JP3421321B2 - 放電表面処理用圧粉体電極および放電表面処理用圧粉体電極の製造方法 - Google Patents

放電表面処理用圧粉体電極および放電表面処理用圧粉体電極の製造方法

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JP3421321B2
JP3421321B2 JP2000535784A JP2000535784A JP3421321B2 JP 3421321 B2 JP3421321 B2 JP 3421321B2 JP 2000535784 A JP2000535784 A JP 2000535784A JP 2000535784 A JP2000535784 A JP 2000535784A JP 3421321 B2 JP3421321 B2 JP 3421321B2
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discharge surface
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昭弘 後藤
俊夫 毛呂
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Mitsubishi Electric Corp
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    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/12Both compacting and sintering
    • B22F3/14Both compacting and sintering simultaneously
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C26/00Coating not provided for in groups C23C2/00 - C23C24/00

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】この発明は、放電表面処理用圧粉体電極お
よび放電表面処理用圧粉体電極の製造方法に関し、特
に、ワークの表面に硬質被膜を形成するための放電表面
処理で使用される圧粉体電極(放電電極)およびその圧
粉体電極の製造方法に関するものである。
【0002】
【背景技術】圧粉体電極を使用し、放電加工油等の加工
液中において、圧粉体電極とワークとの間にパルス状の
放電を発生させ、その放電エネルギによりワークの表面
に電極材料もしくは電極材料が放電エネルギにより反応
して生成されるTiC等の金属炭化物等の物質からなる
硬質被膜を成形する放電表面処理方法は、特開平9−1
9829号公報に示されている。
【0003】一般に、圧粉体電極は、ダイ型内にTi等
の金属の粉末を装填し、パンチによってダイ型内の金属
粉末を加圧・圧縮することにより、金属粉末が固まるこ
とを利用して加圧成形される。圧粉体電極は、金属粉末
を用いていても、特開昭56−126535号公報や特
開昭62−127448号公報に示されている放電加工
用電極とは異なって焼結を行わないから、最終電極強度
や電気抵抗は加圧成形完了時の状態により決まる。
【0004】このため、所要の最終電極強度や電気抵抗
を得るためには、圧粉体電極は成形圧は、約5tonf
/cm2 程度の圧力が必要である。これより成形圧が低
くなると、出来上がった電極の強度が不充分であった
り、電極の電気抵抗が著しく大きくなり、放電表面処理
の圧粉体電極として適切に使用できない。
【0005】しかし、一方では、このような大きな成形
圧によって電極成形を行うと、金型にかかる圧力も大き
くなるために、成形後に圧粉体電極を金型より取り出す
際に、圧粉体電極を傷つけたり、破損したりすることが
あり、圧粉体電極の製造の歩留まりが悪い。上述のよう
に、放電表面処理用圧粉体電極の加圧成形に大きな成形
圧を必要とする原因は、TiC等の金属炭化物の粒子だ
けでは粒子の結合構造が荒いと云うことと、金型に粉末
が均等に入らないことが大きな原因になっている。
【0006】この発明は、上述の如き問題点を解消する
ためになされたもので、比較的小さな成形圧による成形
により放電表面処理用圧粉体電極として必要な電極強度
や電気抵抗値を有し、製造の歩留まりがよい放電表面処
理用圧粉体電極および放電表面処理用圧粉体電極の製造
