JP3401648B2 - 酸素センサ用棒状セラミックヒータ及びその製造方法 - Google Patents
酸素センサ用棒状セラミックヒータ及びその製造方法Info
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Description
導性固体電解質管からなる酸素センサの該管内に挿入し
て用いる棒状セラミックヒータに関する。
即ち先端が閉鎖された中空円筒形状の固体電解質管から
なる酸素センサの該管内に深く挿入するとともに該管の
開口端側又はそれとの間が一体状に固定された他の酸素
センサ部材を介して支承して用いられる従来の棒状セラ
ミックヒータは、例えば特開昭59-91357に記載がある。
それら従来の棒状セラミックヒータは、固体電解質管の
内面形状に合わせて円柱体形状としたアルミナ質棒状セ
ラミックヒータが専ら用いられた。この棒状セラミック
ヒータは発熱面が固体電解質管の内周囲面に近接してこ
れを各半径方向において略均一に加熱すること、セラミ
ックヒータの抗折力の半径方向の方向性がないこと、集
中熱応力が生じ難い形状であること等の利点がある。し
かし一方、この棒状セラミックヒータは、図8に示した
ように、仮焼したセラミック中空管201を芯体とし、
その周りに発熱抵抗体用高融点金属質膜状パターン20
3を予め厚膜印刷したセラミック生シート202を巻き
回し仮接着した後、周囲から軸芯に向けて圧着し、しか
る後に焼成一体化200することにより製造されるの
で、実際上芯体の仮焼工程を必要とすること、セラミッ
ク生シートの巻き回し接着の工程では巻き回しのための
多くの工数乃至は特殊且つ高価な装置を要すること、及
び圧着工程でもラバープレス等の高価な装置や工数を要
すること等のためコスト高にならざるを得ないと言う問
題があった。更には上記セラミック生シートの巻き回し
接着を正確に行うことが容易ではなく、歪んだ巻き回し
接着のために最終焼成工程後に巻き付け面の剥離が生じ
ると言う問題もあった。
術の問題点に着目し、製作が容易で従って製造コストが
低減されるとともに安定した品質のものが容易に得ら
れ、しかも抗折強度が有利に高く維持されるとともに酸
素センサ固体電解質管内への装着性も満足される新規且
つ有用な酸素センサ用棒状セラミックヒータの提供を目
的とする。
の酸素センサ用棒状セラミックヒータは、内外面に電極
層が被着された袋管状の酸素イオン伝導性固体電解質管
を備えた酸素センサの該管内に深く挿入するとともに該
管の開口端部又は該管との間が一体状に固定された他の
酸素センサ部材を介して支承して用いる酸素センサ用棒
状セラミックヒータにおいて、厚みを限界する一方の対
向表面間の厚み寸法bの上記対向表面と直交して巾を限
界する他方の対向表面間の巾寸法aに対する比が1以下
0.75以上の値を持つ柱体の形状とするとともに、金
属質発熱抵抗体厚膜パターンを上記厚みを限界する表面
に平行に配置埋設してなることを特徴とする。
用棒状セラミックヒータにおいて、稜部の少なくとも一
部に丸み付けが施されたことを特徴とする。
棒状セラミックヒータを製造する方法の発明は、発熱抵
抗体用金属質厚膜パターンを挟んでセラミック生シート
を積層圧着した後切断して積層体を得る段階と、上記積
層体を焼成して、厚みを限界する一方の対向表面間の厚
み寸法bの上記対向表面と直交して巾を限界する他方の
対向表面間の巾寸法aに対する比が1以下0.75以上
の値を持つ柱体の形状とするとともに、上記金属質発熱
抵抗体厚膜パターンを上記厚みを限界する対向表面に平
行に配置埋設した構造体を得る段階とからなることを特
徴とする。
柱体の上記厚み寸法bの上記巾寸法aに対する比b/a
