JP3424218B2 - 低融点封着用組成物 - Google Patents
低融点封着用組成物Info
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C8/00—Enamels; Glazes; Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions
- C03C8/24—Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions, i.e. for use as seals between dissimilar materials, e.g. glass and metal; Glass solders
- C03C8/245—Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions, i.e. for use as seals between dissimilar materials, e.g. glass and metal; Glass solders containing more than 50% lead oxide, by weight
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス、セラミック
ス、金属相互間の接着や封着等に使用される低融点封着
用組成物に関するものであり、より詳しくはガラス、セ
ラミックス、金属等で構成される電子デバイス、パッケ
ージ等の電子部品の接着や気密封着等に使用される低融
点封着用組成物に関するものである。
ス、金属相互間の接着や封着等に使用される低融点封着
用組成物に関するものであり、より詳しくはガラス、セ
ラミックス、金属等で構成される電子デバイス、パッケ
ージ等の電子部品の接着や気密封着等に使用される低融
点封着用組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガラス、セラミックス、金属相互
間の接着や封着用として、ＰｂＯ−Ｂ2 Ｏ3 系の低融点
ガラスや、或いはこれに耐火性フィラー粉末を添加した
封着用組成物が知られている。このような封着用組成物
は、例えば蛍光表示管の本体組み立てや排気口用金属キ
ャップの接着、ＩＣや水晶振動子を搭載したセラミック
パッケージの気密封着等に使用される。
間の接着や封着用として、ＰｂＯ−Ｂ2 Ｏ3 系の低融点
ガラスや、或いはこれに耐火性フィラー粉末を添加した
封着用組成物が知られている。このような封着用組成物
は、例えば蛍光表示管の本体組み立てや排気口用金属キ
ャップの接着、ＩＣや水晶振動子を搭載したセラミック
パッケージの気密封着等に使用される。
【０００３】ところでこのような材料には低融点である
ことが要求されるが、ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3 系のガラスでは
低融点化に限界があり、焼成温度を４００℃以下にする
ことが困難である。
ことが要求されるが、ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3 系のガラスでは
低融点化に限界があり、焼成温度を４００℃以下にする
ことが困難である。
【０００４】そこで、近年ＰｂＯ−Ｂ2 Ｏ3 系のガラス
にＴｌ2 ＯやＦ2 等を含有させることにより、３８０℃
程度の低温で焼成可能な封着用組成物が開発され、実用
化されている。
にＴｌ2 ＯやＦ2 等を含有させることにより、３８０℃
程度の低温で焼成可能な封着用組成物が開発され、実用
化されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらＴｌ2 Ｏ
やＦ2 を含むガラスは、焼成するとガラス中からＴｌ2
