JP3382889B2 - 信号観測用電極配置方法及び装置 - Google Patents
信号観測用電極配置方法及び装置Info
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F30/00—Computer-aided design [CAD]
- G06F30/30—Circuit design
- G06F30/39—Circuit design at the physical level
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、信号観測用電極配
置方法及び装置に関し、特に、半導体集積回路内の所望
の回路上のノード電位検出用の電極の配置を自動的に行
うための信号観測用電極配置方法及び装置に関する。
置方法及び装置に関し、特に、半導体集積回路内の所望
の回路上のノード電位検出用の電極の配置を自動的に行
うための信号観測用電極配置方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置においては、回路内の所望の
回路上のノード電位をプローブ（探触子）により直接接
触法、或いはＥＢ（電子ビーム）テスタ等の非接触解析
法で検出するために、信号線の一部を最上位層で配線
し、或いは信号線の一部に信号観測用電極を配置するこ
とが行われる。
回路上のノード電位をプローブ（探触子）により直接接
触法、或いはＥＢ（電子ビーム）テスタ等の非接触解析
法で検出するために、信号線の一部を最上位層で配線
し、或いは信号線の一部に信号観測用電極を配置するこ
とが行われる。
【０００３】信号観測用電極の配置方法として、例え
ば、特開平２−１９１３５９号公報に示される方法で
は、信号観測用電極を論理回路セルと同様にレイアウト
セルとして登録し、回路接続情報の信号観測用電極を配
置したいノードに回路セルと同様に定義し、スタンダー
ドセル方式による自動配置配線によって信号観測用電極
の配置を行っている。
ば、特開平２−１９１３５９号公報に示される方法で
は、信号観測用電極を論理回路セルと同様にレイアウト
セルとして登録し、回路接続情報の信号観測用電極を配
置したいノードに回路セルと同様に定義し、スタンダー
ドセル方式による自動配置配線によって信号観測用電極
の配置を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の信号観
測用電極配置方法によると、以下のような問題点があ
る。 （１）信号観測を行いたい時、信号観測用電極のレイア
ウトデータにおける配置情報がリストアップされていな
いため、所望のノードの観測用電極が半導体チップのど
の場所に配置されているのかを作業者がレイアウトデー
タを見ながら探している。このため、多大の時間を要し
ている。 （２）回路動作上不必要であるレイアウトセルを配置し
ているため、自動配置配線領域が大きくなる。 （３）本来不要である信号観測用電極配置の指定を回路
接続情報に人的作業により記述する必要があるため、回
路接続情報に接続ミスを作り込んでしまう可能性が非常
に高くなる。
測用電極配置方法によると、以下のような問題点があ
る。 （１）信号観測を行いたい時、信号観測用電極のレイア
ウトデータにおける配置情報がリストアップされていな
いため、所望のノードの観測用電極が半導体チップのど
の場所に配置されているのかを作業者がレイアウトデー
タを見ながら探している。このため、多大の時間を要し
ている。 （２）回路動作上不必要であるレイアウトセルを配置し
ているため、自動配置配線領域が大きくなる。 （３）本来不要である信号観測用電極配置の指定を回路
接続情報に人的作業により記述する必要があるため、回
路接続情報に接続ミスを作り込んでしまう可能性が非常
に高くなる。
【０００５】したがって、本発明の目的は、チップサイ
ズに影響を及ぼすことなく、信号観測用電極の配置を自
動的に行えるようにし、信号観測を行いたい配線の信号
観測用電極配置情報を容易に検索できるようにした信号
観測用電極配置方法及び装置を提供することにある。
ズに影響を及ぼすことなく、信号観測用電極の配置を自
動的に行えるようにし、信号観測を行いたい配線の信号
観測用電極配置情報を容易に検索できるようにした信号
観測用電極配置方法及び装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため、第１の特徴として、自動レイアウト設計
された配置配線情報に対して等電位追跡を配線の層信
号、コンタクトホールの層番号等の配線情報に基づいて
実施してレイアウトセルの端子と配線、および配線間の
電気的な接続を検索し、前記検索結果による配線と回路
セル間の接続が記述された回路接続情報内の配線との間
の接続関係が一致するように対応付けをし、前記回路接
続情報から推測できる配線名を全ての等電位の配線に付
加し、前記全ての等電位の配線について最上位層の配線
が存在するか否かを検索し、前記最上位層の配線が存在
しないとき、前記配置配線情報内の配線を移動すること
により、前記配線を前記最上位層に引き出すことが可能