が0.75以上の言わばずんぐり型の略角柱体形状とさ
れるのは、酸素センサ内に挿入して組付けを行うとき又
は組付た後にヒータ本体が字際上当接し得る固体電解質
管内面に被着された多孔質電極層部分に大きな損傷を与
えることがない様によることの外、図1に示した様に、
断面形状が巾a、高さbの直角4辺形である柱体を想定
してその柱体の断面形状をそれが一定直径円に内接する
ことを条件として変えていった場合に、比b/aが1か
ら0.75まで低下する間は、該柱体の抗折力比、即ち
b/a=1の場合の該柱体の抗折力に対する抗折力の比
の低下状況は、比較的緩慢で且つ80%強以上を維持す
る有利な範囲内であること、及び半径方向抗折力の方向
性が殆どない範囲であることのためである。
ック発生を避けるためと、ヒータを酸素センサの固体電
解質管内に挿入して該管に組付ける際又は酸素センサに
組付た後において実際上生じ得る固体電解質管内面に被
着された電極層部分への当接による該電極層部分の損傷
をより充分に避けるために丸み付けが施されることが好
ましい。ここで稜部の丸み付けとは、直交関係にあるヒ
ータの表面が作る仮想の角部が除去された状態を意味
し、焼結加工等の別途の加工の過程で成形体の直交する
表面が作る稜が丸み付けされる場合から、面取り加工、
R付け加工若しくはこれらの組み合わせ加工によって丸
み付けが施される場合を含む。丸み付けは、断面におい
て厚みbを限界する一方の対向表面と巾aを限界する他
方の対向表面とが直交して作る交点(稜)と該断面の中
心(軸芯)とを結ぶ線分上の該交点からの距離が最大該
線分の1/3までの長さ範囲で上記角部分の除去が行わ
れるように施される。その際より好ましくは上記線分の
約1/20から1/3までの長さ範囲で上記角部の除去
が行われるように施される。
度90%以上のAl2 O3 (アルミナ)セラミックスが
比較的安価でしかも性能が優れるので好ましい。但しこ
の場合において10%未満の不純物酸化物のうちCaO
及び/又はMgOは、イオン化成分となり得るために5
%以下であることがそれらイオン化成分のマイグレーシ
ョン現象の抑制上好ましい。
は、W,Mo,Re等の高融点金属又はPt等の貴金属
を好適に用い得る。なお、金属質発熱抵抗体厚膜パター
ンをヒータ本体の発熱部の表面近くに且つ該表面に沿っ
て埋設することは、冷態からの立ち上がり昇温の際に、
発熱がヒータ発熱部の表面層部分に集中して生じて先ず
その部分の温度を上昇させるので、ヒータ内に生じる引
張熱応力による表面クラックの発生可能性が抑制される
こと、及び熱効率を良く保つことのためにはより好まし
い。又その際、稜部で起こり易いクラックの発生を抑制
するために、厚膜パターンを厚みbを限界する一方の対
向表面の近くのみに埋設するか、或いは厚膜パターンを
上記一方の対向表面近くと該表面に直交する他方の対向
表面面近くとに埋設するととも上記他方の対向表面近く
に埋設した厚膜パターン部分からの発熱量を上記一方の
対向表面近くに埋設した厚膜パターン部分からの発熱量
よりも小さくしておくことができる。
タは、厚みを限界する一方の対向表面間の厚み寸法bの
上記対向表面と直交して巾を限界する他方の対向表面間
の巾寸法aに対する比が1以下0.75以上の値を持つ
柱体の形状としたので、固体電解質管の限られた円筒状
空間内に収められるセラミックヒータの抗折強度を有利
に高く保持できて酸素センサへの組付作業中又は酸素セ
ンサに組付られた状態で横方向衝撃力を受けたときの棒
状セラミックヒータの折損事故が抑制される。又、固体
電解質管への組付作業中又は酸素センサに組付られた状
態で横方向衝撃力を受けたときに固体電解質管内面に被