Ｏが揮発したり、Ｆ2 ガスが放出されるため環境上好ま
しくない。特にＴｌ2 Ｏは有毒物質であり、ガラスの製
造時や使用時に特別の設備が必要である。また蛍光物質
を使用するデバイス、例えば蛍光表示管にこれらの材料
を使用した場合、揮発したＴｌ2 ＯやＦ2 ガスによって
輝度劣化が生じるといった問題を有している。
やＦ2 を含むガラスは、焼成するとガラス中からＴｌ2
Ｏが揮発したり、Ｆ2 ガスが放出されるため環境上好ま
しくない。特にＴｌ2 Ｏは有毒物質であり、ガラスの製
造時や使用時に特別の設備が必要である。また蛍光物質
を使用するデバイス、例えば蛍光表示管にこれらの材料
を使用した場合、揮発したＴｌ2 ＯやＦ2 ガスによって
輝度劣化が生じるといった問題を有している。
【０００６】本発明の目的は、ガラス中に有毒物質や揮
発し易い成分を含有することなく、４００℃以下の温度
で焼成可能な低融点封着用組成物を提供することであ
る。
発し易い成分を含有することなく、４００℃以下の温度
で焼成可能な低融点封着用組成物を提供することであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者等は種々の実験
を行った結果、ＰｂＯ−Ｂ2 Ｏ3 系のガラスにＢｉ2Ｏ3
及びＡｇ2 Ｏを特定量含有させることによって上記目
的が達成できることを見いだし、本発明として提案する
ものである。
を行った結果、ＰｂＯ−Ｂ2 Ｏ3 系のガラスにＢｉ2Ｏ3
及びＡｇ2 Ｏを特定量含有させることによって上記目
的が達成できることを見いだし、本発明として提案する
ものである。
【０００８】即ち、本発明の低融点封着用組成物は、重
量百分率でＰｂＯ７０〜８５％、Ｂ2 Ｏ3 ５〜１５％、
ＳｉＯ2 ０．１〜１．５％、Ｂｉ2 Ｏ3 ０．５〜６％、
Ａｇ2 Ｏ５．５〜１４％、ＺｎＯ０〜２％、Ａｌ2 Ｏ3
０〜２％、Ｖ2 Ｏ5 ０〜６％からなることを特徴とす
る。
量百分率でＰｂＯ７０〜８５％、Ｂ2 Ｏ3 ５〜１５％、
ＳｉＯ2 ０．１〜１．５％、Ｂｉ2 Ｏ3 ０．５〜６％、
Ａｇ2 Ｏ５．５〜１４％、ＺｎＯ０〜２％、Ａｌ2 Ｏ3
０〜２％、Ｖ2 Ｏ5 ０〜６％からなることを特徴とす
る。
【０００９】また本発明の低融点封着用組成物は、重量
百分率でＰｂＯ７０〜８５％、Ｂ2Ｏ3５〜１５％、Ｓｉ
Ｏ2０．１〜１．５％、Ｂｉ2Ｏ3０．５〜６％、Ａｇ2Ｏ
５．５〜１４％、ＺｎＯ０〜２％、Ａｌ2Ｏ3０〜２％、
Ｖ2Ｏ5０〜６％からなるガラス粉末５０〜９５体積％
と、耐火性フィラー粉末５０〜５体積％とからなること
を特徴とする。
百分率でＰｂＯ７０〜８５％、Ｂ2Ｏ3５〜１５％、Ｓｉ
Ｏ2０．１〜１．５％、Ｂｉ2Ｏ3０．５〜６％、Ａｇ2Ｏ
５．５〜１４％、ＺｎＯ０〜２％、Ａｌ2Ｏ3０〜２％、
Ｖ2Ｏ5０〜６％からなるガラス粉末５０〜９５体積％
と、耐火性フィラー粉末５０〜５体積％とからなること
を特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明の低融点封着用組成物において、ガラス
の組成範囲を上記のように限定した理由を以下に述べ
る。
の組成範囲を上記のように限定した理由を以下に述べ
る。
【００１１】ＰｂＯはガラスの骨格を形成する成分であ
り、その含有量は７０〜８５％、好ましくは７３〜８３
％である。ＰｂＯが７０％より少ないとガラスの軟化温
度が高くなり、４００℃以下での焼成が困難になる。一
方８５％より多いとガラスが失透し易くなり好ましくな
い。
り、その含有量は７０〜８５％、好ましくは７３〜８３
％である。ＰｂＯが７０％より少ないとガラスの軟化温
度が高くなり、４００℃以下での焼成が困難になる。一
方８５％より多いとガラスが失透し易くなり好ましくな
い。
【００１２】Ｂ2 Ｏ3 もガラスの骨格を形成する成分で
あり、その含有量は５〜１５％、好ましくは５〜１３％
である。Ｂ2 Ｏ3 が５％より少ないとガラスの軟化温度
