JP2711110B2 - カラー陰極線管用穿孔シャドウマスクおよびその焼鈍方法 - Google Patents
カラー陰極線管用穿孔シャドウマスクおよびその焼鈍方法Info
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- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はカラーCRT（陰極線管）用穿孔マスクの製造
方法、特に鉄−ニッケル（或いはニッケル−鉄）合金よ
りなる穿孔マスクを製造する方法及び付随的に望ましい
最終的なりんかくを有する基板（未加工板、blank）を
形成する方法に関する。
方法、特に鉄−ニッケル（或いはニッケル−鉄）合金よ
りなる穿孔マスクを製造する方法及び付随的に望ましい
最終的なりんかくを有する基板（未加工板、blank）を
形成する方法に関する。
焼鈍は、金属面にしっかりと付着した黒い酸化被覆を
得るためと、同時に成形時の応力除去ならびにその合金
の保磁力の低下のために行われる。
得るためと、同時に成形時の応力除去ならびにその合金
の保磁力の低下のために行われる。
（従来の技術） U.S.特許No.4210843,4427396,4609412及び4536226の
各号には、カラーCRT用穿孔マスクに係る様々な製造方
法が開示されている。カラーCRT用穿孔マスクの製造に
おいてふつう用いられる一つの材料は、低炭素鋼であ
る。マスク材の代表例としては1008級のアルミキルド又
はリムド炭素鋼をあげることができる。最近高品位画質
に対する要求がでてきたため、アンバーのような鉄−ニ
ッケル合金を使用する必要にせまられるようになった。
何故なら、この材料は低熱膨張率のため、当該産業にお
いてよく知られている「ふくらみ」（doming）を起こし
にくいからである。このふくらみとは該穿孔マスクが、
マスク材の上に係止する電子線の熱入力によって螢光ス
クリーンの方へ反り返ることである。マスクと螢光スク
リーンの間隙調整の為、通常熱補正留め金が用いられる
が、この留め金は、たとえばマスクのある限られた領域
が他の領域よりも大きな入熱をうけるときのような非均
一加熱を補正するのには適している。たとえば、そのよ
うな限られた領域は、ホッケイの試合場を表わす像をス
クリーンの上に表示するときのような白い領域であるか
も知れない。周知のように、カラーCRTによって表示さ
れる白い部分は、マスクに開口した孔を通過する三つの
電子線の全てが衝突することによって三つの螢光体の全
てが励起されてできる。その場合、全ての三つの電子線
はまた、マスクの開孔にすぐ隣接するマスク材の上にも
衝突する。
各号には、カラーCRT用穿孔マスクに係る様々な製造方
法が開示されている。カラーCRT用穿孔マスクの製造に
おいてふつう用いられる一つの材料は、低炭素鋼であ
る。マスク材の代表例としては1008級のアルミキルド又
はリムド炭素鋼をあげることができる。最近高品位画質
に対する要求がでてきたため、アンバーのような鉄−ニ
ッケル合金を使用する必要にせまられるようになった。
何故なら、この材料は低熱膨張率のため、当該産業にお
いてよく知られている「ふくらみ」（doming）を起こし
にくいからである。このふくらみとは該穿孔マスクが、
マスク材の上に係止する電子線の熱入力によって螢光ス
クリーンの方へ反り返ることである。マスクと螢光スク
リーンの間隙調整の為、通常熱補正留め金が用いられる
が、この留め金は、たとえばマスクのある限られた領域
が他の領域よりも大きな入熱をうけるときのような非均
一加熱を補正するのには適している。たとえば、そのよ
うな限られた領域は、ホッケイの試合場を表わす像をス
クリーンの上に表示するときのような白い領域であるか
も知れない。周知のように、カラーCRTによって表示さ
れる白い部分は、マスクに開口した孔を通過する三つの
電子線の全てが衝突することによって三つの螢光体の全
てが励起されてできる。その場合、全ての三つの電子線
はまた、マスクの開孔にすぐ隣接するマスク材の上にも
衝突する。
U.S.特許No.2806162号とNo.4528246号のいずれにおい
ても、カラーCRT用穿孔マスクの製造にアンバータイプ
のニッケル−鉄合金を使用することによる利益を開示し
ている。U.S.特許No.4536226号にはシャドウマスクの製