着された環状電極層とセラミックヒータとの間で実際上
生じ得る擦動乃至は当接に起因する上記電極層の大きい
損傷発生が回避される。
体の厚みを限界する表面に平行に、詰まり上記表面に平
行な面で区分されたヒータ本体の仮想の層別部分上に積
層する如き状態において配置埋設した構造としたので、
生産に当たっては該層別部分を形成すべき未焼成セラミ
ック成形体を生産し該成形体の厚みを限界する表面上に
発熱抵抗体用金属質パターンを積層し所望により更に厚
み方向に加圧して圧着した後においては、何等の形状変
形を伴う成形を行う必要なく単に厚み方向に積層する工
程若しくはこれに準ずる加工工程と本焼成工程とを経る
だけで棒状セラミックヒータが得られるので生産が容易
となり、従って生産コストが大幅に低減されるとともに
品質の安定した製品が得られる。
ヒータは、稜部の少なくとも一部に丸み付けを施す様に
したので、上述した電極層の損傷発生がより充分に回避
されるとともに、ヒータへの通電開始時の急激な昇温に
曝された時等において最も熱応力が集中し易い稜部にお
けるクラック発生が防止される。
ヒータの製造方法は、本第1発明の酸素センサ用の棒状
セラミックヒータの製造のために、一般の平板形状セラ
ミックヒータにおいては広く採用されているところの、
発熱抵抗体用金属質膜状パターンを挟んでセラミック生
シートを積層圧着してシート積層体を形成した後焼成す
ると言うセラミック製品の製法自体を有利に適用したの
で、金属質膜状パターンを積層圧着したセラミック生シ
ートを芯体の回りに巻き回す工程は無く、従って従来の
製造コストを大幅に低減させるとともに細かい作業を正
確に行うことができる。特にはより大きいセラミック生
シート乃至はその表面に多数の同一パターンを縦横に整
列させて印刷したセラミック生シートを積層圧着後、一
括同時切断によって一挙に多数のセラミック生シート積
層体を採るように所謂多数採りの方法が採用でき、従来
の製造コストを又一層大幅に低減させることができる。
なお、ヒータ本体の稜部の面取り又は丸み付け加工、殊
には面取加工は、上記セラミック生シート積層体の段階
で、例えば自動機を使用して容易に行えるので、更に一
層コスト低減上有利となる。
ンサ用棒状セラミックヒータ100の斜視図である。本
体101は、ここではAl2 O3 92%、CaO2.0
%、MgO1.0%、残りSiO2 等の焼結助剤のセラ
ミッスからなる全体として柱体の形状をなす。現在実用
されている内外面に多孔質厚膜状電極が被着された袋管
状固体電解質管からなる酸素センサの該管の大きさは、
概ね先側内径が3.3mm、底から開口端面までの深さ
が約50mm程度であるが、本実施例では丁度上記寸法
の固体電解質管に対して用いるために適した寸法形状と
した。即ち、ヒータの全長を約64mm、厚み方向を向
く両表面間の厚み寸法bを約2.0mm,上記表面と直
交する両側表面間の巾寸法aを約2.6mm、従ってb
/a=0.77とした。
巾aを限界する他方の対向表面とが直交して作る稜につ
いては前記線分即ち、ヒータ断面において該断面と上記
稜との交点と該断面の中心(軸芯)とを結ぶ線分に直交
する面で面巾約0.3mmの面取り(上記交点からの上
記線分上で測った距離が上記線分の長さの約1/10に
当たる点まで角部が除去される丸み付け)を施した。
部には、図3に示す様に、先端から全長の約3分の1の
長さ部分の発熱部とする先側部分にW質の厚膜パターン
106、107を、厚みbを限界する対向表面に平行に
2層にわたって且つそれぞれ蛇行状に埋設して設けた。
即ち発熱部の断面図である図2(B)に示したように、
各金属質発熱抵抗体厚膜パターンが上記対向表面に平行
