JPH06184702A - シャドウマスク用低熱膨張合金及び合金帯 - Google Patents
シャドウマスク用低熱膨張合金及び合金帯Info
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- JPH06184702A JPH06184702A JP35638392A JP35638392A JPH06184702A JP H06184702 A JPH06184702 A JP H06184702A JP 35638392 A JP35638392 A JP 35638392A JP 35638392 A JP35638392 A JP 35638392A JP H06184702 A JPH06184702 A JP H06184702A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来のＦｅ−３６％Ｎｉ系合金に比較してエ
ッチング性に優れ、受像管のシャドウマスク用材料とし
て好適な低熱膨張合金を得る。 【構成】 このシャドウマスク用低熱膨張合金は、Ｎ
ｉ：３４．０〜３８．０重量％，Ｃ：０．０１０重量％
以下，Ｓｉ：０．３０重量％以下，Ｍｎ：０．１０〜
１．０重量％，Ｐ：０．００５〜０．０２重量％，Ｓ：
０．００５重量％以下，Ｃｒ：１．０〜５．０重量％，
Ｏ：０．０１０重量％以下，Ｎ：０．００５重量％以下
及びＢ：０．００１重量％以下を含有し、更に必要に応
じてＣｏ：３．０重量％以下を含有し、残部Ｆｅからな
る。また、シャドウマスク用原板は、均一なエッチング
孔径を得る上で、１％以内に板厚変動が１％以内に抑え
られていることが好ましい。 【効果】 Ｓ，Ｃ，Ｏ，Ｎ等の不純物を規制すると共に
Ｐ含有量を０．００５〜０．０２重量％に特定すること
によって、エッチング性の向上が図られる。
ッチング性に優れ、受像管のシャドウマスク用材料とし
て好適な低熱膨張合金を得る。 【構成】 このシャドウマスク用低熱膨張合金は、Ｎ
ｉ：３４．０〜３８．０重量％，Ｃ：０．０１０重量％
以下，Ｓｉ：０．３０重量％以下，Ｍｎ：０．１０〜
１．０重量％，Ｐ：０．００５〜０．０２重量％，Ｓ：
０．００５重量％以下，Ｃｒ：１．０〜５．０重量％，
Ｏ：０．０１０重量％以下，Ｎ：０．００５重量％以下
及びＢ：０．００１重量％以下を含有し、更に必要に応
じてＣｏ：３．０重量％以下を含有し、残部Ｆｅからな
る。また、シャドウマスク用原板は、均一なエッチング
孔径を得る上で、１％以内に板厚変動が１％以内に抑え
られていることが好ましい。 【効果】 Ｓ，Ｃ，Ｏ，Ｎ等の不純物を規制すると共に
Ｐ含有量を０．００５〜０．０２重量％に特定すること
によって、エッチング性の向上が図られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、受像管用シャドウマス
クとして使用され、エッチング性に優れた低熱膨張合金
材料に関する。
クとして使用され、エッチング性に優れた低熱膨張合金
材料に関する。
【０００２】
【従来の技術と問題点】カラーテレビ用ブラウン管，パ
ーソナルコンピュータ一用ディスプレイ等の受像管に
は、多数の電子ビーム通過孔が穿設されたシャドウマス
クが組み込まれている。電子銃から出射された電子ビー
ムは、特定の電子ビーム通過孔を透過し、各色調に応じ
てそれぞれの蛍光部にビームスポットを投影する。シャ
ドウマスク用材料としては、正確な電子ビーム通過孔が
形成されるようにエッチング性に優れていることが要求
され、低炭素Ａｌキルド鋼が従来から使用されている。
しかし、シャドウマスクは、電子ビームの衝突により加
熱され、熱膨張を生じる。熱膨張は、電子ビーム通過孔
を変位させ、電子ビームが所定の蛍光面に当たらなくな
る、いわゆるドーミング現象の原因となる。ドーミング
現象は、テレビ，ディスプレイ等の高精度化、高輝度化
に伴い、大きな問題となっている。ドーミング現象は、