方法を提供することを目的としている。
【0007】
【発明の開示】この発明は、金属粉末あるいは金属化合
物粉末を加圧成形した圧粉体電極とワークとの間に放電
を発生させ、放電エネルギによってワーク表面に電極材
料あるいは電極材料が放電エネルギにより反応した物質
からなる被膜を形成する放電表面処理で使用される放電
表面処理用圧粉体電極において、金属粉末あるいは金属
化合物粉末にAg、Au、Pb、Inのうちの少なくと
も一つの粉末を混合して加圧成形されている放電表面処
理用圧粉体電極を提供することができる。従って、圧粉
体電極を加圧成形する際に金属粉末あるいは金属化合物
粉末の粒子間の隙間に軟質金属粉末がつなぎ剤として入
り込み、軟質金属粉末が粒子間形状に倣って塑性変形し
て粉体による電極を固め、電極の電気抵抗を低くする。
これにより、低い成形圧による成形によっても放電表面
処理用圧粉体電極として必要な電極強度や電気抵抗値が
得られる。
【0008】また、この発明は、金属粉末あるいは金属
化合物粉末を加圧成形した圧粉体電極とワークとの間に
放電を発生させ、放電エネルギによってワーク表面に電
極材料あるいは電極材料が放電エネルギにより反応した
物質からなる被膜を形成する放電表面処理で使用される
放電表面処理用圧粉体電極において、金属粉末あるいは
金属化合物粉末に接着剤を混入して成形型により加圧成
形されている放電表面処理用圧粉体電極を提供すること
ができる。従って、金属粉末あるいは金属化合物粉末が
接着剤によって接着結合し、粉体による電極を固め、電
気の電気抵抗を低くする。これにより、低い成形圧によ
る成形によっても放電表面処理用圧粉体電極として必要
な電極強度や電気抵抗値が得られる。
【0009】また、この発明は、前記接着剤がエポキシ
樹脂やフェノール樹脂等、炭素を含む高分子系の接着剤
である放電表面処理用圧粉体電極を提供することができ
る。従って、放電表面処理において、金属粉末あるいは
金属化合物粉末と加工液中の炭素との反応に加えて、金
属粉末あるいは金属化合物粉末と接着剤中の炭素とが反
応し、硬質の炭化金属皮膜が得られる。
【0010】また、この発明は、金属粉末あるいは金属
化合物粉末を加圧成形した圧粉体電極とワークとの間に
放電を発生させ、放電エネルギによってワーク表面に電
極材料あるいは電極材料が放電エネルギにより反応した
物質からなる被膜を形成する放電表面処理で使用される
圧粉体電極の製造方法において、金属粉末あるいは金属
化合物粉末にAg、Au、Pb、Inのうちの少なくと
も一つの粉末を混合して成形型により加圧成形する放電
表面処理用圧粉体電極の製造方法を提供することができ
る。従って、圧粉体電極を加圧成形する際に金属粉末あ
るいは金属化合物粉末の粒子間の隙間に軟質金属粉末が
つなぎ剤として入り込み、軟質金属粉末が粒子間形状に
倣って塑性変形して粉体による電極を固め、電極の電気
抵抗を低くする。これにより、低い成形圧による成形に
よっても放電表面処理用圧粉体電極として必要な電極強
度や電気抵抗値が得られる。
【0011】また、この発明は、金属粉末あるいは金属
化合物粉末を加圧成形した圧粉体電極とワークとの間に
放電を発生させ、放電エネルギによってワーク表面に電
極材料あるいは電極材料が放電エネルギにより反応した
物質からなる被膜を形成する放電表面処理で使用される
圧粉体電極の製造方法において、成形型に振動を加えな
がら金属粉末あるいは金属化合物粉末を成形型内に装填
し、成形型により加圧成形する放電表面処理用圧粉体電
極の製造方法を提供することができる。このような振動
充填の場合、例えば、充填量としては数g〜数100
g、振動充填時間としては数10秒、粒子径としては1
〜50μm、振幅5μm以上、振動数10Hz以上であ
る。 従って、振動充填により、金属粉末あるいは金属化合
物粉末の成形型に対する装填密度が高密度になり、成形
型内に金属粉末あるいは金属化合物粉末が均等に入るよ
うになる。これにより、低い成形圧による成形によって
も放電表面処理用圧粉体電極として必要な電極強度や電
気抵抗値が得られる。
【0012】また、この発明は、成形型に超音波振動を
与える放電表面処理用圧粉体電極の製造方法を提供する
ことができる。従って、超音波振動充填により、金属粉
末あるいは金属化合物粉末の成形型に対する装填密度が
効率よく高密度になり、成形型内に金属粉末あるいは金
属化合物粉末が均等に入るようになる。これにより、低
い成形圧による成形によっても放電表面処理用圧粉体電
極として必要な電極強度や電気抵抗値が得られる。
