JP3254635B2 - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP3254635B2 JP25703591A JP25703591A JP3254635B2 JP 3254635 B2 JP3254635 B2 JP 3254635B2 JP 25703591 A JP25703591 A JP 25703591A JP 25703591 A JP25703591 A JP 25703591A JP 3254635 B2 JP3254635 B2 JP 3254635B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は半導体装置に関し、例
えば、カレントミラー型CMOSセンスアンプとその出
力信号を受けるCMOS論理回路とを具備する高速論理
集積回路装置に利用して特に有効な技術に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】PチャンネルMOSFET(金属酸化物
半導体型電界効果トランジスタ。この明細書では、MO
SFETをして絶縁ゲート型電界効果トランジスタの総
称とする)及びNチャンネルMOSFETからなるCM
OS(相補型MOS)論理回路がある。また、Nチャン
ネル型の差動MOSFETと、これらのMOSFETの
ドレイン負荷として設けられ電流ミラー形態とされる一
対のPチャンネルMOSFETとを含むカレントミラー
型CMOSセンスアンプがある。さらに、このカレント
ミラー型CMOSセンスアンプと、CMOS論理回路か
らなりカレントミラー型CMOSセンスアンプの出力信
号を受けるバッファゲートとを含むスタティック型RA
M(ランダムアクセスメモリ)があり、このようなスタ
ティック型RAMを内蔵する高速論理集積回路装置があ
る。
【0003】カレントミラー型CMOSセンスアンプを
備えるスタティック型RAMについては、例えば、特開
昭62−046486号公報に記載されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなスタティ
ック型RAMを内蔵する従来の高速論理集積回路装置等
において、カレントミラー型CMOSセンスアンプSA
の出力信号SOを受けるバッファゲートBG2は、例え
ば図6に示されるように、CMOSインバータ形態とさ
れる一対のPチャンネルMOSFETQ1及びQ11
と、その出力信号n1を受けるもう一つのCMOSイン
バータN1とを含む。カレントミラーCMOSセンスア
ンプSAの出力信号SOは、図7に示されるように、そ
のハイレベル及びロウレベルが原理的に+5Vのような
電源電圧VCCと回路の接地電位すなわち電源電圧VS
Sとの間の中間レベルとされる。
【0005】ところが、高速論理集積回路装置等の微細
化及び高集積化が進む中、上記のようなバッファゲート
BG2には次のような問題点があることが、本願発明者
等によって明らかとなった。すなわち、微細化された高
速論理集積回路装置等では、ホットキャリアによるMO
SFET等の劣化が問題となり、そのデバイス寿命が高
速論理集積回路装置等の信頼性を左右する。周知のよう
に、例えば上記CMOSインバータを構成するMOSF
ETQ1及びQ11等のホットキャリア劣化によるデバ
イス寿命は、図4に例示されるように、そのゲート電圧
Vgがそのドレイン電圧Vdすなわち電源電圧VCCの
二分の1のレベルにあるとき、最も短いものとなる。こ
のため、特に図6のバッファゲートBG2のように、前
段にカレントミラー型CMOSセンスアンプSAが設け
られその入力信号のハイレベル及びロウレベルが電源電
圧VCC及びVSS間の中間レベルとされる場合には、
ハイレベル入力時においてPチャンネルMOSFETQ
1のホットキャリア劣化が進行し、ロウレベル入力時に
おいてNチャンネルMOSFETQ11のホットキャリ
ア劣化が進行する。その結果、これらのMOSFETの
デバイス寿命が短くなり、これによって高速論理集積回
路装置等の信頼性が低下する。
【0006】この発明の目的は、ホットキャリア劣化を
抑制したCMOS論理回路を提供することにある。この
発明の他の目的は、特にその入力信号が中間レベルとさ
れるCMOS論理回路のデバイス寿命を改善し、CMO
S論理回路を含む高速論理集積回路装置等の信頼性を高