造方法が開示されているが、そこではアンバーのような
鉄−ニッケル合金の薄板が穿孔され、そして1652〜2192
゜F（900〜1200℃）で10分間真空焼鈍されることになっ
ている。焼鈍された薄板はシャドウマスクにプレスされ
るが、その際薄板は約360゜F（182.2℃）に保持される。
シャドウマスクを成形する際に昇温するのは、合金材の
降伏強さを減ずるのに役立つ。高温焼鈍やシャドウマス
クを温間成形することにより、マスク基板を穿孔マスク
に成形する際の反発（spring back）を少なくとも減少
または除去し得ることが判明した。
ても、カラーCRT用穿孔マスクの製造にアンバータイプ
のニッケル−鉄合金を使用することによる利益を開示し
ている。U.S.特許No.4536226号にはシャドウマスクの製
造方法が開示されているが、そこではアンバーのような
鉄−ニッケル合金の薄板が穿孔され、そして1652〜2192
゜F（900〜1200℃）で10分間真空焼鈍されることになっ
ている。焼鈍された薄板はシャドウマスクにプレスされ
るが、その際薄板は約360゜F（182.2℃）に保持される。
シャドウマスクを成形する際に昇温するのは、合金材の
降伏強さを減ずるのに役立つ。高温焼鈍やシャドウマス
クを温間成形することにより、マスク基板を穿孔マスク
に成形する際の反発（spring back）を少なくとも減少
または除去し得ることが判明した。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は、カラーテレビジョンのCRT用穿孔マスク、
即ちこのマスクを成形する際の局部的なふくらみ（domi
ng）を制限するために、その低熱膨張性の故に使用され
るところのアンバーとして知られている鉄−ニッケル合
金より成る穿孔マスクを製造する方法に係る。本発明を
具現化する穿孔マスクの二番目の特徴とは、マスク材−
CRTを大地の磁界や、表示管の操作或いはカラーテレビ
ジョンの操作の際のありふれた環境下での迷走磁界によ
って磁束の偏倚が起こりにくくするために、10キロガウ
ス（KG）で測定された直流保磁力を1.0エルステッド（O
e）未満としたマスク材−の製造に係る。この発明を具
現化する穿孔マスクの三番目の特徴とは、マスク材の上
に少なくとも高い熱放射性を与えるのに十分な黒化表面
を作り出すことである。この場合、該熱放射性により該
ふくらみを起こすポテンシアルは低下し、また材料を低
保磁力の状態に戻すことに関連し、シャドウマスクとし
ての物体の機能が改善される。本発明は穿孔マスクに対
する要求を解決しようとするものである。すなわち、マ
スク基板（mask blank）に適当な熱処理を施すことで、
機械的反発の生じにくい条件下で容易に穿孔マスク成形
することができ、また低い直流保磁力という長所を与え
ることができる。
即ちこのマスクを成形する際の局部的なふくらみ（domi
ng）を制限するために、その低熱膨張性の故に使用され
るところのアンバーとして知られている鉄−ニッケル合
金より成る穿孔マスクを製造する方法に係る。本発明を
具現化する穿孔マスクの二番目の特徴とは、マスク材−
CRTを大地の磁界や、表示管の操作或いはカラーテレビ
ジョンの操作の際のありふれた環境下での迷走磁界によ
って磁束の偏倚が起こりにくくするために、10キロガウ
ス（KG）で測定された直流保磁力を1.0エルステッド（O
e）未満としたマスク材−の製造に係る。この発明を具
現化する穿孔マスクの三番目の特徴とは、マスク材の上
に少なくとも高い熱放射性を与えるのに十分な黒化表面
を作り出すことである。この場合、該熱放射性により該
ふくらみを起こすポテンシアルは低下し、また材料を低
保磁力の状態に戻すことに関連し、シャドウマスクとし
ての物体の機能が改善される。本発明は穿孔マスクに対
する要求を解決しようとするものである。すなわち、マ
スク基板（mask blank）に適当な熱処理を施すことで、
機械的反発の生じにくい条件下で容易に穿孔マスク成形
することができ、また低い直流保磁力という長所を与え
ることができる。
本発明の目的はカラーCRT用穿孔マスクを製造する方
法を提供するにあり、そこではマスクの特性として、低
熱膨張率、低い機械的な反発、低い直流保磁力及び高い
熱放射性が達成される。
法を提供するにあり、そこではマスクの特性として、低
