JPH01502406A - 縁支持された基板の処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 縁支持された基板の処理装置 発明の背景 本発明は、印刷配線板などの縁支持された基板の熱処理および／または液体処理 装置に関するものであり、特に表面装填技術に関するものである。特に本発明は 、新規な！！潤滑剤可撓性鋼テープコンベアにおいて、熱処理装置および／また は液体処理装置内部を通る際に両縁によって懸垂された配線板またはハイブリッ ド回路または類似の基板を横方向支持するための突出タブを有するテープコンベ アに関するものである。

印刷配線板またはハイブリッド回路の製造に際して、基板に対して溶媒脱脂、ス プレーコーティング、乾燥。

焙焼などの液体処理段階および熱処理段階を順次に加える事が通常である０通常 のコンベア装置を使用して、これらの処理を実施する事は困鑑である。なぜがな らば。

これらの処理は、′ｔ４滑剤除去、焙焼および潤滑剤の固化などによってコンベ ア装置に恩影費を与えるからである。

本発明は、先行技術の欠点を軽減する事を０指している。

先行技術 先行技術によれば、配線板は、その全体幅を有するワイヤメツシュ型コンベアベ ルトまたはローラ型チェーンコンベアによって処理室内部を搬送される。ローラ チェーンの順次のボスが突出ピンを備える。処理されるパネルは一対のチェーン の間においてこれ角のピン上に支持され、処理室を通して搬送される。これらの コンベアは。

溶媒脱脂処理中には潤滑剤の損失により、熱処理中には潤滑剤の凝固により、ま たはその他の理由から故障する傾向がある。

出願人の米国特許第４，６４３，１２９号において。

先行技術の問題点を軽減した縁支持された基板の熱処理および／または液体処理 装置が開示されている。この装置は、内部を搬送される基板の液体処理用および ／または熱処理用要素を備えた細長いトンネル型処理室を含む。

処理室内部を基板を搬送するコンベア装置は、処理室全体に延在する一対の細長 いレールを含む、これらのレールは、処理室の両端の外部に配電された部材によ って支持される。無潤滑剤型チェーンコンベアが各レール上に配罰さり、各コン ベアは順次に連結された複数のワイヤリンクを含む、各リンクは、レールの上側 面と係合した水平部材と、この水平部材から離間して連結されまたレールの側面 に係合した一対の相互に離間された垂直部材と、この垂直部材の一方から外側に 延在する一体的基板支持ピンとを含み、各チェーンコンベアのピンが内側に相互 方向に向けられて、コンベアチェーン間に基板をその両縁によって支持する。チ ェーンコンベアのリンクは。

１つのリンクの水平部材が次の隣接リンクの垂直部材と係合する事によって相互 連結される。ワイヤチェーンコンベアをレールに沿って処理室内部を移動させる 手段が配備されている。

［発明の概要］ 本発明は、先行技術の問題点を軽減する縁支持された基板の熱処理用および／ま たは液体処理用の改良型装置に関するものである。この装置は、細長いトンネル 型処理室を含み、この処理室は内部を搬送される基板の液体処理および／または 熱処理要素を含む、処理室内部を被処理材料を搬送する装置は、処理室中に延在 する一対の細長い水平レールを含む、これらのレールは、処理室の両端の外部に 配置された部材によって支持されている。

各レール上に、ｉＩ！潤滑剤型可撓性鋼テープコンベアが配備されている。各テ ープは、その全長に亙って長手方に離間された複数の垂直タブに＠える。これら のタブはテープの両縁から内側に離間されて長手方に整列され、一対のコンベア テープの間に懸垂された基板の横方向支持体を成す、処理室内部をレールに沿っ てテープコンベアを移動させるための手段が配備される。

前記の装置において、テープコンベアはその下側面を支持レールの上側面に対向 させ滑動接触しながら処理室内部を走行する。この装置を基板の熱処理のために 使用する時、長期加熱ののちに、レールが過度に加熱され事がある。これは、コ ンベアテープの反りと曲げを生じる。