めることにある。
【0007】この発明の前記ならびにその他の目的と新
規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らか
になるであろう。
【0008】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次
の通りである。すなわち、そのハイレベル及びロウレベ
ルが中間レベルとされる入力信号を受けるCMOS論理
回路において、PチャンネルMOSFETのソースと高
電位側電源電圧との間ならびにNチャンネルMOSFE
Tのソースと低電位側電源電圧との間に、比較的小さな
サイズのMOSFETからなる一対の抵抗手段をそれぞ
れ設け、これらの抵抗手段と並列形態に、比較的大きな
サイズとされかつ対応するPチャンネルMOSFET又
はNチャンネルMOSFETと相補的にオン状態とされ
る一対のバイパスMOSFETをそれぞれ設ける。
【0009】
【作用】上記手段によれば、PチャンネルMOSFET
又はNチャンネルMOSFETがオフ状態とされると
き、そのドレイン電圧を対応する抵抗手段による電圧降
下分だけ圧縮して、ホットキャリアによるMOSFET
の劣化を抑制することができる。また、PチャンネルM
OSFET又はNチャンネルMOSFETがオン状態と
されるとき、対応するバイパスMOSFETによって対
応する抵抗手段を短絡し、これらの抵抗手段が設けられ
ることによるCMOS論理回路の動作遅延を防止でき
る。これらの結果、その高速動作を妨げることなく、C
MOS論理回路を構成するMOSFETのデバイス寿命
を1桁以上改善し、CMOS論理回路を含む高速論理集
積回路装置等の信頼性を高めることができる。
【0010】
【実施例】図1には、この発明が適用されたバッファゲ
ートBG1(論理回路)の第1の実施例の回路図が示さ
れている。また、図2には、図1のバッファゲートBG
1の信号波形図が示されている。さらに、図3及び図4
には、MOSFETのホットキャリア劣化によるデバイ
ス寿命とそのドレイン電圧Vd又はゲート電圧Vgとの
関係を表す一般的な特性図がそれぞれ示されている。こ
れらの図をもとに、この実施例のバッファゲートBG1
の構成と動作の概要ならびにその特徴について説明す
る。なお、この実施例のバッファゲートBG1は、高速
論理集積回路装置に含まれる。高速論理集積回路装置
は、スタティック型RAMを内蔵し、スタティック型R
AMは、バッファゲートBG1と、その前段に設けられ
るカレントミラー型CMOSセンスアンプSAとを備え
る。図1の各回路素子は、高速論理集積回路装置の図示
されない他の回路素子とともに、単結晶シリコンのよう
な1個の半導体基板上に形成される。以下の回路図にお
いて、そのチャンネル(バックゲート)部に矢印が付さ
れるMOSFETはPチャンネル型であって、矢印の付
されないNチャンネルMOSFETと区別して示され
る。
【0011】図1において、この実施例のバッファゲー
トBG1は、実質的なCMOS論理ゲート形態とされる
Pチャンネル型(第1導電型)のMOSFETQ1(第
1のMOSFET)ならびにNチャンネル型(第2導電
型)のMOSFETQ11(第2のMOSFET)を含
む。このうち、MOSFETQ1のソースは、Pチャン
ネルMOSFETQ2(第5のMOSFET)を介して
高電位側の電源電圧VCC(第1の電源電圧)に結合さ
れ、MOSFETQ11のソースは、NチャンネルMO
SFETQ12(第6のMOSFET)を介して低電位
側の電源電圧VSS(第2の電源電圧)すなわち回路の
接地電位に結合される。MOSFETQ1及びQ11の
ゲートは共通結合され、カレントミラー型CMOSセン
スアンプSAからその出力信号SOが供給される。ま
た、MOSFETQ2のゲートは、回路の接地電位に結
合され、MOSFETQ12のゲートは、電源電圧VC
Cに結合される。これにより、MOSFETQ2及びQ
12は定常的にオン状態とされ、それぞれMOSFET
Q1又はQ11に対する第1及び第2の抵抗手段として
作用する。この実施例において、MOSFETQ2及び
Q12は、MOSFETQ1及びQ11に比較して充分
に小さなサイズをもって形成される。また、電源電圧V
CCは、+5Vのような正の電源電圧とされる。
【0012】カレントミラー型CMOSセンスアンプS