な面によって区分されたセラミックヒータ本体の仮想の
層別部分間に挟まれる配置として設けた。即ち、各金属
質発熱体厚膜パターン106、107はそれぞれ一方の
表面セラミック層部分102(厚み約0.33mm)と
中間セラミック層部分104(厚み約0.67mm)と
の間、及び中間セラミック層部分105(厚み約0.6
7mm)と他方の表面セラミック層部分103(厚み約
0.33mm)との間に設けた。
属質厚膜パターンを厚み方向を向く両表面に近い部分で
集中的に発熱が行われるようにした。そして、図2、図
3に示す様に金属質発熱体厚膜パターン106と107
のそれぞれの一端を元側に延びる巾広のリード用パター
ン−を介して表面露出相互接続用パターン110によっ
て相互接続し、一方それぞれの他端をそれらから元側に
延びる他の巾広のリード用パターン−を介して表面露出
接続端子パターン108、109にそれぞれ接続するよ
うにした。
金属質厚膜パターンの全抵抗値(常温)は6オーム、う
ち発熱部の厚膜パターンの抵抗値は4.8オーム、従っ
て印加電圧を14ボルトとして発熱部での消費電力は、
通電定常時8.8ワットとした。
て製造した。 (1)Al2 O3 92%、CaO2%、MgO1%、S
iO2 5%となるように調合し湿式で30時間混合し
た。 (2)泥しょうを取り出し乾燥機で120℃の乾燥を行
った。 (3)20メッシュの篩通しを実施した後、乾式でポッ
ト混合を5時間行った。この時点で有機バインダと溶剤
を加え更に3時間混合を行った。 (4)ドクターブレード法で厚み0.39mm(焼成後
0.33mm)、0.59mm(焼成後0.49m
m)、0.80mm(焼成後0.67mm)の生シート
を作成した。 (5)W(タングステン)粉末に有機バインダと溶剤を
加えて印刷用インクを作った。 (6)厚み0.80mmの2枚のシート上に上記インク
を用いて約20μmmの厚みで図4のそれぞれ各10
6、107の如くパターン印刷した。 (7)印刷済の上記2枚のシートにはパターン印刷しな
い厚み0.39mmのシート1枚をそれぞれ積層した
後、熱圧着を実施した。 (8)上記2組の積層シートを0.39mmシートが表
面側にくるようにして更に積層し、熱圧着を施した。 (9)所定寸法に切断後、所定寸法で面取りを行った。 (10)上記インクを用いて表面露出中間接続用パター
ン110と、表面露出接続端子パターン108、109
とを側面印刷した。 (11)250℃×10時間の樹脂抜き後、1550℃
×2時間のH2 雰囲気焼成を行った。
ックヒータは次の様にして酸素センサに組付けた。先
ず、図6(A)に示すようにこの棒状セラミックヒータ
のNiメッキされた表面露出接続端子パターン(図2で
の108、109)にヒータ用端子金具20、20を、
ここでは銀ロウによって、ロウ付けした。なお、その際
に先ず棒状セラミックヒータをカーボン製治具上に寝か
せて置くとともにその接続端子パターンに対して所定の
関係位置を保ってヒータ用端子金具20、20を置いた
状態で加熱炉に通しながら該接続端子パターンと該端子
金具との間隙にロウ材を流し込むようにして行ったが、
その際従来の丸棒状セラミックヒータの場合と異なって
棒状ヒータが転がり易いと言うことがないのでその押さ
え止めのための治具は極めて簡単且つ安価なもので済ん
だ。なお又、ロウ材によるロウ接強度を高める場合のロ
ウ接時にロウ材の収縮作用が強く生じこれによってセラ
ミックヒータ本体表面部分にクラックが入り易くなる
が、セラミックヒータ本体の接続端部分の稜部にも面取
りが施されたことによって上記クラック発生が効果的に
防止された。
解質管内に深く挿入した状態で固体電解質管に対してし
