JP3406722B2 - シャドウマスク用低熱膨張合金 - Google Patents

シャドウマスク用低熱膨張合金

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JP3406722B2 JP02128995A JP2128995A JP3406722B2 JP 3406722 B2 JP3406722 B2 JP 3406722B2 JP 02128995 A JP02128995 A JP 02128995A JP 2128995 A JP2128995 A JP 2128995A JP 3406722 B2 JP3406722 B2 JP 3406722B2
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守弘 長谷川
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【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、耐共振性,黒化膜特
性,耐ガス放出性等が総合的に優れたシャドウマスク用
低熱膨張合金に関する。
【0002】
【従来の技術】カラーテレビ用ブラウン管,OA機器用
ディスプレイ等の受像管には、多数の電子ビーム通過孔
が形成されたシャドウマスクが組み込まれている。電子
銃から射出された電子ビームは、特定の電子ビーム通過
孔を通過し、各色調に応じてそれぞれの蛍光部にビーム
スポットを投影する。シャドウマスク用材料としては、
電子ビーム通過孔が高精度で形成されるようにエッチン
グ性に優れていることが要求される。この点で、低炭素
Alキルド鋼がシャドウマスク用材料として従来から使
用されている。しかし、シャドウマスクは、電子ビーム
の衝突によって加熱され、熱膨張する。熱膨張は、電子
ビーム通過孔を変位させ、電子ビームが所定の蛍光面に
当らなくなるドーミング現象の原因となる。ドーミング
現象は、テレビ,ディスプレイ等の高精密化や高輝度化
に伴って大きな問題となっている。ドーミング現象を抑
制するために、発生原因である熱膨張に起因した電子ビ
ーム通過孔の変位を小さくする低熱膨張特性をもつ材料
の使用が検討されている。たとえば、特開昭61−78
033号公報,特公平4−56107号公報等では、シ
ャドウマスク用材料としてFe−36%Ni系アンバー
合金が紹介されている。
【0003】しかし、Fe−36%Ni系アンバー合金
は、多量のNiを含んでいることから低炭素Alキルド
鋼に比較して素材価格が高いことは勿論、高強度のため
プレス成形性に劣っている。また、エッチング速度が遅
く、黒化膜が生成しにくい。更に近年では、テレビ,デ
ィスプレイ等は、高精密化や高輝度化に加え、大型化や
フラット化する傾向にある。大型化やフラット化に伴
い、スピーカからの振動でシャドウマスクが揺れる共振
現象が大きな問題になっている。この問題に対応する材
料として、耐共振性に優れたシャドウマスク用材料が望
まれている。このような状況下で、Fe−36%Ni系
アンバー合金の特性改善について、これまで種々提案さ
れている。たとえば、特開平5−36491号公報で
は、Cr添加により合金材料の耐力を下げ、プレス成形
性を改善している。また、特公昭64−11103号公
報,特公平6−76650号公報等では、プレス成形性
に加えて、エッチング性や黒化膜特性を改善した合金が
紹介されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来か
ら提案されている改善策によっても、シャドウマスク用
材料に要求される全ての特性を満足させることはできな
い。加えて、シャドウマスク用材料には、優れたエッチ
ング性を付与するために、表面疵が全くない極めて厳し
い表面品質が要求される。また、シャドウマスクから放
出されるガスがあるとブラウン管やディスプレイの寿命
に大きな悪影響を与えるため、耐ガス放出性にも優れて
いることが要求される。本発明は、このような問題を解
消すべく案出されたものであり、低熱膨張特性,エッチ
ング性,耐共振性,黒化膜特性,耐ガス放出特性等にお
いて総合的に優れ、シャドウマスク用材料として好適な
低熱膨張合金を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明のシャドウマスク
用低膨張合金は、その目的を達成するため、Ni:3