長期熱処理中のコンベア支持レールの過度の加熱の作用を軽減するため、可撓性 鋼コンベアテープの支持体の形状の他の実施態様においては、各テープの運動は 、テープの運動路に対して横方向に延長された複数の相互離間ピンまたはロンド によって支持される。また各テープは、テープと部分的に重なり合って部分的に 滑り係合するレールまたはリップの下方を通過する。

図面の簡単な説明 以下において本発明を図面について説明するが、各図において対応部材は同一の 参照数字によって表示され。

第１図は処理室、コンベア支持レールおよび駆動部を含む本発明の装置の概略側 面図、 第２図は第１図の装置の断面図。

第３図はコンベアテープの一部の部分平面図、第４図は第３図の４−４線に沿っ て矢印方向に見た断面図、 第５図はテープコンベアと支持レールの一部の部分平面図、 第６図はその側面図。

第７図はその断面図、 第８図はコンベアテープ支持体から突出したビンを有する他の実施態様の処理室 の断面図。

第９図は第８図のテープコンベアと支持ビンの部分平面図。

第１０図はその側面図、また 第１１図はその断面図である。

好ましい実施態様の詳細な説明 付図について、特に第１図と第２図について説明すれば、縁支持された基板を処 理室通過中に処理する装置が略示されている。この装置は、末端開放型トンネル 状の処理室１０を含み、この処理室の中を連続コンベアが通過する。一対の平行 に相互に離間された水平コンベアレール１１がトンネル室１０の全長に沿って延 在する。レール１１の両端が、トンネル室１０の両端において水平部材１２によ って支持されている。一対の薄い可撓性連続コンベアテープ１３がトンネル室１ ０の中にレール１１によって支持されて延在する。コンベアテープ１３はその通 路上において、スプロケットまたはローラ１４によって支持され、その１個が駆 動され、またコンベアテープ１３の走行を容易にするための歯またはその他の係 合手段を具備する。トンネル室１０の中に、コンベアの通路に隣接して熱処理お よび／または液処理要素１５が配にされている。この処理要素は例えば赤外縁ま たは紫外線放射熱処理ランプまたはその他の加熱要素、液体噴震ヘッドなどとす る事ができる。処理される特定の基板の必要に応じて、相異なる処理要素を同一 の長いトンネル室１０の内部に離間配置し、またはそれぞれ別個のトンネル室１ ０の中に配置する事ができる。基板１６はトンネル室１０を通過するため、その 両縁によってコンベアテープ１３の間に支持されている。

コンベアテープ１３の好ましい形状を第３図と第４図に示す、このコンベアテー プ１３は、簿＜、可撓性で、閉鎖ループ状に形成され、高温、溶媒その他の化学 処理剤などに耐性である。好ましくは、コンベアテープ１３の厚さは約０．００ ２〜０．００４インチ（０，００５〜０．０１ＣＩ１１）、さらに好ましくは約 ０．００３インチ（０，００７４ｃｍ）とする、５００°　Ｆ（２６０℃）以下 の温度に対しては、その素材の例はフルハード３０２ステンレス鋼である。約５ ００″１−（２６０℃）以上の温度については、素材の例はコンディションＣ７ ００ステンレス鋼である。

各コンベアテープ１３は複数の垂直タブ１７を有し。

これらのタブは全てコンベアテープ１３の同一側面に配置される。これらのタブ １７は、コンベアテープ１３の縁から内側に離間して長手力に整列されている。

これらのタブはコンベアテープ１３に沿って長手力に均一に分布され、約１７４ 〜１７２インチの中心間隔で長手力に離間されている。好ましくは、タブ１７は 、コンベアテープ１３の中に長手力に離間した複数の部分穴１８を穿孔し、タブ をコンベアテープ１３の表面に対して垂直方向に曲げる事によって形成される。