Aは、差動形態とされる一対のNチャンネルMOSFE
TQ14及びQ15を含む。これらのMOSFET14
及びQ15のドレインは、対応するPチャンネルMOS
FETQ4又はQ5を介して電源電圧VCCに結合さ
れ、その共通結合されたドレインは回路の接地電位に結
合される。MOSFETQ5のゲートは、そのドレイン
に結合され、さらにMOSFETQ4のゲートに結合さ
れる。これにより、MOSFETQ4及びQ5はいわゆ
るカレントミラー形態とされ、差動MOSFETQ14
及びQ15に対するアクティブ負荷として作用する。
【0013】差動MOSFETQ14及びQ15のゲー
トは、カレントミラー型CMOSセンスアンプSAの反
転入力端子SB又は非反転入力端子STとされ、図示さ
れないスタティック型RAMのメモリアレイの選択され
たメモリセルから相補読み出し信号が供給される。MO
SFETQ14のドレイン電位は、カレントミラー型C
MOSセンスアンプSAの出力信号SOとして、バッフ
ァゲートBG1に供給される。これにより、カレントミ
ラー型CMOSセンスアンプSAは、メモリアレイの選
択されたメモリセルから出力される相補読み出し信号を
増幅し、図2に示されるような中間レベルの出力信号S
Oを形成する。
【0014】この実施例のバッファゲートBG1は、さ
らにMOSFETQ2と並列形態に設けられるPチャン
ネル型のバイパスMOSFETQ3(第3のMOSFE
T)と、MOSFETQ12と並列形態に設けられるN
チャンネル型のバイパスMOSFETQ13(第4のM
OSFET)とを含む。MOSFETQ3及びQ13の
ゲートは共通結合され、さらにCMOSインバータN2
の出力端子すなわち内部ノードn2に結合される。内部
ノードn2は、CMOSインバータN1の出力端子に結
合され、CMOSインバータN1の入力端子は、上記M
OSFETQ1及びQ11の共通結合されたドレインす
なわち内部ノードn1に結合される。これにより、バイ
パスMOSFETQ3及びQ13は、後述するように、
対応するMOSFETQ1及びQ11と相補的にオン状
態とされるものとなる。CMOSインバータN1の出力
信号は、バッファゲートBG1の出力信号GOとして高
速論理集積回路装置の図示されない後段回路に供給され
る。なお、バイパスMOSFETQ3及びQ13は、M
OSFETQ2及びQ12に比較して充分に大きなサイ
ズをもって形成される。
【0015】カレントミラー型CMOSセンスアンプS
Aの出力信号SOが例えば+2Vに近いロウレベルとさ
れるとき、バッファゲートBG1では、MOSFETQ
1がオン状態とされ、MOSFETQ11はオフ状態に
近いウィークリーなオン状態とされる。このため、MO
SFETQ1及びQ11の共通結合されたドレイン電位
すなわち内部信号n1は、電源電圧VCCに近いハイレ
ベルになろうとする。このとき、CMOSインバータN
1すなわちバッファゲートBG1の出力信号GOは、ほ
ぼ回路の接地電位のようなロウレベルとされ、CMOS
インバータN2の出力信号すなわち内部信号n2は、ほ
ぼ電源電圧VCCのようなハイレベルとされる。したが
って、バイパスMOSFETQ13がオン状態とされ、
バイパスMOSFETQ3はオフ状態とされる。また、
MOSFETQ2の両端には、その抵抗値とMOSFE
TQ1及びQ11を介して流される貫通電流の値とによ
って決まる所定の電圧降下ΔVが生じる。その結果、上
記内部信号n1のハイレベルは、図2に示されるよう
に、電源電圧VCCからMOSFETQ2による電圧降
下ΔV分だけ低いレベルに設定される。
【0016】次に、カレントミラー型CMOSセンスア
ンプSAの出力信号SOが例えば+4Vに近いハイレベ
ルに変化されると、MOSFETQ1がオフ状態に近い
ウィークリーなオン状態とされ、代わってMOSFET
Q11がオン状態とされる。このため、内部信号n1
は、MOSFETQ13がオフ状態とされるまでの間、
回路の接地電位のようなロウレベルとされ、これによっ
て内部信号n2が回路の接地電位のようなロウレベルと
される。したがって、バイパスMOSFETQ13はオ
フ状態とされ、代わってバイパスMOSFETQ3がオ
ン状態とされる。これにより、MOSFETQ12の両
端には、その抵抗値とMOSFETQ1及びQ11を介
して流される貫通電流の値とによって決まる所定の電圧