5.0〜37.0重量%,Si:0.01〜0.20重
量%,Mn:0.20〜0.50重量%,B:0.00
05〜0.0040重量%,P:0.002〜0.02
0重量%,S:0.003重量%以下,C:0.007
重量%以下,N:0.005重量%以下,O:0.01
5重量%以下及びAl:0.003重量%以下を含み、
残部が実質的にFeの組成をもっている。このシャドウ
マスク用低膨張合金は、X=Cr%+1.67×Si%
+0.97×Mn%で定義されるX値が1.40以下と
なる条件下でCr:0.10〜0.90重量%を含むこ
ともできる。更に、任意成分としてCo:0.01〜
1.0重量%を含む場合もある。
【0006】
【作用】本発明者等は、シャドウマスク用材料に要求さ
れる諸特性について詳細に調査・研究した。その結果、
B或いはBに加えてCrを適量含有させると、Fe−3
6%Ni系合金の耐共振性が向上することを見い出し
た。B或いはBに加えてCrの添加が耐共振性を改善す
る機構は定かでないが、次のように推察される。共振現
象は素材の振動減衰能と相関関係があり、振動減衰能が
大きいほど耐共振性が良好であると考えられている。振
動減衰能は、C,N等の侵入型元素を低減してマトリッ
クスを高純度化するとき増大する。すなわち、耐共振性
を向上させるためには、C,N等の侵入型元素を低減す
ることが有効であるといえる。この点、NがB添加で固
定され、CがCr添加で固定され、結果としてマトリッ
クスが高純度化される。そのため、B或いはBに加えて
Crを適量含有させることにより、Fe−36%Ni系
合金の振動減衰能が増大し、耐共振性が向上する。
【0007】しかし、Bは、軟化焼鈍時にフラットマス
クの表面に濃化し、焼鈍ムラを生じさせ易い元素であ
る。焼鈍ムラは、その後の黒化処理においても黒化膜に
生成ムラを発生させる原因となる。焼鈍ムラの発生は、
Mn,Si及びPを適量含有させることにより抑制でき
る。Mn,Si,P等は、フラットマスクの表面に濃化
し、焼鈍ムラの原因であるBの表面偏析を防止する。そ
の結果、均一で且つ密着性に優れた黒化膜が形成され
る。また、Crは、熱膨張係数を増加させる元素であ
る。過剰量のCrが含まれると、熱膨張係数が大きくな
りすぎ、ドーミング現象が顕著になる。35.0〜3
7.0重量%の範囲でNiを含むFe−Ni系合金の熱
膨張係数を大きくする元素としては、Cr以外にSi及
びMnがある。そこで、Cr,Si及びMnの含有量を
規制することにより耐ドーミング性が改善される。この
とき、式(1)で定義されるX値を1.40以下にする
ことが必要であり、これによって30〜100℃の範囲
における平均熱膨張係数αが20×10-7/℃以下にな
り、耐共振性に加えて耐ドーミング性が向上する。
【0008】本発明が対象とするFe−Ni系合金で
は、放出ガスのなかでもCOガスの放出量が最も多い。
この点、C含有量を0.007重量%以下の極低レベル
に規制するとき、COガスの放出量が非常に少なくな
り、耐ガス放出性に優れたFe−Ni系合金が得られ
る。
【0009】以下、本発明低熱膨張合金に含まれる合金
元素,含有量等を説明する。 Ni:35.0〜37.0重量% Fe−Ni系合金の熱膨張係数を低く維持する上で重要
な合金元素である。Ni含有量が35.0〜37.0重
量%の範囲を外れると熱膨張係数が増加し、ドーミング
現象が顕著になる。 Si:0.01〜0.20重量% 脱酸剤として必要な元素であり、軟化焼鈍後に焼鈍ムラ
の発生を抑制する作用も呈する。これらの効果は、0.
01重量%以上のSi含有で顕著となる。しかし、多量
のSiを含ませると、X値が1.40を超え、ドーミン
グ現象が顕著になる。また、光輝焼鈍後に表面層のSi
濃度が上昇し、黒化膜の黒化度が低下する。したがっ
て、本発明においては、Si含有量の上限を0.20重
量%,好ましくは0.07重量%に規定した。 Mn:0.20〜0.50重量% 熱間加工性を向上させる上で有効な合金元素であり、S
iと同様に軟化焼鈍後に焼鈍ムラの発生を抑制する作用
を呈する。これらの作用を得る上で、0.20重量%以
上のMnを含有させる必要がある。しかし、0.50重
量%を超える多量のMnを含ませると、X値が1.40
を超え、ドーミング現象が顕著になる。
【0010】B:0.0005〜0.0040重量% 耐共振性を向上させる必須の合金元素であり、0.00
05重量%以上のB含有が必要とされる。しかし、0.
