JP3373179B2 - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP3373179B2 JP24565599A JP24565599A JP3373179B2 JP 3373179 B2 JP3373179 B2 JP 3373179B2 JP 24565599 A JP24565599 A JP 24565599A JP 24565599 A JP24565599 A JP 24565599A JP 3373179 B2 JP3373179 B2 JP 3373179B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体集積回路に
係わり、特に低消費電力で高速動作可能な、P型MOS
トランジスタとN型MOSトランジスタとから構成され
るCMOS回路を有する半導体集積回路に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】近年、PHS(パーソナル・ハンディホ
ン・システム)やラップトップパソコン等に代表される
携帯情報機器が普及している。この携帯情報機器の構成
部品の1つとして半導体集積回路(以下、ICと称す
る)がある。このようなICにおいては、動作速度を低
下することなく、消費電力を低減することが強く要求さ
れている。
【0003】CMOS回路は、P型MOSトランジスタ
(以下、PMOSと称する)とN型MOSトランジスタ
(以下、NMOSと称する)とから構成され、これらの
PMOSとNMOSを相補的に動作させる回路であり、
低消費電力で高速動作する回路として知られている。従
って、上述した携帯情報機器の構成部品の1つであるI
CにはCMOS回路が広く用いられている。
【0004】CMOS回路の消費電力には、スイッチン
グ動作時の負荷容量の充放電によるダイナミックな消費
電力とサブスレッショルドリーク電流によるスタティッ
クな消費電力によるものがある。このうち、ダイナミッ
クな消費電力は電源電圧VDDにの2乗に比例して大き
な電力を消費するため、低消費電力化にためには電源電
圧を下げることが効果的である。このため、携帯情報機
器に使用されるICに対しては低電源電圧で動作させる
要求が高まっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】一方、CMOS回路の
動作速度は、一般的に知られているように、電源電圧の
低下にともない遅くなる。このため、CMOS回路の動
作速度の劣化を防ぐためには電源電圧の低下に連動して
MOSトランジスタの閾値電圧を下げる必要がある。し
かしながら、しきい値電圧を下げるとサブスレッショル
ドリーク電流が指数的に増加する。スタティックな消費
電力はサブスレッショルドリーク電流に比例しているた
め、電源電圧の低下を進めることに連動してMOSトラ
ンジスタのしきい値電圧を下げると、従来それほど大き
くなかったサブスレッショルドリーク電流によるスタテ
ィックな消費電力の増加が顕著となってくる。このた
め、低消費電力化と高速動作とを両立させることが極め
て困難となってきている。このような課題については、
例えば特開平11ー191611号公報に記載されてい
る。
【0006】この発明の目的は、低消費電力で高速動作
可能な半導体集積回路を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願に開示される発明のうち代表的なものを説明す
ると、この発明の半導体集積回路は、第1の電源電位が
供給される第1の電源線と、第1の電源電位が供給さ
れ、前記第1の電源電位を降下させて第2の電源電位を
発生する電源電圧降下回路と、電源電位降下回路より発
生した前記第2の電源電位が供給される第2の電源線
と、第2の電源電位より低い第3の電源電位が供給され
る第3の電源線と、第2の電源線と第3の電源線との間
に接続され、P型MOSトランジスタとN型MOSトラ
ンジスタとから構成されるCMOS回路とを備え、P型
MOSトランジスタのバックゲートに第1の電源電位が
供給されている。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、この
発明の実施の形態を説明する。 第1の実施の形態 図1は、この発明の第1の実施の形態における半導体集
積回路の回路図である。図1は、PMOSとNMOSと
から構成され、これらのPMOSとNMOSとを相補に
動作させるCMOS回路を有するICである。
【0009】図1において、ICは、電源電位VDDが
