JPH09504576A - 電気メッキ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 連続して移動する導電性加工材料の規定された領域を選択的に電解質的に処理するための装置が開示されている。この装置は、処理電解液と接触する、装置の電解質的処理ゾーンを介して加工材料を移送するための手段を有し、該移送手段は、電解液が前記規定の領域だけに接触するように前記加工材料をマスクするマスク手段を付与し、該移送手段は、前記加工材料を前記マスク手段と整合して位置決めするインデックス手段を付与するエンドレスチェーンを有し、また前記装置はマスクされた加工材料に電解液を供給する手段と、一の電極としての加工材料と他の電極としての加工材料との間で電流を流すための手段とを有し、前記加工材料を移送するための手段は、非導電性材料から成る接続されたリンクでできた２つのエンドレスチェーンコンベアを有し、前記２つのエンドレスチェーンコンベアの間に、前記加工材料が前記処理ゾーンを通過する間、該加工材料を保持している。インデックス手段は、２つのエンドレスチェーンコンベアが少なくとも処理ゾーンにおいて互いに整合しているようにするためのものである。エンドレスチェーンコンベアの各々が、少なくとも処理ゾーン内において支持構造を有し、該支持構造は互いの方向へ接近したり離れたりして動くように取り付けられていてもよい。２つのエンドレスチェーンコンベアは少なくとも処理ゾーンにあるとき互いに係合し、コンベアの１つのみが駆動手段を有し、駆動するコンベアは、処理ゾーンにおいて該駆動するコンベアと整合する他のコンベアを支持するように作動する。エンドレスチェーンコンベアの少なくとも１つが、少なくとも前記処理ゾーンにおいて支持構造を有し、また前記支持構造に前記コンベアを保持しながら、同時に前記コンベアを前記構造に沿ってスライドさせることができるように、少なくとも前記処理ゾーン内の前記支持構造に係合していてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】 電気メッキ装置 本発明は、継続して移動する金属あるいは金属化されたストリップ上のある選 択された領域を選択的にメッキするための電解質セルに関する。 このようなセルは装置に取り付けられて使用され、特に表面処理や貴金属で集 積回路（リードフレーム）用のコネクタのメッキをするために使用されていた。 我々は、以下の文献の存在を知っている。即ち、ＧＢ−Ａ−２１１７４０５（ ナショナル セミコンダクタ）、ＧＢ−Ａ−２０９４３４４（オーウェン）、Ｗ Ｏ−８１／０３１８７（コンタクタ）、ＵＳＰ−Ａ−４１５５８１５（フランシ ス）およびＥｕｇｅｎｅ Ｂ．Ｍａｄａｌによって発行された“金属仕上げ”の １９８７年１月号第２９〜３１頁である。これらが開示している内容のいづれも 、本発明が目的とする特徴を開示していないが、技術的な背景を示すために引用 した。 本発明は、加工材料が処理電解液と接触する、装置の電解質的処理ゾーンを通 して、加工材料を移送するための手段を有し、前記移送手段は、電解液が前記規 定の領域だけに接触するように前記加工材料をマスクするマスク手段を付与し、 前記移送手段は、前記加工材料を前記マスク手段と整合して位置決めするインデ ックス手段を付与するエンドレスチェーンを有し、また前記装置はマスクされた 加工材料に電解液を供給する手段と、一の電極としての加工材料と他の電極とし ての加工材料との間で電流を流すための手段とを有する、連続して移動する導電 性加工材料の規定された領域を選択的に電解質的に処理するための装置を提供す る。このような装置を以下、上記タイプの装置として呼ぶ。 本発明の主目的は、発明の特徴の点で数多くに及ぶ。幾つかのあるいは２また はそれ以上の点で、上記タイプの装置と両立して結合して使用することができる 。また本発明の主題はそのような結合にも及ぶ。 本発明の第１の側面では、加工材料を移送するための手段が、非導電性材料か ら成る接続されたリンクでできた２つのエンドレスチェーンコンベアを有し、こ れら２つのエンドレスチェーンコンベアの間に、加工材料が処理ゾーンを通過す る間、該加工材料を保持している。 本発明の第２の側面では、２つのエンドレスチェーンコンベアが少なくとも前 記処理ゾーンにおいて互いに整合した関係を維持することを確実にするために、 インデックス手段を設ける。 このインデックス手段はチェーンによって与えられる共同係合構造を有する。 本発明の第３の側面では、エンドレスチェーンコンベアの各々が、少なくとも 前記処理ゾーン内において支持構造を有する。該支持構造は互いの方向へ接近し たり離れたりして動くように取り付けられていることが好ましい。 本発明の第４の側面では、前記支持構造は固定され互いに向き合った関係で保 持するための手段を有し、該関係にある状態ではエンドレスチェーンコンベアは 、互いに整合してスライドが自由にできる。この場合、固定され互いに向き合っ た関係にある前記支持構造を保持するための手段が、インデックス手段とクラン プ手段とを有することが好ましい。またインデックス手段は、前記支持構造によ り付与され、前記支持構造に支持される共同係合構造を有していてもよい。 本発明の第５の側面では、前記２つのエンドレスチェーンコンベアは少なくと も処理ゾーンにあるとき互いに係合し、前記コンベアの１つのみが駆動手段を有 し、駆動するコンベアは、処理ゾーンにおいて該駆動するコンベアと整合する他 のコンベアを支持するように作動する。 本発明の第６の側面では、前記エンドレスチェーンコンベアの少なくとも１つ が、少なくとも前記処理ゾーンにおいて支持構造を有し、また前記支持構造に前 記コンベアを保持しながら、同時に前記コンベアを前記構造に沿ってスライドさ せることができるように、少なくとも前記処理ゾーン内の前記支持構造に係合し ている。 また両方のエンドレスチェーンコンベアは、少なくとも前記処理ゾーンにおい て支持構造を有し、また両方のエンドレスチェーンコンベアは、前記各コンベア がその各々の支持構造に保持されながら、前記支持構造に沿ってスライドするこ とができるように、少なくとも前記処理ゾーン内の各支持構造に係合しているこ とが好ましい。コンベアは、共働する突起と凹所とを有する共働手段によって、 その支持構造に係合されていてもよい。突起は前記チェーンコンベア内に位置決 めされ、凹所は前記支持構造内に位置決めされていることが好ましい。この側面 の一形態として、前記突起と凹所とは、前記チェーンコンベアの動く方向に垂直 な断面が、実質上三角形である。 本発明の第７の側面では、前記エンドレスチェーンコンベアの一方または両方 が、ベルトと摩擦係合することで駆動される。 本発明の第８の側面では、各エンドレスチェーンコンベアは離れた支持構造に 支持され、該支持構造と前記チェーンとは互いに対して相対的に可動であり、こ れにより支持構造とチェーンとの間に加工材料を係合したり、離れたりするよう に一緒に作動可能である。 