JP3372739B2 - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
液体噴射記録ヘッドの製造方法Info
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 32
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 32
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 12
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 6
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N anhydrous diethylene glycol Natural products OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N isopropyl alcohol Natural products CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- XIXADJRWDQXREU-UHFFFAOYSA-M lithium acetate Chemical compound [Li+].CC([O-])=O XIXADJRWDQXREU-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 8beta-(2,3-epoxy-2-methylbutyryloxy)-14-acetoxytithifolin Natural products COC(=O)C(C)O LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N doxepin Chemical compound C1OC2=CC=CC=C2C(=C/CCN(C)C)/C2=CC=CC=C21 ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010329 laser etching Methods 0.000 description 1
- 229940057867 methyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 238000001454 recorded image Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/135—Nozzles
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- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録方式に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記
録ヘッドの製造方法ならびにその製造方法で得られる液
体噴射記録ヘッドに関する。
録方式に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記
録ヘッドの製造方法ならびにその製造方法で得られる液
体噴射記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】本発明に関わる液体噴射記録ヘッドは、
インク吐出圧力発生素子が形成された基体に対し垂直方
向にインク液滴が吐出する。いわゆるサイドシューター
型記録ヘッドである。
インク吐出圧力発生素子が形成された基体に対し垂直方
向にインク液滴が吐出する。いわゆるサイドシューター
型記録ヘッドである。
【０００３】特開昭６２−２３４９４１号明細書は、イ
ンク吐出圧力発生素子が形成された基体に、電鋳加工に
より製造されるオリフィスプレートを、パターニングさ
れたドライフィルムを介して接合する方法が開示されて
いる。このような方法によって製造された液体噴射記録
ヘッドの模式的断面図を、図３（ａ）に示す。図におい
て、インク吐出圧力発生素子１２が形成された基板１１
は、ドライフィルム１８を介してオリフィスプレート１
５に接合されて流路を形成する。インク吐出圧力発生素
子１２に相対してオリフィスプレートに設けられている
インク吐出口１６を有する流路の部分はインク吐出圧力
発生素子を含む基板を床部にした発泡室１７を形成して
いる。発泡室１７にはインクが流入してきてインク吐出
圧力発生素子１２によって泡を生じ、その泡がインクを
同伴して吐出口１６より記録ヘッドの外に飛翔するので
あるが、図から明らかなように、インク吐出時にもイン
クの流れが生じない、いわゆるデッドゾーンとなる隅部
（図３（ａ）の※部）が存在する。
ンク吐出圧力発生素子が形成された基体に、電鋳加工に
より製造されるオリフィスプレートを、パターニングさ
れたドライフィルムを介して接合する方法が開示されて
いる。このような方法によって製造された液体噴射記録
ヘッドの模式的断面図を、図３（ａ）に示す。図におい
て、インク吐出圧力発生素子１２が形成された基板１１
は、ドライフィルム１８を介してオリフィスプレート１