っかりとしかも弾力的に固定するためのヒータ固定金具
30を取りつけた。このヒータ固定金具30は、厚み
0.2mmの金属板を図6(B)に示す形状に切断した
ものを用いて作った。ここで舌状片31、31’(2
対)は先端で少し隙間ができるようにパイプ状に丸め、
中央の舌状片32、32’も同様にパイプ状に丸めて作
った。なお、ここでは酸素センサの固体電解質管の内側
電極用の端子金具を兼ねさせるためにヒータ固定金具に
はそれから延びて内側電極用端子金具部分33を一体状
に設けてあるものを示す。上記舌片31、31’が作る
2個処のパイプ状部分の中に棒状セラミクヒータを先側
から上記舌片31、31’の半径方向内側に閉じる弾力
に逆らって挿通して両者を弾力的に固定した。この時図
6(C)に示された様に棒状セラミクヒータはその支承
部の稜部にも面取が施されたことによって上記舌片31
又は31’が作るパイプ状部分の内面との接触点が多く
なり衝撃を受けた時等のヒータに対する過大応力集中が
緩和される。
記舌片32、32’が作るパイプ形状部分をその半径方
向外方に拡大する弾力に逆らって固体電解質管、ここで
は開口内径が開口端の近くでやや広げられた固体電解質
管の該開口内に押し入れ、しかしてヒータを、固体電解
質管の奥深くに挿入した状態で横振れに対して弾力的に
して、固体電解質管に対して固定させた。
たものの構造概要を示す。図中、40は、実施例の棒状
セラミックヒータ100をヒータ固定金具30によって
弾力的に固定支持した袋管状固体電解質管、41はその
内面に被着された電極としての多孔質Pt厚膜層、42
はその外面に被着された電極としての多孔質Pt厚膜
層、43は固体電解質管の取り付け用金具、43aは加
締部、44はパッキング、45は滑石、46は加締用当
金リング、47は内側保護筒で、下方のフランジ状縁部
47aがパッキング44、固体電解質管40、滑石4
5、加締用当金リング46とともに加締部43aを介し
て取り付け用金具に対して熱加締固定されている。48
は外側保護筒、49は通気性スペーサ、50はシリコン
ゴムシール材、51は一方のヒータ用端子金具(20)
と接続した一方のヒータ用リードワイア、52は他方の
ヒータ用端子金具(20)と接続した他方のヒータ用リ
ードワイア、53は図示しないがヒータ固定金具30か
ら延びる内側電極用端子金具部分(33)と接続した内
部電極用リードワイア、54は開口54aを具えたプロ
テクタである。
側保護筒47とは加締48aにより固定されるととも
に、リードワイア52、52、53を緩く挿通されたシ
リコンゴム50とこれを緩く挿通した外側保護筒48と
は加締48bにより相互に気密状に固定する様にしてい
る。又、基準酸素源とする大気は外側保護筒48と内側
保護筒47との間隙、通気性スペーサ49、固定電解質
管内面とセラミックヒータとの間隙を経て固定電解質管
内面の電極41に連通する様にしている。又、センサ出
力は内部電極用リードワイア53と取り付け用金具43
(接地端子)との間から取り出す様にしている。
全長を約64mmとし、厚み方向を向く対向表面間の厚
み寸法bと該表面に直交する両側表面間の巾寸法aを共
に約2.6mm、従ってb/a=1とした。
限界する表面が作る稜について断面の対向する稜を中心
とした半径Rが3.4mmの大R付け(従って上記線分
の約1/7に当たる角部分が除去される丸み付け)を行
った。
は、図5に示した様に、先端から全長の約3分の1の長
さ部分を発熱部として、その部分に金属質、ここではW
(タングステン)質の発熱体厚膜パターン117、11
8、119、120、121を、厚みbを限界する対向