低熱膨張特性をもった材料の使用によってドーミング現
象を抑制できることから、Ｆｅ−３６％Ｎｉ系アンバー
合金がシャドウマスク用材料として使用され始めている
（特開昭６１−７８０３３号公報，特公平４−５６１０
７号公報等参照）。
ーソナルコンピュータ一用ディスプレイ等の受像管に
は、多数の電子ビーム通過孔が穿設されたシャドウマス
クが組み込まれている。電子銃から出射された電子ビー
ムは、特定の電子ビーム通過孔を透過し、各色調に応じ
てそれぞれの蛍光部にビームスポットを投影する。シャ
ドウマスク用材料としては、正確な電子ビーム通過孔が
形成されるようにエッチング性に優れていることが要求
され、低炭素Ａｌキルド鋼が従来から使用されている。
しかし、シャドウマスクは、電子ビームの衝突により加
熱され、熱膨張を生じる。熱膨張は、電子ビーム通過孔
を変位させ、電子ビームが所定の蛍光面に当たらなくな
る、いわゆるドーミング現象の原因となる。ドーミング
現象は、テレビ，ディスプレイ等の高精度化、高輝度化
に伴い、大きな問題となっている。ドーミング現象は、
低熱膨張特性をもった材料の使用によってドーミング現
象を抑制できることから、Ｆｅ−３６％Ｎｉ系アンバー
合金がシャドウマスク用材料として使用され始めている
（特開昭６１−７８０３３号公報，特公平４−５６１０
７号公報等参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、Ｆｅ−３６％
Ｎｉアンバ一合金は、Ｎｉを多量に含んでいることから
低炭素Ａｌキルド鋼に比べて素材価格が高いことは勿
論、低炭素Ａｌキルド鋼よりも強度が高く、プレス成型
性に劣る。また、ヤング率が低くシャドウマスクとして
の剛性に劣ること、エッチング速度が遅く、エッチング
穿孔性にも劣ること等の欠点がある。この点、特公平４
−５６１０７号公報では、Ｂ添加によって（１００）面
占有率を大きくしてエッチング性を改善すると共に、Ｃ
ｒを添加して耐力を低下させることによって加工性を確
保している。これにより、プレス加工性及びエッチング
性に改善はみられるものの、エッチングした材料をシャ
ドウマスクとして使用する場合に品質安定性に欠けるこ
とがあった。本発明は、このような問題を解消すべく案
出されたものであり、不純物、特にＰの含有量を規制す
ることにより、品質安定性及びエッチング性に優れたシ
ャドウマスク用材料を提供することを目的とする。
Ｎｉアンバ一合金は、Ｎｉを多量に含んでいることから
低炭素Ａｌキルド鋼に比べて素材価格が高いことは勿
論、低炭素Ａｌキルド鋼よりも強度が高く、プレス成型
性に劣る。また、ヤング率が低くシャドウマスクとして
の剛性に劣ること、エッチング速度が遅く、エッチング
穿孔性にも劣ること等の欠点がある。この点、特公平４
−５６１０７号公報では、Ｂ添加によって（１００）面
占有率を大きくしてエッチング性を改善すると共に、Ｃ
ｒを添加して耐力を低下させることによって加工性を確
保している。これにより、プレス加工性及びエッチング
性に改善はみられるものの、エッチングした材料をシャ
ドウマスクとして使用する場合に品質安定性に欠けるこ
とがあった。本発明は、このような問題を解消すべく案
出されたものであり、不純物、特にＰの含有量を規制す
ることにより、品質安定性及びエッチング性に優れたシ
ャドウマスク用材料を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のシャドウマスク
用低熱膨張合金は、その目的を解決するため、Ｎｉ：３
４．０〜３８．０重量％，Ｃ：０．０１０重量％以下，
Ｓｉ：０．３０重量％以下，Ｍｎ：０．１０〜１．０重
量％，Ｐ：０．００５〜０．０２重量％，Ｓ：０．００
５重量％以下，Ｃｒ：１．０〜５．０重量％，Ｏ：０．
０１０重量％以下，Ｎ：０．００５重量％以下及びＢ：
０．００１重量％以下を含有し、残部Ｆｅからなる。こ
のシャドウマスク用低熱膨張合金は、必要に応じて３．