熱膨張率、低い機械的な反発、低い直流保磁力及び高い
熱放射性が達成される。
本発明の別の目的はカラー映像CRT用穿孔マスクの製
造法を提供するにあるが、そこでは次のようにして前記
諸特性が達成される。まず鉄−ニッケル合金材、特にア
ンバーが還元雰囲気下で、ある時間−温度関係に則って
1652〜2191゜F（900〜1200℃）で焼鈍され、ついで穿孔
されたマスクは特別なりんかくに形成され、そして引き
続きりんかくを与えられたマスク材は黒化のために制御
された酸化雰囲気下で約1450゜F（787.8℃）で応力除去
焼鈍される。その場合、該材料の保磁力は加工による変
形後も低い値に回復させ得る。
造法を提供するにあるが、そこでは次のようにして前記
諸特性が達成される。まず鉄−ニッケル合金材、特にア
ンバーが還元雰囲気下で、ある時間−温度関係に則って
1652〜2191゜F（900〜1200℃）で焼鈍され、ついで穿孔
されたマスクは特別なりんかくに形成され、そして引き
続きりんかくを与えられたマスク材は黒化のために制御
された酸化雰囲気下で約1450゜F（787.8℃）で応力除去
焼鈍される。その場合、該材料の保磁力は加工による変
形後も低い値に回復させ得る。
（課題を解決するための手段） 本願発明のシャドウマスク材はアンバーの様な鉄−ニ
ッケル合金であって次の組成（重量パーセント）を有す
るものである;C0.050〜0.120％,Mn0.4〜0.7％,P0.03％
以下,S0.03％以下,Si0.10〜0.30％,Ni35.0〜42.0％及び
基本的には鉄より成る残部。本マスク材は広く用いられ
ている1008級のアルミキルド又はリムド炭酸鋼とは違っ
た機械的性質を有する。特にこの鉄−ニッケル合金の降
伏強さは該炭酸鋼のそれより高く、ヤング率は低い。そ
の結果、該鉄−ニッケル合金に対する反発率（spring b
ack ratio）は該炭素鋼に対するものより大きい。した
がって、穿孔マスクの成形においては、形成されたマス
クの角部における反発が問題となる。
ッケル合金であって次の組成（重量パーセント）を有す
るものである;C0.050〜0.120％,Mn0.4〜0.7％,P0.03％
以下,S0.03％以下,Si0.10〜0.30％,Ni35.0〜42.0％及び
基本的には鉄より成る残部。本マスク材は広く用いられ
ている1008級のアルミキルド又はリムド炭酸鋼とは違っ
た機械的性質を有する。特にこの鉄−ニッケル合金の降
伏強さは該炭酸鋼のそれより高く、ヤング率は低い。そ
の結果、該鉄−ニッケル合金に対する反発率（spring b
ack ratio）は該炭素鋼に対するものより大きい。した
がって、穿孔マスクの成形においては、形成されたマス
クの角部における反発が問題となる。
穿孔マスクはまた黒化表面をもつことが望ましい。な
ぜなら、画像管又は表示管においてマスク材に電子が衝
突したときに生ずる熱を放散させるために高い熱放射性
を与える必要があるからである。同時に、穿孔マスクの
直流保磁力は10KGでの測定時に1.0Oe未満にする必要が
あるが、それは画像管全体を地磁気の磁場や画像管の使
用環境付近に生じた迷走磁場における磁束の偏倚に感応
しにくくするためである。低保磁力によりCRT中に組込
まれた脱磁コイルによる効果的な脱磁が可能になる。
ぜなら、画像管又は表示管においてマスク材に電子が衝
突したときに生ずる熱を放散させるために高い熱放射性
を与える必要があるからである。同時に、穿孔マスクの
直流保磁力は10KGでの測定時に1.0Oe未満にする必要が
あるが、それは画像管全体を地磁気の磁場や画像管の使
用環境付近に生じた迷走磁場における磁束の偏倚に感応
しにくくするためである。低保磁力によりCRT中に組込
まれた脱磁コイルによる効果的な脱磁が可能になる。
本発明では、穿孔されるべきマスク基板を選ぶという
工程が工程図の上で最初の工程となる。該鉄−ニッケル
合金の薄板−それから該基材が採取され、当該技術分野
で周知の方法により穿孔される−については、望ましい
厚さと幅をもったものが選ばれる。薄板から基板が採取
される前に、薄板には周知の方法、たとえば光硬化性樹
脂を使用した方法で穿孔される。金属粗材に穿孔模様
（パターン）を与えるそのような光硬化樹脂使用法の例
はU.S.特許No.4427396号及び同No.4210843号に見出され
る。
工程が工程図の上で最初の工程となる。該鉄−ニッケル