本発明の第９の側面では、前記支持構造の一方または両方が、該支持構造上の エンドレスチェーンコンベアを摩擦係合し、前記コンベアを駆動するようになっ ているベルトを支持することができる。 本発明の第１０の側面では、前記各駆動ベルトは、前記加工材料から離れてい る前記チェーンコンベアのリンクの表面に係合するように位置決めされる圧縮性 ポリマーの面を有し、前記処理ゾーン内で係合する。 本発明の第１１の側面では、前記支持構造の各々が、少なくとも前記処理ゾー ンにおいて、前記支持構造に前記チェーンを係合するための手段を支持する。 本発明の第１２の側面では、各エンドレスチェーンは、少なくともその戻り工 程の一部において支持手段を有する。 本発明の第１３の側面では、前記チェーンコンベアの少なくとも１つのリンク が、前記マスク手段によって規定される開口を有し、電解液出口手段が、電解生 成物を生じる傾向を減じるように各開口に出口を付与することを確定している。 両方のエンドレスチェーンコンベアのリンクは、加工材料に供給されるべき電 解液が通る開口を有してもよい。 本発明の第１４の側面では、前記開口は、前記２つのチェーンのリンクが向か い合った状態で前記処理ゾーン内で整合するように、２つのチェーンのリンクの 中に位置決めされており、また前記開口は整合していない。 本発明の第１５の側面では、前記開口は、前記リンクが前記処理ゾーン内で整 合して各々が向かい合うときに整合するように２つのチェーンのリンク中に位置 決めされている。 前記加工材料の両面には電解液を供給するための手段を有することが好ましい 。 本発明の第１６の側面では、１つのコンベアを介して加工材料の一面から加工 材料を通過して、加工材料の他の面に至り、そこを介して他のコンベアへ出るよ うに電解液を送るための手段を有する。 加工材料の各面に向かい合うアノードを有することが好ましい。 また連続して移動する導電性加工材料の規定された領域を選択的に電解質的に 処理するための本発明の装置の好ましい形態では、加工材料が処理電解液と接触 する、装置の電解質的処理ゾーンを通して、加工材料を移送するための移送手段 を有し、前記移送手段は、電解液が前記規定の領域だけに接触するように前記加 工材料をマスクするマスク手段を付与し、前記移送手段は、前記加工材料を前記 マスク手段と整合して位置決めするインデックス手段を付与するエンドレスチェ ーンを有し、また前記装置はマスクされた加工材料に電解液を供給する手段と、 一の電極としての加工材料と他の電極としての加工材料との間で電流を流すため の手段とを有し、前記加工材料を移送するための移送手段は、非導電性材料から 成る接続されたリンクでできた２つのエンドレスチェーンコンベアを有し、前記 ２つのエンドレスチェーンコンベアの間に、前記加工材料が前記処理ゾーンを通 過する間、該加工材料を保持しており、更に前記装置は、少なくとも処理ゾーン において、２つのエンドレスチェーンコンベアが互いに整合状態にあることを確 実にするためのインデックス手段を有し、各エンドレスチェーンコンベアは分離 した支持構造に支持され、前記支持構造とチェーンとは、両者間に加工材料を係 合したり離したりするように共働可能に互いに相対的に動くことができ、両方の エンドレスチェーンコンベアは、少なくとも処理ゾーンにおいて支持構造を有し 、また両方のエンドレスチェーンコンベアは少なくとも処理ゾーンにおいて、各 コンベアがその各々の支持構造に保持されながら前記構造に沿ってスライドでき るように各支持構造に係合され、支持構造の一方または両方がベルト手段を支持 し、該ベルト手段がその支持位置においてエンドレスチェーンコンベアと摩擦係 合し、前記コンベアを駆動するようになっている。 本発明は種々の方法で実務的に使用でき、多くの特別の実施例を発明と下記の 関連図面に関する幾つかの側面と共に説明する。 図１は、本発明の第１実施例の上方から見た部分断面平面図である。 図２は、図１の左端であり、入口端からメッキゾーンへ図１の二重チェーンコ ンベアアレイの片側を上方から見た斜視図である。 図３は、加工材料の片面にスポットあるいはストリップをメッキするための図 １に示す実施例の一形態の断面図である。 図４は、図３の中央領域のより詳細な図であって、加工材料の両面上のスポッ トあるいはストリップを互いに整合していない異なる位置でメッキするための図 １に示す実施例の形態を示す図である。 図５は、両面および例えばＳＩＭＭ接触のような接触端をメッキするための図 １に示す実施例の形態を示す、図４と同様な図である。 図６は、水平状態に配置され、１つのチェーンの３つのリンクを示す第１実施 例で使用されたチェーンコンベアの１形態の上方から見た、より詳細な斜視図で ある。 図７は、繰り返しパターンと案内穴とを有する加工材料を示し、リンクの長さ と加工材料のピッチとの間の好ましい関係を示す加工材料の拡大図である。 図８Ａ、図８Ｂは、チェーンの１つだけを直接駆動する、第１実施例とは異な る本発明の第２実施例の部分断面平面図であり、図８Ａは入口端を示す図である 。 図９Ａ、図９Ｂは、図８Ａ、図８Ｂの実施例のチェーンの１つの側面図であり 、図９Ａは入口端を示す図である。 図１０は、図３同様、図８に示す第２実施例の断面図である。 図１１は、図４同様の構造の、第２実施例の断面図である。 図１２は、図５同様の構造の、第２実施例の断面図である。 図１３は、パッドとリードフレームの中心領域の片面のメッキしたい部分を示 す典型的な加工材料の１形態の拡大平面図およびその更に拡大したパターンとリ ードフレームとを示す図である。 図１４は、パッドをマスクしながらリードフレームだけをメッキできるような リンクおよびマスキング構造の破断斜視図である。 図１５は、ある材料の上部に示す構造を縁メッキし、異なる材料の底部に示す 構造の両面をメッキする場合の異なる典型的な加工材料を示す図１３同様の図で ある。 図１６は、本発明のコンベアチェーンの一対のリンクの上部からの平面図であ って、図６の構造の変形であり、図１２の構造に使用するのに適当なものを示す ものである。 図１７は、図１６の構造の入口側（即ち図１６の右手側）から見た一部側面図 である。 図１８は、リンクの内面から見た、マスキングプレートを示す、出口側でのリ ンクの一部側面図である。 図１９は、図１８の変形であり、穴の列の幅がわずかに小さいスロットによっ て代えられたリンクを示す図である。 図１、図２に示す形態、図３〜５に示す３つの異なる形態および図６、７には より詳細に示すセルは、従来の選択的な電気メッキセルに比べて、改良された融 通性の高い操作性をもつメッキセルである。本発明のセルは、電気メッキをしな い部分を残しながら、加工材料の選択的部分にメッキすることができる。