供給されている電源線101(以下、VDD線と称す
る)と、電源電位降下回路106より発生する電源電位
VDDを降下させた電源電位LVDDが供給されている
電源線102(以下、LVDD線と称する)と、電源電
位LVDDより低い電源電位VSSが供給されている電
源線103(以下、VSS線と称する)とを有する。
【0010】ここで、パッド104は、電源電位VDD
をIC外部から供給するために半導体基板上に設けられ
た端子であり、パッド105は、電源電位電位VSSを
IC外部から供給するために半導体基板上に設けられた
端子である。
【0011】図1において、電源電位降下回路106は
VDD線101とVSS線103との間に接続されてお
り、参照電位発生回路107より発生される参照電位V
REFが入力されている。電源電位降下回路106に
は、VDD線101より電源電位VDDが供給され、V
SS線103より電源電位VSSが供給されている。電
源電位降下回路106はVDD線101より供給される
電源電位VDDを降下させて、参照電位VREFに応じ
た電源電位LVDDを発生する。電源電位降下回路10
6から発生した電源電位LVDDは、上述したように、
LVDD線102に供給されている。また、電源電位降
下回路106は、参照電位VREFとLVDD線102
の電源電位LVDDとを比較して、電源電位VDDを一
定に降下させて電源電位LVDDが参照電位VREFと
なるようにする回路である。
【0012】図2は、電源電位降下回路106の具体的
な回路構成の一例を示す回路図である。以下、構成と動
作について簡単に説明する。図2に示すように、電源電
位降下回路106は、参照電位VREFとLVDD線1
02の電源電位とを比較する比較回路200と、比較回
路200の比較結果に基づいて電源電位VDDを一定に
降下させて電源電位LVDDが参照電位VREFとなる
ように調整する電源電位調整回路220とからなる。
【0013】比較回路200は、PMOS201、PM
OS202、NMOS203、NMOS204、NMO
S205より構成される。また、それぞれのMOSのバ
ックゲートはソースに接続されている。
【0014】PMOS201は電源電位VDDとノード
N2との間に接続され、そのゲートはPMOS202の
ゲートに接続される。PMOS202は電源電位VDD
とノードN3との間に接続されており、そのゲートはP
MOS201に接続されてるとともにノードN3に接続
されている。
【0015】NMOS203はノードN2とノードN4
との間に接続され、そのゲートには参照電位VREFが
与えられる。
【0016】NMOS204はノードN3とノードN4
との間に接続されている。また、そのゲートはLVDD
線102に接続されており、電源電位LVDDが与えら
れている。
【0017】NMOS205はノードN4と電源電位V
SSとの間に接続されており、そのゲートには電源電位
VDDが与えられている。
【0018】比較回路200は、PMOS201、20
2を負荷とするカレントミラー差動アンプであり、電源
電位LVDDが参照電位VREFより低くなるとノード
N2の電位を低下させ、電源電位LVDDが参照電位V
REFより高くなるとノードN3の電位を上昇させる回
路である。
【0019】電源電位調整回路220はPMOS206
より構成される。また、PMOS206のバックゲート
はソースに接続されている。
【0020】PMOS206は電源電位VDDと電源電
位LVDDと間に接続されており、そのゲートはノード
N2に接続されている。
【0021】電源電位調整回路220は、比較回路20
0の比較結果、すなわち、ノードN2の電位によりPM
OS206の導電性を変化させて電源電位VDDを降下
させた電源電位LVDDを生成する回路であり、その降
下させた電源電位LVDDを比較回路200で比較した
比較結果に基づいて再びPMOS206の導電性を変化
させるといった一連フィードバック動作させることによ
り電源電位LVDDが参照電位VREFとなるようにす
るものである。
【0022】次に、図1において、参照電位発生回路1
07は、VDD線101とVSS線103との間に接続
されている。参照電位発生回路107には、VDD線1
01より電源電位VDDが供給されており、VSS線1
03より電源電位VSSが供給されている。参照電位発
生回路107は、参照電位VREFを電源電位降下回路
106へ出力している。
【0023】図3は、参照電位発生回路107の具体的
な回路構成の一例を示す回路図である。以下、構成と動
作について簡単に説明する。参照電位発生回路107
は、PMOS301、PMOS302、NMOS30
3、NMOS304、PMOS305、NMOS30
6、NMOS307、抵抗R1、抵抗R2より構成され
る。また、それぞれのMOSのバックゲートはソースに
接続されている。
【0024】PMOS301は電源電位VDDとノード
N5との間に接続されており、そのゲートはPMOS3
02のゲートに接続されている。PMOS302は電源
電位VDDとノードN6との間に接続されており、その
ゲートはPMOS301のゲート及びノードN6に接続
されている。
【0025】NMOS303はノードN5と電源電位V
SSとの間に接続されており、そのゲートはノードN7
に接続されている。
【0026】NMOS304はノードN6とノードN7
との間に接続されており、そのゲートはノードN5に接
続されている。
【0027】抵抗R1はノードN7と電源電位VSSと
の間に接続されている。
【0028】PMOS305は電源電位VDDとノード
N8との間に接続されており、そのゲートはノードN6
に接続されている。
【0029】NMOS306はノードN8とノードN9
との間に接続されており、そのゲートはノードN8に接
続されている。NMOS307はノードN9と電源電位
VSSとの間に接続されており、そのゲートはノードN
9に接続されている。
【0030】抵抗R2は電源電位VDDとノードN8と
の間に接続されている。
【0031】参照電位発生回路107はしきい値電圧基
準形の参照電位発生回路であり、NMOS303のしき
い値電圧Vtを基準として参照電位VREFを発生する
回路である。
【0032】次に、図1において、CMOS回路108
は、LVDD線102とVSS線103との間に接続さ
れている。CMOS回路108には、LVDD線102
より電源電位LVDDが供給されており、VSS線10
3より電源電位VSSが供給されている。CMOS回路
108は、PMOSとNMOSとから構成されており、
これらPMOSとNMOSとを相補に動作させる回路で
ある。図1に示すように、CMOS回路108は、例え
ば、PMOS109とNMOS110とより構成される
CMOSインバータ回路を有する。図示しないが、CM
OS回路108には、その他のCMOSインバータ回路
やCMOSNAND回路があるものとし、CMOS構成
となるものであれば、特に限定されることなく、様々な
変更が可能である。以下、図及び説明の簡略化のため、
図1に示すCMOSインバータ回路を例に説明を進める
ことする。
【0033】図1において、PMOS109のソースは
LVDD線102に接続され、電源電位LVDDが供給
されており、NMOS110ののソースはVSS線10
3に接続され、電源電位VSSが供給されている。ま
た、PMOS109とNMOS110とのドレインが共
通に接続されいるとともに、ノードN1にはCMOSイ
ンバータ回路の出力信号を出力する出力信号線が接続さ
れている。ここで、出力信号線は、例えば、他の論理回
路の入力信号配線や外部出力端子へ接続されている。ま
た、PMOS109とNMOS110とのゲートは共通
に接続されており、これらのゲートには、例えば、他の
論理回路の出力信号配線や外部入力端子からの信号配線
が接続されている。
【0034】図1において、PMOS109が形成され
る基板またはウエル層(図示なし)にVDD線101が
接続されており、この基板またはウエル層にVDD線1
01より電源電位VDDが供給されることにより、PM
OS109のバックゲートに電源電位VDDが供給され
る。
【0035】また、図1において、NMOS110が形
成される基板またはウエル層(図示なし)にVSS線1
03に接続されており、この基板またはウエル層にVS
S線103より電源電位VSSが供給されることによ
り、NMOS110のバックゲートに電源電位VSSが
供給される。
【0036】次に、図1におけるICの動作について以
下に説明する。パッド104には外部から電源電位VD
Dとして、例えば、3.3Vが与えられており、パッド
105には外部から電源電位VSSとして、例えば、接
地電位が与えられている。
【0037】参照電位発生回路107は電源電位降下回
路106へ参照電位VREFとして、例えば2.0Vを
与えている。電源電位降下回路106は、上述したよう
に、電源電位VDDを降下させて電源電位LVDDが
2.0VとなるようにLVDD線102に電源電位LV
DDを供給する。
【0038】CMOS回路108は2.0Vである電源
電位LVDDで動作する。また、ここで、CMOS回路
のPMOS109のバックゲートにはVDD線101よ
り3.3Vが与えられる。
【0039】ここで、MOSのしきい値電圧Vtはバッ
クゲート―ソース間電圧Vbsにより変化することがバ
ックゲート効果として一般に知られている。PMOSの
場合におけるバックゲート効果として、Vbsが例え
ば、0〜3Vというように正の方向に大きくなるにつれ
てしきい値電圧Vtは負の方向に大きくなる。言い換え
ると、一般にPMOSのしきい値電圧は負の値なので、
Vbsが正の方向に大きくなるにつれて、PMOSのし
きい値電圧の絶対値は大きくなる。また、NMOSの場
合におけるバックゲート効果とて、Vbsが例えば、0
〜ー3Vというように負の方向に大きくなるにつれてし
きい値電圧Vtは正の方向に大きくなる。言い換える
と、一般にNMOSのしきい値電圧は正の値なので、V
bsが負の方向に大きくなるにつれて、NMOSのしき
い値電圧の絶対値は大きくなる。
【0040】例えば、Vbs=0Vのバイアスを与えな
い状態でのしきい値電圧Vtpの絶対値が0.53Vで
あるPMOSにVbs=1.3Vのバイアスを与える
と、PMOSのしきい値電圧Vtpの絶対値は0.88
Vと大きくなる。ここで、Vbs=1.3Vのバイアス
を与えた状態でのしきい値電圧Vtpの絶対値を0.5
3Vに設定したい場合には、PMOSが形成される基板
又はウエル層の不純物濃度を上述したVbs=0Vでの
しきい値電圧の絶対値が0.53VになるPMOSが形
成される不純物濃度よりも下げて調整すればよい。
【0041】したがって、本実施の形態において、Vb
s=1.3Vのようにバイアスを与えたPMOS109
のしきい値電圧Vtpの絶対値が例えば、0.53Vと
なるように設定するために、バックゲート効果によりし
きい値電圧Vtpの絶対値が大きくなることを考慮し
て、PMOS109が形成される基板又はウエル層の不
純物濃度をVbs=0Vでのしきい値電圧の絶対値が
0.53Vになる場合のPMOS109が形成される基
板又はウエル層の不純物濃度よりも低くすることにより
しきい値電圧を調整しており、Vbs=1.3Vのよう
にバイアスを与えたPMOS109のしきい値電圧Vt
pの絶対値が0.53Vとなるように設定して動作させ
ている。
【0042】また、本実施の形態において、NMOS1
10はソース及びバックゲートともに接地電位に接続さ
れているのでVbs=0Vの状態であり、NMOS11
0のしきい電圧Vtnの絶対値が例えば、0.45Vと
なるように設定して動作させている。
【0043】以下、この発明のICが高速動作する理由
について述べる。
【0044】Vbs=1.3Vでしきい電圧Vtpの絶
対値が0.53VであるPMOS109とVbs=0V
でしきい電圧Vtnの絶対値が0.45VであるNMO
S110とからなる本実施の形態におけるバイアスを与
えたインバータ回路と、Vbs=0Vでしきい電圧Vt
pの絶対値が0.53VであるPMOSとVbs=0V
でしきい電圧Vtnの絶対値が0.45VであるNMO
Sとからなるバイアスを与えないインバータ回路との立
上がり及び立下がり特性を比較する。ここで、本実施の
形態におけるバイアスを与えるインバータ回路とバイア
スを与えないインバータ回路とのいずれにおいても、P
MOSのチャネル幅Wは5.0μm、チャネル長Lは
0.35μmであり、NMOSのチャネル幅Wは2.0
μm、チャネル長Lは0.35μmであり、PMOSが
形成される基板またはウエル層の不純物濃度が異なるこ
とをのぞいてはその他の諸条件は同じものとする。
【0045】図4はバイアスを与えたインバータ回路と
バイアスを与えないインバータ回路との立上がり特性を
示す図である。図4において、横軸は時間、縦軸は電圧
である。図4に示すように、本実施の形態におけるバイ
アスを与えたインバータ回路の方がバイアスを与えない
インバータ回路より立上がり速いことが理解できる。
【0046】図5はバイアスを与えたインバータ回路と
バイアスを与えないインバータ回路との立下がり特性を
示す図である。図5において、横軸は時間、縦軸は電圧
である。図5に示すように、本実施の形態におけるバイ
アスを与えたインバータ回路の方がバイアスを与えない
インバータ回路より立上がり速いことが理解できる。
【0047】以上のことより、しきい値電圧が同じであ
れば、本実施の形態にようにバイアスを与えたインバー
タ回路の方がバイアスを与えないインバータ回路よりも
立上がり及び立下がりとともに速くなり、高速動作する
こと言える。この理由としては、バックゲートとソース
との間のpn接合に逆方向となるバイアスを与えている
ために空乏層の延びて接合容量が小さくなることが大き
な要因であると推測される。また、上述において、単体
のインバータ回路について比較を行ったが、CMOS回
路108には無数のCMOS構成の回路が存在し、本発
明を適用することにより、CMOS回路108は従来と
比べてより高速動作することが容易に理解できる。
【0048】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、外部電源電位を電源電位降下回路106により降下
させた電源電位をCMOS回路108の電源電位として
用いているために、CMOS回路108は低電圧動作と
なるとともに、CMOS回路108を構成している例え
ば、CMOSインバータ回路のPMOS109のバック
ゲートに外部電源電位を与えて、それによるバックゲー
ト効果によりPMOS109のしきい値電圧Vtpの絶
対値が大きくなることを考慮して、バイアスが与えられ
るPMOS109が形成される基板又はウエル層の不純
物濃度を低くすることによりしきい値電圧を調整してお
り、バイアスが与えられない場合のPMOSのしきい値
電圧と同じになるように設定して動作させているので、
低消費電力で高速動作可能となる。
【0049】また、本実施の形態において、外部電源電
位を電源電位降下回路106により一定に降下させた電
源電位をCMOS回路108の電源電位として用いてい
るので、CMOS回路108の電源電位を変更する場合
は、電源電位降下回路106に与える参照電位VREF
を変更すればよいので外部電源電位を変更する必要がな
く、汎用性に極めて優れている。
【0050】さらに、本実施の形態において、Vbs=
1.3VでのPMOS109のしきい値電圧Vtpの絶
対値が0.53Vとなるように設定するために、Vbs
=0Vでのしきい値電圧の絶対値が0.53Vに場合の
PMOS109が形成される基板又はウエル層の不純物
濃度を例えば、8×1018cmー3とすると、Vbs=
1.3Vでのしきい電圧Vtpの絶対値が0.53Vの
PMOS109が形成される基板又はウエル層の不純物
濃度はそれよりも低い、例えば、4.5×1018cmー3
となる。したがって、不純物濃度が低い値となるので、
同じしきい値電圧では、Vbs=1.3Vとバイアスを
与えた方が、Vbs=0Vとバイアスを与えないものに
比べてサブスレッショルドリーク電流が少なくなる。
【0051】図6は、図1に示す本実施の形態のICに
おけるCMOSインバータ回路のデバイス図である。図
6に示すように、CMOS構造においては、一般的に知
らているように、波線で示す寄生トランジスタが形成さ
れ、これがラッチアップを起こしてデバイス破壊したり
する等の問題が生じる可能性があった。しかしながら、
本実施の形態においては、PMOS109のバックゲー
トとソースとの間のpn接合に逆方向となるバイアスを
与えているために、ラッチアップが生じることがない。
【0052】第2の実施の形態 図7は、この発明の第2の実施の形態における半導体集
積回路の回路図である。図7において、第1の実施の形
態と同様のものには同一符号をつけてある。ここで、第
1の実施の形態と同様のことについては説明を省略す
る。以下、第2の実施の形態における第1の実施の形態
と異なる事項について説明する。
【0053】図7に示すように、ICは、参照電位発生
回路702より発生する電源電位HVSSが供給されて
いる電源線701(以下、HVSS線と称する)を有し
ている。ここで、電源電位HVSSは、電源電位LVD
Dより低く、電源電位VSSより高い電位である。
【0054】図8は、参照電位発生回路702の具体的
な回路構成の一例を示す回路図である。以下、構成と動
作について簡単に説明する。参照電位発生回路702
は、PMOS801、PMOS802、NMOS80
3、NMOS804、PMOS805、NMOS80
6、NMOS807、NMOS808、抵抗R1、抵抗
R2より構成される。また、それぞれのMOSのバック
ゲートはソースに接続されている。
【0055】PMOS801は電源電位VDDとノード
N10との間に接続されており、そのゲートはPMOS
802のゲートに接続されている。PMOS802は電
源電位VDDとノードN11との間に接続されており、
そのゲートはPMOS801のゲート及びノードN11
に接続されている。
【0056】NMOS803はノードN10と電源電位
VSSとの間に接続されており、そのゲートはノードN
12に接続されている。
【0057】NMOS804はノードN11とノードN
12との間に接続されており、そのゲートはノードN1
0に接続されている。
【0058】抵抗R1はノードN12と電源電位VSS
との間に接続されている。
【0059】PMOS805は電源電位VDDとノード
N13との間に接続されており、そのゲートはノードN
11に接続されている。
【0060】NMOS806はノードN13とノードN
14との間に接続されており、そのゲートはノードN1
3に接続されている。NMOS807はノードN14と
ノードN15との間に接続されており、そのゲートはノ
ードN14に接続されている。NMOS808はノード
N15と電源電位VSSとの間に接続されており、その
ゲートはノードN15に接続されている。
【0061】抵抗R2は電源電位VDDとノードN13
との間に接続されている。
【0062】参照電位発生回路702はしきい値電圧基
準形の参照電位発生回路であり、NMOS803のしき
い値電圧Vtを基準として参照電位VREF及び電源電
位HVSSを発生する回路である。
【0063】図7に示すように、CMOSインバータ回
路を構成するNMOS704のソースはHVSS線70
1が接続されており、電源電位HVSSが供給されてい
る。また、NMOS704が形成される基板又はウエル
層(図示なし)にVSS線103が接続されており、電
源電位VSSが供給されている。すなわち、第2の実施
の形態は、第1の実施の加えて、NMOSにもバイアス
を与えた形態である。
【0064】ここで、本実施の形態において、HVSS
とは、例えば、0.5Vであり、その他は第1の実施の
形態と同じである。
【0065】本実施の形態において、NMOS7004
は、バックゲートに0V、ソースに0.5V与えらいる
ので、Vbs=ー0.5Vとなる。これにより、上述し
たように、Vbs=ー0.5VでのNMOS704のし
きい値電圧Vtnの絶対値は、Vbs=0Vの場合のN
MOS704のしきい値電圧Vtnの絶対値より大きく
なる。
【0066】ここで、本実施の形態においては、第1の
実施の形態と同様に、Vbs=ー0.5Vのようにバイ
アスを与えたNMOS704のしきい値電圧Vtnの絶
対値が例えば、0.45Vとなるように設定するため
に、バックゲート効果によりしきい値電圧Vtnの絶対
値が大きくなることを考慮して、NMOS704が形成
される基板又はウエル層の不純物濃度をVbs=0Vで
のしきい値電圧の絶対値が0.45Vになる場合のNM
OS704が形成される基板又はウエル層の不純物濃度
よりも低くすることによりしきい値電圧を調整してお
り、Vbs=ー0.5Vのようにバイアスを与えたNM
OS704のしきい値電圧Vtnの絶対値が0.45V
となるように設定して動作させている。
【0067】Vbs=1.3Vでしきい電圧Vtpの絶
対値が0.53VであるPMOS109とVbs=ー
0.5Vでしきい電圧Vtnの絶対値が0.45Vであ
るNMOS704とからなる本実施の形態におけるバイ
アスを与えたインバータ回路と、Vbs=0Vでしきい
電圧Vtpの絶対値が0.53VであるPMOSとVb
s=0Vでしきい電圧Vtnの絶対値が0.45Vであ
るNMOSとからなるバイアスを与えないインバータ回
路との立上がり及び立下がり特性を比較する。ここで、
本実施の形態におけるバイアスを与えるインバータ回路
とバイアスを与えないインバータ回路とのいずれにおい
ても、PMOSのチャネル幅Wは5.0μm、チャネル
長Lは0.35μmであり、NMOSのチャネル幅Wは
2.0μm、チャネル長Lは0.35μmであり、PM
OSが形成される基板またはウエル層の不純物濃度が異
なることをのぞいてはその他の諸条件は同じものとす
る。
【0068】図9はバイアスを与えたインバータ回路と
バイアスを与えないインバータ回路との立上がり特性を
示す図である。図9において、横軸は時間、縦軸は電圧
である。図9に示すように、本実施の形態におけるバイ
アスを与えたインバータ回路の方がバイアスを与えない
インバータ回路より立上がり速いことが理解できる。
【0069】図10はバイアスを与えたインバータ回路
とバイアスを与えないインバータ回路との立下がり特性
を示す図である。図10において、横軸は時間、縦軸は
電圧である。図10に示すように、本実施の形態におけ
るバイアスを与えたインバータ回路の方がバイアスを与
えないインバータ回路より立上がり速いことが理解でき
る。
【0070】以上のことより、第1の実施の形態と同様
に、しきい値電圧が同じであれば、本実施の形態によう
にバイアスを与えたインバータ回路の方がバイアスを与
えないインバータ回路よりも立上がり及び立下がりとと
もに速くなり、高速動作すること言える。また、本実施
の形態のように、PMOS109とNMOS704とも
にバイアスを与えることよってさらなる高速動作が望ま
れる。
【0071】さらに、本実施の形態において、第1の実
施の形態に加えて、Vbs=ー0.5VでのNMOS7
04のしきい値電圧Vtnの絶対値が0.45Vとなる
ように設定するために、Vbs=0Vでのしきい値電圧
の絶対値が0.45Vに場合のNMOS704が形成さ
れる基板又はウエル層の不純物濃度を例えば、1.2×
1018cmー3とすると、Vbs=ー0.5Vでのしきい
電圧Vtnの絶対値が0.45VのNMOS704が形
成される基板又はウエル層の不純物濃度はそれよりも低
い、例えば、4.5×1017cmー3となる。したがっ
て、不純物濃度が低い値となるので、上述したように、
同じしきい値電圧では、Vbs=ー0.5Vとバイアス
を与えた方が、Vbs=0Vとバイアスを与えないもの
に比べてサブスレッショルドリーク電流が少なくなる。
本実施の形態は、PMOS109とNMOS704とも
にサブスレッショルドリーク電流が少なくなるので、第
1の実施の形態よりさらなるサブスレッショルドリーク
電流の低減が望まれる。
【0072】図11は、図7に示す本実施の形態のIC
におけるCMOSインバータ回路のデバイス図である。
本実施の形態においては、NMOS704のバックゲー
トとソースとの間のpn接合にも逆方向となるバイアス
を与えているために、ラッチアップに対するさらなる効
果が望まれる。
【0073】なお、上述において、PMOSにバイアス
を与えて動作させる例とPMOS及びNMOSにバイア
スを与えて動作させる例とについて述べたが、NMOS
のみにバイアスを与えて動作させてもこの発明の効果が
得られることは言うまでもない。
【0074】
【発明の効果】この発明によれば、外部電源電位を降下
させた電源電位をCMOS回路の電源電位として用いて
いるために、CMOS回路は低電圧動作させるととも
に、CMOS回路を構成している例えば、CMOSイン
バータ回路のPMOSのバックゲートに外部電源電位を
与えて、それによるバックゲート効果によりPMOSの
しきい値電圧Vtpの絶対値が大きくなることを考慮し
て、バイアスが与えられるPMOSが形成される基板又
はウエル層の不純物濃度を低くすることによりしきい値
電圧を調整しており、バイアスが与えられない場合のP
MOSのしきい値電圧と同じになるように設定して動作
させているので、低消費電力で高速動作可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施の形態における半導体集
積回路の回路図である。
【図2】電源電位降下回路106の具体的な回路構成の
一例を示す回路図である。
【図3】参照電位発生回路107の具体的な回路構成の
一例を示す回路図である。
【図4】この発明の第1の実施の形態におけるバイアス
を与えたインバータ回路とバイアスを与えないインバー
タ回路との立上がり特性を示す図である。
【図5】この発明の第1の実施の形態におけるバイアス
を与えたインバータ回路とバイアスを与えないインバー
タ回路との立下がり特性を示す図である。
【図6】図1に示す第1の実施の形態のICにおけるC
MOSインバータ回路のデバイス図である。
【図7】この発明の第2の実施の形態における半導体集
積回路の回路図である。
【図8】参照電位発生回路702の具体的な回路構成の
一例を示す回路図である。
【図9】この発明の第2の実施の形態におけるバイアス
を与えたインバータ回路とバイアスを与えないインバー
タ回路との立上がり特性を示す図である。
【図10】この発明の第2の実施の形態におけるバイア
スを与えたインバータ回路とバイアスを与えないインバ
ータ回路との立下がり特性を示す図である。
【図11】図7に示す第2の実施の形態のICにおける
CMOSインバータ回路のデバイス図である。
【符号の説明】
101 VDD線 102 LVDD線 103 VSS線 701 HVSS線 104、105 パッド 106 電源電位降下回路 107、702 参照電位発生回路 108、703 CMOS回路 109 PMOS 110、704 NMOS N1〜N15 ノード

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体集積回路であって、 第1の電源電位が供給される第1電源線と、 前記第1の電源電位が供給され、前記第1の電源電位を
    降下させて第2の電源電位を発生する電源電圧降下回路
    と、 前記電源電位降下回路より発生した前記第2の電源電位
    が供給される第2の電源線と、 前記第2の電源電位より低い第3の電源電位が供給され
    る第3の電源線と、ソースが前記第2の電源線に接続され、ドレインが出力