５に接合されて流路を形成する。インク吐出圧力発生素
子１２に相対してオリフィスプレートに設けられている
インク吐出口１６を有する流路の部分はインク吐出圧力
発生素子を含む基板を床部にした発泡室１７を形成して
いる。発泡室１７にはインクが流入してきてインク吐出
圧力発生素子１２によって泡を生じ、その泡がインクを
同伴して吐出口１６より記録ヘッドの外に飛翔するので
あるが、図から明らかなように、インク吐出時にもイン
クの流れが生じない、いわゆるデッドゾーンとなる隅部
（図３（ａ）の※部）が存在する。
【０００４】インク流路内に泡が入り込みこの隅部に泡
が付着した場合には、この泡が固定泡となり、リフィル
周波数低下や、インク液滴の飛翔方向が曲り被記録材上
のインク液滴着弾位置がずれる「ヨレ」等の原因とな
り、インク吐出は非常に不安定なものとなる。更にこの
泡が放置泡として成長してしまうと、インクが不吐出に
至ってしまう場合もある。
が付着した場合には、この泡が固定泡となり、リフィル
周波数低下や、インク液滴の飛翔方向が曲り被記録材上
のインク液滴着弾位置がずれる「ヨレ」等の原因とな
り、インク吐出は非常に不安定なものとなる。更にこの
泡が放置泡として成長してしまうと、インクが不吐出に
至ってしまう場合もある。
【０００５】特開平４−１０９４０号および特開平４−
１０９４１号公報に記載の液体噴射記録ヘッドは、発熱
抵抗体を過熱することにより生成した気泡を外気と連通
させて、インク液滴を吐出させるものであるが、この方
法においては、発熱抵抗体とインク吐出口との間のイン
ク量によりインク吐出体積が決定されるため、前述のよ
うな隅部（図３（ｂ）の※部）が存在する場合にはイン
ク吐出に与える悪影響は大きい。
１０９４１号公報に記載の液体噴射記録ヘッドは、発熱
抵抗体を過熱することにより生成した気泡を外気と連通
させて、インク液滴を吐出させるものであるが、この方
法においては、発熱抵抗体とインク吐出口との間のイン
ク量によりインク吐出体積が決定されるため、前述のよ
うな隅部（図３（ｂ）の※部）が存在する場合にはイン
ク吐出に与える悪影響は大きい。
【０００６】すなわち、発泡室内にインク吐出時の気泡
が残り、この隅部に気泡が付着した場合には、吐出体積
そのものが変化し、印字にいわゆる「ムラ」や「スジ」
を生じてしまう。またこの泡が固定泡となってしまった
場合には、リフィル周波数の低下やヨレ等の原因とな
り、また放置泡による不吐出の原因ともなり得る。また
この隅部においてインク流れが生じないと、インク残り
が発生して、この場合も同様にインク吐出は不安定にな
る。
が残り、この隅部に気泡が付着した場合には、吐出体積
そのものが変化し、印字にいわゆる「ムラ」や「スジ」
を生じてしまう。またこの泡が固定泡となってしまった
場合には、リフィル周波数の低下やヨレ等の原因とな
り、また放置泡による不吐出の原因ともなり得る。また
この隅部においてインク流れが生じないと、インク残り
が発生して、この場合も同様にインク吐出は不安定にな
る。
【０００７】これらの悪影響は、記録画像の高精細化対
応する吐出インク液滴の小液滴化が進むほど、さらに大
きくなることは言うまでもない。
応する吐出インク液滴の小液滴化が進むほど、さらに大
きくなることは言うまでもない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の諸点に
鑑み成されたものであって、小液滴記録時にも安定した
インク吐出が可能な液体噴射記録ヘッドを提供すること
を目的とする。
鑑み成されたものであって、小液滴記録時にも安定した
インク吐出が可能な液体噴射記録ヘッドを提供すること
を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は
１．発熱抵抗体を有する基板面に対して垂直にインク液
滴が吐出される液体噴射記録ヘッドの製造方法におい
て、（１）該基板上に溶解可能な樹脂で前記発熱抵抗体
がその底部に位置するようにインク流路形成を形成する
工程と、（２）前記インク流路形状にパターニングされ
た溶解可能な樹脂層に、加熱処理により角部に丸みを付
ける工程と、（３）前記溶解可能な樹脂層上に被覆樹脂
層を形成する工程と、（４）前記被覆樹脂層の前記発熱
抵抗体の垂直上方の対応する部分に、インク吐出口を形
成する工程と、（５）前記溶解可能な樹脂層を溶出する
工程とを少なくとも含む、前記液体噴射記録ヘッドの製
造方法。 ２．前記インク流路形状にパターニングされた樹脂層の
角部に付けられた丸みが、外側に凸の曲面である前記１
に記載の製造方法および ３．上記１または２に記載の方法で製造された液体噴射
記録ヘッドである。
滴が吐出される液体噴射記録ヘッドの製造方法におい
て、（１）該基板上に溶解可能な樹脂で前記発熱抵抗体
がその底部に位置するようにインク流路形成を形成する
工程と、（２）前記インク流路形状にパターニングされ
た溶解可能な樹脂層に、加熱処理により角部に丸みを付
ける工程と、（３）前記溶解可能な樹脂層上に被覆樹脂
層を形成する工程と、（４）前記被覆樹脂層の前記発熱
抵抗体の垂直上方の対応する部分に、インク吐出口を形
成する工程と、（５）前記溶解可能な樹脂層を溶出する
工程とを少なくとも含む、前記液体噴射記録ヘッドの製