選択的 な領域は、所望の形状の広い範囲のスポットあるいは加工材料の縁部分のような ストリップまたは制限領域でもよい。 実施例では、加工材料に沿って加工材料の線形性を種々変えることができる。 横方向に取り扱う平面でない加工材料でも可能である。 従来の構造に比べると、本発明では製造の融通性が大きく増した。少しの改良 を加えるだけの場合でも、本発明の装置は以下の操作を実行すればよい。 （１）加工材料、例えばストリップの片面をメッキする（片面だけに電解液を 供給することによって）（図３、１０参照） （２）両面の同じ位置に同時にメッキする（他のコンベアの開口と整合したチ ェーンの開口を有し、同時に両面に電解液を供給することによって） （３）両面の異なる位置に同時にメッキする（他のチェーンの開口と整合して いないチェーンの開口を有し、加工材料の両面に同時に電解液を供給することに よって）（図４、図１１参照） （４）加工材料のエッジ（ストリップ）をメッキする（整合したエッジを、整 合した両方のチェーンの開口に位置決めし、好ましくは片面だけからエッジに電 解液を供給することによって）（図５、図１２参照） （５）異なるメッキ材料の対向面あるいは対向エッジをメッキする（本発明の ２つの装置を両者間の適切な水洗手段に沿って置き、第１装置の一面あるいは一 方のエッジにある材料をメッキし、向きを変えることなく、第２装置の他の面あ るいは他のエッジに異なる材料又は同じ材料で異なる量をメッキすることによっ て） 第一実施例は２つのモジュールあるいはカセット、すなわち固定カセット２０ と可動カセット１２０を有する。各カセットは、リンクのエンドレスチェーン（ ３０と１３０）が上下方向に配置しており、各リンクは所定の範囲内で相対的に 動くように互いにヒンジ結合されている。 チェーンは加工材料９５を移送する機能とマスキングする機能とを有する。チ ェーンは加工材料インデックスゾーン４０、メッキゾーン４１及び加工材料解放 ゾーン４２を通り、各々走行位置４３、４４に戻る。加工材料インデックスゾー ン４１及び加工材料解放ゾーンを通り、各々走向位置４３、４４に戻る。加工材 料インデックスゾーン４０では、加工材料９５が固定カセット２０のチェーン３ ０と可動カセット１２０のチェーン１３０とのインデックス付けされた関係にあ り、メッキゾーン４１では、両チェーンを互いに並置してたがいに押圧する。メ ッキゾーンの範囲は図の線４１で示された通りである。 エンドレスチェーン３０は入口端３１において曲がったガイド３２により支持 され、また出口端３３において自由に回転する案内ホイール３４（ガイドによっ て置換可）により支持される。 チェーン３０は上下に配置され、長手方向に延びる第１と第２の支持構造５０ 、６０によってガイド３２とガイド３４との間に支持され、支持構造５０はメッ キゾーンにあり、一方支持構造６０はリターンゾーンにあって支持構造５０と同 じ距離だけ延びている。 チェーン１３０は、支持構造５０、６０と同じ構造を有する第１と第２の支持 構造１５０、１６０によって同様な方法で支持されている。 このような支持の好ましい態様を図２に示す。図２には支持構造５０と１５０ の入口端が示されている。エンドレスチェーン３０、１３０の内面は、支持構造 ５０と１５０によって提供される共働構造と関連して、自由にスライドできるキ ー係合する形態を採る。 図２、３、４および５に示すように、これらの共働構造はエンドレスチェーン の内面に設けた突起５１、１５１であることが好ましく、突起５１、１５１は支 持構造５０、１５０のチェーン接触面の凹部５５、１５５と係合する（凹部１５ ５は図２に、凹部５５は図３、４及び５に示されている）。 これにより少なくともメッキゾーンにあるチェーンを支持構造に保持しながら 、そこでスライドすることが自由になる。 突起５１と１５１は円錐支持面５２、１５２（典型的にはチェーンの面に垂直 方向に約２０°〜４０°、たとえば３０°傾いている）を有する円錐形状のチェ ーンの内面から外側に延び、チェーンの面に平行な平面５３、１５３で終わるこ とが好ましい。凹所５５と凹所１５５は整合しているが、わずかに幅広の形状で 深く形成されているため、突起が凹所に入るとき、重力の影響で突起の上方に大 きな隙間５８、１５８ができ、また突起の端部５１、１５１と凹所５５、１５５ の平らな内面５７、１５７との間にも大きな隙間５９、１５９ができる。これら の隙間はチェーンと支持構造との間の遊びを許容する点で重要であり、これによ り装置は詰まることなく（隙間１５８に入り込むことなく）、加工材料の垂直面 で弓なりになるような非直線的変形を収容できる。隙間１５９により、上反りす なわちそれらの長手方向に垂直な方向に曲がった加工材料をも、本装置で扱うこ とができる。 第一実施例では、両カセット内のチェーン３０、１３０が圧縮性の要素とチェ ーンの材料に関して高い摩擦係数とを有するチェーン接触面をもつキー係合した 駆動ベルトにより駆動され、その結果がベルトが摩擦接触によりチェーンを駆動 することができる。ベルトはメッキゾーンを介してチェーンを引き、このことは 図７に関して以下詳細に述べる打ち抜き公差の調節に関して重要な結果をもつこ とになる。 キー係合したベルトは、固定カセット２０内の符号６５、６６及び可動カセッ ト１２０内の符号１６５、１６６の二つ組になって配置される。 ベルト６５、６６は入口端３１での上下の歯付きスプロケット６７、１６７と 、出口端３３でのスプロケット６９、１６９の周りで駆動する。スプロケット６ ９はベルト７２を介してカセットの外側に取り付けられた可変速度モータ７１に よって反時計回りに駆動される（スプロケット１６９はモータ１７１とベルト１ ７２によって時計回りに駆動される）。ベルト６５、６６はチェーン３０の端部 に隣接する長手方向に延びるスロット７５、７６（図３、４、５）内にあり支持 構造５１と電解質供給手段よりも外側に位置する。すなわちベルト６５はチェー ンの上部領域と係合し、ベルト６６はチェーンの下部領域と係合する。 ベルト１６５、１６６の構造と駆動は同様である。 図３、４、５に示すように、ベルト６５、６６、１６５、１６６のチェーン接 触面は、支持構造５０、１５０の面のやや上方にあり、チェーンの内面と支持構 造の面との間に小さな隙間６１、６２が形成されている。ベルト６５、６６、１ ６５、１６６の圧縮可能な面層６３、１６３の各々（図３、４、５参照）は、硬 いグレードであることが好ましい。 電気メッキを、導電性（例えば金属性あるいは金属化された）のカソードとな る加工材料を作ることによって達成する。これは入口端９７と出口端出口でカソ ードピックアップ９６で加工材料を接触することによって達成される。加工材料 をアイドラーローラ９８によって固定カセット２０のチェーン３０に導き、該チ ェーン３０に対して押し付ける。 