０重量％以下のＣｏを含むこともできる。また、シャド
ウマスク用原板として使用されるとき、原板内の板厚変
動が板厚の１％以内であることが好ましい。
用低熱膨張合金は、その目的を解決するため、Ｎｉ：３
４．０〜３８．０重量％，Ｃ：０．０１０重量％以下，
Ｓｉ：０．３０重量％以下，Ｍｎ：０．１０〜１．０重
量％，Ｐ：０．００５〜０．０２重量％，Ｓ：０．００
５重量％以下，Ｃｒ：１．０〜５．０重量％，Ｏ：０．
０１０重量％以下，Ｎ：０．００５重量％以下及びＢ：
０．００１重量％以下を含有し、残部Ｆｅからなる。こ
のシャドウマスク用低熱膨張合金は、必要に応じて３．
０重量％以下のＣｏを含むこともできる。また、シャド
ウマスク用原板として使用されるとき、原板内の板厚変
動が板厚の１％以内であることが好ましい。
【０００５】
【作用】本発明者等は、Ｆｅ−３６％Ｎｉ系合金の合金
元素及び不純物元素がシャドウマスクとして必要な特性
に及ぼす影響ついて繰返し調査・研究した。その結果、
Ｆｅ−３６％Ｎｉ系合金に適量のＣｒを含有させること
により、低熱膨張特性を維持しつつエッチング速度が増
大するとともにエッチング穿孔性も向上することを見い
出した。またＣｒは、Ｆｅ−３６％Ｎｉ系合金のヤング
率を増大させ、シャドウマスクとして必要な剛性を増大
させる作用も呈する。そのため、従来のＦｅ−３６％Ｎ
ｉ系合金よりも薄板化が可能な材料が得られるとの知見
を得た。Ｆｅ−３６％Ｎｉ系合金において、Ｓ，Ｃ，Ｏ
等の不純物元素は、エッチング性を劣化させることか
ら、それらの含有量が厳しく制限されていた。しかし、
本発明者等の研究によるとき、不純物元素の中でＰは特
異な傾向を呈することを解明した。すなわち、０．０２
５重量％程度までＰを含有させても、エッチング性を劣
化させないどころか、逆にエッチング性が向上すること
が判明した。これは、従来の研究ではＳ，Ｃ等の不純物
元素の含有量を抑えた上で、Ｐの影響を単独に調査しな
かったことによるものと推察される。
元素及び不純物元素がシャドウマスクとして必要な特性
に及ぼす影響ついて繰返し調査・研究した。その結果、
Ｆｅ−３６％Ｎｉ系合金に適量のＣｒを含有させること
により、低熱膨張特性を維持しつつエッチング速度が増
大するとともにエッチング穿孔性も向上することを見い
出した。またＣｒは、Ｆｅ−３６％Ｎｉ系合金のヤング
率を増大させ、シャドウマスクとして必要な剛性を増大
させる作用も呈する。そのため、従来のＦｅ−３６％Ｎ
ｉ系合金よりも薄板化が可能な材料が得られるとの知見
を得た。Ｆｅ−３６％Ｎｉ系合金において、Ｓ，Ｃ，Ｏ
等の不純物元素は、エッチング性を劣化させることか
ら、それらの含有量が厳しく制限されていた。しかし、
本発明者等の研究によるとき、不純物元素の中でＰは特
異な傾向を呈することを解明した。すなわち、０．０２
５重量％程度までＰを含有させても、エッチング性を劣
化させないどころか、逆にエッチング性が向上すること
が判明した。これは、従来の研究ではＳ，Ｃ等の不純物
元素の含有量を抑えた上で、Ｐの影響を単独に調査しな
かったことによるものと推察される。
【０００６】本発明の合金を溶製する場合、Ｐ含有量を
０．００５重量％以下に厳しく制限する必要がないこと
から、Ｐを含有していない原料を製造用原料として厳選
する必要はなく、また低Ｐ含有原料を使用してもいわゆ
る脱Ｐ作業を行う必要がない。そのため、本発明に従っ
たＰ含有量の特定は、エッチング性の向上の他に、製造
コストの軽減にも有効である。更に、エッチング用原板
の板厚変動がエッチング後の孔形状の均一性に与える影
響を調査したところ、原板板厚のバラツキを抑えること
により均一な孔径のエッチング孔が形成されることを見
い出した。具体的には、原板の板厚変動を１％以下に厳
しく制御するとき、エッチング孔径のバラツキが小さく
なり、シャドウマスクとしての品質安定性が向上する。
０．００５重量％以下に厳しく制限する必要がないこと
から、Ｐを含有していない原料を製造用原料として厳選