造方法。 ２．前記インク流路形状にパターニングされた樹脂層の
角部に付けられた丸みが、外側に凸の曲面である前記１
に記載の製造方法および ３．上記１または２に記載の方法で製造された液体噴射
記録ヘッドである。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下図面を参照しつつ本発明を詳
細に説明する。図１は本発明に使用する発熱抵抗体２を
有する基板１の一例を示す斜視図であり、インク供給口
３が設けられている。この基板を用いて本発明の製造法
の一例を図２を用いて説明する。図２は図１のＡ−Ａ′
断面を基本にした図である。 （１）まず図２（ａ）に示すように、発熱抵抗体２を備
えた基板１に、強アルカリや有機溶剤等の液体に溶解可
能な樹脂層４を形成する。ついで図２（ｂ）に示すよう
に公知の方法で断面が長方形のインク流路パターンを形
成する。 （２）次に前記溶解可能な樹脂層４よりなるインク流路
パターンに加熱処理を施す。ここで溶解可能な樹脂層４
として、例えばポリメチルイソプロペニルケトン（東京
応化工業（株）製ＯＤＵＲ−１０１０）を用いる場合、
熱変形温度である１００℃を越える温度（例えば１２０
℃）で加熱処理する。これにより樹脂層４は図２（ｃ）
に示されるように角部がなくなり、丸みを有する形状と
なる。 （３）更に前記溶解可能な樹脂層４上に図２（ｄ）に示
すように被覆樹脂層５を形成する。ここに、被覆樹脂層
５に用いる樹脂は、前記溶解用液体では溶解しない性質
を有するものである。 （４）この被覆樹脂層５の、前記発熱抵抗体の垂直上方
の対応する部分にインク吐出口６を形成する（図２
（ｅ））。インク供給口５の形成は従来から行われてい
る手法、例えば、Ｏ2 プラズマによるエッチング、エキ
シマレーザー穴明け、あるいは紫外線、Ｄｅｅｐ−ＵＶ
光などによる露光など、各種手法で形成可能である。 （５）続いて図２（ｆ）に示すように、溶解可能な樹脂
層４を前記溶解液を用いて溶出することにより、インク
流路および発泡室７を形成する。ここに発泡室７とは、
その床部に前記発熱抵抗体２があり、天井部には前記吐
出口６と連通している開口があり、壁部は流路の壁であ
る小室であって、ここで、この小室に流入するインクが
発熱抵抗体によって過熱されて泡を生じ、その泡によっ
て吐出口６からインク滴が飛翔し、ベッドの外側にあっ
て吐出口に相対している記録媒体上に付着し画像が形成
される。そして最後に発熱抵抗体２を駆動するための電
気的接合（図示せず）を行って、液体噴射記録ヘッドが
完成する。図４には図２（ｆ）の開口部の中心を通り、
この断面図に直交する立断面の図を示した。
細に説明する。図１は本発明に使用する発熱抵抗体２を
有する基板１の一例を示す斜視図であり、インク供給口
３が設けられている。この基板を用いて本発明の製造法
の一例を図２を用いて説明する。図２は図１のＡ−Ａ′
断面を基本にした図である。 （１）まず図２（ａ）に示すように、発熱抵抗体２を備
えた基板１に、強アルカリや有機溶剤等の液体に溶解可
能な樹脂層４を形成する。ついで図２（ｂ）に示すよう
に公知の方法で断面が長方形のインク流路パターンを形
成する。 （２）次に前記溶解可能な樹脂層４よりなるインク流路
パターンに加熱処理を施す。ここで溶解可能な樹脂層４
として、例えばポリメチルイソプロペニルケトン（東京
応化工業（株）製ＯＤＵＲ−１０１０）を用いる場合、
熱変形温度である１００℃を越える温度（例えば１２０
℃）で加熱処理する。これにより樹脂層４は図２（ｃ）
に示されるように角部がなくなり、丸みを有する形状と
なる。 （３）更に前記溶解可能な樹脂層４上に図２（ｄ）に示
すように被覆樹脂層５を形成する。ここに、被覆樹脂層
５に用いる樹脂は、前記溶解用液体では溶解しない性質
を有するものである。 （４）この被覆樹脂層５の、前記発熱抵抗体の垂直上方
の対応する部分にインク吐出口６を形成する（図２
（ｅ））。インク供給口５の形成は従来から行われてい
る手法、例えば、Ｏ2 プラズマによるエッチング、エキ
シマレーザー穴明け、あるいは紫外線、Ｄｅｅｐ−ＵＶ
光などによる露光など、各種手法で形成可能である。 （５）続いて図２（ｆ）に示すように、溶解可能な樹脂
層４を前記溶解液を用いて溶出することにより、インク
流路および発泡室７を形成する。ここに発泡室７とは、
その床部に前記発熱抵抗体２があり、天井部には前記吐
出口６と連通している開口があり、壁部は流路の壁であ
る小室であって、ここで、この小室に流入するインクが
発熱抵抗体によって過熱されて泡を生じ、その泡によっ
て吐出口６からインク滴が飛翔し、ベッドの外側にあっ
て吐出口に相対している記録媒体上に付着し画像が形成
される。そして最後に発熱抵抗体２を駆動するための電
気的接合（図示せず）を行って、液体噴射記録ヘッドが
完成する。図４には図２（ｆ）の開口部の中心を通り、
この断面図に直交する立断面の図を示した。
【００１１】なお図１に示したインク供給のための開口
部であるインク供給口３の形成は、基板に穴を形成でき
る手段であれば何れの方法も適用でき、ドリル等の機械
的手段、レーザー等の光エネルギーの使用、あるいはま
た化学的なエッチングによっても構わない。もちろんあ
らかじめインク供給口を形成せずに、インク流路、イン