であれば、当該配線の移動を実行し、移動した配線名及
びその最上位層配線情報を抽出して出力することによっ
て前記最上位層の配線を信号観測用電極として利用する
ことを特徴とする信号観測用電極配置方法を提供する。
達成するため、第１の特徴として、自動レイアウト設計
された配置配線情報に対して等電位追跡を配線の層信
号、コンタクトホールの層番号等の配線情報に基づいて
実施してレイアウトセルの端子と配線、および配線間の
電気的な接続を検索し、前記検索結果による配線と回路
セル間の接続が記述された回路接続情報内の配線との間
の接続関係が一致するように対応付けをし、前記回路接
続情報から推測できる配線名を全ての等電位の配線に付
加し、前記全ての等電位の配線について最上位層の配線
が存在するか否かを検索し、前記最上位層の配線が存在
しないとき、前記配置配線情報内の配線を移動すること
により、前記配線を前記最上位層に引き出すことが可能
であれば、当該配線の移動を実行し、移動した配線名及
びその最上位層配線情報を抽出して出力することによっ
て前記最上位層の配線を信号観測用電極として利用する
ことを特徴とする信号観測用電極配置方法を提供する。
【０００７】また、本発明は、上記の目的を達成するた
め、第２の特徴として、自動レイアウト設計された配置
配線情報に含まれる等電位の配線について最上位層の配
線が存在するか否かを検索し、前記等電位の配線に前記
最上位層が存在しなければ、前記配置配線情報の配線を
移動せずに新たな配線を追加して前記等電位の配線を前
記最上位層に引き出すことが可能か否かを検索し、前記
等電位の配線を前記最上位層に引き出すことが可能であ
れば、前記配置配線情報に前記配線を追加して前記等電
位の配線を前記最上位層への引き出し、前記配置配線情
報の配線を移動せずに前記等電位の配線を前記最上位層
に引き出すことが可能でなければ、前記配置配線情報の
配線を移動して最上位層に引き出すことが可能か否かを
検索し、前記等電位の配線を前記最上位層に引き出すこ
とが可能であれば、前記配置配線情報の配線を移動して
前記等電位の配線を前記最上位層へ引き出して前記最上
位層の配線を信号観測用電極として利用することを特徴
とする信号観測用電極配置方法を提供する。また、本発
明は、上記の目的を達成するため、第３の特徴として、
半導体集積回路内の最上位層の配線を電位検出用の信号
観測用電極として利用する信号観測用電極配置装置にお
いて、回路セル間の接続が記述された回路接続情報、及
び自動レイアウト設計された配置配線情報が入力される
入力装置と、各プロセス毎に定義された各配線の層番
号、及び下位層配線と上位層配線を導通させるためのコ
ンタクトホールの層番号を配線情報として記憶する配線
情報記憶部、及び配線を配置する際に必要な前記各配線
層および前記コンタクトホールにおける配線間隔、配線
幅等の配置基準を記憶する設計ルール記憶部を備えた記
憶装置と、前記入力装置からの配置配線情報に対して前
記記憶装置の前記配線情報記憶部から読み出した情報に
基づいて等電位追跡を実行してレイアウトセルの端子と
配線、および配線間の電気的な接続を検索する追跡手段
と、前記追跡手段により検索した結果と前記入力装置か
らの前記回路接続情報とを照合し、照合のとれた配線に
配線名を付ける照合・配線名付加手段と、前記照合・配
線名付加手段により配線名が付された配線に最上位層が
存在するか否かを前記記憶装置の前記配線情報記憶部か
らの情報に基づいて検索する最上位層配線検索手段と、
前記設計ルール記憶部からの情報に基づいて配線の移
動、配置、接続を行う配線変換手段と、前記最上位層配
線検索手段及び前記配線変換手段からの出力情報の表示
等を行う出力装置を備えたことを特徴とする信号観測用
電極配置装置を提供する。
め、第２の特徴として、自動レイアウト設計された配置
配線情報に含まれる等電位の配線について最上位層の配
線が存在するか否かを検索し、前記等電位の配線に前記
最上位層が存在しなければ、前記配置配線情報の配線を
移動せずに新たな配線を追加して前記等電位の配線を前
記最上位層に引き出すことが可能か否かを検索し、前記
等電位の配線を前記最上位層に引き出すことが可能であ
れば、前記配置配線情報に前記配線を追加して前記等電
位の配線を前記最上位層への引き出し、前記配置配線情
報の配線を移動せずに前記等電位の配線を前記最上位層
に引き出すことが可能でなければ、前記配置配線情報の
配線を移動して最上位層に引き出すことが可能か否かを
検索し、前記等電位の配線を前記最上位層に引き出すこ
とが可能であれば、前記配置配線情報の配線を移動して
前記等電位の配線を前記最上位層へ引き出して前記最上
位層の配線を信号観測用電極として利用することを特徴
とする信号観測用電極配置方法を提供する。また、本発
明は、上記の目的を達成するため、第３の特徴として、
半導体集積回路内の最上位層の配線を電位検出用の信号
観測用電極として利用する信号観測用電極配置装置にお
いて、回路セル間の接続が記述された回路接続情報、及
び自動レイアウト設計された配置配線情報が入力される
入力装置と、各プロセス毎に定義された各配線の層番
号、及び下位層配線と上位層配線を導通させるためのコ