0040重量%を超える多量のB含有では、軟化焼鈍後
に焼鈍ムラが生じ易くなり、黒化膜の生成ムラを助長す
る。 P:0.002〜0.020重量% 軟化焼鈍後の焼鈍ムラ発生を抑制し、黒化膜の均一性を
向上させる上で有効な合金元素である。Pの効果は、
0.002重量%以上の含有量で顕著になる。しかし、
0.020重量%を超える多量のPが含まれると、熱間
加工性が劣化する。 S:0.003重量%以下 熱間加工性を劣化させる有害元素であり、Sの混入を厳
しく制限する必要がる。本発明では、S含有量の上限を
0.003重量%に規制した。
【0011】C:0.007重量%以下 耐共振性及び耐ガス放出性を阻害する元素であり、炭化
物の形成によってエッチング穿孔性も低下させる。優れ
たエッチング性を得るためにC含有量を厳しく制限する
必要があり、本発明では、C含有量の上限を0.007
重量%,好ましくは0.005重量%に規制した。 N:0.005重量%以下 耐共振性を阻害する元素であることから、N含有量の上
限を0.005重量%に規制した。 O:0.015重量%以下 酸化物系介在物を形成し、表面品質を低下させると共
に、エッチング性を著しく低下させる。そこで、本発明
においては、O含有量の上限を0.015重量%,好ま
しくは0.07重量%に規制した。 Al:0.003重量%以下 表面疵の原因となるAl23 系介在物を形成し、表面
品質を著しくていかさせる。そのため、Al含有量は厳
しく制限する必要があり、本発明では、Al含有量の上
限を0.003重量%に規制した。
【0012】Cr:0.10〜0.90重量% 必要に応じて添加される元素であり、Bと共に耐共振性
を向上させる効果を奏する。Cr添加の効果は、0.1
0重量%以上の含有量で顕著になる。しかし、0.90
重量%を超える多量のCrを含有させると、X値が1.
40を超え、ドーミング現象が激しくなる。 Co:0.01〜1.0重量% 必要に応じて添加される元素であり、熱膨張係数を低下
させると共に、エッチング性を向上させる。0.01重
量%以上のCoを含ませると、これらの効果が顕著にな
る。しかし、1.0重量%を超える多量のCo含有は、
Fe−Ni系合金のコストを上昇させるばかりでなく、
低温における機械的性質を劣化させる。 X値(X=Cr%+1.67×Si%+0.97×Mn
%):1.40以下 ドーミング現象に悪影響を与える指標であり、X値が
1.40以下になるように成分調整するとき、得られた
Fe−Ni系合金の平均熱膨張係数αが20×10-7
℃以下に抑えられる。その結果、シャドウマスクとして
使用されるとき、高温状態でも電子ビーム通過孔の変位
が少なく、ドーミング現象が実質的になくなる。
【0013】
【実施例】表1に示すFe−Ni系合金をVODプロセ
スで溶製し、分塊工程を経て板厚6mmの熱延コイルを
製造した。熱延コイルを1100℃で焼鈍した後、酸洗
し、疵取りした。次いで、冷延し、860℃で仕上げ焼
鈍を施し、仕上げ冷延によって板厚0.2mmの冷延コ
イルを得た。
【0014】
【表1】
【0015】各冷延コイルから切り出した試験片をエッ
チング加工し、フラットマスクを得た。次いで、露点+
25℃のH2 +N2 混合ガス中で900℃に加熱する軟
化焼鈍を施した後、200℃で所定の球面にプレス成形
し、露点+30℃のDXガス中で600℃に15分加熱
する黒化処理を施した。黒化処理後の材料について、耐
共振性,耐ガス放出性及び黒化膜特性を調査した。調査
結果を、表2に示す。耐共振性試験では、15個/mm
2 のエッチング孔(丸孔)を開けた600mm角の試験
片の一端をバイスで挟み、スピーカで周波数150〜2
00ヘルツの振動を与え、そのときの試験片のブレ量を
レーザ変位計で測定した。そして、μm単位で測定した
ブレ量を耐共振性として表した。耐ガス放出性試験で
は、試験片を真空チャンバ内にセットし、昇温速度50
℃/分で昇温し、800℃に60分間保持したときのC
Oガス放出特性を四重極質量分析計で測定した。全圧と
CO分圧,排気速度(0.17m3 /秒)及び測定時間
から、放出ガス量をPa・m3 単位で算出した。表2に
は、このようにして算出された放出ガス量を耐ガス放出
性として表している。黒化膜特性については、黒化膜に
発生するムラの有無を観察し、密着曲げ後のR部のテー
プ剥離試験によって密着性を調査した。そして、黒化膜
