JP3437749B2 - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP3437749B2
JP3437749B2 JP29196597A JP29196597A JP3437749B2 JP 3437749 B2 JP3437749 B2 JP 3437749B2 JP 29196597 A JP29196597 A JP 29196597A JP 29196597 A JP29196597 A JP 29196597A JP 3437749 B2 JP3437749 B2 JP 3437749B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、MOS型の半導体
集積回路に関し、詳しくは、MOSトランジスタにかか
る不所望な高電圧を緩和する技術に係り、例えば外部電
源と内部降圧電源とによって動作する半導体集積回路の
外部インタフェース回路に適用して有効な技術に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路の高速動作及び低消費電
力などの要請から、その動作電圧は5Vから3.3V、
2.5Vへと低電圧化される傾向に有る。そのため、外
部から5Vのような電圧をもらい、これを内部で3.3
Vのような電圧に降圧して、内部回路の動作電源とする
半導体集積回路が有る。このような回路においては、外
部インタフェース信号の振幅は低電圧動作される内部回
路の信号振幅よりも大きい。したがって、そのような半
導体集積回路において入出力バッファや出力バッファの
ような外部インタフェース回路の耐圧は内部回路に比べ
て高いことが望ましい。
【0003】本発明者は、ゲート酸化膜厚が8nmのMO
SデバイスでTTLインターフェイスを実現しようとし
た。8nmのゲート酸化膜厚では、その耐圧は真性ゲート
耐圧でも約8V程度である。それに対してTTLインターフ
ェイス規格の絶対最大定格は最大で7Vであり、プロセ
ス変動や信頼性を考慮すると、耐圧マージンが全くな
い。
【0004】このとき、MOSトランジスタの耐圧はゲ
ート酸化膜の厚さに影響される。MOS型半導体集積回
路において、一部のMOSトランジスタの耐圧を向上さ
せるために、当該一部のMOSトランジスタのゲート酸
化膜厚を厚くすることが考えられる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ゲート
酸化膜の厚さが複数種類になると、製造プロセスが複雑
になるとうい問題点の有ることが本発明者によって明ら
かにされた。
【0006】本発明の目的は、ウエハプロセスを変える
ことなく、高電圧入力規格を微細(薄膜ゲート酸化膜)
プロセスにて実現できる半導体集積回路を提供すること
にある。
【0007】本発明の別の目的は、外部インタフェース
回路に供給される高電圧を緩和でき、入力バッファ及び
出力バッファを構成するMOSトランジスタだけゲート
酸化膜厚を大きくしなくても済む半導体集積回路を提供
することにある。
【0008】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
【0009】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0010】すなわち、外部インタフェース端子(8)
に結合された入力バッファ(1)を有する半導体集積回
路において、前記入力バッファには、ソース電極が電源
端子に、ゲート電極が前記外部インタフェース端子に結
合されたpチャンネル型の第1MOSトランジスタ(M
P1)と、ゲート電極が前記電源端子の電源電圧(Vd
d2)に対してその閾値電圧分低い電圧以下にバイアス
され前記第1MOSトランジスタに直列接続されたpチ
ャンネル型の第2MOSトランジスタ(MP2)と、前
記第2MOSトランジスタに直列接続されソース電極が
グランド端子に結合されたnチャンネル型の第3MOS
トランジスタ(MP3)と、前記第3MOSトランジス
タと前記外部インタフェース端子との間に配置されゲー
ト電極が前記電源端子に結合されたnチャンネル型の第
4MOSトランジスタ(MP4)とを含む構成を採用
し、前記第2MOSトランジスタと第3MOSトランジ
スタとの結合ノードを次段回路の入力端子に結合する。
【0011】 上記手段によれば、前記第1MOSトラ
ンジスタ(MP1)のゲート・ドレイン間の酸化膜には
Vin-(Vref1+Vth(MP2))以上の電位差はかからない。Vin
は外部インタフェース端子に供給される入力信号の電
圧、Vref1は第2MOSトランジスタのゲート電極に供
給されるバイアス電圧、Vth(MP2)は第2MOSトランジ
スタ(MP2)の閾値電圧である。したがって、外部イン
タフェース端子に入力される入力信号が規定のハイレベ
ル電圧を越えて高くされても、第1MOSトランジスタ
のゲート・ドレイン間の酸化膜にかかる電位差を、上述
のVin-(Vref1+Vth(MP2))以上にならないように緩和で
き、この点において、入力信号に対する当該第1MOS
トランジスタの耐圧を向上させることができる。また、
第3MOSトランジスタのゲート電極にはVdd2−Vth(MN
4)以上の高電圧は印加されない。Vdd2は前記電源電圧、
Vth(MN4)は第4MOSトランジスタの閾値電圧である。
したがって、外部インタフェース端子に入力される入力
信号のハイレベルが正規の電源電圧を越えても、第3M
OSトランジスタのゲート酸化膜にかかる電位差を上述
のように緩和でき、この点において、入力電圧に対する
前記第3MOSトランジスタの耐圧を向上させることが
できる。
【0012】上記第3MOSトランジスタのゲート電極
に印加される電圧は入力信号電圧に対して第4MOSト
ランジスタの閾値電圧分低下される。これは、当該第4
MOSトランジスタの反転動作速度を少なからず遅延さ
せることになる。また、第2MOSトランジスタのオン
抵抗が比較的大きく、電流供給動作が比較的遅くなる。
このような動作遅延を解消する本発明による別の観点の
半導体集積回路は、外部インタフェース端子(8)に結
合される入力初段回路(31,32,33)、差動増幅
回路(40)及び選択回路(50)を有する入力バッフ
ァ(1)を採用する。
【0013】前記入力初段回路は、ソース電極が電源端
子に結合されると共にゲート電極が前記外部インタフェ
ース端子に結合されたpチャンネル型の第1MOSトラ
ンジスタ(MP11)、ゲート電極が前記電源端子の電
源電圧に対してその閾値電圧分低い電圧以下にバイアス
され前記第1MOSトランジスタに直列接続されたpチ
ャンネル型の第2MOSトランジスタ(MP12)、及
び前記第2MOSトランジスタに直列接続されると共に
ドレイン電極がグランド端子に結合されたnチャンネル
型の第3MOSトランジスタ(MP13)から成り、前