ンタクトホールの層番号を配線情報として記憶する配線
情報記憶部、及び配線を配置する際に必要な前記各配線
層および前記コンタクトホールにおける配線間隔、配線
幅等の配置基準を記憶する設計ルール記憶部を備えた記
憶装置と、前記入力装置からの配置配線情報に対して前
記記憶装置の前記配線情報記憶部から読み出した情報に
基づいて等電位追跡を実行してレイアウトセルの端子と
配線、および配線間の電気的な接続を検索する追跡手段
と、前記追跡手段により検索した結果と前記入力装置か
らの前記回路接続情報とを照合し、照合のとれた配線に
配線名を付ける照合・配線名付加手段と、前記照合・配
線名付加手段により配線名が付された配線に最上位層が
存在するか否かを前記記憶装置の前記配線情報記憶部か
らの情報に基づいて検索する最上位層配線検索手段と、
前記設計ルール記憶部からの情報に基づいて配線の移
動、配置、接続を行う配線変換手段と、前記最上位層配
線検索手段及び前記配線変換手段からの出力情報の表示
等を行う出力装置を備えたことを特徴とする信号観測用
電極配置装置を提供する。
【０００８】上記の方法及び構成によれば、配置配線情
報及び回路接続情報を取り込み、前記配置配線情報に対
して等電位追跡を予め把握してある配線情報に基づいて
行うことにより、レイアウトセルの端子と配線、および
配線間の電気的な接続が検索される。この検索結果によ
る配線と前記回路接続情報内の配線との間の接続関係が
一致するような対応付けが行われ、前記回路接続情報か
ら推測できる任意の配線名が全ての等電位の配線に付加
される。更に、全ての等電位の配線について、接続され
ている最上位層の配線が有るか否かが検索され、この最
上位層の配線が存在した場合には、その配線名と最上位
層配線情報が抽出して出力される。また、前記最上位層
の配線が存在しないときには、配線を移動することによ
って前記最上位層の配線に引き出すことができるか否か
が判定され、この結果に応じて所定の処理が実行され
る。したがって、回路上の観測したい所望の電極を容易
に探し出すことができる。
報及び回路接続情報を取り込み、前記配置配線情報に対
して等電位追跡を予め把握してある配線情報に基づいて
行うことにより、レイアウトセルの端子と配線、および
配線間の電気的な接続が検索される。この検索結果によ
る配線と前記回路接続情報内の配線との間の接続関係が
一致するような対応付けが行われ、前記回路接続情報か
ら推測できる任意の配線名が全ての等電位の配線に付加
される。更に、全ての等電位の配線について、接続され
ている最上位層の配線が有るか否かが検索され、この最
上位層の配線が存在した場合には、その配線名と最上位
層配線情報が抽出して出力される。また、前記最上位層
の配線が存在しないときには、配線を移動することによ
って前記最上位層の配線に引き出すことができるか否か
が判定され、この結果に応じて所定の処理が実行され
る。したがって、回路上の観測したい所望の電極を容易
に探し出すことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を基に説明する。図１は、本発明の信号観測用電
極配置装置を示す。図１において、信号観測用電極配置
システムは、入力装置１００、この入力装置１００に接
続されたデータ処理装置１１０、このデータ処理装置１
１０に接続された記憶装置１２０、及びデータ処理装置
１１０に接続された出力装置１３０より構成されてい
る。データ処理装置１１０は、プログラム制御により動
作する。出力装置１３０は、ディスプレイ装置や印刷装
置等により構成される。
て図面を基に説明する。図１は、本発明の信号観測用電
極配置装置を示す。図１において、信号観測用電極配置
システムは、入力装置１００、この入力装置１００に接
続されたデータ処理装置１１０、このデータ処理装置１
１０に接続された記憶装置１２０、及びデータ処理装置
１１０に接続された出力装置１３０より構成されてい
る。データ処理装置１１０は、プログラム制御により動
作する。出力装置１３０は、ディスプレイ装置や印刷装
置等により構成される。
【００１０】入力装置１００には、回路を記述した回路
接続情報１４１と、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ａｉｄ
ｅｄ Ｄｅｓｉｇｎ）ツールにより自動レイアウト設計
を行って出力された自動配置配線情報１４２が入力され
る。データ処理装置１１０は、等電位追跡手段１１１、
データ照合手段１１２、配線名付加手段１１３、最上位
層配線検索手段１１４、及び配線変換手段１１５を備え
て構成される。さらに、記憶装置１２０は、配線情報が
記憶されている配線情報記憶部１２１、及び設計ルール
が記憶されている設計ルール記憶部１２２を備えて構成
されている。出力装置１３０には、最上位層配線検索手
段１１４及び配線変換手段１１５の出力結果が送られ
る。
接続情報１４１と、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ａｉｄ
ｅｄ Ｄｅｓｉｇｎ）ツールにより自動レイアウト設計