ク吐出口などのノズル部を作成した後に、インク供給口
を設けてもよい。
部であるインク供給口３の形成は、基板に穴を形成でき
る手段であれば何れの方法も適用でき、ドリル等の機械
的手段、レーザー等の光エネルギーの使用、あるいはま
た化学的なエッチングによっても構わない。もちろんあ
らかじめインク供給口を形成せずに、インク流路、イン
ク吐出口などのノズル部を作成した後に、インク供給口
を設けてもよい。
【００１２】このようにして作製した液体噴射記録ヘッ
ド（図２の（ｆ））を用いてインク液滴を吐出させた場
合には、このヘッドのインク流路部及び発泡室７内に
は、図３（ａ）、（ｂ）の※部分のような、インク流れ
が生じないデッドゾーンとなる部分が存在しないためイ
ンク吐出時にインク吐出口６からインク流路および発泡
室７内に泡を取り込んでしまった場合でも、この泡が付
着し続けることはない。またインク吐出時、インク流路
部および発泡室７内のインクは、インク吐出のための発
泡圧によりインク吐出口６方向にスムーズに押し出さ
れ、インク吐出時に無駄なインク残りが発生することは
ない。
ド（図２の（ｆ））を用いてインク液滴を吐出させた場
合には、このヘッドのインク流路部及び発泡室７内に
は、図３（ａ）、（ｂ）の※部分のような、インク流れ
が生じないデッドゾーンとなる部分が存在しないためイ
ンク吐出時にインク吐出口６からインク流路および発泡
室７内に泡を取り込んでしまった場合でも、この泡が付
着し続けることはない。またインク吐出時、インク流路
部および発泡室７内のインクは、インク吐出のための発
泡圧によりインク吐出口６方向にスムーズに押し出さ
れ、インク吐出時に無駄なインク残りが発生することは
ない。
【００１３】本発明は特に、特開平４−１０９４０号公
報および特開平１０９４１号公報に記載の液体（滴）噴
射方法を適用した記録ヘッドに最適である。前記公報に
は、発熱抵抗体（電気熱変換素子）に、記録情報に対応
した駆動信号を印加し、電気熱変換素子にインクの核沸
騰を越える急激な温度上昇を与える熱エネルギーを発生
させ、インク内に気泡を形成させ、この気泡を外気と連
通させてインク液滴を吐出させる方法が記載され、この
方法にさらに本法を適用すれば、インク液滴の体積や速
度を安定化し、高品位な画像を得ることができる。また
本発明は、記録紙の全幅に渡り同時に記録ができるフル
ラインタイプの記録ヘッドとして、さらには記録ヘッド
を一体的に、あるいは複数個組み合わせたカラー記録ヘ
ッドにも有効である。
報および特開平１０９４１号公報に記載の液体（滴）噴
射方法を適用した記録ヘッドに最適である。前記公報に
は、発熱抵抗体（電気熱変換素子）に、記録情報に対応
した駆動信号を印加し、電気熱変換素子にインクの核沸
騰を越える急激な温度上昇を与える熱エネルギーを発生
させ、インク内に気泡を形成させ、この気泡を外気と連
通させてインク液滴を吐出させる方法が記載され、この
方法にさらに本法を適用すれば、インク液滴の体積や速
度を安定化し、高品位な画像を得ることができる。また
本発明は、記録紙の全幅に渡り同時に記録ができるフル
ラインタイプの記録ヘッドとして、さらには記録ヘッド
を一体的に、あるいは複数個組み合わせたカラー記録ヘ
ッドにも有効である。
【００１４】
【実施例】以下実施例をあげて本発明をさらに詳細に説
明する。
明する。
【００１５】実施例１
本実施例においては下記（１）〜（５）のように図２
（ａ）〜（ｆ）に示す手順に従って、図２（ｆ）および
図４に示すような液体噴射記録ヘッドを作製した。図５
はインク吐出口方向から見た発泡室およびインク流路の
水平を示す模式図である。 （１）基板１の材料にシリコンを用い、発熱抵抗体２に
は窒化タンタルを、樹脂層４にはポリメチルイソプロペ
ニルケトンを用い、断面が３０ｕｍ×１０ｕｍの流路パ
ターンを形成した。 （２）前記基板を約１２０℃に２０分間加熱して断面が
ドーム形になるようにした。 （３）ついでこの樹脂層４の上に、ビスフェノールＡエ
ポキン樹脂に光硬化性触媒ＳＰ−１７０（アデカ（株）
製）を加えたものからなる被覆樹脂層５をスピンコート
により被覆した。 （４）被覆樹脂層５の、上記発熱抵抗体２の垂直上方に
相当する部分に紫外線による露光の方法で２０ｕｍ×２
０ｕｍの開口部を設けた。 （５）上記基板を乳酸メチルに浸積し、超音波洗滌槽中
で約２０分間処理して樹脂層４を除去しその後純水で約
１０分間洗滌し乾燥した。
（ａ）〜（ｆ）に示す手順に従って、図２（ｆ）および
図４に示すような液体噴射記録ヘッドを作製した。図５
はインク吐出口方向から見た発泡室およびインク流路の
水平を示す模式図である。 （１）基板１の材料にシリコンを用い、発熱抵抗体２に
は窒化タンタルを、樹脂層４にはポリメチルイソプロペ
ニルケトンを用い、断面が３０ｕｍ×１０ｕｍの流路パ
ターンを形成した。 （２）前記基板を約１２０℃に２０分間加熱して断面が
ドーム形になるようにした。 （３）ついでこの樹脂層４の上に、ビスフェノールＡエ
ポキン樹脂に光硬化性触媒ＳＰ−１７０（アデカ（株）
製）を加えたものからなる被覆樹脂層５をスピンコート
により被覆した。 （４）被覆樹脂層５の、上記発熱抵抗体２の垂直上方に
相当する部分に紫外線による露光の方法で２０ｕｍ×２
０ｕｍの開口部を設けた。 （５）上記基板を乳酸メチルに浸積し、超音波洗滌槽中