記電源電圧(Vdd2)に対して第1MOSトランジス
タの閾値電圧分だけ低い電圧を論理閾値電圧とし前記外
部インタフェース端子(8)からの入力信号の反転信号
を前記第2MOSトランジスタのドレイン電極から出力
する第1入力回路(31)と、ソース電極が電源端子に
結合されると共にゲート電極が前記第3MOSトランジ
スタのゲート電極に共通接続された第4MOSトランジ
スタ(MN14)、ドレイン・ソース電極が前記第4M
OSトランジスタとグランド端子とに結合された第5M
OSトランジスタ(MN15)、及び前記第5MOSト
ランジスタのゲート電極と前記外部インタフェース端子
との間に配置されゲート電極が前記電源端子に結合され
たnチャンネル型の第6MOSトランジスタ(MN1
6)から成り、前記グランド端子のグランド電圧(Vs
s)に対して第5MOSトランジスタの閾値電圧分だけ
高い電圧を論理閾値電圧とし前記外部インタフェース端
子(8)からの入力信号の反転信号を前記第5MOSト
ランジスタのドレイン電極から出力する第2入力回路
(32)と、前記第1及び第2入力回路の夫々から出力
される出力信号を入力し前記外部インタフェース端子に
与えられる入力信号がグランド電圧(Vss)に対し第
1MOSトランジスタの閾値電圧分だけ高い電圧と電源
電圧(Vdd2)に対し第5MOSトランジスタの閾値
電圧分だけ低い電圧との間の電圧である中間電位の期間
を検出する検出回路(33)とを有する。
【0014】前記差動増幅回路(40)は、前記入力初
段回路で検出される中間電位の期間において活性化さ
れ、活性状態では前記外部インタフェース端子からの入
力信号を参照電圧(Vref2)に対して差動増幅す
る。この差動増幅回路は、例えば、一対のpチャンネル
型の差動入力MOSトランジスタ(MP21,MP2
2)と、カレントミラー負荷と、差動増幅回路を選択的
に活性又は非活性状態に制御するパワースイッチMOS
トランジスタ(MN25)と、前記パワースイッチMO
Sトランジスタのオフ状態に同期して差動増幅回路の出
力端子をプリチャージするプリチャージMOSトランジ
スタ(MP26)とによって構成することができる。
【0015】前記選択回路(50)は、前記差動増幅回
路の活性状態ではその出力を次段に供給し、前記差動増
幅回路の非活性状態では前記第1又は第2入力回路の内
の一方の回路の出力を次段に供給する。
【0016】上記手段において、外部インタフェース端
子(8)に供給される入力信号(Vin)がグランドレ
ベル(Vss)のローレベルから電源電圧(Vdd2)
のハイレベルに変化される場合を一例として入力バッフ
ァの作用を説明する。外部インタフェース端子(8)か
らの入力信号(Vin)がグランド電圧(Vss)のロ
ーレベルから第5MOSトランジスタの閾値電圧(Vth
(MN15))に至るまでは、差動増幅回路は非活性状態にさ
れ、これに応じて選択回路は例えば第2入力回路の出力
を次段回路に供給させる。外部インタフェース端子から
の入力信号レベルが第5MOSトランジスタの閾値電圧
(Vth(MN15))を超えると、差動増幅回路が活性化され
る。差動増幅回路は、参照電圧(Vref2)に対する
入力信号の電圧の差電圧を増幅する。選択回路は差動増
幅回路の出力を次段回路に供給させる。入力信号レベル
が前記参照電圧を超えると差動増幅回路の出力は反転さ
れる。更に入力信号レベルがVdd2-Vth(MP12)を超える
と、差動増幅回路が非活性にされる。この状態において
選択回路は第2入力回路の出力を次段回路に供給させ
る。外部インタフェース端子に供給される信号がハイレ
ベルからローレベルに変化される場合も同様であり、入
力信号レベルがグランド電圧に対して第5MOSトラン
ジスタの閾値電圧分高い電圧と電源電圧に対し第1MO
Sトランジスタの閾値電圧分低い電圧との間の中間電位
になった時だけ差動増幅回路が活性化され、その前後に
おいては第2入力回路の出力が選択回路で選択される。
【0017】上記によれば、入力初段を構成する第1及
び第2入力回路は、上記手段同様に、規定のハイレベル
電圧を越えた高い電圧の入力信号に対して、第2MOS
トランジスタ(MP12)の作用によって第1MOSト
ランジスタ(MP11)のゲート・ドレイン間の酸化膜
にかかる電位差を緩和でき、また、第6MOSトランジ
スタ(MN16)の作用によって第5MOSトランジス
タ(MN15)のゲート酸化膜にかかる電位差を緩和で
き、入力電圧に対する第1及び第5MOSトランジスタ
の耐圧を向上させることができる。
【0018】また、第5MOSトランジスタ(MN1
5)のゲート入力電圧が第6MOSトランジスタ(MN
16)によって低下されるが、差動増幅回路が前記中間
レベルの入力信号を差動増幅し、その差動増幅出力を選
択回路が選択して次段回路に供給するから、入力バッフ
ァの高速動作を保証することができる。
【0019】前記差動増幅回路は、前記中間電位以外の
グランドレベル(Vss)寄り及び電源電圧(Vdd
2)寄りの入力信号レベルに対して活性化されず、差動
増幅回路に直流電流が流れない。この機能はフルスタン
バイ時の低消費電力化を実現する。
【0020】前記差動増幅回路の非活性状態において入
力信号が規定のハイレベルを越える高い電圧になって
も、該差動増幅回路の出力端子がプリチャージされるの
で、差動入力MOSトランジスタ(MP21)のゲート
・ドレイン間の電位差が過大になることは防止される。
仮に前記プリチャージを行なわない場合であっても、当
該増幅回路の出力端子はフローティングにされるので、
差動入力MOSトランジスタ(MP21)のゲート・ド
レイン間の電位差が過大になることは防止される。
【0021】したがって、上記手段によれば、MOSト
ランジスタのゲート酸化膜に加わる過大な電圧を緩和し
つつ高速かつ低消費電力な入力バッファが実現できる。
【0022】半導体集積回路において耐圧向上を企図し
た出力バッファは、プルアップ出力機能を実現する回路
構成として、ソース電極が電源端子に結合されゲート電
極に出力制御信号を受けるpチャンネル型の第1MOS
トランジスタ(MP71)と、ドレイン電極、ゲート電
極及び基体ゲートが外部インタフェース端子(9)に接
続されソース電極が前記第1MOSトランジスタのドレ
イン電極に結合されたpチャンネル型の第2MOSトラ
ンジスタ(MP72)とを含む構成を採用する。プルダ
ウン出力機能を実現する回路構成として、ソース電極が
グランド端子に結合されゲート電極に出力制御信号を受
けるnチャンネル型の第3MOSトランジスタ(MN7
3)と、前記第3MOSトランジスタのドレイン電極と
前記外部インタフェース端子との間に設けられゲート電
極が前記電源端子に結合されたnチャンネル型の第4M
OSトランジスタ(MN74)とを含む構成を採用する
ことができる。
【0023】上記した手段によれば、前記第2MOSト
ランジスタ(MP72)は、外部インタフェース端子
(9)に正規の電源電圧を越えた高い電圧が入力された