する必要はなく、また低Ｐ含有原料を使用してもいわゆ
る脱Ｐ作業を行う必要がない。そのため、本発明に従っ
たＰ含有量の特定は、エッチング性の向上の他に、製造
コストの軽減にも有効である。更に、エッチング用原板
の板厚変動がエッチング後の孔形状の均一性に与える影
響を調査したところ、原板板厚のバラツキを抑えること
により均一な孔径のエッチング孔が形成されることを見
い出した。具体的には、原板の板厚変動を１％以下に厳
しく制御するとき、エッチング孔径のバラツキが小さく
なり、シャドウマスクとしての品質安定性が向上する。
【０００７】以下、本発明低熱膨張合金における合金元
素及びその含有量を説明する。 Ｎｉ： Ｆｅ−Ｎｉ系合金の熱膨張係数を低く維持する
上で重要な合金元素である。Ｎｉ含有量が３４．０重量
％以下或いは３８．０重量％以上になると、熱膨張係数
が増大し、熱変形によってドーミング現象が現れ易くな
る。また、３８．０重量を超えて過剰のＮｉが含まれる
と、耐力が上昇し、成形性が低下する。そこで、本発明
においては、３４．０〜３８．０重量％の範囲にＮｉ含
有量を設定した。 Ｃ： 炭化物を形成し、エッチング穿孔性を低下させ
る。優れたエッチング性を得るためにＣ含有量を厳しく
制限する必要があり、本発明ではＣ含有量の上限を０．
０１０重量％，望ましくは０．００５重量％に規定し
た。
素及びその含有量を説明する。 Ｎｉ： Ｆｅ−Ｎｉ系合金の熱膨張係数を低く維持する
上で重要な合金元素である。Ｎｉ含有量が３４．０重量
％以下或いは３８．０重量％以上になると、熱膨張係数
が増大し、熱変形によってドーミング現象が現れ易くな
る。また、３８．０重量を超えて過剰のＮｉが含まれる
と、耐力が上昇し、成形性が低下する。そこで、本発明
においては、３４．０〜３８．０重量％の範囲にＮｉ含
有量を設定した。 Ｃ： 炭化物を形成し、エッチング穿孔性を低下させ
る。優れたエッチング性を得るためにＣ含有量を厳しく
制限する必要があり、本発明ではＣ含有量の上限を０．
０１０重量％，望ましくは０．００５重量％に規定し
た。
【０００８】Ｓｉ： Ｃと同様に熱膨張係数を大きくす
る作用を呈する。また、多量のＳｉが含まれると、Ｆｅ
−Ｎｉ系合金は、硬くなりプレス成形性が劣化する。し
たがって、本発明においては、Ｓｉ含有量の上限を０．
３０重量％に規定した。 Ｍｎ： 脱酸材として添加される元素であり、所定の脱
酸効果を得るために０．０１重量％以上が必要である。
しかし、１．０重量％を超える過剰のＭｎが含有される
と、Ｆｅ−Ｎｉ系合金の熱膨張係数が増大する。そのた
め、本発明においては、Ｍｎ含有量を０．１〜１．０重
量％の範囲に規定した。 Ｐ： エッチング性を改善する上で重要な作用を呈する
合金元素であり、０．００５重量％以上のＰを含ませる
ことが必要である。また、Ｐ含有量を厳しく制限する必
要がないことから、溶製時の不純物として０．００１重
量％以上のＰを含むものも使用される。しかし、０．０
２５重量％を超えて過剰のＰが含有されると、Ｆｅ−Ｎ
ｉ系合金の熱間加工性が劣化する。そこで、本発明にお
いては、Ｐ含有量を０．００５〜０．０２５重量％の範
囲に設定した。
る作用を呈する。また、多量のＳｉが含まれると、Ｆｅ
−Ｎｉ系合金は、硬くなりプレス成形性が劣化する。し
たがって、本発明においては、Ｓｉ含有量の上限を０．
３０重量％に規定した。 Ｍｎ： 脱酸材として添加される元素であり、所定の脱
酸効果を得るために０．０１重量％以上が必要である。
しかし、１．０重量％を超える過剰のＭｎが含有される
と、Ｆｅ−Ｎｉ系合金の熱膨張係数が増大する。そのた
め、本発明においては、Ｍｎ含有量を０．１〜１．０重
量％の範囲に規定した。 Ｐ： エッチング性を改善する上で重要な作用を呈する
合金元素であり、０．００５重量％以上のＰを含ませる
ことが必要である。また、Ｐ含有量を厳しく制限する必
要がないことから、溶製時の不純物として０．００１重