を行って出力された自動配置配線情報１４２が入力され
る。データ処理装置１１０は、等電位追跡手段１１１、
データ照合手段１１２、配線名付加手段１１３、最上位
層配線検索手段１１４、及び配線変換手段１１５を備え
て構成される。さらに、記憶装置１２０は、配線情報が
記憶されている配線情報記憶部１２１、及び設計ルール
が記憶されている設計ルール記憶部１２２を備えて構成
されている。出力装置１３０には、最上位層配線検索手
段１１４及び配線変換手段１１５の出力結果が送られ
る。
【００１１】回路接続情報１４１は、論理ゲートを１つ
の基本回路（回路セル）と見なし、その回路セル同士の
接続を記述したものであり、これはネットリストと呼ば
れている。また、自動配置配線情報１４２の自動レイア
ウト設計としては、ネットリストを入力として、ネット
リストのそれぞれの回路セルに対応したレイアウトデー
タ（レイアウトセル）を予め登録しておき、特定のアル
ゴリズムでレイアウトセルを配置して接続するスタンダ
ードセル方式の手法を用いている。
の基本回路（回路セル）と見なし、その回路セル同士の
接続を記述したものであり、これはネットリストと呼ば
れている。また、自動配置配線情報１４２の自動レイア
ウト設計としては、ネットリストを入力として、ネット
リストのそれぞれの回路セルに対応したレイアウトデー
タ（レイアウトセル）を予め登録しておき、特定のアル
ゴリズムでレイアウトセルを配置して接続するスタンダ
ードセル方式の手法を用いている。
【００１２】配線情報記憶部１２１は、配線を配置する
際に各プロセス毎に定義している各配線の層番号と、下
位層配線と上位層配線とを導通させるためのコンタクト
ホールの層番号とが、配線の情報として記憶されてい
る。設計ルール記憶部１２２は、配線を配置する際に必
要となる各配線層およびコンタクトホールにおける配置
基準について、基準値を予め記憶している。この基準値
は、配線と配線の間隔、配線幅等である。
際に各プロセス毎に定義している各配線の層番号と、下
位層配線と上位層配線とを導通させるためのコンタクト
ホールの層番号とが、配線の情報として記憶されてい
る。設計ルール記憶部１２２は、配線を配置する際に必
要となる各配線層およびコンタクトホールにおける配置
基準について、基準値を予め記憶している。この基準値
は、配線と配線の間隔、配線幅等である。
【００１３】等電位追跡手段１１１は、入力装置１００
から与えられた自動配置配線情報１４２に対して、配線
情報記憶部１２１に記憶されている配線情報に基づいて
等電位追跡を行う。データ照合手段１１２は、入力装置
１００から与えられた回路接続情報１４１と等電位追跡
手段１１１で等電位追跡を行った配置配線情報とを比較
して対応付けを行う。配線名付加手段１１３は、データ
照合手段１１２による照合結果に基づいて、回路接続情
報１４１に対応する配置配線情報の全ての等電位配線
（ノード）に対し、回路接続情報１４１に基づいて推測
される配線名を付加する。最上位層配線検索手段１１４
は、配線情報記憶部１２１に記憶されている配線情報に
基づいて、配線名付加手段１１３によって配線名が付加
された配置配線情報の全ての等電位配線について、最上
位層の配線（最上位層配線）が使用されている否かを検
索し、その検索結果をメッセージ等にして出力装置１３
０に出力する。配線変換手段１１５は、最上位層配線が
使用されていないとして最上位層配線検索手段１１４に
より検索された配線について、設計ルール記憶部１２２
の設計ルールに基づいて最上位層配線に引き出す変換を
行う。そして、この最上位層配線に引き出されたか否か
の変換結果についてメッセージ等を出力装置１３０に出
力する。
から与えられた自動配置配線情報１４２に対して、配線
情報記憶部１２１に記憶されている配線情報に基づいて
等電位追跡を行う。データ照合手段１１２は、入力装置
１００から与えられた回路接続情報１４１と等電位追跡
手段１１１で等電位追跡を行った配置配線情報とを比較
して対応付けを行う。配線名付加手段１１３は、データ
照合手段１１２による照合結果に基づいて、回路接続情
報１４１に対応する配置配線情報の全ての等電位配線
（ノード）に対し、回路接続情報１４１に基づいて推測
される配線名を付加する。最上位層配線検索手段１１４
は、配線情報記憶部１２１に記憶されている配線情報に
基づいて、配線名付加手段１１３によって配線名が付加
された配置配線情報の全ての等電位配線について、最上
位層の配線（最上位層配線）が使用されている否かを検
索し、その検索結果をメッセージ等にして出力装置１３
０に出力する。配線変換手段１１５は、最上位層配線が
使用されていないとして最上位層配線検索手段１１４に
より検索された配線について、設計ルール記憶部１２２
の設計ルールに基づいて最上位層配線に引き出す変換を
行う。そして、この最上位層配線に引き出されたか否か
の変換結果についてメッセージ等を出力装置１３０に出
力する。
【００１４】図１の概略動作について説明すると、デー
タ処理装置１１０には、入力装置１００を介して回路接
続情報１４１及び自動配置配線情報１４２が取り込まれ
る。等電位追跡手段１１１は、自動レイアウトツールに