合金の薄板−それから該基材が採取され、当該技術分野
で周知の方法により穿孔される−については、望ましい
厚さと幅をもったものが選ばれる。薄板から基板が採取
される前に、薄板には周知の方法、たとえば光硬化性樹
脂を使用した方法で穿孔される。金属粗材に穿孔模様
（パターン）を与えるそのような光硬化樹脂使用法の例
はU.S.特許No.4427396号及び同No.4210843号に見出され
る。
平らなマスク基材はそこで少なくとも1652゜F（900
℃）の望ましくは2192゜F（1200℃）以下で少なくとも５
分間、還元性の単一または混合ガス中で第一の焼鈍がな
され、ニッケル−鉄合金に望ましい引張り強さが付与さ
れる。そしてそれにより該材料の降伏強さは減じられ、
また同時に、焼鈍雰囲気、時間、温度を適当に選ぶこと
により、10KGにおいて1.0Oe未満の直流保磁力が達成さ
れる。
℃）の望ましくは2192゜F（1200℃）以下で少なくとも５
分間、還元性の単一または混合ガス中で第一の焼鈍がな
され、ニッケル−鉄合金に望ましい引張り強さが付与さ
れる。そしてそれにより該材料の降伏強さは減じられ、
また同時に、焼鈍雰囲気、時間、温度を適当に選ぶこと
により、10KGにおいて1.0Oe未満の直流保磁力が達成さ
れる。
平らな穿孔マスクの焼鈍工程での還元性雰囲気は、水
素、窒素またはこれらのガスの混合物であって、アンバ
ー合金の鉄またはニッケル成分の酸化を防ぐのに十分低
い露点を有するガスであればよい。上記焼鈍のなされる
温度は1652゜F（900℃）ぐらいと低くてもよいが、上限
は2192゜F（1200℃）である。焼鈍における均熱時間は４
時間ぐらいと長くてもよいが、マスク材が上記温度範囲
にある時間は５分もあれば十分である。だが、その温度
で長く保つほど、また温度を高くするほど、より良好な
直流保磁力に係る特性が得られる。
素、窒素またはこれらのガスの混合物であって、アンバ
ー合金の鉄またはニッケル成分の酸化を防ぐのに十分低
い露点を有するガスであればよい。上記焼鈍のなされる
温度は1652゜F（900℃）ぐらいと低くてもよいが、上限
は2192゜F（1200℃）である。焼鈍における均熱時間は４
時間ぐらいと長くてもよいが、マスク材が上記温度範囲
にある時間は５分もあれば十分である。だが、その温度
で長く保つほど、また温度を高くするほど、より良好な
直流保磁力に係る特性が得られる。
焼鈍されたマスク基板はそこで螢光点を具えたガラス
製映像管スクリーンと同じ、望ましい曲率に成形され
る。成形は望ましくは該基板が望ましい曲率に弾性的に
変形するような温度200゜F（93.3℃）で行われる。本願
発明におけるこの手順若しくは工程により「反発」の問
題−そのために温間加工処理が関係してくる−を除く方
法が提供され、そして当該技術分野で周知の低い熱膨張
率をそなえた穿孔マスクも提供される。
製映像管スクリーンと同じ、望ましい曲率に成形され
る。成形は望ましくは該基板が望ましい曲率に弾性的に
変形するような温度200゜F（93.3℃）で行われる。本願
発明におけるこの手順若しくは工程により「反発」の問
題−そのために温間加工処理が関係してくる−を除く方
法が提供され、そして当該技術分野で周知の低い熱膨張
率をそなえた穿孔マスクも提供される。
工程図に示されるように、本発明では成形されたマス
クには応力除去焼鈍と黒化が同時に行えるような方法で
第二の焼鈍がなされる。その際、マスクは少なくとも14
50゜F（787.7℃）の温度で、酸化能の調整された雰囲気
中において、黒い酸化被覆（鉄−ニッケル合金材の酸化
物）が形成されるのに十分な時間焼鈍される。総焼鈍時
間は90秒のように短くてもよいが、もっと長くする方が
よい。しかし焼鈍時間が長くなる場合には、過剰酸化防
止のために時間と酸化能との関係を変える必要があるか
も知れない。ふつう、この焼鈍は湿分の調整された窒
素、アルゴンまたは水素およびそれらの混合物のような
何らかの不活性ガスまたは還元性ガスの中で実施され
る。不活性ガス雰囲気（100％窒素）−それに露点を＋9
0゜F（32.2℃）とするような湿分が加えられる−は、145
0゜F（787.8℃）において適正な酸化能を与え、90秒での
黒化酸化を良好なものとする。本願発明のこの工程にお
いて、穿孔マスクは熱放射性の高い黒化表面をもったも