が高くなり、１５％より多いとガラスの耐候性が低下し
て実用上好ましくない。
あり、その含有量は５〜１５％、好ましくは５〜１３％
である。Ｂ2 Ｏ3 が５％より少ないとガラスの軟化温度
が高くなり、１５％より多いとガラスの耐候性が低下し
て実用上好ましくない。
【００１３】ＳｉＯ2 はガラスを安定化させる成分であ
り、その含有量は０．１〜１．５％、好ましくは０．１
〜１％である。ＳｉＯ2 が０．１％より少ないとガラス
を安定化させる効果がなく、１．５％より多いと軟化温
度が高くなる。
り、その含有量は０．１〜１．５％、好ましくは０．１
〜１％である。ＳｉＯ2 が０．１％より少ないとガラス
を安定化させる効果がなく、１．５％より多いと軟化温
度が高くなる。
【００１４】Ｂｉ2 Ｏ3 はガラスの流動性を高める効果
があり、その含有量は０．５〜６％好ましくは１〜５％
である。Ｂｉ2 Ｏ3 が０．５％より少ないとその効果が
なく、６％より多いと失透が生じる。
があり、その含有量は０．５〜６％好ましくは１〜５％
である。Ｂｉ2 Ｏ3 が０．５％より少ないとその効果が
なく、６％より多いと失透が生じる。
【００１５】Ａｇ2 Ｏはガラスの低融点化に効果があ
り、その含有量は５．５〜１４％、好ましくは６〜１２
％である。Ａｇ2 Ｏが５．５％より少ないと４００℃以
下の温度での封着が困難になり、１４％より多いとガラ
スが失透してしまう。
り、その含有量は５．５〜１４％、好ましくは６〜１２
％である。Ａｇ2 Ｏが５．５％より少ないと４００℃以
下の温度での封着が困難になり、１４％より多いとガラ
スが失透してしまう。
【００１６】ＺｎＯはガラスを安定化させる成分であ
り、その含有量は０〜２％である。ＺｎＯが２％より多
くなるとガラスに失透が生じる。
り、その含有量は０〜２％である。ＺｎＯが２％より多
くなるとガラスに失透が生じる。
【００１７】Ａｌ2 Ｏ3 はガラスを安定化させる成分で
あり、その含有量は０〜２％である。Ａｌ2 Ｏ3 が２％
より多くなると軟化温度が高くなる。
あり、その含有量は０〜２％である。Ａｌ2 Ｏ3 が２％
より多くなると軟化温度が高くなる。
【００１８】Ｖ2 Ｏ5 はガラスを安定化させる成分であ
り、その含有量は０〜６％である。Ｖ2 Ｏ5 が６％より
多いと焼成時に発泡が生じ、気密封着できなくなる。
り、その含有量は０〜６％である。Ｖ2 Ｏ5 が６％より
多いと焼成時に発泡が生じ、気密封着できなくなる。
【００１９】以上の組成を有する封着用組成物は、ガラ
スが安定しており、また軟化温度が低いため、４００℃
以下の低い温度での焼成が可能である。ところで被封着
物の種類によっては熱膨張係数が整合しないことがあ
る。また封着用組成物が流動し過ぎて良好な封着形状が
得られない場合、或いは機械的強度が不足する場合があ
る。このような場合は耐火性フィラー粉末を添加してこ
れらの特性を改善することができる。
スが安定しており、また軟化温度が低いため、４００℃
以下の低い温度での焼成が可能である。ところで被封着
物の種類によっては熱膨張係数が整合しないことがあ
る。また封着用組成物が流動し過ぎて良好な封着形状が
得られない場合、或いは機械的強度が不足する場合があ
る。このような場合は耐火性フィラー粉末を添加してこ
れらの特性を改善することができる。
【００２０】本発明において、耐火性フィラー粉末を使
用する場合、その割合はガラス粉末５０〜９５体積％、
耐火性フィラー粉末５０〜５体積％、特にガラス粉末５
５〜９０体積％、耐火性フィラー粉末４５％〜１０体積
％であることが望ましい。ガラス粉末と耐火性フィラー
粉末の割合をこのように限定した理由は次の通りであ
る。ガラス粉末が５０体積％より少ない、即ち耐火性フ
ィラー粉末が５０体積％より多いと封着用組成物の流動
性が低下して良好な封着形状が得られなくなかったり、
緻密な焼成体が得難くなるためである。一方、ガラス粉