より設計した自動配置配線情報１４２を入力装置１００
を介して取り込み、自動配置配線情報１４２のノードの
追跡を行う。データ照合手段１１２は、回路接続情報１
４１に記載されている配線および回路セルに対応付けを
する。配線名付加手段１１３は、配置配線情報に回路図
情報１４１から推測できる配線名をそれぞれのノードに
付加する。最上位層配線検索手段１１４は、最上位層配
線が存在すれば、これを信号観測用電極として使用でき
るため、配線名の付加された全ての等電位配線について
最上位層配線が存在するか否かを調べる。最上位層配線
が存在する場合、その配線名とチップ上の配置位置を示
す座標上の最上位層配線情報を出力装置１３０へ出力す
る。また、最上位層配線が存在しない場合、配線変換手
段１１５を実行する。この配線変換手段１１５は末配線
領域を利用して最上位層配線に引き出しを行い、その配
線名と最上位層配線情報を出力装置１３０へ出力する。
これにより、回路図に信号観測用電極の配置指定を行う
ことなく、チップサイズに影響を及ばさずに信号観測用
電極を設けることが可能になる。したがって、信号観測
を行いたい時には、即座に信号観測用電極の配置位置を
調べることができる。
タ処理装置１１０には、入力装置１００を介して回路接
続情報１４１及び自動配置配線情報１４２が取り込まれ
る。等電位追跡手段１１１は、自動レイアウトツールに
より設計した自動配置配線情報１４２を入力装置１００
を介して取り込み、自動配置配線情報１４２のノードの
追跡を行う。データ照合手段１１２は、回路接続情報１
４１に記載されている配線および回路セルに対応付けを
する。配線名付加手段１１３は、配置配線情報に回路図
情報１４１から推測できる配線名をそれぞれのノードに
付加する。最上位層配線検索手段１１４は、最上位層配
線が存在すれば、これを信号観測用電極として使用でき
るため、配線名の付加された全ての等電位配線について
最上位層配線が存在するか否かを調べる。最上位層配線
が存在する場合、その配線名とチップ上の配置位置を示
す座標上の最上位層配線情報を出力装置１３０へ出力す
る。また、最上位層配線が存在しない場合、配線変換手
段１１５を実行する。この配線変換手段１１５は末配線
領域を利用して最上位層配線に引き出しを行い、その配
線名と最上位層配線情報を出力装置１３０へ出力する。
これにより、回路図に信号観測用電極の配置指定を行う
ことなく、チップサイズに影響を及ばさずに信号観測用
電極を設けることが可能になる。したがって、信号観測
を行いたい時には、即座に信号観測用電極の配置位置を
調べることができる。
【００１５】図２は、本発明の信号観測用電極配置方法
及び装置の処理を示す。図１及び図２を参照して、本発
明の実施の形態の動作について詳細に説明する。まず、
入力装置１００に回路接続情報１４１及び自動配置配線
情報１４２が読み込まれる（ステップ２０１）。データ
処理装置１１０の等電位追跡手段１１１では、配線情報
記憶部１２１の情報に基づいて、自動配置配線情報１４
２のノード追跡を行い、レイアウトセルの端子と配線、
および配線と配線の電気的な接続を調べる（ステップ２
０２）。回路接続情報１４２の回路配線と、等電位追跡
手段１１１でノード追跡を行った配置配線情報の配線に
ついて、データ照合手段１１２は接続関係が一致するよ
うに対応付けを行い（ステップ２０３）、配線名付加手
段１１２により回路接続情報１４２から推測しうる任意
の配線名を全ての等電位配線に付加し（ステップ２０
４）、最上位層検索手段１１４へ出力する。最上位層検
索手段１１４は、最上位層配線が存在するか否かを全て
の等電位配線について検索する（ステップ２０５）。そ
して、最上位層配線が存在した場合には、その配線名と
最上位層配線情報を抽出し（ステップ２０６）、これを
出力装置１３０へ出力する（ステップ２０７）。
及び装置の処理を示す。図１及び図２を参照して、本発
明の実施の形態の動作について詳細に説明する。まず、
入力装置１００に回路接続情報１４１及び自動配置配線
情報１４２が読み込まれる（ステップ２０１）。データ
処理装置１１０の等電位追跡手段１１１では、配線情報
記憶部１２１の情報に基づいて、自動配置配線情報１４
２のノード追跡を行い、レイアウトセルの端子と配線、
および配線と配線の電気的な接続を調べる（ステップ２
０２）。回路接続情報１４２の回路配線と、等電位追跡
手段１１１でノード追跡を行った配置配線情報の配線に
ついて、データ照合手段１１２は接続関係が一致するよ
うに対応付けを行い（ステップ２０３）、配線名付加手
段１１２により回路接続情報１４２から推測しうる任意
の配線名を全ての等電位配線に付加し（ステップ２０
４）、最上位層検索手段１１４へ出力する。最上位層検
索手段１１４は、最上位層配線が存在するか否かを全て
の等電位配線について検索する（ステップ２０５）。そ
して、最上位層配線が存在した場合には、その配線名と
最上位層配線情報を抽出し（ステップ２０６）、これを
出力装置１３０へ出力する（ステップ２０７）。
【００１６】ステップ２０５でノードに最上位層配線が
存在しないと判断された場合、配置配線情報の配線デー