    端子に接続され、ゲートが入力端子に接続されたP型M
    OSトランジスタと、 ドレインが前記出力端子に接続され、ソースが前記第3
    の電源線に接続され、ゲートが前記入力端子に接続され
    たN型MOSトランジスタとを備え、 前記P型MOSトランジスタのバックゲートに前記第1
    の電源電位が供給され、該P型MOSトランジスタのし
    きい値の絶対値を所定値とすべく、該P型MOSトラン
    ジスタが形成される基板またはウェル層の不純物濃度
    が、バックゲート及びソースに共通の電位を供給した場
    合におけるP型MOSトランジスタのしきい値電圧の絶
    対値が前記所定値となる基板またはウェル層の不純物濃
    度より低いことを特徴とする半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 前記第1の電源電位は、外部から供給さ
    れることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 前記電源電位降下回路は、参照電位発生
    回路より出力される参照電位が入力され、前記第2の電
    線に供給される電位と前記参照電位とを比較する比較
    回路と、 前記比較回路の比較結果に基づいて、前記第2の電源
    に供給する前記第2の電源電位を前記参照電位となるよ
    うに調整する電源電位調整回路とを有することを特徴と
    する請求項1または請求項2記載の半導体集積回路。
  4. 【請求項4】 半導体集積回路であって、 第1の電源電位が供給される第1電源線と、 前記第1の電源電位が供給され、前記第1の電源電位を
    降下させて第2の電源電位を発生する電源電圧降下回路
    と、 前記電源電位降下回路より発生した前記第2の電源電位
    が供給される第2の電源線と、 前記第2の電源電位より低い第3の電源電位が供給され
    る第3の電源線と、ソースが前記第2の電源線に接続され、ドレインが出力
    端子に接続され、ゲートが入力端子に接続されたP型M
    OSトランジスタと、 ドレインが前記出力端子に接続され、ソースが前記第3
    の電源線に接続され、ゲートが前記入力端子に接続され
    たN型MOSトランジスタと、 前記第3の電源電位より低い第4の電源電位が供給され
    る第4の電源線とを備え、 前記P型MOSトランジスタのバックゲートに前記第1
    の電源電位が供給され、該P型MOSトランジスタのし
    きい値の絶対値を所定値とすべく、該P型MOSトラン
    ジスタが形成される基板またはウェル層の不純物濃度
    が、バックゲート及びソースに共通の電位を供給した場
    合におけるP型MOSトランジスタのしきい値電圧の絶
    対値が前記所定値となる基板またはウェル層の不純物濃
    度より低く、 前記N型MOSトランジスタのバックゲートに前記第4
    の電源電位が供給され、該N型MOSトランジスタのし
    きい値の絶対値を所定値とすべく、該N型MOSトラン
    ジスタが形成される基板またはウェル層の不純物濃度
    が、バックゲート及びソースに共通の電位を供給した場
    合におけるN型MOSトランジスタのしきい値電圧の絶
    対値が前記所定値となる基板またはウェル層の不純物濃
    度より低いことを特徴とする半導体集積回路。
  5. 【請求項5】 前記第1の電源電位は、外部から供給さ
    れることを特徴とする請求項4記載の半導体集積回路。
  6. 【請求項6】 前記第4の電源電位は、接地電位である
    ことを特徴とする請求項5記載の半導体集積回路。
  7. 【請求項7】 前記電源電位降下回路は、参照電位発生
    回路より出力される第1の参照電位が入力され、前記第
    2の電源線に供給される電位と前記第1の参照電位とを
    比較する比較回路と、 前記比較回路の比較結果に基づいて、第2の電源線に供
    給する前記第2の電源電位を前記第1の参照電位となる
    ように調整する電源電位調整回路とを有することを特徴
    とする請求項1または請求項4〜6のいずれか1つに記
    載の半導体集積回路。
  8. 【請求項8】 前記第3の電源線には、前記第1の参照
    電位より低い第2の参照電位が前記参照電位発生回路よ
    り供給されることを特徴とする請求項7記載の半導体集
    積回路。
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