末が９５体積％より多い、即ち耐火性フィラー粉末が５
体積％より少ないと上記した効果が得難くなる。
用する場合、その割合はガラス粉末５０〜９５体積％、
耐火性フィラー粉末５０〜５体積％、特にガラス粉末５
５〜９０体積％、耐火性フィラー粉末４５％〜１０体積
％であることが望ましい。ガラス粉末と耐火性フィラー
粉末の割合をこのように限定した理由は次の通りであ
る。ガラス粉末が５０体積％より少ない、即ち耐火性フ
ィラー粉末が５０体積％より多いと封着用組成物の流動
性が低下して良好な封着形状が得られなくなかったり、
緻密な焼成体が得難くなるためである。一方、ガラス粉
末が９５体積％より多い、即ち耐火性フィラー粉末が５
体積％より少ないと上記した効果が得難くなる。
【００２１】なお、耐火性フィラー粉末としては種々の
ものが使用でき、例えばチタン酸鉛、ケイ酸亜鉛、酸化
錫、ジルコン、コージエライト、β−ユークリプタイ
ト、アルミナ、石英ガラス等を単独或いは２種以上混合
して使用することができる。
ものが使用でき、例えばチタン酸鉛、ケイ酸亜鉛、酸化
錫、ジルコン、コージエライト、β−ユークリプタイ
ト、アルミナ、石英ガラス等を単独或いは２種以上混合
して使用することができる。
【００２２】
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明の低融点封着
用組成物を説明する。
用組成物を説明する。
【００２３】表１は、本発明のガラス粉末からなる封着
用組成物を示すものである。なお表中の試料Ｇは参考例
であり、従来より使用されているＴｌ2 Ｏ含有ガラスを
示している。
用組成物を示すものである。なお表中の試料Ｇは参考例
であり、従来より使用されているＴｌ2 Ｏ含有ガラスを
示している。
【００２４】
【表１】
【００２５】各試料は次のようにして調製した。まず表
に示す割合になるように酸化鉛、ホウ酸、二酸化珪素、
酸化ビスマス、酸化銀、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、
五酸化バナジウム、炭酸バリウム、及び酸化タリウムを
調合し、白金坩堝に入れて８００℃で１時間溶融してガ
ラス化した後、フィルム状に成形した。次いでこれをボ
ールミルで粉砕した後、篩を通して分級し、平均粒径４
〜５μｍの粉末状の試料を得た。
に示す割合になるように酸化鉛、ホウ酸、二酸化珪素、
酸化ビスマス、酸化銀、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、
五酸化バナジウム、炭酸バリウム、及び酸化タリウムを
調合し、白金坩堝に入れて８００℃で１時間溶融してガ
ラス化した後、フィルム状に成形した。次いでこれをボ
ールミルで粉砕した後、篩を通して分級し、平均粒径４
〜５μｍの粉末状の試料を得た。
【００２６】このようにして得られた試料について、示
差熱分析計（ＤＴＡ）によりガラス転移点を求めた。ま
た屈伏点及び熱膨張係数は４０×４ｍｍφに成形したガ
ラスカレットを用いて押し棒式熱膨張計により測定し
た。
差熱分析計（ＤＴＡ）によりガラス転移点を求めた。ま
た屈伏点及び熱膨張係数は４０×４ｍｍφに成形したガ
ラスカレットを用いて押し棒式熱膨張計により測定し
た。
【００２７】表から明らかなように、本発明の実施例で
ある試料Ａ〜Ｆはガラス転移点が２４６〜２８３℃、屈
伏点が２６５〜３０２℃であり、また３０〜２００℃に
おける熱膨張係数が１１１〜１２３×１０-7／℃であっ
た。なおＴｌ2 Ｏを含む試料Ｇはガラス転移点が２３５
℃、屈伏点が２８０℃、３０〜２００℃における熱膨張
係数が１３０×１０-7／℃であった。
ある試料Ａ〜Ｆはガラス転移点が２４６〜２８３℃、屈
伏点が２６５〜３０２℃であり、また３０〜２００℃に
おける熱膨張係数が１１１〜１２３×１０-7／℃であっ
た。なおＴｌ2 Ｏを含む試料Ｇはガラス転移点が２３５