降下ΔVが生じ、内部信号n1のロウレベルは回路の接
地電位よりMOSFETQ12による電圧降下Δ分だけ
高いレベルに設定される。
【0017】一方、カレントミラー型CMOSセンスア
ンプSAの出力信号SOが再度+2Vに近いロウレベル
に変化されると、MOSFETQ11がオフ状態に近い
ウィークリーなオン状態とされ、代わってMOSFET
Q1がオン状態とされる。このため、内部信号n1は、
MOSFETQ3がオン状態とされるまでの間、電源電
圧VCCのようなハイレベルとされ、これによって内部
信号n2が電源電圧VCCのようなハイレベルとされ
る。したがって、バイパスMOSFETQ3はオフ状態
とされ、代わってバイパスMOSFETQ13がオン状
態とされる。これにより、MOSFETQ2の両端に
は、再びその抵抗値とMOSFETQ1及びQ11を介
して流される貫通電流の値とによって決まる所定の電圧
降下ΔVが生じ、内部信号n1のハイレベルは電源電圧
VCCよりMOSFETQ2による電圧降下Δ分だけ低
いレベルに設定される。
【0018】つまり、この実施例のバッファゲートBG
1では、その入力信号すなわちカレントミラー型CMO
SセンスアンプSAの出力信号SOのハイレベル及びロ
ウレベルが電源電圧VCC及び回路の接地電位間の中間
レベルとされるにもかかわらず、レベル確定時における
MOSFETQ1及びQ11のドレイン電圧は対応する
MOSFETQ2又はQ12の電圧降下ΔV分だけそれ
ぞれ圧縮される。周知のように、CMOSインバータを
構成するMOSFETQ1及びQ11等のホットキャリ
ア劣化によるデバイス寿命は、図3に例示されるよう
に、そのドレイン電圧Vdが小さくされるに従って改善
される。このため、例えば電源電圧VCCを+5Vと
し、MOSFETQ2及びQ12による電圧降下ΔVを
0.5Vと仮定しても、MOSFETQ1及びQ11の
デバイス寿命は1桁以上改善され、これによって高速論
理集積回路装置の信頼性が高められる結果となる。
【0019】ところで、カレントミラー型CMOSセン
スアンプSAの出力信号SOの論理レベルが変化されて
から内部信号n1のレベルが確定されるまでのΔtの
間、オン状態にあるMOSFETQ1及びQ11のドレ
インには、図2から明らかなように、電源電圧VCCの
絶対値に相当する5Vのドレイン電圧が一時的に与えら
れる。しかし、この間の時間が短いことや抵抗手段とな
るMOSFETQ2又はQ12により上記ドレイン電圧
が分圧されることもあって、実質的な問題は生じない。
一方、このとき、オフ状態にあるMOSFETQ1又は
Q11には、対応するバイパスMOSFETQ3又はQ
13がオン状態にあることから、電源電圧VCCの絶対
値に相当する5Vのドレイン電圧が与えられるととも
に、内部ノードn1に結合される負荷容量が各バイパス
MOSFETを介して急速にチャージ又はディスチャー
ジされる。このため、オフ状態にあるMOSFETQ1
又はQ11のオン状態への遷移は、MOSFETQ2及
びQ12が追加されない従来のバッファゲートと同様に
高速裏に行われ、MOSFETQ1及びQ11を含むC
MOSインバータのスイッチング動作も高速化される。
【0020】以上の本実施例に示されるように、この発
明を高速論理集積回路装置等の半導体装置に適用するこ
とで、次のような作用効果が得られる。すなわち、 (1)そのハイレベル及びロウレベルが中間レベルとさ
れる入力信号を受けるCMOS論理回路において、Pチ
ャンネルMOSFETのソースと高電位側電源電圧との
間ならびにNチャンネルMOSFETのソースと低電位
側電源電圧との間に、比較的小さなサイズのMOSFE
Tからなる一対の抵抗手段をそれぞれ設けることで、P
チャンネルMOSFET又はNチャンネルMOSFET
がオフ状態とされるとき、そのドレイン電圧を対応する
抵抗手段による電圧降下分だけ圧縮して、ホットキャリ
アによるMOSFETの劣化を抑制することができると
いう効果が得られる。
【0021】(2)上記(1)項において、一対の抵抗
手段と並列形態に、比較的大きなサイズとされかつ対応
するPチャンネルMOSFET又はNチャンネルMOS
FETと相補的にオン状態とされる一対のバイパスMO
SFETをそれぞれ設けることで、PチャンネルMOS
FET又はNチャンネルMOSFETがオン状態とされ