で約２０分間処理して樹脂層４を除去しその後純水で約
１０分間洗滌し乾燥した。
【００１６】この液体噴射記録ヘッドを用いて、純水／
ジエチレングリコール／イソプロピルアルコール酢酸リ
チウム／黒色染料フードブラック２＝７９．４／１５／
３／０．１／２．５からなるインクを用いて記録を行っ
た。その結果、吐出周波数ｆを１０ｋＨｚまで上げて印
字しても、「スジ」や「ムラ」の見られない、高品位な
印字物が得られた。また、得られた印字物の光学濃度
Ｏ．Ｄ．を測定したところ１．４０であった。
ジエチレングリコール／イソプロピルアルコール酢酸リ
チウム／黒色染料フードブラック２＝７９．４／１５／
３／０．１／２．５からなるインクを用いて記録を行っ
た。その結果、吐出周波数ｆを１０ｋＨｚまで上げて印
字しても、「スジ」や「ムラ」の見られない、高品位な
印字物が得られた。また、得られた印字物の光学濃度
Ｏ．Ｄ．を測定したところ１．４０であった。
【００１７】一方、上記（２）の熱処理を行わずに作製
した液体噴射記録ヘッドにより、上記と同様のインクを
用いてｆ＝１０ｋＨｚで印字を行ったところ、スジやム
ラの目立つ印字物になり、Ｏ．Ｄ．も１．２０と低いも
のであった。
した液体噴射記録ヘッドにより、上記と同様のインクを
用いてｆ＝１０ｋＨｚで印字を行ったところ、スジやム
ラの目立つ印字物になり、Ｏ．Ｄ．も１．２０と低いも
のであった。
【００１８】この結果から、本実施例の液体噴射記録ヘ
ッドにおいては、そのインク流路や発泡室内には泡は付
着しにくく、またインク残りも殆ど起きていないと思わ
れる。
ッドにおいては、そのインク流路や発泡室内には泡は付
着しにくく、またインク残りも殆ど起きていないと思わ
れる。
【００１９】実施例２
本実施例においても実施例１同様、図２（ａ）〜（ｆ）
に示す手順に従って、図２（ｆ）およびず４に示すよう
な液体噴射記録ヘッドを作製した。但しインク吐出口方
向から見た発泡室およびインク流路の水平断面模式図は
図６に示すようである。
に示す手順に従って、図２（ｆ）およびず４に示すよう
な液体噴射記録ヘッドを作製した。但しインク吐出口方
向から見た発泡室およびインク流路の水平断面模式図は
図６に示すようである。
【００２０】この液体噴射記録ヘッドを用いて、純水／
ジエチレングリコール／イソプロピルアルコール酢酸リ
チウム／黒色染料フードブラック２＝７９．４／１５／
３／０．１／２．５からなるインクを用いて記録を行っ
た。その結果、吐出周波数ｆを１０ｋＨｚまで上げて印
字しても、「スジ」や「ムラ」の見られない、高品位な
印字物が得られた。また、得られた印字物の光学濃度
Ｏ．Ｄ．を測定したところ１．４５であった。
ジエチレングリコール／イソプロピルアルコール酢酸リ
チウム／黒色染料フードブラック２＝７９．４／１５／
３／０．１／２．５からなるインクを用いて記録を行っ
た。その結果、吐出周波数ｆを１０ｋＨｚまで上げて印
字しても、「スジ」や「ムラ」の見られない、高品位な
印字物が得られた。また、得られた印字物の光学濃度
Ｏ．Ｄ．を測定したところ１．４５であった。
【００２１】実施例３
実施例１と同様に、図２（ａ）〜（ｆ）に示す手順に従
って、図２（ｆ）および図４に示すような液体噴射記録
ヘッドであって、インク吐出口方向から見た前述の水平
断面模式図が図７に示されるような液体噴射記録ヘッド
を作製し、同様に記録を行った。この場合も得られた印
字物は高品位であり、ｆ＝１０ｋＨｚ時のＯ．Ｄ．は
１．４５であった。
って、図２（ｆ）および図４に示すような液体噴射記録
ヘッドであって、インク吐出口方向から見た前述の水平
断面模式図が図７に示されるような液体噴射記録ヘッド
を作製し、同様に記録を行った。この場合も得られた印
字物は高品位であり、ｆ＝１０ｋＨｚ時のＯ．Ｄ．は
１．４５であった。
【００２２】以上の結果から、実施例２、３の液体噴射
記録ヘッドにおいては、そのインク流路や発泡室内に
は、泡はより一層付着しにくく、またインク残りも起き
ていないと思われる。
記録ヘッドにおいては、そのインク流路や発泡室内に
は、泡はより一層付着しにくく、またインク残りも起き
ていないと思われる。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、以下のような効果を挙
げることができる。 （１）インク吐出時にインク流路内に泡が入り込んで
も、この泡が固定泡となることはないため、非常に高い
周波数でも安定な吐出が可能で、「ヨレ」等も発生しな
い。また長時間にわたる不使用期間が続いた場合でも、
インク流路内に放置泡は発生しないため、使用再開後も
高品位な印字が可能である。 （２）発熱抵抗体の加熱により生成した気泡が外気と連
通することで、インクを吐出させるタイプの液体噴射記
録ヘッドにおいて、インク吐出時に発泡室内のインクは
インク残りなしに全て吐出されるので、「ムラ」などの
ない、インク液滴の吐出体積や吐出速度の安定した高品
位な印字が可能である。
げることができる。 （１）インク吐出時にインク流路内に泡が入り込んで
も、この泡が固定泡となることはないため、非常に高い
周波数でも安定な吐出が可能で、「ヨレ」等も発生しな
い。また長時間にわたる不使用期間が続いた場合でも、
インク流路内に放置泡は発生しないため、使用再開後も
高品位な印字が可能である。 （２）発熱抵抗体の加熱により生成した気泡が外気と連
通することで、インクを吐出させるタイプの液体噴射記
録ヘッドにおいて、インク吐出時に発泡室内のインクは
インク残りなしに全て吐出されるので、「ムラ」などの
ない、インク液滴の吐出体積や吐出速度の安定した高品
位な印字が可能である。
【図１】本発明に使用する基板の一例を示す模式的斜視
図である。
図である。
【図２】本発明の製造方法の基本的な態様を示す模式図
である。
である。
【図３】従来の液体噴射記録ヘッドの模式的断面図であ
る。
る。
【図４】本発明の液体噴射記録ヘッドの一例を示す模式
的断面図である。
的断面図である。
【図５】本発明の液体噴射記録ヘッドの発泡室の一例を
示す模式的断面図である。
示す模式的断面図である。
【図６】本発明の液体噴射記録ヘッドの発泡室の一例を
示す模式的断面図である。
示す模式的断面図である。
【図７】本発明の液体噴射記録ヘッドの発泡室の一例を
示す模式的断面図である。
示す模式的断面図である。
１、１１ 基板
２、１２ 発熱抵抗体
３ インク供給口
４ 溶解可能な樹脂層
５ 被覆樹脂層
６、１６ インク吐出口
７、１７ 発泡室およびインク流路
１５ オリフィスプレート
１８ ドライフィルム
Claims (3)
- 【請求項１】 発熱抵抗体を有する基板面に対して垂直
にインク液滴が吐出される液体噴射記録ヘッドの製造方
法において、 （１）該基板上に溶解可能な樹脂で前記発熱抵抗体がそ
の底部に位置するようにインク流路形成を形成する工程
と、 （２）前記インク流路形状にパターニングされた溶解可
能な樹脂層に、加熱処理により角部に丸みを付ける工程
と、 （３）前記溶解可能な樹脂層上に被覆樹脂層を形成する
工程と、 （４）前記被覆樹脂層の前記発熱抵抗体の垂直上方の対
応する部分に、インク吐出口を形成する工程と、 （５）前記溶解可能な樹脂層を溶出する工程とを少なく
とも含む、前記液体噴射記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 前記インク流路形状にパターニングされ
た樹脂層の角部に付けられた丸みが、外側に凸の曲面で
ある請求項１に記載の製造方法。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の方法で製造さ
れた液体噴射記録ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00343796A JP3372739B2 (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
| US08/783,289 US5980017A (en) | 1996-01-12 | 1997-01-10 | Process for the production of a liquid jet recording head |
| EP97100341A EP0783970B1 (en) | 1996-01-12 | 1997-01-10 | Process for the production of a liquid jet recording head |
| DE69721854T DE69721854T2 (de) | 1996-01-12 | 1997-01-10 | Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkeitstrahlaufzeichnungskopfes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00343796A JP3372739B2 (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09193405A JPH09193405A (ja) | 1997-07-29 |
| JP3372739B2 true JP3372739B2 (ja) | 2003-02-04 |
Family
ID=11557343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00343796A Expired - Fee Related JP3372739B2 (ja) | 1996-01-12 | 1996-01-12 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5980017A (ja) |
| EP (1) | EP0783970B1 (ja) |
| JP (1) | JP3372739B2 (ja) |
| DE (1) | DE69721854T2 (ja) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6322201B1 (en) | 1997-10-22 | 2001-11-27 | Hewlett-Packard Company | Printhead with a fluid channel therethrough |