【0013】また、この発明は、金属粉末あるいは金属
化合物粉末を加圧成形した圧粉体電極とワークとの間に
放電を発生させ、放電エネルギによってワーク表面に電
極材料あるいは電極材料が放電エネルギにより反応した
物質からなる被膜を形成する放電表面処理で使用される
圧粉体電極の製造方法において、金属粉末あるいは金属
化合物粉末に接着剤を混入して成形型により加圧成形す
る放電表面処理用圧粉体電極の製造方法を提供すること
ができる。従って、金属粉末あるいは金属化合物粉末が
接着剤によって接着結合し、粉体による電極を固め、電
極の電気抵抗を低くする。これにより、低い成形圧によ
る成形によっても放電表面処理用圧粉体電極として必要
な電極強度や電気抵抗値が得られる。
【0014】また、この発明は、前記接着剤は、エポキ
シ樹脂やフェノール樹脂等、炭素を含む高分子系の接着
剤である放電表面処理用圧粉体電極の製造方法を提供す
ることができる。従って、放電表面処理において、金属
粉末あるいは金属化合物粉末と加工液中の炭素との反応
に加えて、金属粉末あるいは金属化合物粉末と接着剤中
の炭素とが反応し、硬質の炭化金属皮膜が得られる。
【0015】
【発明を実施するための最良の形態】この発明に係る好
適な実施の形態を添付図面を参照して説明する。 実施の形態1. 第1図はこの発明による放電表面処理用圧粉体電極のミ
クロ構造を模式的に示している。この発明による放電表
面処理用圧粉体電極10は、金属炭化物等、放電表面処
理により生成される硬質被膜の主成分になる金属あるい
は金属の化合物の粉末(以下、金属粉末と略称する)1
1と軟質金属粉末12との混合粉末13を成形型により
電極形状に加圧成形したものである。
【0016】金属粉末11としてはTiH2 (水素化チ
タン)粉末があり、軟質金属粉末12としてはAg粉末
がある。この場合の金属粉末11の粒径は1〜40μm
程度、軟質金属粉末12の粒径は1〜100μm程度で
あればよく、金属粉末11と軟質金属粉末12の混合比
は、重量%で10:1程度であればよい。
【0017】この放電表面処理用圧粉体電極10の加圧
成形は、第2図に示されているようなプレスのパンチ5
0とダイプレート51上に固定されたダイ52とを使用
し、ダイ52内に金属粉末11と軟質金属粉末12との
混合粉末13を装填し、パンチ50により加圧すること
により行う。TiH2 等の金属粉末11にAg等の軟質
金属粉末12が混入された状態で、放電表面処理用圧粉
体電極10の加圧成形が行われることにより、電極成形
圧を2tonf/cm2 程度にまで下げても圧粉体電極
10がしっかりと固まり、放電表面処理用圧粉体電極と
して必要な電極強度および電気抵抗が得られる。
【0018】軟質金属粉末12は、圧粉体電極10を加
圧成形する際に金属粉末11の粒子間の隙間につなぎ剤
として入り込んで、粒子間形状に倣って塑性変形し、電
極を固める効果と、電極の電気抵抗を低くする効果があ
る。特に、電気抵抗が低いAg粉末の混入により、圧粉
体電極10の電気抵抗が充分に低い値に保たれる。これ
により、低い成形圧をもって放電表面処理用圧粉体電極
として必要な電極強度や電気抵抗値を有する放電表面処
理用圧粉体電極10が加圧成形され、金型にかかる圧力
が低減することになり、成形後に圧粉体電極10を金型
より取り出す際に、圧粉体電極10を傷つけたり、破損
したりする可能性が少なくなり、圧粉体電極10の製造
の歩留まりが改善される。
【0019】また、電極成形圧が低くなると、金型に押
し付けられる力が小さくなるため、厚みの大きな圧粉体
電極や、細くて長い圧粉体電極の成形が可能になる。T
iH2 の粉末にAg粉末を混入した圧粉体電極10で
は、放電エネルギによる加工液中の炭素との反応により
TiCによる良質な硬質皮膜が得られる。
【0020】なお、TiH2 の粉末にAg粉末を混入し
て2tonf/cm2 程度で加圧成形したこの発明よる
圧粉体電極と、Agを混入せずに5tonf/cm2
加圧成形した従来の圧粉体電極とで、同じ条件で放電表
面処理を行ったところ、被膜の性質は、双方とも、ビッ
カス硬さで2500HV程度、密着力は強固、被膜厚さ
は5μm程度であり、全く変わらなかった。
【0021】圧粉体電極10の金属粉末11としては、
TiH2 以外に、WCなどの金属炭化物等があり、金属
粉末11に混入する軟質金属粉末12としては、Ag以
外に、Au、Ag、Pb、Sn、In、Niなどの軟質
金属があり、さらにセラミックスの粉末を混入すること
もできる。
【0022】実施の形態2. 第3図は、この発明による放電表面処理用圧粉体電極の