量％以上のＰを含むものも使用される。しかし、０．０
２５重量％を超えて過剰のＰが含有されると、Ｆｅ−Ｎ
ｉ系合金の熱間加工性が劣化する。そこで、本発明にお
いては、Ｐ含有量を０．００５〜０．０２５重量％の範
囲に設定した。
【０００９】Ｓ： 硫化物系介在物を形成し、エッチン
グ穿孔性を著しく低下させる有害元素である。また、熱
間加工性を劣化させる元素でもあるため、Ｓ含有量の上
限を０．００５重量％に規定した。 Ｃｒ： Ｆｅ−Ｎｉ系合金のエッチング速度を増大させ
る必須の元素である。また、Ｃｒ添加によってＦｅ−Ｎ
ｉ系合金のヤング率が増大し、プレス成型後の剛性が向
上する。このような作用を得る上で、１．０重量％以上
のＣｒ含有量が必要である。しかし、５．０重量％を超
えて多量にＣｒを含有させると、合金の熱膨張係数が大
きくなりすぎ、ドーミング現象が生じ易くなる。そこ
で、本発明においては、１．０〜５．０重量％の範囲に
Ｃｒ含有量を選定した。 ０： 酸化物系介在物を形成し、エッチング穿孔性を著
しく低下させる。そのため、本発明においては、Ｏ含有
量の上限を０．０１０重量％に規定した。 Ｎ： 窒化物系介在物を形成し、エッチング穿孔性を著
しく低下させるため、Ｎ含有量の上限を０．００５重量
％に規定した。
グ穿孔性を著しく低下させる有害元素である。また、熱
間加工性を劣化させる元素でもあるため、Ｓ含有量の上
限を０．００５重量％に規定した。 Ｃｒ： Ｆｅ−Ｎｉ系合金のエッチング速度を増大させ
る必須の元素である。また、Ｃｒ添加によってＦｅ−Ｎ
ｉ系合金のヤング率が増大し、プレス成型後の剛性が向
上する。このような作用を得る上で、１．０重量％以上
のＣｒ含有量が必要である。しかし、５．０重量％を超
えて多量にＣｒを含有させると、合金の熱膨張係数が大
きくなりすぎ、ドーミング現象が生じ易くなる。そこ
で、本発明においては、１．０〜５．０重量％の範囲に
Ｃｒ含有量を選定した。 ０： 酸化物系介在物を形成し、エッチング穿孔性を著
しく低下させる。そのため、本発明においては、Ｏ含有
量の上限を０．０１０重量％に規定した。 Ｎ： 窒化物系介在物を形成し、エッチング穿孔性を著
しく低下させるため、Ｎ含有量の上限を０．００５重量
％に規定した。
【００１０】Ｂ： 黒化処理による黒化膜の生成ムラを
生じさせ、シャドウマスクとしての品質安定性を阻害す
る元素である。そのため、本発明においては、Ｂ含有量
を厳しく制限する必要があり、その上限を０．００１重
量％に規定した。 Ｃｏ： Ｃｒと同様にエッチング速度を増大させる有効
な作用を呈し、必要に応じて添加される合金元素であ
る。Ｃｏ添加の効果は３．０重量％で飽和し、それ以上
添加しても材料コストを上昇させる。そこで、Ｃｏを添
加する場合、３．０重量％以下の範囲にＣｏ含有量を設
定する。本発明に従った成分・組成をもつＦｅ−Ｎｉ系
合金は、帯状に成形された後、スロット状或いはドット
状の孔がエッチングによって規則的に穿設される。この
とき、原板の板厚変動が１％を超えると、エッチングに
よって形成された孔径のバラツキが大きくなり過ぎ、シ
ャドウマスクとして使用できなくなる。したがって、エ
ッチング用原板は、板厚変動を１％以内に規制すること
が好ましい。
生じさせ、シャドウマスクとしての品質安定性を阻害す
る元素である。そのため、本発明においては、Ｂ含有量
を厳しく制限する必要があり、その上限を０．００１重
量％に規定した。 Ｃｏ： Ｃｒと同様にエッチング速度を増大させる有効
な作用を呈し、必要に応じて添加される合金元素であ
る。Ｃｏ添加の効果は３．０重量％で飽和し、それ以上
添加しても材料コストを上昇させる。そこで、Ｃｏを添
加する場合、３．０重量％以下の範囲にＣｏ含有量を設
定する。本発明に従った成分・組成をもつＦｅ−Ｎｉ系
合金は、帯状に成形された後、スロット状或いはドット
状の孔がエッチングによって規則的に穿設される。この
とき、原板の板厚変動が１％を超えると、エッチングに
よって形成された孔径のバラツキが大きくなり過ぎ、シ