図１に示す構造では、（符号８１、１８１として孔を示すように）孔の開いた あるいはメッシュ状のアノード８０、１８０を介して加工材料９５の両面に電解 液を同時に供給する。カセットの外側にあるポンプ機構（図示せず）が、入口８ ２、１８２からアノードを介してマニフォールド８３、１８３の中へ、また支持 構造５０、１５０の出口スロット８４、１８４の中へ、適切な流速と圧力で電解 液を送り込む。（図３、４、５参照、これらはわずかに異なる構造を示すが、ス ロット８４、１８４の好ましい形を示す。またスロット１８４は図２に示されて いる。） 電解質がチェーンに接し、チェーンの開口を通過して両チェーンの間に支持さ れ、そこにインデックスされた加工材料９５に付着し、電解質中の金属核種をチ ェーンの開口によって区画された選択された領域に付着させる。そして使用後の 電解質は排出、すなわち回収される。これをどのようにして行うかは、下記のよ うに図１０、１１、１２に示されている。 図２を参照すると、ここには加工材料、チェーンインデックス機能、チェーン 支持機能及び電解質供給機能が図式的にはっきりと示されるが、チェーン駆動機 構を省略してある。チェーン駆動機構は図１に全体が示され、また図３、４、５ 、６にも示されている。 インデックス付けは本発明の重要な特徴であり、インデックス付けを以下詳細 に説明する。 すべてのカセットは、最初に、共働機構、例えばピン８８と孔８９によって、 例えば固定カセット２０内のピン８８が可動カセット１２０の孔８９に位置決め されることによって（図１０、１１、１２参照）、互いに整合される。これらの ピンと孔は外側、例えばそれらが自由な動きを邪魔されないようにチェーン３０ 、１３０の上方又は下方に位置決めされる。可動カセット１２０は横断バー９１ 、９２（図８Ａ、８Ｂ参照）にスライド可能に係止しており、横断バー９１、９ ２には固定カセットが固定されている。ピン８８が孔８９内に係合すると、可動 カセットは、カセットの上下に好ましくは位置決めされているバネ負荷可調節圧 力クランプ９９（図３参照）によって固定カセットに固定される。 第２に、２つのチェーンが共働機構、例えばチェーン３０内のピン３６、３７ とチェーン１３０内の孔１３６、１３７（図３参照）、反対にベルト１３０内の ピン１３８、１３９とチェーン３０内の孔３８、３９（図１、２参照）、によっ て互いにインデックス付け（整合）される。 第３に、加工材料９５は、加工材料９５のインデックス孔９４とベルト１３０ の孔４９とに係合するベルト３０内のピン９３によってインデックス付け（整合 ）される。 電解質供給機能に関して、電解液がチェーンの内面に供給される段階まで述べ てきた。 チェーンは、好ましくは低い熱膨張率の非伝導性樹脂製のリンク２４でできて いる。リンク２４は各チェーン３０、１３０において同じである。 図１、２は直線形態で且つ入口３１と出口３３の周りでは巻くように互いを接 続した多くのリンクを示す。図６は３つの個々のリンク２４ａ，２４ｂ及び２４ ｃを示す。 上述したように電解液はアノード８０、１８０の孔８１、１８１を通ってマニ フォールド８３、１８３を介して吸い上げられ、リンク２４内の開口２６を介し て加工材料９５にアクセスする。 開口２６は加工材料９５のメッキしたいエリアあるいはゾーンを画成するのを 助ける。加工材料９５は金属製あるいは金属化された表面のストリップでもよい 。特に図２に示されるストリップ９５は接触足１００、１０１を有し、図２では これらの足の端部がリンクの開口２６と位置合わせされ、片面にメッキがなされ る。図２に示されるように、各リンク２４はそのような２つの開口２６を有し、 これにより隣接する一対の隣接足をメッキすることができる。再び図６を参照（ 図２も併せて）すると、加工材料接触面が、圧縮性絶縁材料、例えばシリコンゴ ム製（係合ベルト６５、６６、１６５、１６６の表面より柔らかい（より圧縮性 がある））のシール板４６に形成される。 リンク２４はそれらの面２８内の長手方向に延びる凹所２７を有し、該凹所２ ７は、加工材料９５の方向へ向けて配置されている。開口２６が該凹所２７を貫 通し、凹所は開口２６の端部を越えてリンクの端部の方まで十分な距離延びてい る。 シール板４６が凹所２７内に緊密に嵌まり込むように配置され、またシール板 ４６はメッキされるべき加工材料の領域を規定する開口４９を有する。シール板 ４６には案内穴４８が形成され、開口４９が開口２６と整合すると同時に、各シ ール板４６が隣接するリンク、例えば２４ａ，２４ｂ（図６参照）の間の接続部 を横切って延びるように、案内穴４８の位置がシール板４６に対して位置決めさ れている。 シール板４６はメッキ条件に耐えるエラストマー材料でできていることが好ま しく、例えば凹所２７の側壁に対して外側に、そしてそれらの当接端に対して長 手方向に押し潰されることによりシール性が増すように圧縮できることが望まし い。シール板４６は、エンドレスチェーンの両端の周りでリンクの通路を邪魔し ないように可撓性を有することが望ましい。シール板４６は適宜の接着剤でリン ク２４に固定されている。 案内穴４８は、加工材料９５のインデックス孔９４に整合するリンク２４のイ ンデックスピン９３を受け入れるように大きさが決められている。 シール板４６の両端が、符号１２５の地点で面取りされており、これによりシ ール板４６同士が重なり合い、シールの一助となっている。このようなシールは 、リンク２４の両端を、例えば互いに雄、雌にしたり、一端側に段状の突出部を 設け他端側にはこれと整合する段状の凹部を設けるなど、一部を重ねて整合させ るように形成することによって高めることができる。そのような形態は、またマ スキング板にも使用できる。図１６はそのような形態の一例を示している。 図６、７に関して、リンク２４ａ、２４ｂ，２４ｃが、それらの移動チェーン ３０、１３０の占める位置にしたがってリンク間の距離を軸方向に変えることが できるように構成されるルースアタッチメントによって接続されていることがわ かる。実際、図面（図６）に示されるように、ピン１１１の支持面１１３がルー プ１１２の孔の中で自由にスライドできるように、長く延びたループ１１２と協 働してリンク２４に固定される、釘やびょう（個々ではピン１１１と呼ぶ）のよ うなこれらのアタッチメント要素がある。これによりリンク２４（２４ａ，２４ ｂ，２４ｃ）は互い接触したり（リンク２４ａ、２４ｂ参照）、あるいは互いに 離れたりして（リンク２４ｂと２４ｃを参照）、チェーンの戻りの循環のために 十分な角度的な機動性が得られるようになっている。なお、この機動性を改良す るために更に好ましくは、リンク２４の軸側の面を面取りすることができるが（ 図６参照）、この構造的特徴は本質的ではない。ピン１１１をリンク２４の材料 中へ打ち込むことができる。リンク２４は電気的な絶縁ポリマー樹脂で作ること が好ましい。なお、しかし図６に示す構造では、ピン１１１のヘッド１１４を無 差別な方向に向けることはできない。