タを移動させずに配線の追加により最上位層配線に引き
出し（最上位層配線とノードの接続、以下同じ）が可能
か否かを調べる（ステップ２０８）。配線の追加により
最上位層配線に引き出しが可能と判断された場合、配置
配線情報を配線変換手段１１５へ出力する。配線変換手
段１１５では、設計ルール記憶部１２２に記憶されてい
る配線配置ルールに基づいて配線およびスルーホールを
配置して最上位層配線の引き出しを行い（ステップ２０
９）、引き出しを行った配線名とその最上位配線情報を
出力装置１３０へ出力する（ステップ２１０）。
存在しないと判断された場合、配置配線情報の配線デー
タを移動させずに配線の追加により最上位層配線に引き
出し（最上位層配線とノードの接続、以下同じ）が可能
か否かを調べる（ステップ２０８）。配線の追加により
最上位層配線に引き出しが可能と判断された場合、配置
配線情報を配線変換手段１１５へ出力する。配線変換手
段１１５では、設計ルール記憶部１２２に記憶されてい
る配線配置ルールに基づいて配線およびスルーホールを
配置して最上位層配線の引き出しを行い（ステップ２０
９）、引き出しを行った配線名とその最上位配線情報を
出力装置１３０へ出力する（ステップ２１０）。
【００１７】ステップ２０８において、最上位層配線検
索手段１１４により、データの追加のみによって引き出
しが不可能と判断された場合、最上位層配線の引き出し
の際、配置配線情報の配線データを移動させれば最上位
層配線に引き出しが可能になるか否かを調べる（ステッ
プ２１１）。ステップ２１１で引き出し可能と判断され
た場合、設計ルール記憶部１２２に記憶されている配線
配置ルールに基づいて配置配線情報の配線データを移動
させ（ステップ２１２）、配線およびスルーホールを配
置して最上位層配線の引き出しを行い（ステップ２１
３）、この引き出しを行った配線名とその最上位配線情
報を出力装置１３０へ出力する（ステップ２１４）。ま
た、ステップ２１１で最上位層配線の引き出しが不可能
と判断された場合、引き出し不可能な配線名を抽出し
（ステップ２１５）、これを出力装置１３０に出力す
る。
索手段１１４により、データの追加のみによって引き出
しが不可能と判断された場合、最上位層配線の引き出し
の際、配置配線情報の配線データを移動させれば最上位
層配線に引き出しが可能になるか否かを調べる（ステッ
プ２１１）。ステップ２１１で引き出し可能と判断され
た場合、設計ルール記憶部１２２に記憶されている配線
配置ルールに基づいて配置配線情報の配線データを移動
させ（ステップ２１２）、配線およびスルーホールを配
置して最上位層配線の引き出しを行い（ステップ２１
３）、この引き出しを行った配線名とその最上位配線情
報を出力装置１３０へ出力する（ステップ２１４）。ま
た、ステップ２１１で最上位層配線の引き出しが不可能
と判断された場合、引き出し不可能な配線名を抽出し
（ステップ２１５）、これを出力装置１３０に出力す
る。
【００１８】
【発明の効果】以上説明した通り、信号観測用電極配置
方法及び装置によれば、等電位の配線を探し出し、接続
関係が一致するように対応付けをし、これに配線名を付
加し、全ての等電位配線について最上位層の配線が存在
するか否かを検索し、前記最上位層の配線に接続された
等電位の配線が存在すれば、その配線名と最上位層配線
情報を抽出して出力し、最上位層の配線に接続された等
電位の配線が存在しないときには、配線の移動の可否を
条件にして等電位の配線を最上位層の配線に引き出せる
か否かを判定し、その結果に応じて所定の処理を行うよ
うにしたので、信号観測を行いたい等電位の配線のチッ
プ上での電極配置位置の検索を、自動的に行うことがで
きるので、検索を短時間に行うことができる。さらに、
収束された自動配置配線データを基に最上位層配線を使
用していない等電位の配線に対してのみ、未配線領域を
利用して最上位層配線に配線を引き出しているため、自
動配置配線のサイズを不必要に増大させることなく、信
号観測用電極を設けることができる。また、信号観測用
電極を自動配置できるため、回路図接続情報に指定する
ことなく信号観測用電極を配置することができる。
方法及び装置によれば、等電位の配線を探し出し、接続
関係が一致するように対応付けをし、これに配線名を付
加し、全ての等電位配線について最上位層の配線が存在
するか否かを検索し、前記最上位層の配線に接続された
等電位の配線が存在すれば、その配線名と最上位層配線
情報を抽出して出力し、最上位層の配線に接続された等
電位の配線が存在しないときには、配線の移動の可否を
条件にして等電位の配線を最上位層の配線に引き出せる
か否かを判定し、その結果に応じて所定の処理を行うよ
うにしたので、信号観測を行いたい等電位の配線のチッ
プ上での電極配置位置の検索を、自動的に行うことがで
きるので、検索を短時間に行うことができる。さらに、
収束された自動配置配線データを基に最上位層配線を使
用していない等電位の配線に対してのみ、未配線領域を
利用して最上位層配線に配線を引き出しているため、自
動配置配線のサイズを不必要に増大させることなく、信
号観測用電極を設けることができる。また、信号観測用