にムラが発生せず且つテープ剥離試験で黒化膜が剥離し
なかったものを○,黒化膜にムラが発生したもの、或い
はテープ剥離試験で黒化膜が剥離したものを×として評
価した。また、仕上げ冷延後に表面傷を検査することに
より、表面品質を調査した。調査結果を、表2に併せ示
す。
【0016】
【表2】
【0017】表2から明らかなように、本発明で規定す
る条件を満足するBグループのFe−Ni系合金は、従
来のFe−Ni系合金(Aグループ)に比較してブレ量
が極端に少なく、耐共振性に優れていた。また、表面品
質,耐ガス放出性及び黒化膜特性の何れにおいても良好
であり、シャドウマスク用材料として総合的に優れた性
能を持つものであることが判った。これに対し、B,M
n,Cr,Al及びC何れかの含有量が本発明で規定し
た範囲を外れるCグループのFe−Ni系合金は、黒化
膜特性,耐ドーミング性及び耐ガス放出性の何れか或い
は複数が劣っていた。
【0018】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の低熱膨
張合金は、各合金成分の含有量を調製することにより、
シャドウマスク用材料として要求される諸特性を総合的
に満足する。特に、耐共振性,黒化膜特性及び耐ガス放
出性に優れているので、高精密化,高輝度化,大型化,
フラット化が著しい傾向にあるテレビ用ブラウン管やO
A機器用ディスプレイ等のシャドウマスク用材料として
好適に使用される。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−336654(JP,A) 特開 平6−336655(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C22C 38/00

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Ni:35.0〜37.0重量%,S
    i:0.01〜0.20重量%,Mn:0.20〜0.
    50重量%,B:0.0005〜0.0040重量%,
    P:0.002〜0.020重量%,S:0.003重
    量%以下,C:0.007重量%以下,N:0.005
    重量%以下,O:0.015重量%以下及びAl:0.
    003重量%以下を含み、残部が実質的にFeの組成を
    もつシャドウマスク用低膨張合金。
  2. 【請求項2】 Ni:35.0〜37.0重量%,C
    r:0.10〜0.90重量%,Si:0.01〜0.
    20重量%,Mn:0.20〜0.50重量%,B:
    0.0005〜0.0040重量%,P:0.002〜
    0.020重量%,S:0.003重量%以下,C:
    0.007重量%以下,N:0.005重量%以下,
    O:0.015重量%以下及びAl:0.003重量%
    以下を含み、残部が実質的にFeの組成をもち、式
    (1)で定義されるX値が1.40以下であるシャドウ
    マスク用低膨張合金。 X=Cr%+1.67×Si%+0.97×Mn% ・・・・(1)
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載の組成が更にCo:
    0.01〜1.0重量%を含むシャドウマスク用低膨張
    合金。
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JP2001131709A (ja) * 1999-11-09 2001-05-15 Nippon Mining & Metals Co Ltd セミテンションマスク用低熱膨張Fe−Ni系合金並びにそれを用いたセミテンションマスク及びカラーブラウン管
TWI250216B (en) * 2000-02-09 2006-03-01 Nippon Mining Co Ltd Fe-Ni-Co alloy for completely flat mask of press-formed type, and completely flat mask and color cathode-ray tube using the same
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