製造方法の実施に使用される製造装置の実施の形態を示
している。この実施の形態では、ダイプレート51が加
振器53上に設置されている。ダイ52内にTiH2
の金属粉末11を装填する際に、加振器53によってダ
イ52に振動を与え、振動させながら金属粉末11をダ
イ52内に入れる。これにより、金属粉末11の装填密
度が高密度になり、ダイ52内に金属粉末11が均等に
入るようになる。
【0023】加振器53は超音波振動を与えるようなも
のでもよいし、もっと周期の大きな振動を与えるもので
もよい。ただし、超音波振動を与えた方が金属粉末を高
密度で充填する効果は大きい。また、加振器53の代わ
りに、ハンマー等で金型をたたいて振動させるような方
式でもよい。加振器53を使用した場合と使用しなかっ
た場合とで金型に金属粉末11を一杯に充填した場合の
粉末重量を比較したところ、加振器53を使用した場合
には、使用しなかった場合の1.3倍の量を入れること
ができた。
【0024】これにより、成形圧を少しさげても、所要
の圧粉体電極がきれいに成形できることが確認できた。
通常、加振器53を使用しないで圧粉体電極を加圧成形
する場合、5tonf/cm2 程度の圧力で成形する必
要があるが、加振器53を使用した場合には、4ton
f/cm2 まで成形圧力を下げても問題なく圧粉体電極
を成形することができた。
【0025】これにより、成形後に圧粉体電極を金型よ
り取り出す際に、圧粉体電極を傷つけたり、破損したり
する可能性が少なくなり、圧粉体電極の製造の歩留まり
が改善される。なお、この製造方法は、金属粉末11と
軟質金属粉末12との混合粉末13を使用する場合でも
適用でき、同等の効果を得ることができる。
【0026】実施の形態3. 第4図は、この発明による放電表面処理用圧粉体電極の
ミクロ構造を模式的に示している。この発明による放電
表面処理用圧粉体電極20は、金属炭化物等、放電表面
処理により生成される硬質被膜の主成分になる金属ある
いは金属の化合物の粉末、さらにはセラミックス粉末を
混入したもの(以下、金属粉末と略称する)21に接着
剤22を混入して成形型により電極形状に加圧成形した
ものである。接着剤22としては、エポキシ樹脂やフェ
ノール樹脂等、炭素を含む高分子系の接着剤がある。
【0027】この放電表面処理用圧粉体電極20の加圧
成形も、第2図に示されているようなプレスのパンチ5
0とダイプレート51上に固定されたダイ52とを使用
し、ダイ52内に、金属粉末21に接着剤22を混入し
たものを装填し、パンチ50により加圧することにより
行う。接着剤22は金属粉末21を相互に接着結合し、
所要の電極強度を得るように作用する。TiH2 による
金属粉末21の場合、電極成形圧を2tonf/cm2
以下に下げても接着剤22によって圧粉体電極20がし
っかりと固まり、放電表面処理用圧粉体電極として必要
な電極強度および電気抵抗が得られる。
【0028】これにより、低い成形圧をもって放電表面
処理用圧粉体電極として必要な電極強度や電気抵抗値を
有する放電表面処理用圧粉体電極20が加圧成形され、
金型にかかる圧力が低減することになり、成形後に圧粉
体電極20を金型より取り出す際に、圧粉体電極20を
傷つけたり、破損したりする可能性が少なくなり、圧粉
体電極20の製造の歩留まりが改善される。また、接着
剤22が混入されると、電極を固めるという作用の他
に、放電表面処理により形成する被膜の硬さを高くする
作用も得られる。
【0029】例えば、TiH2 の金属粉末による圧粉体
電極として使用する場合には、被膜の主成分はTiCに
なるが、これは電極中のTiと加工液中の成分である炭
素Cが反応してTiCを生成するためである。この場
合、炭素の供給量が圧粉体電極の消耗量より多い場合に
は、TiCにならない未反応のTiが被膜中に残り、被
膜の硬さを低下させる原因になる。
【0030】接着剤は、炭素C、水素H、酸素Oなどか
らなる物質であるため、放電の熱エネルギにより分解さ
れ、水素は主に水H2 Oあるいは水素ガスH2 に、酸素
は水H2 O、二酸化炭素水CO2 に、炭素は二酸化炭素
CO2 、炭素Cになる。ここで生成した炭素が、圧粉体
電極のTiがTiCに反応する際に使われ、硬質被膜を
形成するのに役立つ。すなわち、金属粉末21と加工液
中の炭素との反応に加えて、金属粉末21と接着剤22
中の炭素との反応により硬質の炭化金属被膜が得られ
る。
【0031】
【産業上の利用可能性】この発明による圧粉体電極は、