電極を自動配置できるため、回路図接続情報に指定する
ことなく信号観測用電極を配置することができる。
【図１】本発明の信号観測用電極配置装置を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図２】本発明の信号観測用電極配置方法及び装置の処
理を示すフローチャートである。
理を示すフローチャートである。
１００ 入力装置
１１０ データ処理装置
１１１ 等電位追跡手段
１１２ データ照合手段
１１３ 配線名付加手段
１１４ 最上位層配線検索手段
１１５ 配線変換手段
１２０ 記憶装置
１２１ 配線情報記憶部
１２２ 設計ルール記憶部
１３０ 出力装置
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/82
G01R 1/06
G06F 17/50
H01L 21/3205
H01L 27/04
H01L 21/822
Claims (4)
- 【請求項１】 自動レイアウト設計された配置配線情報
に対して等電位追跡を配線の層信号、コンタクトホール
の層番号等の配線情報に基づいて実施してレイアウトセ
ルの端子と配線、および配線間の電気的な接続を検索
し、 前記検索結果による配線と回路セル間の接続が記述され
た回路接続情報内の配線との間の接続関係が一致するよ
うに対応付けをし、 前記回路接続情報から推測できる配線名を全ての等電位
の配線に付加し、 前記全ての等電位の配線について最上位層の配線が存在
するか否かを検索し、 前記最上位層の配線が存在しないとき、前記配置配線情
報内の配線を移動することにより、前記配線を前記最上
位層に引き出すことが可能であれば、当該配線の移動を
実行し、移動した配線名及びその最上位層配線情報を抽
出して出力することによって前記最上位層の配線を信号
観測用電極として利用することを特徴とする信号観測用
電極配置方法。 - 【請求項２】 自動レイアウト設計された配置配線情報
に含まれる等電位の配線について最上位層の配線が存在
するか否かを検索し、 前記等電位の配線に前記最上位層が存在しなければ、前
記配置配線情報の配線を移動せずに新たな配線を追加し
て前記等電位の配線を前記最上位層に引き出すことが可
能か否かを検索し、 前記等電位の配線を前記最上位層に引き出すことが可能
であれば、前記配置配線情報に前記配線を追加して前記
等電位の配線を前記最上位層への引き出し、 前記配置配線情報の配線を移動せずに前記等電位の配線
を前記最上位層に引き出すことが可能でなければ、前記
配置配線情報の配線を移動して最上位層に引き出すこと
が可能か否かを検索し、 前記等電位の配線を前記最上位層に引き出すことが可能
であれば、前記配置配線情報の配線を移動して前記等電
位の配線を前記最上位層へ引き出して前記最上位層の配
線を信号観測用電極として利用することを特徴とする信
号観測用電極配置方法。 - 【請求項３】 半導体集積回路内の最上位層の配線を電
位検出用の信号観測用電極として利用する信号観測用電
極配置装置において、 回路セル間の接続が記述された回路接続情報、及び自動
レイアウト設計された配置配線情報が入力される入力装
置と、 各プロセス毎に定義された各配線の層番号、及び下位層
配線と上位層配線を導通させるためのコンタクトホール
の層番号を配線情報として記憶する配線情報記憶部、及
び配線を配置する際に必要な前記各配線層および前記コ
ンタクトホールにおける配線間隔、配線幅等の配置基準
を記憶する設計ルール記憶部を備えた記憶装置と、 前記入力装置からの配置配線情報に対して前記記憶装置
の前記配線情報記憶部から読み出した情報に基づいて等
電位追跡を実行してレイアウトセルの端子と配線、およ
び配線間の電気的な接続を検索する追跡手段と、 前記追跡手段により検索した結果と前記入力装置からの
前記回路接続情報とを照合し、照合のとれた配線に配線
名を付ける照合・配線名付加手段と、 前記照合・配線名付加手段により配線名が付された配線
に最上位層が存在するか否かを前記記憶装置の前記配線
情報記憶部からの情報に基づいて検索する最上位層配線
検索手段と、 前記設計ルール記憶部からの情報に基づいて配線の移
動、配置、接続を行う配線変換手段と、 前記最上位層配線検索手段及び前記配線変換手段からの
出力情報の表示等を行う出力装置を備えたことを特徴と
する信号観測用電極配置装置。 - 【請求項４】 前記最上位層配線検索手段は、前記最上
位層配線検索手段によって最上位層配線の存在を検索で
きなかったとき、前記配置配線情報の配線を移動させる
ことなく、配線の追加によって前記配線を前記最上位層
の配線に引き出し可能かを判断し、可能な場合に引き出
しを行い、その配線名と最上位層配線情報を抽出して出
力し、 前記配線の追加によっても前記最上位層の配線への引き
出しができないとき、前記配置配線情報の配線の移動に
よって前記最上位層の配線に接続可能であれば、当該配
線の移動及び最上位層への引き出しを行い、その配線名
及び最上位層配線情報を抽出して出力することを特徴と