ャドウマスクとして使用できなくなる。したがって、エ
ッチング用原板は、板厚変動を１％以内に規制すること
が好ましい。
【００１１】
【実施例】製造用原料を電気炉で溶解した後、ＶＯＤ法
で溶製し、表１に組成を示した各種合金を得た。各合金
を分塊，熱延し、板厚６ｍｍの熱延板を得た。熱延板を
焼鈍し、疵取りを行った後、冷延，焼鈍し、仕上げ冷延
で板厚０．２５ｍｍの冷延板を作製した。
で溶製し、表１に組成を示した各種合金を得た。各合金
を分塊，熱延し、板厚６ｍｍの熱延板を得た。熱延板を
焼鈍し、疵取りを行った後、冷延，焼鈍し、仕上げ冷延
で板厚０．２５ｍｍの冷延板を作製した。
【表１】
【００１２】冷延板の板厚分布を測定した後、脱脂，レ
ジストコーティング塗布，マスクパターン焼付け，露
光，現像の各工程を経て、エッチング加工を施した。エ
ッチング液として４０℃に保持した塩化第二鉄溶液を使
用し、スプレー方式でエッチング液を冷延板表面に吹き
付けた。各合金ごとに、エッチング速度及びエッチング
穿孔性を調査した。エッチング速度は、ハーフエッチン
グ孔を形成させ、焦点顕微鏡法でエッチング深さを測定
し、単位時間当りのエッチング深さで評価した。エッチ
ング穿孔性は、エッチング孔を光学顕微鏡で観察し、孔
のエッジがスムーズでなく、いわゆるギザが発生したも
のを不良、ギザが発生しなかったものを良好と判定し
た。また、冷延板を８２０℃で焼鈍した後の冷延板につ
いて、３０〜１００℃の温度範囲で熱膨張係数を測定し
た。調査結果を表２に示す。
ジストコーティング塗布，マスクパターン焼付け，露
光，現像の各工程を経て、エッチング加工を施した。エ
ッチング液として４０℃に保持した塩化第二鉄溶液を使
用し、スプレー方式でエッチング液を冷延板表面に吹き
付けた。各合金ごとに、エッチング速度及びエッチング
穿孔性を調査した。エッチング速度は、ハーフエッチン
グ孔を形成させ、焦点顕微鏡法でエッチング深さを測定
し、単位時間当りのエッチング深さで評価した。エッチ
ング穿孔性は、エッチング孔を光学顕微鏡で観察し、孔
のエッジがスムーズでなく、いわゆるギザが発生したも
のを不良、ギザが発生しなかったものを良好と判定し
た。また、冷延板を８２０℃で焼鈍した後の冷延板につ
いて、３０〜１００℃の温度範囲で熱膨張係数を測定し
た。調査結果を表２に示す。
【表２】
【００１３】表２から明らかなように、本発明に従った
試験番号Ｂ１〜Ｂ６のＦｅ−Ｎｉ系合金は、従来のＦｅ
−Ｎｉ系合金に比較してエッチング速度に優れている。
また、比較合金ではギザが発生し、エッチング穿孔性は
不良であるのに対し、試験番号Ｂ１〜Ｂ６のＦｅ−Ｎｉ
系合金はエッチング穿孔性も優れている。更に、表３
に、板厚分布とエッチング孔径のバラツキとの関係を示
す。表３から、板厚変動を１％以内に管理することによ
り、エッチング孔径のバラツキが小さくなり、シャドウ
マスクとして優れた品質を得ることができることが判
る。
試験番号Ｂ１〜Ｂ６のＦｅ−Ｎｉ系合金は、従来のＦｅ
−Ｎｉ系合金に比較してエッチング速度に優れている。
また、比較合金ではギザが発生し、エッチング穿孔性は
不良であるのに対し、試験番号Ｂ１〜Ｂ６のＦｅ−Ｎｉ
系合金はエッチング穿孔性も優れている。更に、表３
に、板厚分布とエッチング孔径のバラツキとの関係を示
す。表３から、板厚変動を１％以内に管理することによ
り、エッチング孔径のバラツキが小さくなり、シャドウ
マスクとして優れた品質を得ることができることが判
る。
【表３】
【００１４】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のＦｅ−
Ｎｉ系合金は、従来のシャドウマスク用材料に比較して
エッチング性に優れていると共に、低い熱膨張係数を示
す。また、エッチング用原板の板厚変動を１％以内に抑
えるとき、より一定したエッチング孔径をもつ品質安定
性に優れたシャドウマスクを得ることができる。