ときに、第1MOSトランジスタ(MP71)の寄生ダ
イオード(DOD)を介して電源端子に電流が逆流する
のを抑制する。また、第1MOSトランジスタ(MP7
1)がオン動作されて外部インタフェース端子(9)に
電源電圧(Vdd2)のハイレベルを出力していると
き、外部インタフェース端子(9)に外部から正規の電
源電圧以上の高電圧が印加されたときは、第2MOSト
ランジスタ(MP72)には逆方向リーク電流が流れる
が、第1MOSトランジスタ(MP71)の前記寄生ダ
イオードを介して電源端子にリーク電流が流れる為、第
1MOSトランジスタ(MP71)のゲート・ドレイン
間電位差は、Vdd2+前記寄生ダイオードの順方向電位以
上になることはない。したがって、外部インタフェース
端子(9)に正規の電源電圧を越える高い電圧が印加さ
れても、第1MOSトランジスタ(MP71)のゲート
・ドレイン間電位差を上述のように緩和でき、この点に
おいて、外部インタフェース端子(9)に不所望に印加
される高電圧に対する当該第1MOSトランジスタ(M
P71)の耐圧を向上させることができる。また、プル
ダウン出力用の前記第3MOSトランジスタ(MN7
3)は、外部インタフェース端子(9)がハイインピー
ダンス状態のとき高電圧が印加されても、第4MOSト
ランジスタ(MN74)のドレイン電圧をその閾値電圧
分低下させるから、第4MOSトランジスタのドレイン
・ゲート間電位が過大にならない。第4MOSトランジ
スタ(MN74)のゲート・ドレイン間電位差を上述の
ように緩和でき、この点において、外部インタフェース
端子(9)に不所望に印加される高電圧に対する当該第
4MOSトランジスタ(MN74)の耐圧を向上させる
ことができる。
【0024】前記半導体集積回路は、外部電源端子
(6)から降圧回路(3)に外部電源電圧(Vdd)を
受けて降圧電圧を形成し、この降圧電圧を前記電源電圧
(Vdd2)とするものであっても、或いは、外部電源
端子に供給される電源をそのまま電源電圧として用いる
ものでってもよい。
【0025】
【発明の実施の形態】図10には本発明に係る半導体集
積回路の一例が示される。同図に示される半導体集積回
路は、特に制限されないが、単結晶シリコンのような1
個の半導体基板5に公知の相補型MOS(CMOS)集
積回路製造技術によって形成されている。特に制限され
ないが、半導体基板の周縁部にはボンディングパッドの
ような外部接続電極が多数配置されている。図10に
は、外部電源電圧Vdd1が供給される電源パッド6、
外部よりグランド電位Vssが供給されるグランドパッ
ド7、外部入力端子としての入力パッド8、及び外部出
力端子としての出力パッド9が代表的に示されている。
図10において1として代表的に示されたものは入力バ
ッファ、2として代表的に示されたものは出力バッファ
である。特に図示はしないが、半導体基板5の周縁部に
はその他の電極パッド、入力バッファ及び出力バッファ
などが多数配置されている。図13において4で示され
るものは内部回路である。例えば、半導体集積回路がS
RAM(Static Random Access Memory:スタティック
・ランダム・アクセス・メモリ)、DRAM(Dynamic
RandomAccess Memry:ダイナミック・ランダム・アクセ
ス・メモリ)、シンクロナスDRAMなどの半導体メモ
リである場合、内部回路4には、メモリセルアレイ及び
アドレスデコーダ等の周辺回路が形成される。半導体集
積回路がマイクロコンピュータ若しくはマイクロプロセ
ッサなどの論理LSI(Large Scale IntegratedCircui
t:半導体集積回路)である場合、命令フェッチや命令
実行シーケンスを制御する命令制御手段及び演算手段を
構成する論理回路などが内部回路4に形成される。
【0026】特に制限されないが、図10に示される半
導体集積回路は、前記外部電源電圧Vdd1を降圧して
内部電源電圧Vdd2を形成する降圧回路3を有する。
前記入力バッファ1、出力バッファ2及び内部回路4の
動作電源は内部電源電圧Vdd2及びグランド電圧Vs
sとされる。降圧回路3は、例えば、外部電源電圧Vd
d1を抵抗分圧して内部電源電圧Vdd2を出力する。
【0027】図1には前記入力バッファ1の一例が示さ
れる。同図に示される入力バッファ1は、ソース電極が
内部電源端子20に結合されると共にゲート電極が前記
入力パッド8に結合されたpチャンネル型の第1MOS
トランジスタMP1と、ゲート電極にバイアス電圧Vr
ef1が供給され前記第1MOSトランジスタMP1に
直列接続されたpチャンネル型の第2MOSトランジス
タMP2と、前記第2MOSトランジスタMP2に直列
接続されソース電極がグランド端子7に結合されたnチ
ャンネル型の第3MOSトランジスタMN3と、前記第
3MOSトランジスタMN3と前記入力パッド8との間
に配置されゲート電極が前記内部電源端子6に結合され
たnチャンネル型の第4MOSトランジスタMN4とに
よって構成された入力初段回路を有する。入力初段回路
の出力端子は前記第3MOSトランジスタMN3のドレ
イン電極とされ、当該出力端子の信号は、直列2段のイ
ンバータ25,26と直列3段のインバータ25,2
7,28を介して夫々反転及び非反転の内部信号Vin
B,VinTとして前記内部回路4に供給される。
【0028】前記バイアス電圧Vref1は、Vdd2
−|Vth(MP1)|以下であって、端子入力最大許容電圧−ゲ
ート酸化膜耐圧−|Vth(MP2)|以上の電圧とされる。Vth
(MP1)はMOSトランジスタMP1の閾値電圧、Vth(MP
2)はMOSトランジスタMP2の閾値電圧である。バイ
アス電圧Vref1は図1に例示されたバイアス電圧発
生回路20で生成される。バイアス電圧発生回路20
は、内部電源電圧Vdd2とグランド電圧Vssとの間
に設けられた容量素子C1,C2の直列回路によるチャ
ージシェアリングと、内部電源電圧Vdd2とグランド
電圧Vssとの間に設けら抵抗素子R1,R2の直列回
路による抵抗分圧によって、前記バイアス電圧Vref
1を形成する。これによって形成されるバイアス電圧V
ref1は、Vref1=Vdd2×C2/(C2+C1)=Vdd2×R2/(R2+R
1)とされる。電源投入投入時は、前記チャージシェアリ
ングによってバイアス電圧Vref1が早期に確定され
る。尚、抵抗素子R3と容量素子C3は、MOSトラン
ジスタMP2のオン抵抗変化を低減させる為に当該MO
SトランジスタMP2のゲート電位を内部電源電圧Vd
d2を基準に一定に保つ安定化回路を構成する。
【0029】上記入力バッファ1は、入力信号Vinの
ローレベルに対して前記MOSトランジスタMP1,M
P2がプルアップ機能を実現し、入力信号Vinのハイ
レベルに対して前記MOSトランジスタMN3,MN4
がプルダウン機能を実現する。
【0030】 このとき、前記第1MOSトランジスタ