| US6154234A (en) * | 1998-01-09 | 2000-11-28 | Hewlett-Packard Company | Monolithic ink jet nozzle formed from an oxide and nitride composition |
| JP3327246B2 (ja) * | 1999-03-25 | 2002-09-24 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
| US6586495B1 (en) * | 1999-09-20 | 2003-07-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Alkylsiloxane-containing epoxy resin composition, surface modifying method using the same, ink-jet recording head and liquid-jet recording apparatus |
| US6482574B1 (en) | 2000-04-20 | 2002-11-19 | Hewlett-Packard Co. | Droplet plate architecture in ink-jet printheads |
| KR100677752B1 (ko) * | 2000-09-29 | 2007-02-05 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린트 헤드와 그 제조방법 |
| US6627467B2 (en) | 2001-10-31 | 2003-09-30 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Fluid ejection device fabrication |
| US6698868B2 (en) | 2001-10-31 | 2004-03-02 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Thermal drop generator for ultra-small droplets |
| US7125731B2 (en) | 2001-10-31 | 2006-10-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Drop generator for ultra-small droplets |
| US6540337B1 (en) | 2002-07-26 | 2003-04-01 | Hewlett-Packard Company | Slotted substrates and methods and systems for forming same |
| US6739519B2 (en) * | 2002-07-31 | 2004-05-25 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Plurality of barrier layers |
| US6672712B1 (en) * | 2002-10-31 | 2004-01-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Slotted substrates and methods and systems for forming same |
| ITTO20021099A1 (it) * | 2002-12-19 | 2004-06-20 | Olivetti I Jet Spa | Processo di rivestimento protettivo di microcircuiti idraulici rispetto a liquidi aggressivi. particolarmente per una testina di stampa a getto d'inchiostro. |
| ITTO20021100A1 (it) * | 2002-12-19 | 2004-06-20 | Olivetti Jet Spa | Testina di stampa a getto d'inchiostro perfezionata e relativo processo di fabbricazione |
| US6761435B1 (en) * | 2003-03-25 | 2004-07-13 | Lexmark International, Inc. | Inkjet printhead having bubble chamber and heater offset from nozzle |
| DE10351195B4 (de) * | 2003-10-30 | 2013-08-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Substrat zum Tintenstrahldrucken und Verfahren zu dessen Herstellung |
| US7325309B2 (en) | 2004-06-08 | 2008-02-05 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of manufacturing a fluid ejection device with a dry-film photo-resist layer |