硬質被膜を成形する放電表面処理で使用する放電電極に
適している。 [図面の簡単な説明]
【図1】 第1図は、この発明による放電表面処理用圧
粉体電極のミクロ構造の一例を模式的に示す模式図であ
る。
【図2】 第2図は、この発明による放電表面処理用圧
粉体電極の製造方法の実施に使用する製造装置の一例を
示す断面図である。
【図3】 第3図は、この発明による放電表面処理用圧
粉体電極の製造方法の実施に使用する製造装置の他の例
を示す断面図である。
【図4】 第4図は、この発明による放電表面処理用圧
粉体電極のミクロ構造の他の例を模式的に示す模式図で
ある。

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属粉末あるいは金属化合物粉末を加圧
    成形した圧粉体電極とワークとの間に放電を発生させ、
    放電エネルギによってワーク表面に電極材料あるいは電
    極材料が放電エネルギにより反応した物質からなる被膜
    を形成する放電表面処理で使用される放電表面処理用圧
    粉体電極において、金属粉末あるいは金属化合物粉末に
    Ag、Au、Pb、Inのうちの少なくとも一つの粉末
    を混合して加圧成形されていることを特徴とする放電表
    面処理用圧粉体電極。
  2. 【請求項2】 金属粉末あるいは金属化合物粉末を加圧
    成形した圧粉体電極とワークとの間に放電を発生させ、
    放電エネルギによってワーク表面に電極材料あるいは電
    極材料が放電エネルギにより反応した物質からなる被膜
    を形成する放電表面処理で使用される放電表面処理用圧
    粉体電極において、金属粉末あるいは金属化合物粉末に
    接着剤を混入して成形型により加圧成形されていること
    を特徴とする放電表面処理用圧粉体電極。
  3. 【請求項3】 前記接着剤は、エポキシ樹脂やフェノー
    ル樹脂等、炭素を含む高分子系の接着剤であることを特
    徴とする請求の範囲第2項記載の放電表面処理用圧粉体
    電極。
  4. 【請求項4】 金属粉末あるいは金属化合物粉末を加圧
    成形した圧粉体電極とワークとの間に放電を発生させ、
    放電エネルギによってワーク表面に電極材料あるいは電
    極材料が放電エネルギにより反応した物質からなる被膜
    を形成する放電表面処理で使用される圧粉体電極の製造
    方法において、金属粉末あるいは金属化合物粉末にA
    g、Au、Pb、Inのうちの少なくとも一つの粉末を
    混合して成形型により加圧成形することを特徴とする放
    電表面処理用圧粉体電極の製造方法。
  5. 【請求項5】 金属粉末あるいは金属化合物粉末を加圧
    成形した圧粉体電極とワークとの間に放電を発生させ、
    放電エネルギによってワーク表面に電極材料あるいは電
    極材料が放電エネルギにより反応した物質からなる被膜
    を形成する放電表面処理で使用される圧粉体電極の製造
    方法において、成形型に振動を加えながら金属粉末ある
    いは金属化合物粉末を成形型内に装填し、成形型により
    加圧成形することを特徴とする放電表面処理用圧粉体電
    極の製造方法。
  6. 【請求項6】 成形型に超音波振動を与えることを特徴
    とする請求の範囲第5項記載の放電表面処理用圧粉体電
    極の製造方法。
  7. 【請求項7】 金属粉末あるいは金属化合物粉末を加圧
    成形した圧粉体電極とワークとの間に放電を発生させ、
    放電エネルギによってワーク表面に電極材料あるいは電
    極材料が放電エネルギにより反応した物質からなる被膜
    を形成する放電表面処理で使用される圧粉体電極の製造
    方法において、金属粉末あるいは金属化合物粉末に接着
    剤を混入して成形型により加圧成形することを特徴とす
    る放電表面処理用圧粉体電極の製造方法。
  8. 【請求項8】 前記接着剤は、エポキシ樹脂やフェノー
    ル樹脂等、炭素を含む高分子系の接着剤であることを特
    徴とする請求の範囲第7項記載の放電表面処理用圧粉体
    電極の製造方法。
JP2000535784A 1998-03-11 1998-03-11 放電表面処理用圧粉体電極および放電表面処理用圧粉体電極の製造方法 Expired - Lifetime JP3421321B2 (ja)

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