MP1のゲート・ドレイン間の酸化膜にはVin-(Vref1+V
th(MP2))以上の電位差はかからない。したがって、入
力パッド8に入力される入力信号Vinが規定のハイレ
ベル電圧を越えて高くされても、第1MOSトランジス
タMP1のゲート・ドレイン間の酸化膜にかかる電位差
をVin-(Vref1+Vth(MP2))以上としないように緩和で
き、この点において、入力信号Vinに対する当該第1
MOSトランジスタMP1の耐圧を向上させることがで
きる。また、第3MOSトランジスタMN3のゲート電
極にはVdd2−Vth(MN4)以上の高電圧は印加されない。Vt
h(MN4)は第4MOSトランジスタMN4の閾値電圧であ
る。したがって、入力パッド8に入力される入力信号V
inのハイレベルが正規の電源電圧Vddを越えても、
第3MOSトランジスタMN3のゲート酸化膜にかかる
電位差を緩和でき、この点において、入力電圧Vinに
対する前記第3MOSトランジスタMN3の耐圧を向上
させることができる。
【0031】図2には前記バイアス電圧発生回路20の
別の例が示される。同図に示されるバイアス電圧発生回
路20は、前記MOSトランジスタMP2の閾値電圧の
ばらつきの影響を緩和するために、内部電源電圧Vdd
2とグランド電圧Vssとの間に、ゲート・ドレインが
結合されたpチャンネル型のMOSトランジスタMP5
を介して一対の抵抗素子R4,R5を直列配置し、これ
に並行に一対の容量素子C4,C5を配置して成る。前
記MOSトランジスタMP5は少なくとも前記MOSト
ランジスタMP2と同じプロセスで形成されるトランジ
スタであり、その閾値電圧のばらつきは双方同一とな
る。したがって、前記MOSトランジスタMP2の閾値
電圧などがばらついても、MOSトランジスタMP1に
対する所期の耐圧向上を保証できる。
【0032】図3には前記入力バッファ20の別の例が
示される。前記図1の構成は、ゲート酸化膜に加わる電
圧を緩和することは可能であるが、MOSトランジスタM
P2のオン抵抗が比較的大きく、電流供給動作(プルア
ップ動作)が比較的遅くなる。また、前記MOSトラン
ジスタMN3のゲート電位は、Vdd2−Vth(MN4)によって
そのハイレベルの到達レベルが決定されるため、内部電
源電圧Vdd2のノイズによるレベル上昇に応じて上昇
することがある。そのため、MOSトランジスタMN3
を介してディスチャージされる電荷量が増加し、MOS
トランジスタMN3のターン・オフ動作が遅れることが
予想される。また、MOSトランジスタMN3のオン抵
抗も比較的大きくなるので、ディスチャージ動作(プル
ダウン動作)も比較的遅くなる。図3に示される入力バ
ッファは、それら問題点を解消すると共に耐圧向上させ
た回路構成であり、高速入力動作を優先させる要求に答
えようとするものである。
【0033】図3に示される入力バッファ1は、入力パ
ッド8に結合される入力初段回路、差動増幅回路40及
び選択回路50を有する。前記入力初段回路は第1入力
回路31、第2入力回路32及び検出回路33を有す
る。
【0034】前記第1入力回路31は、ソース電極が内
部電源電圧Vdd2に結合されると共にゲート電極が前
記入力パッド8に結合されたpチャンネル型の第1MO
SトランジスタMP11、ゲート電極が前記バイアス電
圧Vref1によってバイアスされ前記第1MOSトラ
ンジスタMP11に直列接続されたpチャンネル型の第
2MOSトランジスタMP12、及び前記第2MOSト
ランジスタMP12に直列接続されると共にドレイン電
極がグランド電圧Vssに結合されたnチャンネル型の
第3MOSトランジスタMN13から成る。前記MOS
トランジスタMN13はオン抵抗の比較的大きなトラン
ジスタとされる。この第1入力回路31は、前記内部電
源電圧Vdd2に対して第1MOSトランジスタMP1
1の閾値電圧分だけ低い電圧を論理閾値電圧とし、前記
入力パッド8からの入力信号Vinの反転信号を前記第
2MOSトランジスタMP12のドレイン電極から出力
する。
【0035】前記第2入力回路32は、ソース電極が内
部電源電圧Vdd2に結合されると共にゲート電極が前
記第3MOSトランジスMN13タのゲート電極に共通
接続されたpチャンネル型の第4MOSトランジスタM
P14、ドレイン・ソース電極が前記第4MOSトラン
ジスタMP14とグランド電圧Vssとに結合されたn
チャンネル型の第5MOSトランジスタMN15、及び
前記第5MOSトランジスタMN15のゲート電極と前
記入力パッド8との間に配置されゲート電極が前記内部
電源電圧Vdd2に結合されたnチャンネル型の第6M
OSトランジスタMN16から成る。前記MOSトラン
ジスタMN14はオン抵抗の比較的大きなトランジスタ
とされる。この第2入力回路32は、前記グランド電圧
Vssに対して第5MOSトランジスタMN5の閾値電
圧分だけ高い電圧を論理閾値電圧とし、前記入力パッド
8からの入力信号Vinの反転信号を前記第5MOSト
ランジスタMN15のドレイン電極から出力する。
【0036】前記検出回路33は、2入力ノアゲート3
7を有する。このノアゲート37は、前記第1入力回路
33の出力を1段のインバータ34で増幅した信号と、
前記第2入力回路34の出力を直列2段のインバータ3
5,36で増幅した信号とを入力する。それらに有力信
号によってノアゲート37は、前記入力パッド8に与え
られる入力信号Vinがグランド電圧Vssに対し第1
MOSトランジスタMP11の閾値電圧分だけ高い電圧
と電源電圧Vdd2に対し第5MOSトランジスタMN
15の閾値電圧分だけ低い電圧との間の電圧(中間レベ
ル)である中間電位の期間(中間期間)を検出する。こ
の中間期間においてノアゲート37の出力はハイレベル
にされる。
【0037】前記差動増幅回路40は、前記中間電位の
期間において活性化され、活性状態では前記入力パッド
8からの入力信号Vinを参照電圧Vref2に対して
差動増幅する。この差動増幅回路は、例えば、電源電圧
Vdd2に接続されたて常時オン状態にされたpチャン
ネル型の負荷トランジスタMP28と、前記負荷トラン
ジスタMP28にソース電極が共通接続された一対のp
チャンネル型の差動入力MOSトランジスタMP21,
MP22と、一対のnチャンネル型MOSトランジスタ
MN23、MN24によって構成されたカレントミラー
負荷と、差動増幅回路を選択的に活性又は非活性状態に
するnチャンネル型のパワースイッチMOSトランジス
タMN25と、前記パワースイッチMOSトランジスタ
MN25のオフ状態に同期して差動増幅回路の出力端子
をプリチャージするpチャンネル型のプリチャージMO
SトランジスタMP26とを有する。前記パワースイッ
チMOSトランジスタMN25及びプリチャージMOS
トランジスタMP26は前記ノアゲート37から出力さ
れる信号によってスイッチ制御される。前記参照電圧V
