 前記各ベルトは、前記加工材料から離れている前記エン
    ドレスチェーンコンベアのリンクの表面に係合するよう
    に位置決めされる圧縮性ポリマーの面を有し、前記加工
    材料が存在するとき、前記処理ゾーン内で係合し、 前記支持構造の各々が、少なくとも前記処理ゾーンにお
    いて、前記支持構造に前記エンドレスチェーンコンベア
    を係合するための手段(55,155)を支持することを特徴
    とする装置。
  9. 【請求項9】請求項1〜8のいずれかに記載の装置にお
    いて、 前記各エンドレスチェーンコンベアは、少なくともその
    戻り工程の一部において支持手段(60,160)を有するこ
    とを特徴とする装置。
  10. 【請求項10】請求項1〜9のいずれかに記載の装置に
    おいて、 前記エンドレスチェーンコンベアの少なくとも1つのリ
    ンクが、前記マスク手段(46)によって規定される開口
    (26)を有し、電解液出口手段(207,209)は、電解生
    成物を生じる傾向を減じるように前記開口(26)から電
    解液を流し出す溝(207)及び穴(209)を有することを
    特徴とする装置。
  11. 【請求項11】請求項1〜10のいずれかに記載の装置に
    おいて、 前記両方のエンドレスチェーンコンベア(30,130)のリ
    ンク(24)は、存在する加工材料に供給されるべき電解
    液が通る開口(26)を有し、 前記開口は、前記2つのチェーンのリンクが向かい合っ
    た状態で前記処理ゾーン内で前記加工材料の処理すべき
    部分と整合しているときに、開口同士が整合しないよう
    に2つのチェーンのリンクの中に位置決めされている
    か、あるいは前記リンクが前記処理ゾーン内で前記加工
    材料の処理すべき部分と整合して各々が向かい合ってい
    るときに、開口同士も整合するように2つのチェーンの
    リンク中に位置決めされており、 前記加工材料の両面に電解液を供給するための手段を有
    し、 加工材料が存在しているとき、1つのエンドレスチェー
    ンコンベアを介して加工材料の一面から加工材料を通過
    して、加工材料の他の面に至り、そこを介して他のエン
    ドレスチェーンコンベアへ出るように電解液を送るため
    の手段を有することを特徴とする装置。
  12. 【請求項12】連続して移動する導電性加工材料(95)
    の規定された領域を選択的に電解質的に処理するための
    装置であって、該装置は、 加工材料が処理電解液と接触する、装置の電解質的処理
    ゾーンを通して、加工材料を移送するための移送手段
    (30、130)を有し、 前記移送手段は、電解液が前記規定の領域だけに接触す
    るように前記加工材料の存在時にこれをマスクするマス
    ク手段(46)を付与し、 前記移送手段(30、130)は、前記加工材料を前記マス
    ク手段と整合して位置決めする一のインデックス手段
    (93,49,94)を付与するエンドレスチェーンを有し、 また前記装置は存在するマスクされた加工材料に電解液
    を供給する手段(82,83,84,182,183,184)と、その存在
    時に一の電極となる加工材料(95)と他の電極(80、18
    0)との間で電流を流すための手段(96,97)とを有し、 存在する前記加工材料を移送するための移送手段は、非
    導電性材料から成る接続されたリンク(24)でできた2
    つのエンドレスチェーンコンベアを有し、前記2つのエ
    ンドレスチェーンコンベアの間に、前記加工材料が前記
    処理ゾーンを通過する間、該加工材料を保持しており、 更に前記装置は、少なくとも処理ゾーン(41)におい
    て、2つのエンドレスチェーンコンベアが互いに整合状
    態にあることを確実にするための他のインデックス手段
    (36,37,136,137,38,39,138,139)を有し、 各エンドレスチェーンコンベアは分離した支持構造(5
    0,150)に支持され、 前記支持構造とチェーンとは、チェーン間に加工材料を
    係合したり離したりするように共働可能に互いに相対的
    に動くことができ、 両方のエンドレスチェーンコンベアは、少なくとも処理
    ゾーンにおいて支持構造を有し、また両方のエンドレス
    チェーンコンベアは少なくとも処理ゾーンにおいて、各
    エンドレスチェーンコンベアがその各々の支持構造に保
    持されながら前記構造に沿ってスライドできるように各
    支持構造に係合され、 支持構造の一方または両方がベルト手段(65,165,66,16
    6)を支持し、該ベルト手段がその支持位置においてエ
    ンドレスチェーンコンベアと摩擦係合し、前記エンドレ
    スチェーンコンベアを駆動するようになっている、 ことを特徴とする装置。
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