のとなる。そして同時に、成形処理、即ちマスクの保磁
力を1.0Oe未満にするのに必要な処理により生ずるひず
みが除かれる。
クには応力除去焼鈍と黒化が同時に行えるような方法で
第二の焼鈍がなされる。その際、マスクは少なくとも14
50゜F（787.7℃）の温度で、酸化能の調整された雰囲気
中において、黒い酸化被覆（鉄−ニッケル合金材の酸化
物）が形成されるのに十分な時間焼鈍される。総焼鈍時
間は90秒のように短くてもよいが、もっと長くする方が
よい。しかし焼鈍時間が長くなる場合には、過剰酸化防
止のために時間と酸化能との関係を変える必要があるか
も知れない。ふつう、この焼鈍は湿分の調整された窒
素、アルゴンまたは水素およびそれらの混合物のような
何らかの不活性ガスまたは還元性ガスの中で実施され
る。不活性ガス雰囲気（100％窒素）−それに露点を＋9
0゜F（32.2℃）とするような湿分が加えられる−は、145
0゜F（787.8℃）において適正な酸化能を与え、90秒での
黒化酸化を良好なものとする。本願発明のこの工程にお
いて、穿孔マスクは熱放射性の高い黒化表面をもったも
のとなる。そして同時に、成形処理、即ちマスクの保磁
力を1.0Oe未満にするのに必要な処理により生ずるひず
みが除かれる。
酸化雰囲気、即ちりんかくをつけられた穿孔マスクの
応力除去焼鈍に際し黒化と保磁力の低減のために用いら
れる雰囲気は、窒素、アルゴンまたは窒素と水素の混合
物であってもよく、それらには適当な湿分が加えられ
る。本発明の目的を達成するには、りんかくをつけられ
たマスクの焼鈍における均熱時間は応力除去と黒化のた
めに調整される。この焼鈍時間は、穿孔マスクの表面に
黒い酸化物がしっかりと形成される限りにおいては、で
きるだけ長くか或いは短くされる。該材料表面にしっか
りと付着した黒い酸化物の厚さは1500オングストローム
未満であるのが望ましい。酸化物が厚くなりすぎると、
それが欠けたり剥離したりする。金属表面にしっかりと
付着した黒い酸化被覆は光沢表面よりも高い熱放射性を
有する。また、本発明法で焼鈍された金属試料の保磁力
値は1.0Oe未満である。
応力除去焼鈍に際し黒化と保磁力の低減のために用いら
れる雰囲気は、窒素、アルゴンまたは窒素と水素の混合
物であってもよく、それらには適当な湿分が加えられ
る。本発明の目的を達成するには、りんかくをつけられ
たマスクの焼鈍における均熱時間は応力除去と黒化のた
めに調整される。この焼鈍時間は、穿孔マスクの表面に
黒い酸化物がしっかりと形成される限りにおいては、で
きるだけ長くか或いは短くされる。該材料表面にしっか
りと付着した黒い酸化物の厚さは1500オングストローム
未満であるのが望ましい。酸化物が厚くなりすぎると、
それが欠けたり剥離したりする。金属表面にしっかりと
付着した黒い酸化被覆は光沢表面よりも高い熱放射性を
有する。また、本発明法で焼鈍された金属試料の保磁力
値は1.0Oe未満である。
（実施例） 第Ｉ表に、第一の焼鈍工程において様々な条件で焼鈍
された試料の保磁力を示す。
された試料の保磁力を示す。
なお、上記A1試料に行われた第二の焼鈍、即ち露点＋
90゜F（32.2℃）の100％窒素中で90秒間行われた焼鈍で
は保磁力0.0657Oeが得られた。試料A6についても、露点
＋90゜Fの100％窒素中で90秒間第二の焼鈍がなされた。
この第二焼鈍後、試料A6の保磁力は0.371Oeであった。
再試料とも、黒化表面をつくるための酸化焼鈍により保
磁力が害されないことがわかる。
90゜F（32.2℃）の100％窒素中で90秒間行われた焼鈍で
は保磁力0.0657Oeが得られた。試料A6についても、露点
＋90゜Fの100％窒素中で90秒間第二の焼鈍がなされた。
この第二焼鈍後、試料A6の保磁力は0.371Oeであった。
再試料とも、黒化表面をつくるための酸化焼鈍により保
磁力が害されないことがわかる。
第一焼鈍工程の還元雰囲気は水素のみか、窒素のみか
或いはそれらの混合気とするのが望ましい。焼鈍時の露
点は、鉄−ニッケル合金の成分の内部酸化を防ぐため低
い値に保つべきである。試料A6の場合、第一焼鈍工程に
おける酸化能は過剰であり保磁力を受け入れ難いものに
するものであった。分ったことは、本発明のマスク基板
については、同じ焼鈍により加工前の引張り強さと保磁
力のいずれをも低くなし得るということである。