ref2は電源電圧Vdd2とグランド電圧Vssとの
間の大凡中央値(Vdd2/2)とされる。
【0038】前記選択回路50は、前記差動増幅回路4
0の活性状態ではその出力を次段に供給し、前記差動増
幅回路40の非活性状態では前記第1入力回路32の出
力を次段に供給する。すなわち、中間期間の検出信号が
ローレベルのとき、pチャンネル型のMOSトランジス
タMP51とnチャンネル型のMOSトランジスタMN
53がオフ状態、pチャンネル型のMOSトランジスタ
MP54とnチャンネル型のMOSトランジスタMN5
2がオン状態にされ、それらMOSトランジスタMN5
2,MP54はCMOSトランスファゲートとして機能
される。これによって、選択回路50は、中間期間の非
検出期間において第2入力回路32の出力を直列3段の
インバータ35,36,60を介して選択する。中間期
間の検出信号がハイレベルのとき、pチャンネル型のM
OSトランジスタMP51とnチャンネル型のMOSト
ランジスタMN53がオン状態、pチャンネル型のMO
SトランジスタMP54とnチャンネル型のMOSトラ
ンジスタMN52がオフ状態にされ、それらMOSトラ
ンジスタMN51,MP53はCMOSトランスファゲ
ートとして機能される。これによって、選択回路50
は、中間期間の検出期間において差動増幅回路40の出
力を選択する。尚、前記MOSトランジスタMN13,
MP14は信号VinTによってスイッチ制御される。
【0039】図4には図3の入力バッファの入力動作波
形が示される。同図をも参照しながら図3の入力バッフ
ァの動作を説明する。例えば、信号パッド8に供給され
る入力信号Vinがグランド電圧Vssのローレベルか
ら電源電圧Vddのハイレベルに向けて変化される場合
について説明する。信号パッド8からの入力信号Vin
がグランド電圧VssのローレベルからMOSトランジ
スタMN15の閾値電圧(Vth(MN15))に至るまでは、
差動増幅回路40は非活性状態にされ、これに応じて選
択回路50は第2入力回路32の出力を次段回路に供給
させる。信号パッド8からの入力信号Vinのレベルが
MOSトランジスタMN15の閾値電圧(Vth(MN15))
を超えると、差動増幅回路40が活性化される。差動増
幅回路40は、参照電圧Vref2に対する入力信号V
inの差電圧を増幅する。選択回路50は差動増幅回路
40の出力を次段回路に供給させる。入力信号Vinの
レベルが前記参照電圧Vref2を超えると、差動増幅
回路50の出力は反転される。更に入力信号Vinのレ
ベルがVdd2−Vth(MP11)を超えると、差動増幅回路40
が非活性にされる。この状態において選択回路50は第
2入力回路32の出力を次段回路に供給させる。信号パ
ッド8に供給される入力信号Vinがハイレベルからロ
ーレベルに変化される場合も同様であり、入力信号Vi
nのレベルがグランド電圧Vssに対してMOSトラン
ジスタMN15の閾値電圧分高い電圧と電源電圧Vdd
に対しMOSトランジスタMN11の閾値電圧分低い電
圧との間の中間電位になった時だけ差動増幅回路40が
活性化され、その前後においては第2入力回路32の出
力が選択回路50で選択される。
【0040】図3の入力バッファ1によれば、入力初段
を構成する第1及び第2入力回路31,32は、図1の入
力初段回路と同様に、規定のハイレベル電圧を越えた高
い電圧の入力信号Vinに対して、第2MOSトランジ
スタMP12の作用によって第1MOSトランジスタM
P11のゲート・ドレイン間の酸化膜にかかる電位差を
緩和でき、また、第6MOSトランジスタMN16の作
用によって第5MOSトランジスタMN15のゲート酸
化膜にかかる電位差を緩和でき、入力電圧Vinに対す
る第1及び第5MOSトランジスタMP11,MN15
の耐圧を向上させることができる。
【0041】耐圧向上に寄与する前記MOSトランジス
タMP11、MP15のオン抵抗は比較的大きく、ま
た、前記MOSトランジスタMN15のゲート電位の到
達レベルはVdd2−Vth(MN16)によって決定されるため、
MOSトランジスタMP11の電流供給やMOSトラン
ジスタMN15のターン・オフ動作が遅れることが予想
されるが、差動増幅回路40が前記中間レベルの入力信
号Vinを差動増幅し、その差動増幅出力を選択回路5
0が選択して次段回路に供給するから、入力バッファ1
の高速動作を保証することができる。
【0042】前記差動増幅回路40は、前記中間電位以
外のグランド電圧Vss寄り及び電源電圧Vdd寄りの
入力信号Vinレベルに対しては活性化されず、差動増
幅回路40に直流電流が流れない。この機能はフルスタ
ンバイ時の低消費電力化を実現することになる。
【0043】前記差動増幅回路40の非活性状態におい
て入力信号Vinが規定のハイレベルを越える高い電圧
になっても、該差動増幅回路40の出力端子がプリチャ
ージMOSトランジスタMP26によってプリチャージ
されるので、差動入力MOSトランジスタMP21のゲ
ート・ドレイン間の電位差が過大になることは防止され
る。
【0044】これらにより、図3の入力バッファ1は、
ゲート酸化膜に加わる過大な電圧を緩和しつつ高速入力
動作と低消費電力とを実現することができる。
【0045】図5には更に別の入力バッファ1の一例が
示される。同図に示される入力バッファ1は、ゲート電
極が入力パッド8に結合されると共にドレイン電極が電
源端子Vdd2に結合され基体ゲートがソース電極に結
合されたnチャンネル型の第1MOSトランジスタMN
61と、第1MOSトランジスタMN61のソース電極
にドレイン電極が結合されると共にゲート電極に電源端
子Vdd2が結合されたnチャンネル型の第2MOSト
ランジスタMN62とを初段回路に含み、前記第1及び
第2MOSトランジスタMN61,MN62の結合点の
信号を次段に供給するように構成される。前記MOSト
ランジスタMN61の基体ゲートはp型ウェル領域又は
p型半導体基板である。この構成において、信号パッド
8に規定のハイレベル電圧を越える高い電圧が印加され
ると、それに応じてMOSトランジスタMN62のコン
ダクタンスが小さくされるから、MOSトランジスタM
N61のゲート・ソース間の電位差が過大になる状態を
緩和することができる。
【0046】図6には前記出力バッファ2の一例が示さ
れる。同図に示される出力バッファ2は、ソース電極が
内部電源電圧Vdd2に結合されゲート電極にCMOS
インバータ70からの出力制御信号を受けるpチャンネ
ル型の第1MOSトランジスタMP71と、ドレイン電
極、ゲート電極及び基体ゲートが前記出力パッド9に接
続されソース電極が前記第1MOSトランジスタMP7
1のドレイン電極に結合されたpチャンネル型の第2M
OSトランジスタMP72とによって構成される。前記
CMOSインバータ70は内部回路4に含まれる。
【0047】上記出力バッファ2において、前記第2M
OSトランジスタMP72は、出力パッド9に正規の電