℃、屈伏点が２８０℃、３０〜２００℃における熱膨張
係数が１３０×１０-7／℃であった。
【００２８】表２及び表３は、試料Ａ〜Ｆと耐火性フィ
ラー粉末とを混合して作製した本発明の実施例（試料Ｎ
ｏ．１〜９）及び試料Ｇと耐火性フィラー粉末とを混合
して作製した参考例（試料Ｎｏ．１０）をそれぞれ示す
ものである。
ラー粉末とを混合して作製した本発明の実施例（試料Ｎ
ｏ．１〜９）及び試料Ｇと耐火性フィラー粉末とを混合
して作製した参考例（試料Ｎｏ．１０）をそれぞれ示す
ものである。
【００２９】
【表２】
【００３０】
【表３】
【００３１】表２及び表３から明らかなように、本発明
の実施例である試料Ｎｏ．１〜９は、ガラス転移点が２
４５〜２８８℃、３０〜２００℃における熱膨張係数が
６５〜９５×１０-7／℃であり、また何れの試料も参考
例である試料Ｎｏ．１０と同様に３８０℃１０分の焼成
条件で良好な接着性を示した。
の実施例である試料Ｎｏ．１〜９は、ガラス転移点が２
４５〜２８８℃、３０〜２００℃における熱膨張係数が
６５〜９５×１０-7／℃であり、また何れの試料も参考
例である試料Ｎｏ．１０と同様に３８０℃１０分の焼成
条件で良好な接着性を示した。
【００３２】これらの事実は、本発明の低融点封着用組
成物が、Ｔｌ2 Ｏを含有しなくとも３８０℃で焼成可能
であること、及び耐火性フィラー粉末の種類や添加量を
調節することにより、所望の熱膨張係数が得られ、種々
の材料の封着や接着に利用できることを示している。
成物が、Ｔｌ2 Ｏを含有しなくとも３８０℃で焼成可能
であること、及び耐火性フィラー粉末の種類や添加量を
調節することにより、所望の熱膨張係数が得られ、種々
の材料の封着や接着に利用できることを示している。
【００３３】なおガラス転移点は示差熱分析（ＤＴＡ）
により求めた。熱膨張係数は、試料を３８０℃で１０分
間焼成し、４０×４ｍｍφに研磨した後、押し棒式熱膨
張計を用いて測定した。また接着性については次のよう
にして評価した。まず各試料とビークル（ニトロセルロ
ース１重量％の酢酸イソアミル溶液）とを重量比で１
０：１の割合で混練し、スラリーを得た。次に得られた
スラリーを試料Ｎｏ．１、２、４及び５についてはガラ
ス板（熱膨張係数８６×１０-7／℃）に、試料Ｎｏ．６
及び７についてはアルミナ板（熱膨張係数７０×１０-7
／℃）に、また試料Ｎｏ３、８及び９については圧延鋼
板（熱膨張係数１２０×１０-7／℃）にそれぞれ塗布し
た後、１２０℃で３０分間乾燥させた。続いて同種の板
をその上に乗せ、３８０℃で１０分間焼成した後、接着
力を評価した。なお評価は、作成したサンプルを１ｍの
高さから自然落下させて剥離が生じなかったものを良好
とした。
により求めた。熱膨張係数は、試料を３８０℃で１０分
間焼成し、４０×４ｍｍφに研磨した後、押し棒式熱膨
張計を用いて測定した。また接着性については次のよう
にして評価した。まず各試料とビークル（ニトロセルロ
ース１重量％の酢酸イソアミル溶液）とを重量比で１
０：１の割合で混練し、スラリーを得た。次に得られた
スラリーを試料Ｎｏ．１、２、４及び５についてはガラ
ス板（熱膨張係数８６×１０-7／℃）に、試料Ｎｏ．６
及び７についてはアルミナ板（熱膨張係数７０×１０-7
／℃）に、また試料Ｎｏ３、８及び９については圧延鋼
板（熱膨張係数１２０×１０-7／℃）にそれぞれ塗布し
た後、１２０℃で３０分間乾燥させた。続いて同種の板
をその上に乗せ、３８０℃で１０分間焼成した後、接着
力を評価した。なお評価は、作成したサンプルを１ｍの
高さから自然落下させて剥離が生じなかったものを良好
とした。
【００３４】また使用した耐火性フィラー粉末は、ケイ
酸亜鉛については２５０メッシュパス品を、チタン酸鉛
と酸化錫については３５０メツシュパス品を使用した。
酸亜鉛については２５０メッシュパス品を、チタン酸鉛
と酸化錫については３５０メツシュパス品を使用した。