るとき、対応するバイパスMOSFETによって対応す
る抵抗手段を短絡し、これらの抵抗手段が設けられるこ
とによるCMOS論理回路の動作遅延を防止することが
できるという効果が得られる。 (3)上記(1)項及び(2)項により、その高速動作
を妨げることなく、CMOS論理回路を構成するMOS
FETのデバイス寿命を1桁以上改善することができる
という効果が得られる。 (4)上記(1)項〜(3)項により、そのハイレベル
及びロウレベルが中間レベルとされるCMOS論理回路
を含む高速論理集積回路装置等の信頼性を高めることが
できるという効果が得られる。
【0022】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実
施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例え
ば、図1において、第1及び第2の抵抗手段となるMO
SFETQ2及びQ12は、その導電型を入れ換えて構
成してもよい。この場合、これらのMOSFETのオン
状態となる論理条件は反転するが、それぞれの電圧効果
ΔVには、各MOSFETのしきい値電圧が追加され
る。カレントミラー型CMOSセンスアンプSAの出力
信号SOのハイレベル又はロウレベルのいずれか一方だ
けが中間レベルとされる場合、MOSFETQ2及びQ
3あるいはMOSFETQ12及びQ13のいずれかを
割愛することができる。また、バッファゲートBG1
は、MOSFETQ1又はQ11を直列形態又は並列形
態とされる複数のPチャンネルMOSFET又はNチャ
ンネルMOSFETに置き換えることによって、例えば
複数入力のナンド(NAND)ゲート又はノア(NO
R)ゲート形態とすることができる。バッファゲートB
G1の前段に設けられるカレントミラー型CMOSセン
スアンプSAは、その出力信号のハイレベル及びロウレ
ベルが中間レベルとされることを条件に、種々のCMO
S回路に置き換えることができる。
【0023】MOSFETQ2及びQ12のゲートは、
図5に示されるように、MOSFETQ1及びQ11の
ゲートと共通結合してもよい。この場合、MOSFET
Q2及びQ12は、対応するMOSFETQ1及びQ1
1と同時にオン状態となり、第1及び第2の抵抗手段と
して作用する。図2において、カレントミラー型CMO
SセンスアンプSAの出力信号SOのハイレベル及びロ
ウレベルの絶対値は、この実施例による制約を受けな
い。さらに、図1及び図5に示されるバッファゲートB
G1の具体的な構成や電源電圧の極性及び絶対値ならび
にMOSFETの導電型等は、種々の実施形態を採りう
る。
【0024】以上の説明では、主として本発明者によっ
てなされた発明をその背景となった利用分野であるスタ
ティック型RAMを内蔵する高速論理集積回路装置に適
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、例えば、スタティック型RAMとして単体で
形成されるものやカレントミラー型CMOSセンスアン
プとその出力信号を受けるCMOS論理回路とを含む各
種のディジタル集積回路装置にも適用できる。この発明
は、少なくともその出力信号のハイレベル又はロウレベ
ルが中間レベルとされるCMOS回路とその出力信号を
受けるCMOS論理回路とを含む半導体装置に広く適用
できる。
【0025】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。すなわち、そのハイレベル及びロウレ
ベルが中間レベルとされる入力信号を受けるCMOS論
理回路において、PチャンネルMOSFETのソースと
高電位側電源電圧との間ならびにNチャンネルMOSF
ETのソースと低電位側電源電圧との間に、比較的小さ
なサイズのMOSFETからなる一対の抵抗手段をそれ
ぞれ設け、これらの抵抗手段と並列形態に、比較的大き
なサイズとされかつ対応するPチャンネルMOSFET
又はNチャンネルMOSFETと相補的にオン状態とさ
れる一対のバイパスMOSFETをそれぞれ設けること
で、PチャンネルMOSFET又はNチャンネルMOS
FETがオフ状態とされるとき、そのドレイン電圧を対
応する抵抗手段による電圧降下分だけ圧縮し、ホットキ
ャリアによるMOSFETの劣化を抑制することができ
る。また、PチャンネルMOSFET又はNチャンネル