源電圧Vdd2を越えた高い電圧が入力されたときに、
第1MOSトランジスタMP71の寄生ダイオードDO
Dを介して内部電源電圧Vdd2に向けて電流が逆流す
るのを抑制する。また、第1MOSトランジスタMP7
1がオン動作されて出力パッド9に内部電源電圧Vdd
2のハイレベルを出力しているとき、出力パッド9に外
部から正規の電源電圧Vdd2よりも高い電圧が印加さ
れたときは、第2MOSトランジスタMP72には逆方
向リーク電流が流れるが、第1MOSトランジスタMP
71の前記寄生ダイオードDODを介して内部電源電圧
Vdd2にリーク電流が流れる為、第1MOSトランジ
スタMP71のゲート・ドレイン間電位差は、Vdd2+寄
生ダイオードDODの順方向電位よりも高くなることは
ない。したがって、出力パッド9に正規の内部電源電圧
Vdd2を越える電圧が印加されても、第1MOSトラ
ンジスタMP71のゲート・ドレイン間電位差を上述の
ように緩和でき、この点において、出力パッド9に不所
望に印加される高電圧に対する当該第1MOSトランジ
スタMP71の耐圧を向上させることができる。
【0048】図7には出力バッファ2の別の例が示され
る。同図に示される出力バッファ2はプッシュ・プル出
力形態の回路構成を有するものであり、プルアップ出力
動作用の回路として図6の回路と同様の第1及び第2MO
SトランジスタMP71,MP72を有する。第1MO
SトランジスタMP71のゲート電極にはナンドゲート
72からの出力制御信号が供給される。更にプルダウン
出力動作用の回路として、ソース電極がグランド電圧V
ssに結合されゲート電極にノアゲート73からの出力
制御信号を受けるnチャンネル型の第3MOSトランジ
スタMN73と、前記第3MOSトランジスタMN73
のドレイン電極と前記出力パッド9との間に設けられ、
ゲート電極が前記内部電源電圧Vdd2に結合されたn
チャンネル型の第4MOSトランジスタMN74とを有
する。
【0049】前記ナンドゲート72には出力制御信号V
docとデータ信号VdataPが供給され、前記ノア
ゲート73には出力制御信号Vdocをインバータ74
で反転した信号とデータ信号VdataNが供給され
る。出力制御信号Vdocがローレベルのとき出力バッ
ファ2は高インピーダンス状態にされる。出力制御信号
Vdocがハイレベルのとき出力バッファ2は出力動作
可能にされ、データ信号VdataP,VdataNが
ハイレベルのとき出力パッド9の出力Voutはハイレ
ベルにされ、データ信号VdataP,VdataNが
ローレベルのとき出力パッド9の出力Voutはローレ
ベルにされる。
【0050】図7の出力バッファ2によれば、プルアッ
プ出力用の回路構成は図6同様であり、出力パッド9に
正規の内部電源電圧Vdd2を越える電圧が印加されて
も、第1MOSトランジスタMP71のゲート・ドレイ
ン間電位差を上述のように緩和でき、この点において、
出力パッド9に不所望に印加される高電圧に対する当該
第1MOSトランジスタMP71の耐圧を向上させるこ
とができる。
【0051】また、プルダウン出力用の回路構成では、
前記第3MOSトランジスタMN73は、出力パッド9
がハイインピーダンス状態のとき高電圧が印加されて
も、第4MOSトランジスタMN74のドレイン電圧を
その閾値電圧分低下させるから、第4MOSトランジス
タMN74のドレイン・ゲート間電位が過大にならな
い。第4MOSトランジスタMN74のゲート・ドレイ
ン間電位差を上述のように緩和でき、この点において
も、出力パッド9に不所望に印加される高電圧に対する
当該第4MOSトランジスタMN74の耐圧を向上させ
ることができる。
【0052】図6及び図7の構成において、プルアップ
出力動作時にMOSトランジスタMP72のゲート・ソ
ース電圧が小さいために、電流供給能力が不足すると考
えられるが、実際には、図8に示されるように、寄生P
NPバイポーラトランジスタTBipも動作するので、
プルアップ出力動作時における電流供給能力は不足しな
い。
【0053】図9には図8の回路の平面レイアウトとA
−A線縦断面構造の一例が示される。前記寄生バイポー
ラトランジスタTBipは、ソースがエミッタ、ウェル
領域がベース、ドレインがコレクタとなるラテラルバイ
ポーラである。n型ウェル領域内には、メモリセルの少
数キャリア注入を防止する目的で形成されるn型埋込み
層が形成されている。このn型埋込み層は、寄生バイポ
ーラトランジスタTBipのベース抵抗を低減すること
になり、この例では出力バッファにおけるプルアップ出
力動作の駆動力向上に寄与する。また、ドレイン内に
は、α線によるソフトエラー率を低減する目的でp型埋
め込み挿画形成されている。このp型埋め込み層は、寄
生バイポーラトランジスタTBipのエミッタより注入
されたキャリアをより多くコレクタにて捕えることを可
能とし、出力バッファにおけるプルアップ出力動作の駆
動力向上に寄与する。
【0054】以上説明した半導体集積回路は、外部電源
電圧Vddを内部降圧した内部電源電圧Vdd2で内部
回路4、入力バッファ1、及び出力バッファ2が動作さ
れる。このとき、上述のように、入力バッファ1及び出
力バッファ2は外部から供給される高電圧を緩和でき
る。したがって、半導体集積回路のMOSトランジスタ
のゲート酸化膜厚を0.2μmに統一しても、外部イン
タフェース仕様としてLVTTL(3.3V)を採用し
ても何ら支障ない。入力バッファ1及び出力バッファ2
を構成するMOSトランジスタだけゲート酸化膜厚を大
きくする必要はない。
【0055】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図3の回路において選択回路は、第2入力回路の出
力に代えて第1入力回路の出力を選択可能に構成する事
もできる。また、本発明は内部降圧電源電圧を動作電源
とする半導体集積回路に限定されず、外部電源電圧をそ
のまま動作電源とする半導体集積回路にも適用すること
ができる。
【0056】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0057】すなわち、ウエハプロセスを変えることな
く、高電圧入力規格を微細(薄膜ゲート酸化膜)プロセ
スにて実現することができる。したがって、入力バッフ
ァ及び出力バッファを構成するMOSトランジスタだけ
ゲート酸化膜厚を大きくしなくても、内部回路のMOS
トランジスタと同じゲート酸化膜厚のMOSトランジス
タを用いた外部インタフェース回路における高電圧入力
を緩和することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体集積回路に含まれる入力バ
ッファの一例回路図である。
【図2】入力バッファが有するバイアス電圧発生回路の
別の例を示す回路図である。
【図3】本発明に係る半導体集積回路に含まれる入力バ