表面に平行に5層にわたって且つそれぞれ蛇行状に埋設
して設けた。即ち発熱部の断面図である図4に示したよ
うに、各金属質発熱体厚膜パターンが上記対向表面に平
行な面によって区分されたセラミックヒータ本体の仮想
の層別部分間に挟まれる配置として設けた。即ち、金属
質発熱体厚膜パターン117は一方の表面セラミック層
部分111(厚み約0.33mm)と中間セラミック層
部分113(厚み約0.49mm)との間に、厚膜パタ
ーン118は中間セラミック層部分113と中間セラミ
ック層部分114(厚み約0.49mm)との間に、厚
膜パターン119は中間セラミック層部分114と中間
セラミック層部分115(厚み約0.49mm)との間
に、厚膜パターン120は中間セラミック層部分115
と中間セラミック層部分116(厚み約0.49mm)
との間に、厚膜パターン121は中間セラミック層部分
116と他方の表面セラミック層部分112(厚み約
0.33mm)との間にそれぞれ設けた。なお、ここで
は上記したようにして金属質発熱体厚膜パターンを表面
に近い部分で集中的に発熱が行われるように配設した。
但し、ここでは更に図6に示したように厚膜パターン1
17と121とは並列接続するとともに厚膜パターン1
18、119、120を直列接続した上でそれぞれ電源
に対して並列接続する様にして巾aを限界する対向表面
の近傍における発熱量をこれと直交して厚みbを限界す
る対向表面の近傍における発熱量よりも小さくした。
面露出中間接続用パターン、122と124はそれぞれ
表面露出接続端子パターンを示す。なお、各露出パター
ンにはNiメッキをほどこした。金属質厚膜パターンの
全入力抵抗値(常温)は3.21オーム、うち厚み方向
を向く両表面に近いパターン117、121による入力
抵抗値は5オーム(うち、発熱部のパターンによる抵抗
値は2.5オーム)、中間のパターン118、119、
120による入力抵抗値は9オーム(うち、発熱部のパ
ターンによる抵抗値は5オーム)、印加電圧を14ボル
トとして発熱部での通電定常時の全消費電力は16.5
ワット、うち厚み方向を向く両表面に近いパターンによ
る消費電力は10.6ワットとした。
場合と同様にして製造した。また、この棒状セラミック
ヒータを第1実施例の場合と同様にして酸素センサに組
付けた。
ラミックヒータ各5個を下記条件の耐衝撃試験に供し
た。供試センサを振動試験機にセットし、センサの先側
をヒータ先端温度が850℃になるようにバーナを用い
て加熱しながら30Gの振動を30時間与え、その後供
試センサのセット方向を60°回動してセットし直して
同条件の振動を30時間与え、その後更に供試センサの
セット方向を60°回動してセットし直して同条件の振
動を30時間与え、合計90時間の耐衝撃試験を行っ
た。上記試験を実施後に供試センサを分解して調査した
結果、全供試センサについてセラミックヒータ本体の破
損、クラック発生、固体電解質管内面の目立った損傷は
いずれも認められなかった。
電繰り返し試験に供した。酸素センサを充分大きいヒー
トシンク量のベースに取り付け、常温下でDC17Vを
印加して3時間通電を継続したのち1時間冷却する通電
パターンを50サイクル合計200時間行った。なお、
通電によって酸素センサの固体電解質管の先端温度は、
第1実施例のセンサで約510℃、第2実施例のセンサ
で約620℃であった。上記試験を実施後に供試センサ
を分解して調査した結果、全供試センサについてセラミ
ックヒータには何の異常も認められなかった。
ではない。例えば、上記実施例では発熱抵抗体用金属質
厚膜パターンを厚み方向を向く両表面の近くか又はこれ
と直交する両側面の近くに且つこれらの面に沿う様にし