| JP2007326226A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド及びその製造方法、液体吐出装置、画像形成装置 |
| JP2008030992A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Canon Inc | 基板の製造方法、配線基板の製造方法、配線基板、電子デバイス、電子源および画像表示装置 |
| JP4979641B2 (ja) * | 2007-06-20 | 2012-07-18 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP4937061B2 (ja) | 2007-09-20 | 2012-05-23 | 富士フイルム株式会社 | 液体吐出ヘッドの流路基板の製造方法 |
| JP5388615B2 (ja) * | 2009-02-06 | 2014-01-15 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
| JP5854693B2 (ja) * | 2010-09-01 | 2016-02-09 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57208255A (en) * | 1981-06-18 | 1982-12-21 | Canon Inc | Ink jet head |
| JPH0645242B2 (ja) * | 1984-12-28 | 1994-06-15 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘツドの製造方法 |
| US4675083A (en) * | 1986-04-02 | 1987-06-23 | Hewlett-Packard Company | Compound bore nozzle for ink jet printhead and method of manufacture |
| JPH03297167A (ja) * | 1990-04-16 | 1991-12-27 | Mitsubishi Electric Corp | マイクロレンズ |
| JPH0410941A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-16 | Canon Inc | 液滴噴射方法及び該方法を用いた記録装置 |
| JP2783647B2 (ja) * | 1990-04-27 | 1998-08-06 | キヤノン株式会社 | 液体噴射方法および該方法を用いた記録装置 |
| DE69127801T2 (de) * | 1990-12-19 | 1998-02-05 | Canon Kk | Herstellungsverfahren für flüssigkeitsausströmenden Aufzeichnungskopf |
| KR970007792B1 (en) * | 1992-10-30 | 1997-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Formation of fine pattern |
| JP3143307B2 (ja) * | 1993-02-03 | 2001-03-07 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
-
1996
- 1996-01-12 JP JP00343796A patent/JP3372739B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-01-10 EP EP97100341A patent/EP0783970B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-01-10 DE DE69721854T patent/DE69721854T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-01-10 US US08/783,289 patent/US5980017A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0783970B1 (en) | 2003-05-14 |
| DE69721854D1 (de) | 2003-06-18 |
| EP0783970A3 (en) | 1998-10-07 |
| US5980017A (en) | 1999-11-09 |
| EP0783970A2 (en) | 1997-07-16 |
| DE69721854T2 (de) | 2004-01-22 |
| JPH09193405A (ja) | 1997-07-29 |
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