ッファの別の例を示す回路図である。
【図4】図3に示される入力バッファの入力動作波形図
である。
【図5】本発明に係る半導体集積回路に含まれる入力バ
ッファの更に別の例を示す回路図である。
【図6】本発明に係る半導体集積回路に含まれる出力バ
ッファの一例を示す回路図である。
【図7】本発明に係る半導体集積回路に含まれる出力バ
ッファの別の一例を示す回路図である。
【図8】図6及び図7の構成においてプルアップ出力動
作時に電流供給能力を補う寄生PNPバイポーラトラン
ジスタの機能説明のための回路図である。
【図9】図8の回路の平面レイアウトとA−A線縦断面
構造の一例を示す説明図である。
【図10】本発明に係る半導体集積回路を全体的に示す
説明図である。
【符号の説明】
1 入力バッファ 2 出力バッファ 3 降圧回路 Vdd2 内部電源電圧 4 内部回路 6 電源パッド Vdd1 外部電源電圧 7 グランドパッド Vss グランド電位 8 入力パッド 9 出力パッド MP1 第1MOSトランジスタ MP2 第2MOSトランジスタ MN3 第3MOSトランジスタ MN4 第4MOSトランジスタ Vref1 バイアス電圧 31 第1入力回路 MP11 第1MOSトランジスタ MP12 第2MOSトランジスタ MN13 第3MOSトランジスタ 32 第2入力回路 MP14 第4MOSトランジスタ MN15 第5MOSトランジスタ MN16 第6MOSトランジスタ 33 検出回路 40 差動増幅回路 MP21,MP22 差動入力MOSトランジスタ MN25 パワースイッチMOSトランジスタ MP26 プリチャージMOSトランジスタ 50 選択回路 MP71 第1MOSトランジスタ MP72 第2MOSトランジスタ MN73 第3MOSトランジスタ MN74 第4MOSトランジスタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松下 一浩 東京都小平市上水本町5丁目22番1号 株式会社日立マイコンシステム内 (56)参考文献 特開 平5−63540(JP,A) 特開 昭61−45628(JP,A) 特開 平7−86910(JP,A) 特開 平4−258020(JP,A) 特開 平7−86914(JP,A) 特開 平9−291965(JP,A) 米国特許5465054(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03K 19/00

Claims (11)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入力パッドにより入力信号を受ける入力
    バッファと、 上記入力バッファの出力信号を受ける回路とを有し、 上記入力バッファは、入力パッドにゲートが接続され、
    第1電圧にソースが接続されたpチャネル型の第1MO
    Sトランジスタと、上記第1MOSトランジスタのゲー
    トとドレインが接続されたnチャネル型の第2MOSト
    ランジスタと、上記第2MOSトランジスタのソースと
    ゲートが接続され、第2電圧にソースが接続されたnチ
    ャネル型の第3MOSトランジスタと、上記第1MOS
    トランジスタのドレインと上記第3MOSトランジスタ
    のドレインとの間に、ソース・ドレイン経路が接続され
    たpチャネル型の第4MOSトランジスタとを有し、 上記第4MOSトランジスタのゲートに供給される電圧
    は上記第1電圧と上記第2電圧の間の電圧を分圧した電
    圧に基づいて生成され、 上記第2MOSトランジスタと上記第4MOSトランジ
    スタのゲートは異なる電圧で制御されていることを特徴
    とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 パッドより印加された外部電圧を降圧す
    る降圧回路を有し、上記降圧回路により生成された電圧
    が上記入力バッファの出力信号を受ける回路の動作電圧
    となることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回
    路。
  3. 【請求項3】 上記降圧回路により生成された電圧が上
    記入力バッファに供給され、 上記第1MOSトランジスタのゲートは入力パッドより
    印加される電圧を直接受けることを特徴とする請求項2
    記載の半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 上記第4MOSトランジスタのゲートに
    供給される電圧は、第1電圧と第2電圧間の電圧を分圧
    する回路により生成され、 上記分圧する回路は容量素子を具備することを特徴とす
    る請求項1乃至3の何れか1項記載の半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 上記入力バッファの出力信号を受ける回
    路内のMOSトランジスタと上記第1乃至上記第4MO
    Sトランジスタのゲート膜厚は等しいことを特徴とする
    請求項1乃至4の何れか1項記載の半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 上記第4MOSトランジスタのゲートに
    は、上記外部端子の最大許容電圧からゲート耐圧と第4
    MOSトランジスタの閾値電圧の大きさを引いた電圧以
    上の電圧が印加され、 上記入力バッファの出力信号受ける回路は、スタティッ
    ク型のメモリセルアレイと、アドレスデコーダが形成さ
    れることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項記載
    の半導体集積回路。
  7. 【請求項7】 外部インタフェース端子に結合された出
    力バッファと、外部電源端子から外部電源電圧を受けて
    降圧する降圧回路とを含む半導体集積回路であって、 前記出力バッファは、ソース電極が電源端子に結合され
    ゲート電極に出力制御信号を受けるpチャンネル型の第
    1MOSトランジスタと、ドレイン電極、ゲート電極及
    び基体ゲートが前記外部インタフェース端子に接続され
    ソース電極が前記第1MOSトランジスタのドレイン電
    極に結合されたpチャンネル型の第2MOSトランジス
    タとを含み、前記電源端子には前記降圧回路から出力される降圧電圧
    が供給される ものであることを特徴とする半導体集積回
    路。
  8. 【請求項8】 ソース電極がグランド端子に結合されゲ
    ート電極に出力制御信号を受けるnチャンネル型の第3
    MOSトランジスタと、前記第3MOSトランジスタの
    ドレイン電極と前記外部インタフェース端子との間に設
    けられゲート電極が前記電源端子に結合されたnチャン