Ｎｉ系合金は、従来のシャドウマスク用材料に比較して
エッチング性に優れていると共に、低い熱膨張係数を示
す。また、エッチング用原板の板厚変動を１％以内に抑
えるとき、より一定したエッチング孔径をもつ品質安定
性に優れたシャドウマスクを得ることができる。
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｎｉ：３４．０〜３８．０重量％，Ｃ：
０．０１０重量％以下，Ｓｉ：０．３０重量％以下，Ｍ
ｎ：０．１０〜１．０重量％，Ｐ：０．００５〜０．０
２重量％，Ｓ：０．００５重量％以下，Ｃｒ：１．０〜
５．０重量％，Ｏ：０．０１０重量％以下，Ｎ：０．０
０５重量％以下及びＢ：０．００１重量％以下を含有
し、残部Ｆｅからなるシャドウマスク用低熱膨張合金。 - 【請求項２】 Ｎｉ：３４．０〜３８．０重量％，Ｃ：
０．０１０重量％以下，Ｓｉ：０．３０重量％以下，Ｍ
ｎ：０．１０〜１．０重量％，Ｐ：０．００５〜０．０
２重量％，Ｓ：０．００５重量％以下，Ｃｒ：１．０〜
５．０重量％，Ｃｏ：３．０重量％以下，Ｏ：０．０１
０重量％以下，Ｎ：０．００５重量％以下及びＢ：０．
００１重量％以下を含有し、残部Ｆｅからなるシャドウ
マスク用低熱膨張合金。 - 【請求項３】 請求項１又は２の合金からなる帯材であ
って、エッチング用原板内の板厚変動が板厚の１％以内
であるエッチング性に優れたシャドウマスク用低熱膨張
合金帯材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35638392A JPH06184702A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | シャドウマスク用低熱膨張合金及び合金帯 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35638392A JPH06184702A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | シャドウマスク用低熱膨張合金及び合金帯 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06184702A true JPH06184702A (ja) | 1994-07-05 |
Family
ID=18448743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35638392A Withdrawn JPH06184702A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | シャドウマスク用低熱膨張合金及び合金帯 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06184702A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100388285B1 (ko) * | 1999-11-09 | 2003-06-19 | 닛코킨조쿠 가부시기가이샤 | 세미텐션마스크용 저열팽창Ｆｅ-Ｎｉ계 합금, 이를 이용한세미텐션마스크 및 상기 세미텐션마스크를 사용하는컬러수상관 |
-
1992
- 1992-12-21 JP JP35638392A patent/JPH06184702A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100388285B1 (ko) * | 1999-11-09 | 2003-06-19 | 닛코킨조쿠 가부시기가이샤 | 세미텐션마스크용 저열팽창Ｆｅ-Ｎｉ계 합금, 이를 이용한세미텐션마스크 및 상기 세미텐션마스크를 사용하는컬러수상관 |
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