て設けたが、本発明ではこの配置に限られるものではな
い。又、セラミックヒータ本体は中実に形成したが、大
気を基準酸素分圧源として固体電解質管内面電極に導く
ための小径の貫通孔を中心部に設けることもできる。
又、棒状セラミックヒータを酸素センサの袋管状固体電
解質管の開口端側又はそれとの間が一体状に固定された
他の酸素センサ部材を介して支承する手段も実施例のヒ
ータ固定金具に限られず、ヒータの横方向の振れ動きに
対して弾力性を持たせるために弾性部材を介して支承す
る他の支承手段も有利に採用できるが、更にはヒータを
上記他の酸素センサ部材に例えば封着用ガラスを用いて
一体状に固定してもよい。又、ヒータの接続端子パター
ンと該ヒータに電源電圧を印加するための端子金具との
接続方法も実施例で採用したロウ付け方法に限られず、
例えばソケット嵌め込み方式であってもよい。
礎となる断面形状(a×b)についてその形状b/aを
変化させた場合の、b/a=1の場合の抗折力に対する
抗折力の比(弾性梁とした計算結果)の変化の模様を示
す参考図である。
(A)と、発熱部の断面図(B)である。
られた金属質発熱抵抗体厚膜パターンの配置、接続状態
を説明するための図である。
断面図である。
られた金属質発熱抵抗体厚膜パターンの配置、接続状態
を説明するための図である。
て採用した端子金具、及び該ヒータを袋管状の酸素イオ
ン伝導性固体電解質管酸素センサの該管内に深く挿入し
た状態で該管の開口端側において弾力的に支承するため
のヒータ固定金具の説明図である。(A)はセラミック
ヒータに端子金具及びヒータ固定金具を装着した状態の
正面図、(B)はヒータ固定金具を最終的に成形する前
段階の金属板打ち抜き状態を示す図、(C)はヒータ固
定金具に取り付けられたセラミックヒータを固体電解質
管の開口内に装着した状態の断面図(E−E断面)であ
る。
て採用した酸素センサへの組付状態を示す図である。
造説明図である。
膜パターン b:棒状セラミックヒータの厚みを限界する一方の対向
表面間の寸法(厚み寸法) a:棒状セラミックヒータの巾を限界する他方の対向表
面間の寸法(巾寸法) 40:袋管状固体電解質管
Claims (3)
- 【請求項1】 内外面に電極層が被着された袋管状の酸
素イオン伝導性固体電解質管を備えた酸素センサの該管
内に深く挿入するとともに該管の開口端部又は該管との
間が一体状に固定された他の酸素センサ部材を介して支
承して用いる酸素センサ用棒状セラミックヒータにおい
て、厚みを限界する一方の対向表面間の厚み寸法bの上
記対向表面と直交して巾を限界する他方の対向表面間の
巾寸法aに対する比が1以下0.75以上の値を持つ柱
体の形状とするとともに、金属質発熱抵抗体厚膜パター
ンを上記厚みを限界する表面に平行に配置埋設してなる
ことを特徴とする酸素センサ用棒状セラミックヒータ。 - 【請求項2】 稜部の少なくとも一部に丸み付けが施さ
れたことを特徴とする請求項1記載の酸素センサ用棒状
セラミックヒータ。 - 【請求項3】 発熱抵抗体用金属質厚膜パターンを挟ん
でセラミック生シートを積層圧着した後切断して積層体
を得る段階と、上記積層体を焼成して、厚みを限界する
一方の対向表面間の厚み寸法bの上記対向表面と直交し
て巾を限界する他方の対向表面間の巾寸法aに対する比
が1以下0.75以上の値を持つ柱体の形状とするとと
もに、上記金属質発熱抵抗体厚膜パターンを上記厚みを
限界する対向表面に平行に配置埋設した構造体を得る段
階とからなることを特徴とする酸素センサ用棒状セラミ
ックヒータの製造方法。
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