する請求項３記載の信号観測用電極配置装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16477599A JP3382889B2 (ja) | 1999-06-11 | 1999-06-11 | 信号観測用電極配置方法及び装置 |
| US09/591,983 US6457158B1 (en) | 1999-06-11 | 2000-06-12 | Method and device for placing electrode for signal observation |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16477599A JP3382889B2 (ja) | 1999-06-11 | 1999-06-11 | 信号観測用電極配置方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000353746A JP2000353746A (ja) | 2000-12-19 |
| JP3382889B2 true JP3382889B2 (ja) | 2003-03-04 |
Family
ID=15799712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16477599A Expired - Fee Related JP3382889B2 (ja) | 1999-06-11 | 1999-06-11 | 信号観測用電極配置方法及び装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6457158B1 (ja) |
| JP (1) | JP3382889B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US7448012B1 (en) | 2004-04-21 | 2008-11-04 | Qi-De Qian | Methods and system for improving integrated circuit layout |
| JP5079592B2 (ja) * | 2008-05-13 | 2012-11-21 | 日置電機株式会社 | データ生成装置およびデータ生成方法 |
| JP2013037451A (ja) | 2011-08-04 | 2013-02-21 | Fujitsu Ltd | レイアウト設計装置、レイアウト設計方法およびレイアウト設計プログラム |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0770598B2 (ja) * | 1986-03-20 | 1995-07-31 | 株式会社東芝 | 半導体集積回路装置の配線方法 |
| JPS63129466A (ja) | 1986-11-19 | 1988-06-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回路接続検査装置 |
| JPH02191359A (ja) | 1988-01-22 | 1990-07-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スタンダードセルおよびこれを用いた半導体集積回路装置 |
| JP2522420B2 (ja) * | 1989-11-28 | 1996-08-07 | 日本電気株式会社 | 自動配線設計装置 |
| JP2731288B2 (ja) * | 1990-08-28 | 1998-03-25 | 株式会社日立製作所 | 多層配線方法 |
| US5618744A (en) * | 1992-09-22 | 1997-04-08 | Fujitsu Ltd. | Manufacturing method and apparatus of a semiconductor integrated circuit device |
| JP3335250B2 (ja) * | 1994-05-27 | 2002-10-15 | 株式会社東芝 | 半導体集積回路の配線方法 |
| JP3608832B2 (ja) * | 1995-02-28 | 2005-01-12 | 富士通株式会社 | 自動配線方法および自動配線装置 |
| JP2828026B2 (ja) * | 1996-04-25 | 1998-11-25 | 日本電気株式会社 | 自動配線方法 |
-
1999
- 1999-06-11 JP JP16477599A patent/JP3382889B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-06-12 US US09/591,983 patent/US6457158B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000353746A (ja) | 2000-12-19 |
| US6457158B1 (en) | 2002-09-24 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |