JP3385644B2 - レーザープラズマｘ線源 - Google Patents
レーザープラズマｘ線源Info
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- JP3385644B2 JP3385644B2 JP06878293A JP6878293A JP3385644B2 JP 3385644 B2 JP3385644 B2 JP 3385644B2 JP 06878293 A JP06878293 A JP 06878293A JP 6878293 A JP6878293 A JP 6878293A JP 3385644 B2 JP3385644 B2 JP 3385644B2
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- laser
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸ線露光装置、Ｘ線顕微
鏡、Ｘ線分析装置などに用いるＸ線源に関するものであ
る。
鏡、Ｘ線分析装置などに用いるＸ線源に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線源として、巻取り可能な帯状に形成
された標的物質にレーザー光を照射して該標的物質をプ
ラズマ化し、該プラズマからＸ線を発生させるレーザー
プラズマＸ線源が知られている。従来のこの種の装置
は、図６に示すように、基板６０１上にテープ状標的６
０２を挟み込み、標的の位置を固定する押さえ板６０
３、６０４と、テープ状標的を巻取るためのリール６０
６、６０７と、このリールを回転させるためのモーター
（図には示していない）を有し、リールを回転させるこ
とによりテープ状標的を走行させていた。また、両方の
リールを回転駆動できるようにし、基板６０１に取り付
けられたモーター６０９によって駆動されるステージに
よりＤ方向へ移動できるようにすることによって、テー
プ状標的の往復使用を可能にしていた。
された標的物質にレーザー光を照射して該標的物質をプ
ラズマ化し、該プラズマからＸ線を発生させるレーザー
プラズマＸ線源が知られている。従来のこの種の装置
は、図６に示すように、基板６０１上にテープ状標的６
０２を挟み込み、標的の位置を固定する押さえ板６０
３、６０４と、テープ状標的を巻取るためのリール６０
６、６０７と、このリールを回転させるためのモーター
（図には示していない）を有し、リールを回転させるこ
とによりテープ状標的を走行させていた。また、両方の
リールを回転駆動できるようにし、基板６０１に取り付
けられたモーター６０９によって駆動されるステージに
よりＤ方向へ移動できるようにすることによって、テー
プ状標的の往復使用を可能にしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】レーザー光をテープ状
標的に照射すると照射位置に穴があき、その穴の周りに
レーザー光入射方向及び反対方向に向かってバリが発生
する。そのため、従来の技術の方法では、テープ状標的
をリールに巻取る際にバリが出た状態で巻取ることにな
り、バリの厚さのためにリールに巻取った後のテープ状
標的の層の厚みが大きく膨らみ、全てのテープ状標的を
巻取ることができなくなるという問題があった。また、
バリの突起のために巻取ったテープ状標的にシワができ
てしまい、テープ状標的を往復走行させて使用する場
合、このシワのためにプラズマ生成位置がレーザー光軸
方向に変動するという問題もあった。本発明はこのよう
な問題を解決することを目的とする。
標的に照射すると照射位置に穴があき、その穴の周りに
レーザー光入射方向及び反対方向に向かってバリが発生
する。そのため、従来の技術の方法では、テープ状標的
をリールに巻取る際にバリが出た状態で巻取ることにな
り、バリの厚さのためにリールに巻取った後のテープ状
標的の層の厚みが大きく膨らみ、全てのテープ状標的を
巻取ることができなくなるという問題があった。また、
バリの突起のために巻取ったテープ状標的にシワができ
てしまい、テープ状標的を往復走行させて使用する場
合、このシワのためにプラズマ生成位置がレーザー光軸
方向に変動するという問題もあった。本発明はこのよう
な問題を解決することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的のために本発明
では、第１の手段として、巻取り可能な帯状に形成され
た標的物質にレーザー光を照射して該標的物質をプラズ
マ化し、該プラズマからＸ線を発生させるレーザープラ
ズマＸ線源であって、レ−ザ−光導入用スリットを有す
る押さえ板、前記標的物質を巻き取る回転手段、該回転
手段を駆動する駆動手段および前記標的物質のレーザー
光の照射位置と前記回転手段との間に配置される前記標
的物質を所定の圧力で挟み込む手段を設けたことを特徴
とするレーザープラズマＸ線源とした。これによって、
照射位置の照射光軸方向のズレがなくなる。第２の手段
として、巻取り可能な帯状に形成された標的物質にレー
ザー光を照射して該標的物質をプラズマ化し、該プラズ
マからＸ線を発生させるレーザープラズマＸ線源であっ
て、前記標的物質を巻き取る回転手段、該回転手段を駆
動する駆動手段および前記標的物質のレーザー光の照射
位置と前記回転手段との間に配置される前記標的物質を
所定の圧力で挟み込む手段を有し、該挟み込む手段が該
標的物質又は標的物質を構成するテ−プ基板よりも堅い
材料で作られた二つのロ−ラであることを特徴とするレ
ーザープラズマＸ線源とした。第３の手段として、巻取
り可能な帯状に形成された標的物質にレーザー光を照射
して該標的物質をプラズマ化し、該プラズマからＸ線を
発生させるレーザープラズマＸ線源であって、前記標的
物質を巻き取る回転手段、該回転手段を駆動する駆動手
段および前記標的物質のレーザー光の照射位置と前記回
転手段との間に配置される前記標的物質を所定の圧力で
挟み込む手段を有し、該圧力が調整可能になされている
ことを特徴とするレーザープラズマＸ線源とした。
では、第１の手段として、巻取り可能な帯状に形成され
た標的物質にレーザー光を照射して該標的物質をプラズ
マ化し、該プラズマからＸ線を発生させるレーザープラ
ズマＸ線源であって、レ−ザ−光導入用スリットを有す
る押さえ板、前記標的物質を巻き取る回転手段、該回転
手段を駆動する駆動手段および前記標的物質のレーザー
光の照射位置と前記回転手段との間に配置される前記標
的物質を所定の圧力で挟み込む手段を設けたことを特徴
とするレーザープラズマＸ線源とした。これによって、
照射位置の照射光軸方向のズレがなくなる。第２の手段
として、巻取り可能な帯状に形成された標的物質にレー
ザー光を照射して該標的物質をプラズマ化し、該プラズ
マからＸ線を発生させるレーザープラズマＸ線源であっ
て、前記標的物質を巻き取る回転手段、該回転手段を駆
動する駆動手段および前記標的物質のレーザー光の照射
位置と前記回転手段との間に配置される前記標的物質を
所定の圧力で挟み込む手段を有し、該挟み込む手段が該
標的物質又は標的物質を構成するテ−プ基板よりも堅い
材料で作られた二つのロ−ラであることを特徴とするレ
ーザープラズマＸ線源とした。第３の手段として、巻取
り可能な帯状に形成された標的物質にレーザー光を照射
して該標的物質をプラズマ化し、該プラズマからＸ線を
発生させるレーザープラズマＸ線源であって、前記標的
物質を巻き取る回転手段、該回転手段を駆動する駆動手
段および前記標的物質のレーザー光の照射位置と前記回
転手段との間に配置される前記標的物質を所定の圧力で
挟み込む手段を有し、該圧力が調整可能になされている
ことを特徴とするレーザープラズマＸ線源とした。
【０００５】また、標的物質を安定して走行させるため
に、駆動ロ−ラを設けたり、挟み込む手段が標的走行駆
動機能を有するようにした。
に、駆動ロ−ラを設けたり、挟み込む手段が標的走行駆
動機能を有するようにした。
【０００６】
【作用】上記の如き構成においては、テープ状標的を回
転手段に巻取る前に標的物質を所定の圧力で挟み込んで
バリを押しつぶすので、バリの厚さが低減できる。その
ため回転手段で巻取ったときにテープ状標的の層の厚さ
が厚くなるのを緩和できる。また、バリにより生じるテ
ープ状標的のシワも低減できる。
転手段に巻取る前に標的物質を所定の圧力で挟み込んで
バリを押しつぶすので、バリの厚さが低減できる。その
ため回転手段で巻取ったときにテープ状標的の層の厚さ
が厚くなるのを緩和できる。また、バリにより生じるテ
ープ状標的のシワも低減できる。
【０００７】
【実施例１】図１は本発明の一実施例を示す概略構成
図、図２は図１のバリつぶし用ローラー部の部材１１３
を取り除いた状態で上からみたものである。リール１１
７、１１８は、基板１０１上に回転可能なように取り付
けられており、それぞれのリールはテープ状標的１０２
が往復走行可能なように駆動装置により回転され、テー
プ状標的１０２を巻取ることができるようになってい
る。なお、図１ではそのための駆動装置および動力伝達
系は省略してある。図１ではテープ状標的１０２がリー
ル１１７からリール１１８に向かって巻取られている。
テープ状標的１０２は押さえ板１０３と１０４によっ
て、レーザー光照射位置がレーザー光１０６の光軸方向
に変動しないように挟み込まれている。押さえ板１０３
は基板１０１に固定され、押さえ板１０４は部材１０５
に取り付けられているバネ（図には示していない）によ
って押さえ板１０３に向かって押しつけられている。レ
ーザー光１０６は、レーザー光導入用スリット１１９を
通してテープ状標的１０２を照射しプラズマを生成しこ
のプラズマからＸ線を発生させる。レーザー光１０６が
照射されたテープ状標的１０２には照射位置に穴があ
き、その周りにバリ１１６が発生する（図２参照）。レ
ーザー光１０６の照射後テープ状標的１０２はリール１
１８に巻取られるが、その途中でローラー１０７と１１
０により挟み込まれ、バリ１１６が押しつぶされる。ロ
ーラー１０７の中心には略Ｌ字形のピン１０９が通って
おり、ローラー１０７はピン１０９の周りに自由に回転
できるようになっている。ピン１０９は部材１０８に固
定されており、部材１０８はローラー１０７がローラー
１１０に押されて傾くことがないようにしっかりと基板
１０１に固定されている。もう一方のローラー１１０の
中心にもＬ字形のピン１１１が通っており、ローラー１
１０はピン１１１の周りに自由に回転できるようになっ
ている。ピン１１１は部材１１２に固定されている。部
材１１２はコイルバネ１２０を介して部材１１５に取り
付けられている。部材１１５は長穴１２２を通してネジ
１２１により基板１０１に固定されている。この時、ネ
ジ１２１を長穴に通す位置を調整することによりローラ
ー１１０がローラー１０７に押しつける力をバリ１１６
が押しつぶされるように調整することができる。部材１
１４、１１３は部材１１５の４面に取り付けられてお
り、部材１１２すなわちローラー１１０がローラー１０
７に押しつけられたときに上下左右にずれないように、
部材１１２を上下左右から保持し、ローラー１１０が前
後にのみ移動できるようにしている。レーザー光１０６
の照射によってできたバリ１１６はテープ状標的１０２
がリール１１８に巻取られるにつれてＡ方向に移動し、
ローラー１０７と１１０によって挟まれ、バリ１１６を
押しつぶした後巻取りリール１１８に巻取られる。テー
プ状標的１０２を交換するときはローラー１１０を部材
１１５側に押し込むか、ネジ１２１を緩めて交換する。
図、図２は図１のバリつぶし用ローラー部の部材１１３
を取り除いた状態で上からみたものである。リール１１
７、１１８は、基板１０１上に回転可能なように取り付
けられており、それぞれのリールはテープ状標的１０２
が往復走行可能なように駆動装置により回転され、テー
プ状標的１０２を巻取ることができるようになってい
る。なお、図１ではそのための駆動装置および動力伝達
系は省略してある。図１ではテープ状標的１０２がリー
ル１１７からリール１１８に向かって巻取られている。
テープ状標的１０２は押さえ板１０３と１０４によっ
て、レーザー光照射位置がレーザー光１０６の光軸方向
に変動しないように挟み込まれている。押さえ板１０３
は基板１０１に固定され、押さえ板１０４は部材１０５
に取り付けられているバネ（図には示していない）によ
って押さえ板１０３に向かって押しつけられている。レ
ーザー光１０６は、レーザー光導入用スリット１１９を
通してテープ状標的１０２を照射しプラズマを生成しこ
のプラズマからＸ線を発生させる。レーザー光１０６が
照射されたテープ状標的１０２には照射位置に穴があ
き、その周りにバリ１１６が発生する（図２参照）。レ
ーザー光１０６の照射後テープ状標的１０２はリール１
１８に巻取られるが、その途中でローラー１０７と１１
０により挟み込まれ、バリ１１６が押しつぶされる。ロ
ーラー１０７の中心には略Ｌ字形のピン１０９が通って
おり、ローラー１０７はピン１０９の周りに自由に回転
できるようになっている。ピン１０９は部材１０８に固
定されており、部材１０８はローラー１０７がローラー
１１０に押されて傾くことがないようにしっかりと基板
１０１に固定されている。もう一方のローラー１１０の
中心にもＬ字形のピン１１１が通っており、ローラー１
１０はピン１１１の周りに自由に回転できるようになっ
ている。ピン１１１は部材１１２に固定されている。部
材１１２はコイルバネ１２０を介して部材１１５に取り
付けられている。部材１１５は長穴１２２を通してネジ
１２１により基板１０１に固定されている。この時、ネ
ジ１２１を長穴に通す位置を調整することによりローラ
ー１１０がローラー１０７に押しつける力をバリ１１６
が押しつぶされるように調整することができる。部材１
１４、１１３は部材１１５の４面に取り付けられてお
り、部材１１２すなわちローラー１１０がローラー１０
７に押しつけられたときに上下左右にずれないように、
部材１１２を上下左右から保持し、ローラー１１０が前
後にのみ移動できるようにしている。レーザー光１０６
の照射によってできたバリ１１６はテープ状標的１０２
がリール１１８に巻取られるにつれてＡ方向に移動し、
ローラー１０７と１１０によって挟まれ、バリ１１６を
押しつぶした後巻取りリール１１８に巻取られる。テー
プ状標的１０２を交換するときはローラー１１０を部材
１１５側に押し込むか、ネジ１２１を緩めて交換する。
【０００８】本実施例ではローラー１１０をローラー１
０７に押しつける際にコイルバネ１２０を用いている
が、板バネであってもよい。また、図３に示すようにね
じりバネ３０７を用いても良い。図３において、ローラ
ー３０８の中心にはＬ形のピン３０９が通っており、ロ
ーラー３０８はピン３０９の回りを自由に回転できるよ
うになっている。ピン３０９は部材３１０に固定され、
部材３１０は基板上に固定されている。もう一方のロー
ラー３０２の中心にはＬ形のピン３０３が通っており、
ローラー３０２は、ピン３０３の周りを自由に回転でき
るようになっている。ピン３０３は部材３０４に固定さ
れ、部材３０４は蝶番３０６を介して部材３０５に取り
付けられており、部材３０５は基板に固定されている。
部材３０４と部材３０５の間にはねじりバネ３０７があ
り、ローラー３０２をローラー３０８に向かって押しつ
けている。この時、ローラー３０２のローラー３０８へ
押しつける力は、ねじりバネ３０７のバネ定数や部材３
０５を基板上に固定する位置などを調整し、バリ３１１
を押しつぶすことができるようにする。このように、ね
じりバネを使用すると、テープ状標的３０１を交換し易
いという利点がある。
０７に押しつける際にコイルバネ１２０を用いている
が、板バネであってもよい。また、図３に示すようにね
じりバネ３０７を用いても良い。図３において、ローラ
ー３０８の中心にはＬ形のピン３０９が通っており、ロ
ーラー３０８はピン３０９の回りを自由に回転できるよ
うになっている。ピン３０９は部材３１０に固定され、
部材３１０は基板上に固定されている。もう一方のロー
ラー３０２の中心にはＬ形のピン３０３が通っており、
ローラー３０２は、ピン３０３の周りを自由に回転でき
るようになっている。ピン３０３は部材３０４に固定さ
れ、部材３０４は蝶番３０６を介して部材３０５に取り
付けられており、部材３０５は基板に固定されている。
部材３０４と部材３０５の間にはねじりバネ３０７があ
り、ローラー３０２をローラー３０８に向かって押しつ
けている。この時、ローラー３０２のローラー３０８へ
押しつける力は、ねじりバネ３０７のバネ定数や部材３
０５を基板上に固定する位置などを調整し、バリ３１１
を押しつぶすことができるようにする。このように、ね
じりバネを使用すると、テープ状標的３０１を交換し易
いという利点がある。
【０００９】なお、図１、２、３で使われているローラ
ー１０７、１１０、３０２、３０８は、少なくともバリ
が当たる部分はテープ状標的物質またはテープ状基板に
使われている材料よりも硬い材料で作られている。ま
た、図１ではテープ状標的１０２が往復走行するため
に、レーザー光１０６の照射位置とリール１１７の間お
よびレーザー照射位置とリール１１８の間の両方にバリ
つぶし用のローラーが設置されているが、テープ状標的
を片道走行のみで使用するならば、レーザー光照射位置
と巻取りリールの間のみに設置しても良い。
ー１０７、１１０、３０２、３０８は、少なくともバリ
が当たる部分はテープ状標的物質またはテープ状基板に
使われている材料よりも硬い材料で作られている。ま
た、図１ではテープ状標的１０２が往復走行するため
に、レーザー光１０６の照射位置とリール１１７の間お
よびレーザー照射位置とリール１１８の間の両方にバリ
つぶし用のローラーが設置されているが、テープ状標的
を片道走行のみで使用するならば、レーザー光照射位置
と巻取りリールの間のみに設置しても良い。
【００１０】
【実施例２】図４は、本発明の第２の実施例を示す概略
構成図である。全体の構成は、図１とほぼ同じなのでロ
ーラー部付近のみを図４に示してある。実施例１では巻
取り用リールを回転させることによりテープ状標的を走
行させていたが、本実施例ではテープ状標的を走行させ
る駆動系を巻取りリールと独立して設けてある。以下図
４をもとに説明する。図１、２に示すようなバリつぶし
用ローラー４１０、４０２と巻取りリールの間に、テー
プ状標的走行駆動用ローラー４２１が設置されている。
ローラー４２１には駆動装置（モーターなど）と動力伝
達系が取り付けられており、ローラー４２１をピン４２
３を中心にＢ方向およびＣ方向に回転できるようになっ
ている。なお、そのための駆動装置、動力伝達系は図で
は省略してある。ローラー４１３の中心にはＬ形のピン
４１４が通っていて、ローラー４１３はピン４１４の周
りに自由に回転できるようになっている。ピン４１４は
部材４１５に固定されている。部材４１５はコイルバネ
４２０を介して部材４１６に取り付けられている。部材
４１６は長穴４１８を通してネジ４１７により基板に固
定されている。この時、ネジ４１７の長穴を通す位置を
調整することで、テープ状標的走行駆動用ローラー４２
１がスリップせずにテープ状標的４０１を走行させるこ
とができるようにローラー４１３がローラー４２１を押
す力を調整することができる。また、ローラー４１３が
ローラー４２１に押しつけられたときに上下左右にずれ
ないように、部材４１９等により上下左右から部材４１
５を保持し、ローラー４１３が前後にのみ移動できるよ
うにしている。図４ではテープ状標的走行駆動用ローラ
ー４２１をＢ方向に回転させ、テープ状標的４０１をＡ
方向に走行させ、巻取りリール（図示せず）へと導いて
いる。テープ状標的走行駆動用ローラー４２１と巻取り
リールの間で、テープ状標的４０１が弛んでしまわない
ように適当な駆動装置及び動力伝達系（図には示してい
ない）により巻取りリールを回転させテープ状標的４０
１をリールに巻取っている。
構成図である。全体の構成は、図１とほぼ同じなのでロ
ーラー部付近のみを図４に示してある。実施例１では巻
取り用リールを回転させることによりテープ状標的を走
行させていたが、本実施例ではテープ状標的を走行させ
る駆動系を巻取りリールと独立して設けてある。以下図
４をもとに説明する。図１、２に示すようなバリつぶし
用ローラー４１０、４０２と巻取りリールの間に、テー
プ状標的走行駆動用ローラー４２１が設置されている。
ローラー４２１には駆動装置（モーターなど）と動力伝
達系が取り付けられており、ローラー４２１をピン４２
３を中心にＢ方向およびＣ方向に回転できるようになっ
ている。なお、そのための駆動装置、動力伝達系は図で
は省略してある。ローラー４１３の中心にはＬ形のピン
４１４が通っていて、ローラー４１３はピン４１４の周
りに自由に回転できるようになっている。ピン４１４は
部材４１５に固定されている。部材４１５はコイルバネ
４２０を介して部材４１６に取り付けられている。部材
４１６は長穴４１８を通してネジ４１７により基板に固
定されている。この時、ネジ４１７の長穴を通す位置を
調整することで、テープ状標的走行駆動用ローラー４２
１がスリップせずにテープ状標的４０１を走行させるこ
とができるようにローラー４１３がローラー４２１を押
す力を調整することができる。また、ローラー４１３が
ローラー４２１に押しつけられたときに上下左右にずれ
ないように、部材４１９等により上下左右から部材４１
５を保持し、ローラー４１３が前後にのみ移動できるよ
うにしている。図４ではテープ状標的走行駆動用ローラ
ー４２１をＢ方向に回転させ、テープ状標的４０１をＡ
方向に走行させ、巻取りリール（図示せず）へと導いて
いる。テープ状標的走行駆動用ローラー４２１と巻取り
リールの間で、テープ状標的４０１が弛んでしまわない
ように適当な駆動装置及び動力伝達系（図には示してい
ない）により巻取りリールを回転させテープ状標的４０
１をリールに巻取っている。
【００１１】この時、テープ状標的方向駆動用ローラー
４２１およびローラー４１３に使われている材料はテー
プ状標的物質またはテープ状基板に使われている材料よ
りも硬くなくても良い。さらに、テープ状標的走行駆動
用ローラー４２１を配置位置はレーザー光照明位置とバ
リつぶし用ローラー４１０、４０２の間であっても良
い。また、コイルバネ４２０の代わりに板バネを用いて
も良いし、図３に示したようにねじりバネを用いても良
い。テープ状標的を往復走行させるときは、図４に示し
た装置をもう一方のレーザー照射位置とリールとの間に
も設置する。この時、テープ状標的を走行させるときに
は片方のテープ状標的走行駆動用ローラーを回転させて
走行させても良いし、両方のテープ状標的走行駆動用ロ
ーラーを回転させて走行させても良い。
４２１およびローラー４１３に使われている材料はテー
プ状標的物質またはテープ状基板に使われている材料よ
りも硬くなくても良い。さらに、テープ状標的走行駆動
用ローラー４２１を配置位置はレーザー光照明位置とバ
リつぶし用ローラー４１０、４０２の間であっても良
い。また、コイルバネ４２０の代わりに板バネを用いて
も良いし、図３に示したようにねじりバネを用いても良
い。テープ状標的を往復走行させるときは、図４に示し
た装置をもう一方のレーザー照射位置とリールとの間に
も設置する。この時、テープ状標的を走行させるときに
は片方のテープ状標的走行駆動用ローラーを回転させて
走行させても良いし、両方のテープ状標的走行駆動用ロ
ーラーを回転させて走行させても良い。
【００１２】
【実施例３】図５は、本発明の第３の実施例を示す概略
構成図である。全体の構成は図１とほぼ同じなのでロー
ラー部付近を図５に示している。図５ではテープ状標的
走行駆動用ローラーとバリつぶし用ローラーを兼ねてい
る。以下、図５をもとに説明する。テープ状標的走行駆
動兼バリつぶし用ローラー５１０には駆動装置（モータ
ーなど）と動力伝達系が取り付けられており、ローラー
５１０をピン５１２を中心にＢ方向およびＣ方向に回転
できるようになっている。なお、駆動装置、動力伝達系
は図では省略してある。もう一方のローラー５０２の中
心にはＬ形のピン５０３が通っていて、ローラー５０２
はピン５０３の周りに自由に回転できるようになってい
る。ピン５０３は部材５０４に固定されている。部材５
０４はコイルバネ５０９を介して部材５０５に取り付け
られている。部材５０５は長穴５０７を通してネジ５０
６により基板に固定されている。この時、ネジ５０６の
長穴を通す位置を調整することにより、テープ状標的走
行駆動用ローラー５１０がスリップせずにテープ状標的
５０１を走行させることができるように、かつバリ５１
１を押しつぶすことができるような力でローラー５０２
がローラー５１０を押すように調整することができる。
ローラー５０２がローラー５１０に押しつけられたとき
に上下左右にずれないように、部材５０８等により上下
左右から部材５０４を保持し、ローラー５０２が前後に
のみ移動できるようにしている。図５ではテープ状標的
走行駆動兼バリつぶし用ローラー５１０をＢ方向に回転
させ、テープ状標的５０１をＡ方向に走行させ、巻取り
リール（図には示していない。）へと導いている。テー
プ状標的走行駆動兼バリつぶし用ローラー５１０と巻取
りリールの間で、テープ状標的５０１が弛んでしまわな
いように適当な駆動装置および動力伝達系（図示せず）
により巻取りリールを回転させテープ状標的５０１をリ
ールに巻取っている。
構成図である。全体の構成は図１とほぼ同じなのでロー
ラー部付近を図５に示している。図５ではテープ状標的
走行駆動用ローラーとバリつぶし用ローラーを兼ねてい
る。以下、図５をもとに説明する。テープ状標的走行駆
動兼バリつぶし用ローラー５１０には駆動装置（モータ
ーなど）と動力伝達系が取り付けられており、ローラー
５１０をピン５１２を中心にＢ方向およびＣ方向に回転
できるようになっている。なお、駆動装置、動力伝達系
は図では省略してある。もう一方のローラー５０２の中
心にはＬ形のピン５０３が通っていて、ローラー５０２
はピン５０３の周りに自由に回転できるようになってい
る。ピン５０３は部材５０４に固定されている。部材５
０４はコイルバネ５０９を介して部材５０５に取り付け
られている。部材５０５は長穴５０７を通してネジ５０
６により基板に固定されている。この時、ネジ５０６の
長穴を通す位置を調整することにより、テープ状標的走
行駆動用ローラー５１０がスリップせずにテープ状標的
５０１を走行させることができるように、かつバリ５１
１を押しつぶすことができるような力でローラー５０２
がローラー５１０を押すように調整することができる。
ローラー５０２がローラー５１０に押しつけられたとき
に上下左右にずれないように、部材５０８等により上下
左右から部材５０４を保持し、ローラー５０２が前後に
のみ移動できるようにしている。図５ではテープ状標的
走行駆動兼バリつぶし用ローラー５１０をＢ方向に回転
させ、テープ状標的５０１をＡ方向に走行させ、巻取り
リール（図には示していない。）へと導いている。テー
プ状標的走行駆動兼バリつぶし用ローラー５１０と巻取
りリールの間で、テープ状標的５０１が弛んでしまわな
いように適当な駆動装置および動力伝達系（図示せず）
により巻取りリールを回転させテープ状標的５０１をリ
ールに巻取っている。
【００１３】この時、テープ状標的走行駆動兼バリつぶ
し用ローラー５１０およびローラー５０２に使われてい
る材料は、少なくともバリが当たる部分はテープ状標的
物質またはテープ状基板に使われている材料よりも硬い
材料を使用する。また、コイルバネ５０９の代わりに板
バネを用いても良いし、図３に示したようにねじりバネ
を用いても良い。テープ状標的を往復走行させるとき
は、図５に示した装置をもう一方のレーザー照射位置と
リールとの間にも設置する。この時、テープ状標的を走
行させるときには片方のテープ状標的走行駆動兼バリつ
ぶし用ローラーのみを回転させて走行させても良いし、
両方のテープ状標的走行駆動兼バリつぶし用ローラーを
回転させて走行させても良い。
し用ローラー５１０およびローラー５０２に使われてい
る材料は、少なくともバリが当たる部分はテープ状標的
物質またはテープ状基板に使われている材料よりも硬い
材料を使用する。また、コイルバネ５０９の代わりに板
バネを用いても良いし、図３に示したようにねじりバネ
を用いても良い。テープ状標的を往復走行させるとき
は、図５に示した装置をもう一方のレーザー照射位置と
リールとの間にも設置する。この時、テープ状標的を走
行させるときには片方のテープ状標的走行駆動兼バリつ
ぶし用ローラーのみを回転させて走行させても良いし、
両方のテープ状標的走行駆動兼バリつぶし用ローラーを
回転させて走行させても良い。
【００１４】上記各実施例ではローラーとローラーでテ
ープ状標的を挟み込んでいたが、どちらか一方が回転し
ない部材であっても良い。また、リールやテープ状標的
押さえ板が取り付けられていた基板１０１の下には、往
復走行時に前回走行時レーザー照射された場所を避ける
ためにＤ方向に移動できるステージ、レーザー光がレー
ザー導入スリットに入射できるようにＥ方向に移動でき
るステージ、レーザー光軸方向に移動できるステージが
取り付けられている。図１ではテープ状標的はオープン
リールに巻かれているが、カセットケース内に納まるよ
うにして取扱いが簡単なるようにしても良い。
ープ状標的を挟み込んでいたが、どちらか一方が回転し
ない部材であっても良い。また、リールやテープ状標的
押さえ板が取り付けられていた基板１０１の下には、往
復走行時に前回走行時レーザー照射された場所を避ける
ためにＤ方向に移動できるステージ、レーザー光がレー
ザー導入スリットに入射できるようにＥ方向に移動でき
るステージ、レーザー光軸方向に移動できるステージが
取り付けられている。図１ではテープ状標的はオープン
リールに巻かれているが、カセットケース内に納まるよ
うにして取扱いが簡単なるようにしても良い。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、テープ状
標的を巻取りリールに巻取る前にテープ状標的にできた
バリを押しつぶし、バリの突起をなくすることができる
ので、リールに巻取られたテープ状標的の層の厚さが膨
らむことがなく、また、テープ状の標的物質がシワにな
ることもない。
標的を巻取りリールに巻取る前にテープ状標的にできた
バリを押しつぶし、バリの突起をなくすることができる
ので、リールに巻取られたテープ状標的の層の厚さが膨
らむことがなく、また、テープ状の標的物質がシワにな
ることもない。
【図１】は、本発明の一実施例の構成を示す斜視図であ
る。
る。
【図２】は、図１のバリつぶしローラー部を上から見た
ものである。
ものである。
【図３】は、図２のバリつぶしローラーを押しつける第
２の方法を示したものである。
２の方法を示したものである。
【図４】は、本発明の一実施例の構成を示すもので、バ
リつぶし部、及びテープ状標的走行駆動部を上から見た
ものである。
リつぶし部、及びテープ状標的走行駆動部を上から見た
ものである。
【図５】は、本発明の一実施例の構成を示すもので、テ
ープ状標的走行駆動部兼バリつぶし部を上から見たもの
である。
ープ状標的走行駆動部兼バリつぶし部を上から見たもの
である。
【図６】は、従来の構成を示す斜視図である。
１０１ 基板
１０２ テープ状標的
１０３ テープ状標的押さえ板
１０４ テープ状標的押さえ板
１０６ レーザー光
１０７ ローラー
１０８ 部材
１１０ ローラー
１１１ Ｌ形ピン
１１２ 部材
１１３ 部材
１１４ 部材
１１５ 部材
１１６ バリ
１１７ リール
１１８ リール
１１９ レーザー光導入用スリット
１２０ コイルバネ
１２１ ネジ
１２２ 長穴
１２３ ローラー
１２４ 部材
１２５ ローラー
１２６ Ｌ形ピン
１２７ 部材
１２８ 部材
１２９ 部材
１３０ 部材
４０１ テープ状標的
４０２ ローラー
４０６ ネジ
４０７ 長穴
４０９ コイルバネ
４１０ ローラー
４１１ Ｌ形ピン
４１２ 部材
４１３ ローラー
４１４ Ｌ形ピン
４１５ 部材
４１６ 部材
４１７ ネジ
４１８ 長穴
４１９ 部材
４２０ コイルバネ
４２１ ローラー
４２２ バリ
４２３ ピン
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平６−120120（ＪＰ，Ａ)
特開 昭64−6349（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−179047（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−158656（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−281799（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−303999（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−290993（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−263893（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−112498（ＪＰ，Ａ)
実開 平４−99528（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/027
G21K 5/08
H05G 2/00
H05H 1/24
G03F 7/20
Claims (5)
- 【請求項１】 巻取り可能な帯状に形成された標的物質
にレーザー光を照射して該標的物質をプラズマ化し、該
プラズマからＸ線を発生させるレーザープラズマＸ線源
であって、 レ−ザ−光導入用スリットを有する押さえ板、前記標的
物質を巻き取る回転手段、該回転手段を駆動する駆動手
段および前記標的物質のレーザー光の照射位置と前記回
転手段との間に配置される前記標的物質を所定の圧力で
挟み込む手段を設けたことを特徴とするレーザープラズ
マＸ線源 - 【請求項２】 巻取り可能な帯状に形成された標的物質
にレーザー光を照射して該標的物質をプラズマ化し、該
プラズマからＸ線を発生させるレーザープラズマＸ線源
であって、 前記標的物質を巻き取る回転手段、該回転手段を駆動す
る駆動手段および前記標的物質のレーザー光の照射位置
と前記回転手段との間に配置される前記標的物質を所定
の圧力で挟み込む手段を有し、該挟み込む手段が該標的
物質又は標的物質を構成するテ−プ基板よりも堅い材料
で作られた二つのロ−ラであることを特徴とするレーザ
ープラズマＸ線源 - 【請求項３】 巻取り可能な帯状に形成された標的物質
にレーザー光を照射して該標的物質をプラズマ化し、該
プラズマからＸ線を発生させるレーザープラズマＸ線源
であって、 前記標的物質を巻き取る回転手段、該回転手段を駆動す
る駆動手段および前記標的物質のレーザー光の照射位置
と前記回転手段との間に配置される前記標的物質を所定
の圧力で挟み込む手段を有し、該圧力が調整可能になさ
れていることを特徴とするレーザープラズマＸ線源 - 【請求項４】 請求項１又は２又は３に記載されたレー
ザープラズマＸ線源であって、さらに、標的物質を走行
させる標的走行駆動ロ−ラを有することを特徴とするレ
ーザープラズマＸ線源 - 【請求項５】 請求項１又は２又は３に記載されたレー
ザープラズマＸ線源であって、前記挟み込む手段が前記
標的物質を走行させる標的走行駆動手段を兼ねているこ
とを特徴とするレーザープラズマＸ線源
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06878293A JP3385644B2 (ja) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | レーザープラズマｘ線源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06878293A JP3385644B2 (ja) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | レーザープラズマｘ線源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06283407A JPH06283407A (ja) | 1994-10-07 |
| JP3385644B2 true JP3385644B2 (ja) | 2003-03-10 |
Family
ID=13383651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06878293A Expired - Lifetime JP3385644B2 (ja) | 1993-03-26 | 1993-03-26 | レーザープラズマｘ線源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3385644B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2802311B1 (fr) * | 1999-12-08 | 2002-01-18 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de lithographie utilisant une source de rayonnement dans le domaine extreme ultraviolet et des miroirs multicouches a large bande spectrale dans ce domaine |
| US6493423B1 (en) * | 1999-12-24 | 2002-12-10 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method of generating extremely short-wave radiation, method of manufacturing a device by means of said radiation, extremely short-wave radiation source unit and lithographic projection apparatus provided with such a radiation source unit |
| JP4641139B2 (ja) * | 2002-12-10 | 2011-03-02 | 財団法人電力中央研究所 | 高エネルギー粒子の発生方法および高エネルギー粒子発生装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4837794A (en) * | 1984-10-12 | 1989-06-06 | Maxwell Laboratories Inc. | Filter apparatus for use with an x-ray source |
| US4700371A (en) * | 1984-11-08 | 1987-10-13 | Hampshire Instruments, Inc. | Long life x-ray source target |
| JP2614457B2 (ja) * | 1986-09-11 | 1997-05-28 | ホーヤ 株式会社 | レーザープラズマｘ線発生装置及びｘ線射出口開閉機構 |
| JPH03263893A (ja) * | 1990-03-14 | 1991-11-25 | Hitachi Ltd | Ｘ線レーザ装置 |
| JP2576278B2 (ja) * | 1990-08-31 | 1997-01-29 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線発生装置 |
| JP3371442B2 (ja) * | 1992-04-13 | 2003-01-27 | 株式会社ニコン | レーザプラズマｘ線源及びｘ線の発生方法及びｘ線露光装置 |
| JP3371444B2 (ja) * | 1992-04-28 | 2003-01-27 | 株式会社ニコン | Ｘ線発生方法及びｘ線発生装置及びこれを有するｘ線露光装置 |
| JPH06120120A (ja) * | 1992-10-08 | 1994-04-28 | Rikagaku Kenkyusho | Ｘ線リソグラフィー装置 |
| JP3358094B2 (ja) * | 1993-03-26 | 2002-12-16 | 株式会社ニコン | レーザープラズマｘ線源 |
-
1993
- 1993-03-26 JP JP06878293A patent/JP3385644B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06283407A (ja) | 1994-10-07 |
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