なぜならそれは特別の形状、すなわち円形 ではなくリンクに直角に向いた平坦部１１５を有し、その幅が支持面１１１の直 径に対応するからである。このような構造により、チェーンは容易に移動するこ とができる。実際にチェーンが平面上に進行した後で、リンクの１つが次のリン ク（あるいは前のリンク）に対して折れ曲がることが十分でき、これによりピン １１１の平面部１１３が互いの進行方向に向けられて、ループ１１２を自由に引 っ張ることができる。しかし、この形状は随意であり、びょう１１１は円形ある いは多角形のヘッドを有していてもよく、この場合にはびょうの一部にネジを切 ってリンクの材料の中へネジ込むこともできる。 本発明の電解セルで使用されるチェーンのリンクの長さＬ（図６参照）は、メ ッキする加工材料のピッチＡ（図７参照）の機能を決定する。加工材料のピッチ は、後者の２つの各パターンを分ける距離になるように規定される。 図２を参照すると、繰り返しパターンが各々に案内穴９４を有することがわか る。このように図２の加工材料のピッチＡは、案内穴９４から案内穴９４ｂまで 、すなわち隣接する案内穴９４の中心同士の距離の２倍である。 そのような加工材料９５の一部が図７に示され、そこにはチェーン３０のリン ク２４によって支持されるピン９３に対してこの加工材料を位置決めするための ２つの穴９４、９４ｂも示されている。ストリップのピッチは「Ａ」で示され、 案内ピン９３の半径は「Ｒ₂」で示される。リンク２４の長さは、Ａ−Ｒ₂とＡ− Ｘの間の値をとることが望ましい。ここでＸは加工材料を作るとき、例えば打ち 抜くときの長さＡに対するプラス、マイナスの公差を示す。図７はピン９３を示 し、このピン９３は、半径Ｒ₂が望ましい。柄が穴９４、９４ｂの直径２Ｒ₁より もわずかに小さな寸法を有し、ピン９３の先端９３ａがピン９３の柄の直径２Ｒ₂ の１０分の１より小さい直径２Ｒ₃を有する。図７を参照すると加工材料（公差 Ｘ）のピッチＡの誤差が、ピン９３の柄と穴９４、９４ｂとの間の直径２（Ｒ₁ −Ｒ₂）の差に対応する値を超えないと仮定すれば、リンクの長さＬが穴へのピ ンの係合のときにＡ−Ｒ₁とＡ−Ｘとの間に維持されるならば、隣接するリンク ２４は互いに十分離れており、ピン９３の先端９３ａは、穴９４、９４ｂの円の 中心の方向へ向く。このようにして加工材料９５へのリンクの係合を容易に行う ことができる。 伸縮性のあるリンク結合１１２によってヒンジ結合されたリンク２４でできた チェーン３０、１３０が、メッキゾーン４１内でインデックスされることを思い 出すであろう。これは隣接するリンク、例えば符号２４ａ、２４ｂで表すリンク の間の軸方向の遊びＰは、少なくとも加工材料の離れて隣接する案内穴、例えば ９４と９４ｂの距離の全公差Ｘ（最も極端な公差の場合）ほどになることが必要 であるが、ピン９３の［直径（２Ｒ₂）−全公差］（Ｒ₂はピン９３の半径）を超 えるべきではないことを意味する。 このようにして以下の関係が好ましく適用される。即ちＸはＰ以下であり、Ｐ は（２Ｒ₂−Ｘ）以下である。 マスクリンク２４の長さＬは以下の関係によって定義されることが好ましい。 Ａ−Ｒ₂はＬ以下であり、ＬはＡ−Ｘ以下である。 実際には、直径１．５ｍｍ（Ｒ₁−７５０マイクロメーター）の穴９３と、柄 が１．４ｍｍの直径Ｒ₂及び先端９３ａが１０〜２０マイクロメーターの直径Ｒ₃ を有するピン９３では、平均ピッチＡの両側で５０マイクロメーターの誤差Ｘが 容易に許容できる。通常の打ち抜き全公差は、一般には１０〜３０ｍｍの距離に 対して約２０マイクロメーターを超えることはないから、装置がメッキすべき加 工材料９５の一部に関してマスクリンク２４を効率的に位置決めするための打ち 抜き誤差を容易に許容できる。 上記での言及は、戻り工程４３、４４と支持構造６０、１６０（図１参照）に ついてである。これらは図３により詳細に示されている。これらの構造の各々に 示されるように、本質的には上方に面している傾斜した棚、フックあるいはレー ルがあり、その上に突起５１、１５１が支えられており、また戻り工程中にはそ れらに沿って突起が自由にスライドできる。この自由な工程を維持して、チェー ンの隣接するリンク２４を戻り工程において互いに離れた状態にすることが望ま しい。図８Ｂに示す実施例ではこの状態を維持することを助けている。出口ガイ ドすなわちホイール３４、１３４が出口端３３の方へ外側へ付勢されている。こ れは例えば垂直方向に位置決めされ、円弧状のスロット７９、１７９内に位置決 めされる端部７８、１７８を有するヘリカルトーションスプリング７７、１７７ によりバネ付勢されている。この構造では全体構造内のどんな温度膨張も吸収す ることを助ける。 図８〜図１２に示す第２の実施例は、いくつかの点で第１の実施例とは異なる が、同じ部材には同じ参照符号を付している。特に第２の実施例は異なる考え方 で構成されており、入口端は左手側でなく右手側にある。さらにチェーンを固定 カセット２０内のチェーン３０を駆動する１つのモータ７１によって駆動する（ わかりやすくするために、図８Ａ、８Ｂではチェーンのほとんどを省略してあり 、図８Ａには少しの部分だけ示してある）。チェーン１３０に係合するチェーン ３０もまたそれを駆動する。この構造はよりシンプルで、しかも優れた機械操作 ができることがわかった。 図８Ａは、カソード接点９６を通り、アイドラローラ９８によって固定カセッ ト２０のチェーン３０に対して押圧される加工材料９５と共に、装置の入力端を 示している。固定カセット２０は横断バー９１、９２（図８Ｂ）に取り付けられ る。可動カセット１２０もバー９１、９２に取り付けられるが、そこに固定され てはいない。可動カセット１２０はカセット２０からスライドすることができ、 バーから持ち上げられる。カセット２０のピン８８とカセット１２０の穴８９（ 図１０〜１２参照）によって、カセット２０にインデックス付け（整合）がなさ れる。一度互いに２つのカセットをインデックス付けするように整合状態になる と、可動カセット１２０はスプリング負荷クランプ９９によりカセット２０にク ランプされる。そしてこの装置は使用の準備がなされる。 図１０、１１及び１２を特に参照すると、各カセット２０は、後壁１４１、天 壁１４２及び底壁１４３とを有するハウジングを有し、カセット１２０は後壁１ ９１、天壁１９２及び底壁１９３を有する。上部クランプ９９は天壁１４２に取 り付けられ、壁１９３の構造物を係合する。後壁１４１はベルト３０のための戻 り支持構造６０を支持し、後壁１９１はベルト１３０のための戻り支持構造１６ ０を支持する。 底壁１４３、１９３は、吐き出し即ち再利用のために、カセットから使用済み の電解液を排出させるための穴１０９（図９Ａ）を提供する。 図１０、１１、１２の実施例の各々の固定カセットの前壁には、カセットイン デックスピン８８とスロット７５、７６を支持する第１支持構造５０が提供され 、該スロット７５、７６には駆動ベルト６５、６６が走行し、また上記前壁には チェーン３０を支持するための凹所５５と、図１のスロット８４の代わりの１列 の入口穴２０４が提供される。 各穴２０４は円錐形のスロート２０５を有し、このスロート２０５は支持部材 ５０の後面内の上流に向かう穴あるいは溝２０７に通じる。支持構造５０の後側 はマニフォールド８３を有するマニフォールドボックス２００によって閉鎖され ている。アノード８０は支持部材５０の後側とマニフォールドボックス２００と の間にクランプされ、アノード８０は電気供給手段２０８を有する。穴あるいは 溝２０７は、穴２０９と連通し、穴２０９はカセットハウジングの内部へ通じる ようにマニフォールド２００の壁を貫通し、これにより、ドレーン穴１０９を介 してカセットの外へ使用後の電解液を送り出す。 図１２に示すように、電解液入り口パイプ２１０がマニフォールド８３を付与 するように設けられる。パイプ２１０が天壁１４１を介してハウジング１４０に 入いる。 また固定カセット２０は係合駆動ホイール６７、６８を支持し、そこには駆動 ベルト６５、６６が取り付けられ、上記のようにカセットの周りでエンドレスチ ェーン３０を駆動する。チェーン３０を、第１支持部材５０内であって第２支持 部材６０（後壁１４１に取り付けられている）上の凹所６０に突起５１が係止す ることによってカセット上に支持する。チェーン２０のリンク２４は穴３８、３ ９を有する。これらはチェーン１３０によって支持されるピン１３８、１３９を 受け入れ、ピンはこうしてベルト３０に対してインデックス付けされ、ベルト３ ０と整合して保持されることで駆動される。 上記のようにチェーンリンク２４の各々は、プレートマスク４６と加工材料イ ンデックスピン９３とを支持し、これらマスクとピンとはこの場合、固定カセッ ト２０に取り付けられるチェーン３０に支持されている。 上記で述べたカセットの構造は、図１０、１１、１２に示す実施例の全てに適 合する。 相違は可動カセット１２０にある。 図１０は、加工材料の片面だけに選択的に付着させるための構造を示す。 この構造では、可動カセットのハウジング１９０は、チェーン１３０の突起１ ５１用の凹所１５５を単に有する第１支持構造１５０によって閉じられる前壁を 有する。別な方法では支持構造は、その中に穴がない。支持構造１５０はプレー ト２９９に取り付けられる。チェーン１３０のリンク２４は、開口２６を含まず 、マスキングプレート４６も開口を含まない。したがって固定カセット２０に面 する加工材料９５の側だけが処理される。操作においては、電解液を孔２０４を 介して加工材料に供給し、おもて面に流し、溝２０７と穴２０９に沿って流し出 して排出する。電解液を供給する圧力は、これを循環するために十分な圧力であ る。 図１１は加工材料９５の両面を同時に処理するが、これを整合していない位置 で行う構造を示す。 固定カセットは、図１０に関して述べたものと同じ構造を有する。可動カセッ トは、３００番台の符号を２００番台に代えて使用、例えば２０７の代わりに溝 ３０７を使用している他は、可動カセットと同じ構造を前壁に有するハウジング １９０を有する。さらに穴３０４は穴２０４からずれている。 図１２は加工材料の端部を処理する構造を示す。 この構造ではハウジング１４０は図１０、１１で述べた構造と同じである。 可動カセット用のハウジングは、第１支持構造１５０が開口２０４に従ってそ の中に開口２２０を有する点、及びアノード１８０が支持構造１５０とプレート ２９９との間に位置決めされている点を除き、図１０のものと同じである。 プレート２９９は穴２２０に従って、穴を有する。穴２２０、２２１は同じサ イズであり、穴２０４より大きな直径を有する。 使用において、電解液のほとんどが穴２０４を通って穴２２０、２２１に至り 、ハウジング１９０を介して外へ出るが、その供給は更に溝２０７と穴２０９と を介してハウジング１４０への出口を与える。これにより電解液の作用により発 生したガスの危険性の増大を避けることができる。この点を除いて図１２の構造 は、図１０、１１の構造と同じである。 さて、図１３を参照すると、パッド１１８とその周りのリードフレーム１１７ をメッキすべき部分として有する、打ち抜かれた金属加工材料が大きく拡大され て示されている。ピッチＡは、インデックスピン９３が使用時に整合する案内穴 ９４の距離である。リンク２４内の開口２６、４８とマスキングプレート４６と は、参照符号２６で示される。 図１０に示す構造は加工材料の片面をメッキするために使用でき、図１１に示 す構造はレジスタ（ｒｅｇｉｓｔｅｒ）の外側の両面をメッキするために使用で きる。 図１４は、パッド１１８のメッキを避けながら、リードフレーム１１７だけを メッキできるようにする手法を示す分解斜示図である。 図１４は、改良形態の開口２６を有するフェース２８内の凹所２７を備える１ つのリンク２４を示す。マスキングプレート（シール板）４６も示されており、 これも改良形態の開口４８を有する。作業中には、加工材料をマスキングプレー ト４６の上方に置き、電解液をリンク２４の下方から導入（もしアッセンブリが プレート４６から離れて、リンク２４の横から垂直に配置されている場合には） することを思い出すであろう。 開口２６と４８は、パッド１１８を覆っている間に図１３のリードフレーム（ 例えば符号１１７で示す）に電解液を供給する矩形の４ケ所で位置決めするスロ ットを与えるように構成される。 開口２６は同じ大きさであるが、開口２６の周りの凹所２７の面には溝２１０ を有する。対向する横断スロット２１１が凹所２７の面内に形成され、溝２１０ を通って開口２６から延びている。 アーム２１６を接着剤を付けて２つのスロット内に位置決めするときに、凹所 ２７の表面と平らになるようにプレート２１５を保持するよう位置決め及び寸法 決めされたアーム２１６を、絶縁プレート２１５が有する。このプレートはまた １つの面内に孔２１８を有する。プレートのエッジ２２０は、それら自身とアー ム２１６と開口２６の内端との間にスロット２２５、２２６、２２７及び２２８ を残す。電解液はこれらのスロットを通過する。 マスキングプレート４６は、主部分２３０とパッドマスキング部分２３１の２つ の部分から成る。主部分２３０は例えば図６の実施例と同じ外形寸法であるが、 リンク２４内の溝２１０に緊密に且つ濡れのないようフィットとするようなリブ ２３４を有する。使用時には、リブ２３４が溝２１０内に位置決めする。パッド マスキング部分は、孔２１８内に嵌まり、リンク２４にパッド２３１を固定する ようになっている４つの突起２３６を有する。 従って矩形の環状電解液供給スロット２４０がマスキングプレートの２つの部 分の間に形成され、このスロット２４０が、部材２３１によってマスクされてい るパッド１１８の部分がメッキされないようにして、リードフレーム１１７だけ をメッキするように電解液を供給する。 図１５は、コネクタ構造３５０のチップ３５１、３５２をメッキし、その他の 部分をメッキしない、上記図１３と同様な図を示す。マスクプレート内の孔４９ の形状が図面に重ねられており、この孔４９はチップのメッキを行うために使用 することが好ましい。 図１２の構造は、エッジのメッキを行うために使用でき、チップの面をこの通 過流アレイで達成できる。 図１６は、接触状態にあるマスキングプレート４６とリンクが整合した状態で クランプされている加工材料９５と共に、互いに整合して配置されるコンベアチ ェーンの一対のリンクを示す側面図である。 各リンク２４は、面取り端部１２５と互いにかみ合うことのできる段付きの雄 端１２６と雌端１２７を有する内面とを有し、これらはシーリングを容易にする ように重なりながら、面取りにより接続リンクが互いに外側へ離れていくことを 容易にしている。図６に示すようにリンク間の接続は、ピン１１１とループ１１ ２を使用している。マスキングプレートは、より小さな寸法をもつ同じ段付き形 状であり、図６で述べたように隣接するリンク２４間の接続はスタッガー（ｓｔ ａｇｇｅｒｅｄ）接続の関係にある。 図１７は図１６の構造と、チェーン３０側から見たときの図１０に示すような リンク２４とを示す側面図である。（図１１ではチェーン３０）１３０は、この ようなリンクを有する）。それらの入口スロート２０５を有する穴２０４が示さ れ、リンクと突起５１との間の接続が示されている。図に示されるように、単一 の突起も可能ではあるが、それよりも突起の多様性が各リンクに使用されている 。 リンクの当接端での面取りと、共働係合構造１２６を図に見ることができる。 マスキングプレート４６の重なり合った端部と共働係合構造１２６がリンクの 一端を超えて延びているのを見ることができる。リンク２４の穴３８、３９が示 され、ピン１３８、１３９（隠れたリンク内の）が穴３８、３９の中に位置決め され、２つのコンベアチェーンのリンクをインデックス付けしている。 図１８は、図１７では見えないリンク２４の後ろ側（チェーン１３０からみた ）側面図である。隣接するリンク２４間の接続１１１、１１２、インデックスピ ン１３８、１３９及びマスキングプレート４６を容易に見ることができ、リンク ２４のエッジを超えたプレート４６との重なりを見ることができる。 マスキングプレート内の穴４８は、図１５を参照して示されるように特別な形 状である。チェーン３０のリンクによって支持されるピン９３のための整合穴４ ９も示されている。 これらのピン９３が、加工材料９５の整合穴９４を通り、穴４９の中に至るこ とが思い出されるであろう。 図１９に示す図１８の変形例では、穴４８の列が穴２０４よりも幅がわずかに 小さいスロット即ち隙間２５０によって代えられており、これによりメッキを行 うストライプが規定される。 処理ゾーンを介してチェーンを押したり引込めたりすることができることを述 べてきた。さらに１つのコンベアを引込め、他方のコンベアを押すこともできる 。互いに押圧された加工材料インデックスゾーン４１にリンクを設けて、それら の当接している端部を接触させて、そのゾーンの中へ押し込むようにすることも できる。更にまたリンクが互いに離れている、すなわちピンがリンク１１２の端 部にあるときに、加工材料インデックスゾーン４１にリンクを設けるようにする こともできる。以上の構造のいづれにおいても、加工材料のインデックス付けは 、図７に関して説明したように容易に行える。 上記のほとんどが、加工材料を垂直方向に配置するように装置を使用してきた 。本発明の構造は、加工材料を水平方向に配置したときでも、システムを９０° 反転することによって加工材料を取扱うことができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 アパリチオ，マリアーノ スイス国ツェーハー―1032 ロマネル／ロ ーザンヌ，リュ・コヴタナ ９ 【要約の続き】 コンベアの各々が、少なくとも処理ゾーン内において支 持構造を有し、該支持構造は互いの方向へ接近したり離 れたりして動くように取り付けられていてもよい。２つ のエンドレスチェーンコンベアは少なくとも処理ゾーン にあるとき互いに係合し、コンベアの１つのみが駆動手 段を有し、駆動するコンベアは、処理ゾーンにおいて該 駆動するコンベアと整合する他のコンベアを支持するよ うに作動する。エンドレスチェーンコンベアの少なくと も１つが、少なくとも前記処理ゾーンにおいて支持構造 を有し、また前記支持構造に前記コンベアを保持しなが ら、同時に前記コンベアを前記構造に沿ってスライドさ せることができるように、少なくとも前記処理ゾーン内 の前記支持構造に係合していてもよい。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．連続して移動する導電性加工材料の規定された領域を選択的に電解質的に処 理するための装置であって、該装置は 加工材料が処理電解液と接触する、装置の電解質的処理ゾーンを通して、加工 材料を移送するための手段を有し、 前記移送手段は、電解液が前記規定の領域だけに接触するように前記加工材料 をマスクするマスク手段を付与し、 前記移送手段は、前記加工材料を前記マスク手段と整合して位置決めするイン デックス手段を付与するエンドレスチェーンを有し、 また前記装置はマスクされた加工材料に電解液を供給する手段と、一の電極と しての加工材料と他の電極としての加工材料との間で電流を流すための手段とを 有し、 前記加工材料を移送するための手段は、非導電性材料から成る接続されたリン クでできた２つのエンドレスチェーンコンベアを有し、前記２つのエンドレスチ ェーンコンベアの間に、前記加工材料が前記処理ゾーンを通過する間、該加工材 料を保持していることを特徴とする装置。 ２． 請求項１記載の装置であって、 前記２つのエンドレスチェーンコンベアが少なくとも前記処理ゾーンにおいて 互いに整合した関係を維持することを確実にするために、インデックス手段を設 けることを特徴とする装置。 ３． 請求項１または２記載の装置であって、前記インデックス手段は前記チェ ーンによって与えられる共同係合構造を有することを特徴とする装置。 ４． 請求項２または３記載の装置であって、前記エンドレスチェーンコンベア の各々が、少なくとも前記処理ゾーン内において支持構造を有し、該支持構造は 互いの方向へ接近したり離れたりして動くように取り付けられていることを特徴 とする装置。 ５． 請求項４記載の装置であって、前記支持構造は固定され互いに向き合った 関係で保持するための手段を有し、該関係にある状態ではエンドレスチェーンコ ンベアは、互いに整合してスライドが自由にできることを特徴とする装置。 ６． 