タブの形成後にコンベアテープ１３に対して加熱前処理を実施する。

第５図乃至第７図について述べれば、好ましいコンベアテープの形状と支持レー ルの形状を示す。

コンベアテープ１３は処理室内部を通過する際に、レール１１上に支持される。

このレール１１は好ましくは第５図、第６図および第７図に図示のように２段構 造を有する。細長いレール１１は、細長いみぞ穴を有する２セツトの短い山形材 を垂直に配置し、各山形材を端一端連結し、他方のセットの山形材と側−偏重な り状態に連結されている。このようにして、山形材２８と２９とが端一端連結さ れ、山形材３ｏに対して重ね合わされているが、山形材２８．２９の上側面は山 形材３ｏの上側面の下方に配置される。山形材２８と２９の上側面は、山形材３ ０の上側面の縁から、コンベアテープ１３の幅に等しい距離だけ側方に突出して いる。従ってコンベアテープ１３は山形材２８．２９の上側面に係合する。山形 材２８．２９はそれぞれみぞ穴３１，３２を有し、適当な固着手段、ボルト３３ およびナツト３４によって山形材３０に対して固着されている。レールが加熱処 理室中で使用される時の反りを防止するために膨張させるように、隣接山形材の 末端の間に小間隙３５が残されている。

基板１６を処理室中を通すため、横方向に離間したコンベアテープ１３の間に基 板が懸垂支持され、コンベアテ−プ１３と共に移動する。タブ１７は横方向支持 体を成して基板を整列状態に保持する。

第７図に図示のように、基板がこの装置の中に装入されまたは除荷される際にコ ンベアテープのタブ１７の偶然の曲げまたは破断を防止するため、レール１１の 両端に案内−バックアップバー３６が配備されている。この案内バー３６は、定 置され、水平で、細長く、その下側面は山形材２８．２９の上側面の上方に隣接 し、コンベアテープ１３を通す間隔を明けて取り付けられている。

各案内バー３６はそれぞれ約２０インチの長さを有する。

これらの案内バーの相互に対向する垂直側面は、移動する垂直タブに対するバッ クアップ側面支持−保護体を成す、好ましくは、バー３６はポリテトラフルオロ エチレン（テフロン）から成る。

突出ピンを使用した他の形状のコンベアテープ支持体を第８図乃至第１１図に示 す、細長いレール１１Ａの変形は、前記のレールと同様に細長いみぞ穴を有する ２セツトの短い山形材レールまたはバーを垂直に配置し、これらの山形材をそれ ぞれ端一端連結しまた側面を重ねて組立てて構成さ九る。従って、山形材レール またはバー２８１２９Ａは端一端連結され、山形材３ｏに対して重ね合わされて いる。コンベアテープ１３は、レール２８Ａと２９Ａから支持された複数の相互 に平行にａ間し横方向に延在するロッドまたはピン３７によって支持される。こ れらのピン３７は水平に配置され、その長手方軸線が水平面中にある０代表的に は、これらのピン３７は約２インチ（５ｃｍ）−すなわち約１−１／２−２−１ ／２インチ（３，８〜６．３５ｃｍ）の中心間隔に配置される。コンベアテープ １３をピン３７の上側面と緩く係合保持するため、テープ押し下げ手段が備えら れる０例えば、山形材レールまたはバー２８Ａと３９Ａの上リップが山形材３０ の縁から内側に延長されてコンベアテープ１３の幅の約半分に重なり、タブ１７ はレール２８Ａ、２９Ａの縁に対して自由に運動する事ができる。このようにし て、コンベアテープ１３の下側面がピン３７の上側面に係合し、コンベアテープ １３の上側面の幅の約半分が隣接の押し下げ手段の下方に緩く接触して滑動する 。