或いはそれらの混合気とするのが望ましい。焼鈍時の露
点は、鉄−ニッケル合金の成分の内部酸化を防ぐため低
い値に保つべきである。試料A6の場合、第一焼鈍工程に
おける酸化能は過剰であり保磁力を受け入れ難いものに
するものであった。分ったことは、本発明のマスク基板
については、同じ焼鈍により加工前の引張り強さと保磁
力のいずれをも低くなし得るということである。
第Ｉ表からわかるように、得られた保磁力は十分低い
ものである。本願発明で望まれる保磁力の最大値1.0Oe
は低炭素鋼で得られる。さらに、第二焼鈍の条件を適当
に選ぶことにより、上記望ましい二元的な結果を保磁力
を低く保ったまま達成することができ、また熱放射性の
高い黒化表面を本発明によって達成することができる。
ものである。本願発明で望まれる保磁力の最大値1.0Oe
は低炭素鋼で得られる。さらに、第二焼鈍の条件を適当
に選ぶことにより、上記望ましい二元的な結果を保磁力
を低く保ったまま達成することができ、また熱放射性の
高い黒化表面を本発明によって達成することができる。
本願発明については、付図（第１図）における具体案
で示されるとはいえ、他の同様の具体案を採用し得るこ
と、何らかの修正や付加が本願発明の機能を歪曲するこ
となく達成し得ることは自明のことである。したがっ
て、本願発明は何らかの単一の具体案に限定されるもの
ではなく、添付した特許請求の範囲に係る記述の幅と範
囲において解釈されるべきである。
で示されるとはいえ、他の同様の具体案を採用し得るこ
と、何らかの修正や付加が本願発明の機能を歪曲するこ
となく達成し得ることは自明のことである。したがっ
て、本願発明は何らかの単一の具体案に限定されるもの
ではなく、添付した特許請求の範囲に係る記述の幅と範
囲において解釈されるべきである。
第１図は本発明によって穿孔マスクを製造する際の工程
図である。
図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−200721（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−44126（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−42838（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−78033（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−82640（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−82625（ＪＰ，Ａ)
Claims (6)
- 【請求項１】穿孔を有するニッケル−鉄合金製マスク基
板を選択し； 10kGで測定したときの直流保磁力が1.0Oe未満で且つ低
反発特性を持つ材料が得られるように前記ニッケル−鉄
合金の内部酸化を防ぐのに十分に低い露点を有する雰囲
気中で900〜1200℃（1652〜2192゜F）で第一焼鈍を行
い； マスク基板を穿孔マスクとして望ましい曲率の横視形状
を有するように温間成形し；そして 穿孔マスクの金属表面にしっかりと付着した黒い酸化被
膜を形成させ且つ上記温間成形操作で生じた歪を除くよ
うに、酸化剤としての調整された量の湿分と共に水素、
アルゴン又は窒素を含む酸化雰囲気中787.8℃（1450゜
F）以上の温度で十分な時間第二焼鈍を行う； 各工程を含むことを特徴とする穿孔マスクの製造方法。 - 【請求項２】第一焼鈍を５分を越える時間にわたって行
うことを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】マスク基板の温間成形を93.3℃（200゜F）
以上の温度で行うことを特徴とする請求項１に記載の方
法。 - 【請求項４】第一焼鈍用の雰囲気が水素、窒素又は水素
及び窒素の混合物を含むものであることを特徴とする請
求項１に記載の方法。 - 【請求項５】第二焼鈍では、酸化雰囲気が露点＋32.2℃
（＋90゜F）の100％窒素からなり、焼鈍時間は90秒であ
ることを特徴とする請求項１に記載の方法。 - 【請求項６】請求項１の記載の方法により製造された穿
孔マスク。
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