MOSFETがオン状態とされるとき、対応するバイパ
スMOSFETによって対応する抵抗手段を短絡し、こ
れらの抵抗手段が設けられることによるCMOS論理回
路の動作遅延を防止できる。これらの結果、その高速動
作を妨げることなく、CMOS論理回路を構成するMO
SFETのデバイス寿命を1桁以上改善し、CMOS論
理回路を含む高速論理集積回路装置等の信頼性を高める
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用されたバッファゲートの第1の
実施例を示す回路図である。
【図2】図1のバッファゲートの信号波形図である。
【図3】MOSFETのドレイン電圧とデバイス寿命と
の関係を表す特性図である。
【図4】MOSFETのゲート電圧とデバイス寿命との
関係を表す特性図である。
【図5】この発明が適用されたバッファゲートの第2の
実施例を示す回路図である。
【図6】従来のバッファゲートの一例を示す回路図であ
る。
【図7】図6のバッファゲートの信号波形図である。
【符号の説明】 BG1〜BG2・・・バッファゲート、SA・・・カレ
ントミラー型CMOSセンスアンプ。Q1〜Q5・・・
PチャンネルMOSFET、Q11〜Q15・・・Nチ
ャンネルMOSFET、N1〜N2・・・CMOSイン
バータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03K 19/0175 H01L 27/092

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の電源電圧を供給する第1動作電圧
    点と、 第2の電源電圧を供給する第2の動作電圧点と、 それぞれ上記第1の動作電圧点と上記第2の動作電圧点
    との間にソース・ドレイン経路を有し、 実質的なCMO
    S論理ゲート形態とされる第1導電型の第1のMOSF
    ET及び第2導電型の第2のMOSFETと、上記第1の動作電圧点 と上記第1のMOSFETのソー
    スとの間に設けられる第1の抵抗手段、 上記第1の抵抗手段と並列形態に設けられ上記第1のM
    OSFETと相補的にオン状態とされる第3のMOSF
    ETとを有し、 上記第1及び第2のMOSFETのゲートに供給される
    入力信号は、その上記第1のMOSFETをオフ状態と
    するレベルが上記第1及び第2の電源電圧間の中間レベ
    ルとされるものであることを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、 上記第2の動作電圧点と上記第2のMOSFETのソー
    スとの間に設けられる第2の抵抗手段と、 上記第2の抵抗手段と並列形態に設けられ上記2のMO
    SFETと相補的にオン状態とされる第4のMOSFE
    Tとを有し、 上記第1及び第2のMOSFETのゲートに供給される
    入力信号は、その上記第2のMOSFETをオフ状態と
    するレベルが上記第1及び第2の電源電圧間の中間レベ
    ルとされるものであることを特徴とする半導体装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2において、 上記第1抵抗手段は、比較的小さなサイズをもって形成
    され、そのゲートが上記第2の動作電圧点または上記第
    1及び第2のMOSFETのゲートに結合される第1導
    電型の第5のMOSFETからなることを特徴とする半
    導体装置。
  4. 【請求項4】 請求項2又は3において、 上記第2抵抗手段は、比較的小さなサイズをもって形成
    され、そのゲートが上記第1の動作電圧点または上記第
    1及び第2のMOSFETのゲートに結合される第2導
    電型の第6のMOSFETからなることを特徴とする半
    導体装置。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれかにおいて、 上記入力信号は、上記論理回路の前段に設けられるカレ
    ントミラー型CMOSセンスアンプの出力信号であるこ
    とを特徴とする半導体装置。
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