また山形材２８Ａ、２９Ａは、それぞれみぞ穴３１Ａ、３２Ａｌ有し、前述のよ うにボルト３３とナツト３４などの適当な固着手段によって山形材３０に対して 固着される。熱処理室中で使用されるレールの反りを防止するために自由に膨張 させるように、隣接山形材の末端間に小間隙３５Ａが残されている。基板１６が 処理室中を通る際に、これらの基板は、横方向にｇｉＩ？ｉ］されたコンベアテ ープ１３の間に懸垂されて緩く支持され、コンベアテープ１３と共に移動する。

タブ１７が横方向支持体を成して基板を緩く整列させる。

本発明は前記の説明のみに限定されるものでなく。

その主旨の範囲内において任意に変更実施できる。

−テ１！ど三に２ 国際調査報告 １″″′−＾″ｍ＋ｗ＋ｌ・＾−ｔ＋ｒｔハＩ＜１１７．４ＯＩ’ｌＳ８Ｑ

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. １．縁支持された基板の熱処理および液体処理用装置において、 Ａ）細長い処理トンネル室（１０）と、Ｂ）前記トンネル室を通る一対の細長い レール（１１）と、 Ｃ）前記トンネル室の両端の外側において前記レールを支持する支持手段（１２ ）と、 Ｄ）縁から内側に長手方向に整列離間された複数の垂直タブ（１７）を有し、前 記各レール上に配置された無潤滑の無端状テープコンベア（１３）と、Ｅ）前記 テープコンベアを前記レール上に支持するための支持手段と、 Ｆ）前記コンベアを前記レールに沿って移動させる手段とを含む装置。
2. ２．前記コンベアテープのタブ（１７）は、部分的穴（１８）を穿孔しテープの 面に対して垂直に曲げる事によって形成される事を特徴とする請求の範囲第１項 による装置。
3. ３．前記のコンベアテープはステンレス鋼から成る事を特徴とする請求の範囲第 ２項による装置。
4. ４．前記テープコンベアの支持手段は前記レールの上側面であって、前記テープ は前記レールの上側面と係合して、その縁の間に基板を支持する事を特徴とする 請求の範囲第１項による装置。
5. ５．細長い案内−バックアップバー（３６）が前記の各レール上に、処理室の手 前と下流に配置され、Ａ）前記バーは、テープコンベア（１３）をレール上側面 とバーの下面との間を通過させるように、レール上面から離間され、 Ｂ）前記バ一はテープコンベアの外側縁と前記垂直タブ（１７）との間において のみテープコンベアの上方に配置される事を特徴とする請求の範囲第１項による 装置。
6. ６．前記テープコンベアの前記支持手段は前記レールから内側に突出した複数の 相互に平行に離間されたピン（３７）を含み、また前記各レール上のテープ押し 下げ手段は前記ピンの上方に近接配置され、前記テープが前記ピンの上側面に係 合しまた部分的に前記テープ押し下げ手段の下方に配置されて、基板（１６）が その両縁によって前記テープの間にに支持される事を特徴とする請求の範囲第１ 項による装置。
7. ７．前記テープ押し下げ手段は、前記の各レールから内側に突出し前記テープコ ンベア（１３）の外側縁と前記垂直タブ（１７）との間において前記テープコン ベア（１３）の一部の上方に配置されるリップを有する事を特徴とする請求の範 囲第６項による装置。
8. ８．処理室を通して基板を搬送するための無潤滑剤コンベアにおいて、前記コン ベアは細長い薄い可撓性の閉鎖ループ型テープから成り、とのテープは、その両 縁から内側に離間され長手方に１列に均一間隔に整列された同形の複数の垂直タ ブを有するコンベア。
9. ９．前記コンベアテープのタブは、それぞれ部分的穴を穿孔しテープの面に対し て垂直に曲げる事によって形成される請求の範囲第８項によるコンベア。
10. １０．前記コンベアテープはステンレス鋼から成り、約０．００２乃至０．００ ４インチ（０．００５乃至０．０１ｃｍ）の厚さを有する請求の範囲第８項によ るコンベア。