【００３５】
【発明の効果】本発明の低融点封着用組成物は、有害物
質や焼成時に揮発する成分をガラス中に含有することな
く、４００℃以下の温度で焼成することができる。また
耐火性フィラー粉末の種類及び含有量を適当に調節する
ことにより、ガラス、セラミックス、金属等に整合する
熱膨張係数にすることが可能である。
質や焼成時に揮発する成分をガラス中に含有することな
く、４００℃以下の温度で焼成することができる。また
耐火性フィラー粉末の種類及び含有量を適当に調節する
ことにより、ガラス、セラミックス、金属等に整合する
熱膨張係数にすることが可能である。
【００３６】それゆえ蛍光表示管の本体の組立や排気口
用金属キャップの接着、ＩＣや水晶振動子搭載用のセラ
ミックスパッケージの気密封着等、種々の電子部品の接
着用や封着用として好適である。
用金属キャップの接着、ＩＣや水晶振動子搭載用のセラ
ミックスパッケージの気密封着等、種々の電子部品の接
着用や封着用として好適である。
Claims (2)
- 【請求項１】 重量百分率でＰｂＯ７０〜８５％、Ｂ2
Ｏ3 ５〜１５％、ＳｉＯ2 ０．１〜１．５％、Ｂｉ2 Ｏ
3 ０．５〜６％、Ａｇ2 Ｏ５．５〜１４％、ＺｎＯ０〜
２％、Ａｌ2 Ｏ3 ０〜２％、Ｖ2 Ｏ5 ０〜６％からなる
ことを特徴とする低融点封着用組成物。 - 【請求項２】 重量百分率でＰｂＯ７０〜８５％、Ｂ2
Ｏ3５〜１５％、ＳｉＯ2０．１〜１．５％、Ｂｉ2Ｏ
3０．５〜６％、Ａｇ2Ｏ５．５〜１４％、ＺｎＯ０〜２
％、Ａｌ2Ｏ3０〜２％、Ｖ2Ｏ5０〜６％からなるガラス
粉末５０〜９５体積％と、耐火性フィラー粉末５０〜５
体積％とからなることを特徴とする低融点封着用組成
物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21215894A JP3424218B2 (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 低融点封着用組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21215894A JP3424218B2 (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 低融点封着用組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0859293A JPH0859293A (ja) | 1996-03-05 |
| JP3424218B2 true JP3424218B2 (ja) | 2003-07-07 |
Family
ID=16617865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21215894A Expired - Fee Related JP3424218B2 (ja) | 1994-08-12 | 1994-08-12 | 低融点封着用組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3424218B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012047044A2 (ko) * | 2010-10-07 | 2012-04-12 | (주)엘지하우시스 | 진공 유리 패널 및 그 제조방법 |
-
1994
- 1994-08-12 JP JP21215894A patent/JP3424218B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0859293A (ja) | 1996-03-05 |
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