    ネル型の第4MOSトランジスタとを更に含んで成るも
    のであることを特徴とする請求項記載の半導体集積回
    路。
  9. 【請求項9】 外部インタフェース端子に結合された入
    力バッファと、外部電源端子から外部電源電圧を受けて
    降圧する降圧回路とを含む半導体集積回路であって、 前記入力バッファは、入力初段回路、差動増幅回路及び
    選択回路を有し、 前記入力初段回路は、ソース電極が電源端子に結合され
    ると共にゲート電極が前記外部インタフェース端子に結
    合されたpチャンネル型の第1MOSトランジスタ、ゲ
    ート電極が前記電源端子の電源電圧に対してその閾値電
    圧分低い電圧以下にバイアスされ前記第1MOSトラン
    ジスタに直列接続されたpチャンネル型の第2MOSト
    ランジスタ、及び前記第2MOSトランジスタに直列接
    続されると共にドレイン電極がグランド端子に結合され
    たnチャンネル型の第3MOSトランジスタから成り前
    記電源電圧に対して第1MOSトランジスタの閾値電圧
    分だけ低い電圧を論理閾値電圧とし前記外部インタフェ
    ース端子からの入力信号の反転信号を前記第2MOSト
    ランジスタのドレイン電極から出力する第1入力回路
    と、ソース電極が電源端子に結合されると共にゲート電
    極が前記第3MOSトランジスタのゲート電極に共通接
    続されたnチャンネル型の第4MOSトランジスタ、ド
    レイン・ソース電極が前記第4MOSトランジスタとグ
    ランド端子とに結合されたnチャンネル型の第5MOS
    トランジスタ、及び前記第5MOSトランジスタのゲー
    ト電極と前記外部インタフェース端子との間に配置され
    ゲート電極が前記電源端子に結合されたnチャンネル型
    の第6MOSトランジスタから成り前記グランド端子の
    グランド電圧に対して第5MOSトランジスタの閾値電
    圧分だけ高い電圧を論理閾値電圧とし前記外部インタフ
    ェース端子からの入力信号の反転信号を前記第5MOS
    トランジスタのドレイン電極から出力する第2入力回路
    と、前記第1及び第2入力回路の夫々から出力される出
    力信号を入力し前記外部インタフェース端子に与えられ
    る入力信号がグランド電圧に対し第1MOSトランジス
    タの閾値電圧分だけ高い電圧と電源電圧に対し第5MO
    Sトランジスタの閾値電圧分だけ低い電圧との間の電圧
    である中間電位の期間を検出する検出回路とを有し、 前記差動増幅回路は、前記入力初段回路で検出される中
    間電位の期間において活性化され、活性状態では前記外
    部インタフェース端子からの入力信号を参照電圧に対し
    て差動増幅し、 前記選択回路は、前記差動増幅回路の活性状態ではその
    出力を次段に供給し、前記差動増幅回路の非活性状態で
    は前記第1又は第2入力回路の内の一方の回路の出力を
    次段に供給し、前記電源端子には前記降圧回路から出力される降圧電圧
    が供給される ものであることを特徴とする半導体集積回
    路。
  10. 【請求項10】 外部インタフェース端子に結合された
    入力バッファを有する半導体集積回路であって、前記入
    力バッファは、入力初段回路、差動増幅回路及び選択回
    路を有し、 前記入力初段回路は、ソース電極が電源端子に結合され
    ると共にゲート電極が前記外部インタフェース端子に結
    合されたpチャンネル型の第1MOSトランジスタ、ゲ
    ート電極が前記電源端子の電源電圧に対してその閾値電
    圧分低い電圧以下にバイアスされ前記第1MOSトラン
    ジスタに直列接続されたpチャンネル型の第2MOSト
    ランジスタ、及び前記第2MOSトランジスタに直列接
    続されると共にドレイン電極がグランド端子に結合され
    たnチャンネル型の第3MOSトランジスタから成り前
    記電源電圧に対して第1MOSトランジスタの閾値電圧
    分だけ低い電圧を論理閾値電圧とし前記外部インタフェ
    ース端子からの入力信号の反転信号を前記第2MOSト
    ランジスタのドレイン電極から出力する第1入力回路
    と、ソース電極が電源端子に結合されると共にゲート電
    極が前記第3MOSトランジスタのゲート電極に共通接
    続されたnチャンネル型の第4MOSトランジスタ、ド
    レイン・ソース電極が前記第4MOSトランジスタとグ
    ランド端子とに結合されたnチャンネル型の第5MOS
    トランジスタ、及び前記第5MOSトランジスタのゲー
    ト電極と前記外部インタフェース端子との間に配置され
    ゲート電極が前記電源端子に結合されたnチャンネル型
    の第6MOSトランジスタから成り前記グランド端子の
    グランド電圧に対して第5MOSトランジスタの閾値電
    圧分だけ高い電圧を論理閾値電圧とし前記外部インタフ
    ェース端子からの入力信号の反転信号を前記第5MOS
    トランジスタのドレイン電極から出力する第2入力回路
    と、前記第1及び第2入力回路の夫々から出力される出
    力信号を入力し前記外部インタフェース端子に与えられ
    る入力信号がグランド電圧に対し第1MOSトランジス
    タの閾値電圧分だけ高い電圧と電源電圧に対し第5MO
    Sトランジスタの閾値電圧分だけ低い電圧との間の電圧
    である中間電位の期間を検出する検出回路とを有し、 前記差動増幅回路は、一対のpチャンネル型の差動入力
    MOSトランジスタと、カレントミラー負荷と、差動増
    幅回路を選択的に活性又は非活性状態に制御するパワー
    スイッチMOSトランジスタと、前記パワースイッチM
    OSトランジスタのオフ状態に同期して差動増幅回路の
    出力端子をプリチャージするプリチャージMOSトラン
    ジスタと、を含んで成り、前記入力初段回路で検出され
    る中間電位の期間において活性化され、活性状態では前
    記外部インタフェース端子からの 入力信号を参照電圧に
    対して差動増幅し、 前記選択回路は、前記差動増幅回路の活性状態ではその
    出力を次段に供給し、前記差動増幅回路の非活性状態で
    は前記第1又は第2入力回路の内の一方の回路の出力を
    次段に供給するもの であることを特徴とする半導体集積
    回路。
  11. 【請求項11】 外部電源端子から外部電源電圧を受け
    て降圧する降圧回路を有し、前記電源端子には前記降圧
    回路から出力される降圧電圧が供給されるものであるこ
    とを特徴とする請求項10記載の半導体集積回路。
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