請求項５記載の装置であって、固定され互いに向き合った関係にある前記 支持構造を保持するための手段が、インデックス手段とクランプ手段とを有する ことを特徴とする装置。 ７． 請求項６記載の装置であって、前記インデックス手段は、前記支持構造に より付与され、前記支持構造に支持される共同係合構造を有することを特徴とす る装置。 ８． 請求項１〜７のいづれか１つの装置であって、 前記２つのエンドレスチェーンコンベアは少なくとも処理ゾーンにあるとき互 いに係合し、前記コンベアの１つのみが駆動手段を有し、駆動するコンベアは、 処理ゾーンにおいて該駆動するコンベアと整合する他のコンベアを支持するよう に作動することを特徴とする装置。 ９． 請求項１〜８のいづれか１つの装置であって、 前記エンドレスチェーンコンベアの少なくとも１つが、少なくとも前記処理ゾ ーンにおいて支持構造を有し、また前記支持構造に前記コンベアを保持しながら 、同時に前記コンベアを前記構造に沿ってスライドさせることができるように、 少なくとも前記処理ゾーン内の前記支持構造に係合していることを特徴とする装 置。 １０． 請求項９記載の装置において、 前記両方のエンドレスチェーンコンベアは、少なくとも前記処理ゾーンにおい て支持構造を有し、また両方のエンドレスチェーンコンベアは、前記各コンベア がその各々の支持構造に保持されながら、前記支持構造に沿ってスライドするこ とができるように、少なくとも前記処理ゾーン内の各支持構造に係合しているこ とを特徴とする装置。 １１． 請求項９または１０記載の装置において、 コンベアが、共働する突起と凹所とを有する共働手段によって、その支持構造 に係合されていることを特徴とする装置。 １２． 請求項１１記載の装置において、 前記突起は前記チェーンコンベア内に位置決めされ、前記凹所は前記支持構造 内に位置決めされていることを特徴とする装置。 １３． 請求項１１または１２記載の装置において、 前記突起と凹所とは、前記チェーンコンベアの動く方向に垂直な断面が、実質 上三角形であることを特徴とする装置。 １４． 請求項１〜１３のいづれかに記載の装置において、 前記エンドレスチェーンコンベアの一方または両方が、ベルトと摩擦係合する ことで駆動されることを特徴とする装置。 １５． 請求項１〜１４のいづれかに記載の装置において、 各エンドレスチェーンコンベアは離れた支持構造に支持され、該支持構造と前 記チェーンとは互いに対して相対的に可動であり、これにより支持構造とチェー ンとの間に加工材料を係合したり、離れたりするように一緒に作動可能であるこ とを特徴とする装置。 １６． 請求項１５記載の装置において、 前記支持構造の一方または両方が、該支持構造上にエンドレスチェーンコンベ アを摩擦係合し、前記コンベアを駆動するようになっているベルトを支持するこ とを特徴とする装置。 １７． 請求項１６記載の装置において、 前記各ベルトは、前記加工材料から離れている前記チェーンコンベアのリンク の表面に係合するように位置決めされる圧縮性ポリマーの面を有し、前記処理ゾ ーン内で係合することを特徴とする装置。 １８． 請求項１５，１６および１７記載の装置において、 前記支持構造の各々が、少なくとも前記処理ゾーンにおいて、前記支持構造に 前記チェーンを係合するための手段を支持することを特徴とする装置。 １９． 請求項１〜１８のいづれかに記載の装置において、 前記各エンドレスチェーンは、少なくともその戻り工程の一部において支持手 段を有することを特徴とする装置。 ２０． 請求項１〜１９のいづれかに記載の装置において、 前記チェーンコンベアの少なくとも１つのリンクが、前記マスク手段によって 規定される開口を有し、電解液出口手段が、電解生成物を生じる傾向を減じるよ うに各開口に出口を付与することを確定していることを特徴とする装置。 ２１． 請求項１〜２０のいづれかに記載の装置において、 前記両方のエンドレスチェーンコンベアのリンクは、加工材料に供給されるべ き電解液が通る開口を有することを特徴とする装置。 ２２． 請求項２１記載の装置において、 前記開口は、前記２つのチェーンのリンクが向かい合った状態で前記処理ゾー ン内で整合するように、２つのチェーンのリンクの中に位置決めされており、ま た前記開口は整合していないことを特徴とする装置。 ２３． 請求項２１記載の装置において、 前記開口は、前記リンクが前記処理ゾーン内で整合して各々が向かい合うとき に整合するように２つのチェーンのリンク中に位置決めされていることを特徴と する装置。 ２４． 請求項２１または２２記載の装置において、 前記加工材料の両面に電解液を供給するための手段を有することを特徴とする 装置。 ２５． 請求項２３記載の装置において、 １つのコンベアを介して加工材料の一面から加工材料を通過して、加工材料の 他の面に至り、そこを介して他のコンベアへ出るように電解液を送るための手段 を有することを特徴とする装置。 ２６． 請求項２４または２５記載の装置において、 加工材料の各面に向かい合うアノードを有することを特徴とする装置。 ２７． 連続して移動する導電性加工材料の規定された領域を選択的に電解質的 に処理するための装置であって、該装置は 加工材料が処理電解液と接触する、装置の電解質的処理ゾーンを通して、加工 材料を移送するための移送手段を有し、 前記移送手段は、電解液が前記規定の領域だけに接触するように前記加工材料 をマスクするマスク手段を付与し、 前記移送手段は、前記加工材料を前記マスク手段と整合して位置決めするイン デックス手段を付与するエンドレスチェーンを有し、 また前記装置はマスクされた加工材料に電解液を供給する手段と、一の電極と しての加工材料と他の電極としての加工材料との間で電流を流すための手段とを 有し、 前記加工材料を移送するための移送手段は、非導電性材料から成る接続された リンクでできた２つのエンドレスチェーンコンベアを有し、前記２つのエンドレ スチェーンコンベアの間に、前記加工材料が前記処理ゾーンを通過する間、該加 工材料を保持しており、 更に前記装置は、少なくとも処理ゾーンにおいて、２つのエンドレスチェーン コンベアが互いに整合状態にあることを確実にするためのインデックス手段を有 し、 各エンドレスチェーンコンベアは分離した支持構造に支持され、 前記支持構造とチェーンとは、両者間に加工材料を係合したり離したりするよ うに共働可能に互いに相対的に動くことができ、 両方のエンドレスチェーンコンベアは、少なくとも処理ゾーンにおいて支持構 造を有し、また両方のエンドレスチェーンコンベアは少なくとも処理ゾーンにお いて、各コンベアがその各々の支持構造に保持されながら前記構造に沿ってスラ イドできるように各支持構造に係合され、 支持構造の一方または両方がベルト手段を支持し、該ベルト手段がその支持位 置においてエンドレスチェーンコンベアと摩擦係合し、前記コンベアを駆動する ようになっている、 ことを特徴とする装置。