JP3367150B2 - フッ素及び過酸化水素含有水の処理方法 - Google Patents
フッ素及び過酸化水素含有水の処理方法Info
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Description
有水の処理方法に係り、特に、半導体製造工程等から排
出される、過酸化水素を含むフッ素含有水をフッ素吸着
樹脂を用いて処理する方法において、フッ素吸着樹脂の
劣化を有効に防止して、効率的な処理を行なう方法に関
する。
素吸着樹脂（フッ素キレート樹脂など）を用いる方法
は、フッ素イオンを選択的に除去することができ、良好
な処理水質を得ることができることから、近年、多く採
用されている。
有される場合、フッ素吸着樹脂は、当該過酸化水素の影
響を受けて劣化し、処理能力（フッ素除去能力）が低下
するという問題がある。例えば、水和酸化セリウムを含
むフッ素吸着樹脂は、そのセリウムイオンの酸化数によ
り水に対する溶解度が異なることから、過酸化水素との
接触により、吸着樹脂からセリウムイオンが溶出し、吸
着樹脂のフッ素吸着容量が低下することが確認されてい
る。
排水中には、フッ素と過酸化水素が含有されているた
め、フッ素吸着樹脂を用いる方法で、該排水の処理を行
なうためには、予め過酸化水素を除去する必要がある。
亜硫酸ソーダ（ＮａＨＳＯ3 ）をＯＲＰ制御方式で添加
する方法が採用されている。また、活性炭の触媒作用で
過酸化水素を除去する方法も知られている。
過酸化水素の除去において、過剰の重亜硫酸ソーダが排
水中に残留すると、この重亜硫酸ソーダがフッ素吸着樹
脂を劣化させる原因となることから、重亜硫酸ソーダの
注入制御は正確に行なう必要がある。
ソーダ注入の終点を正確に求めることが困難であること
から、従来においては、残留重亜硫酸ソーダが生じない
ように、従って、未反応の過酸化水素が残留するように
重亜硫酸ソーダの注入制御が行なわれているのが現状で
あり、この結果、過酸化水素によるフッ素吸着樹脂の吸
着能力の低下は十分に防止されていない。
では、反応時間が長い上に、過酸化水素濃度１ｍｇ／ｌ
以下の低濃度にまで過酸化水素を除去することが困難で
あるという欠点がある。
素及び過酸化水素含有水を、フッ素吸着樹脂で処理して
フッ素の除去を行なう方法において、フッ素吸着樹脂に
よる処理に先立ち、過酸化水素を効率的に除去すること
により、該過酸化水素によるフッ素吸着樹脂の吸着能力
の低下を有効に防止して、高水質の処理水を効率的に得
ることを可能とするフッ素含有水の処理方法を提供する
ことを目的とする。
化水素含有水の処理方法は、フッ素含有水をフッ素吸着
樹脂と接触させて該水中からフッ素を除去する方法にお
いて、前記水に次亜塩素酸塩を添加した後、活性炭と接
触させて残留する次亜塩素酸塩を活性炭で吸着除去し、
次いでフッ素吸着樹脂と接触させることを特徴とする
濃度にまで分解除去することができる。しかも、次亜塩
素酸塩はＯＲＰ注入制御等により、正確に注入制御する
ことが可能である上に、過剰の次亜塩素酸塩は活性炭に
より極低濃度にまで吸着除去することができる。
び過酸化水素含有水から、過酸化水素を容易かつ効率的
に除去すると共に、過酸化水素の除去に用いた次亜塩素
酸塩の残留分をも容易かつ効率的に除去することができ
る。
される水には、過酸化水素及び次亜塩素酸塩が殆ど含ま
れることはなく、フッ素吸着樹脂の吸着能力の低下を防
止して、フッ素を効率的に除去して、高水質の処理水を
得ることが可能とされる。
酸化水素含有水の処理方法の実施例について詳細に説明
する。
水の処理方法の一実施例方法を説明する系統図である。
ＲＰ計１ＢとｐＨ計１Ｃとを備える。２は活性炭吸着塔
であり、３はフッ素吸着樹脂塔である。
は、配管１１より調整槽１に導入され、配管１２より次
亜塩素酸ナトリウム（ＮａＣｌＯ）等の次亜塩素酸塩
と、必要に応じて塩酸（ＨＣｌ），苛性ソーダ（ＮａＯ
Ｈ）等のｐＨ調整剤が添加混合される。
の注入制御はＯＲＰ計によるＯＲＰ電位の測定値に基い
て行なわれ、通常の場合、ＯＲＰ値＋３５０ｍＶ以上、
好ましくは＋４００〜＋６００ｍＶ程度となるように次
亜塩素酸ナトリウムの注入が行なわれる。
御により、原水中の過酸化水素は１ｍｇ／ｌ以下にまで
除去される。
による過酸化水素の除去とｐＨ調整を行なった水は、次
いで定量ポンプ１３Ａを備える配管１３より活性炭吸着
塔２に導入され、活性炭と接触処理される。この処理に
より、調整槽からの水に、過剰の次亜塩素酸ナトリウム
が残留する場合であっても、残留次亜塩素酸ナトリウム
は、活性炭により１ｍｇ／ｌ以下の低濃度にまで容易に
吸着除去される。
は、予め酸と接触させて不純物を溶出させたものを用い
るのが好ましい。この不純物溶出処理は、例えば、活性
炭を硫酸等の酸で洗浄することにより行なうことができ
る。
４よりフッ素吸着樹脂塔３に送給され、含有されるフッ
素がフッ素吸着樹脂により効率的に吸着除去され、処理
水は配管１５より系外へ排出される。この処理水は、通
常の場合、ｐＨ３〜７の酸〜中性であるため、放流する
場合には、必要に応じてｐＨ調整を行なった後放流す
る。
よる処理にあたり、フッ素吸着樹脂塔３に導入される水
には、過酸化水素も次亜塩素酸ナトリウムも殆ど含有さ
れていないため、フッ素吸着樹脂の劣化を防止して、効
率的なフッ素吸着除去処理を行なえる。
トリウムの添加にあたり、調整槽を設置しているが、次
亜塩素酸ナトリウムと過酸化水素との反応は化学反応で
あり、極めて短い時間で終了するため、次亜塩素酸ナト
リウムはライン注入方式で添加しても良い。また、添加
する次亜塩素酸塩としては、ＮａＣｌＯの他、Ｃａ（Ｃ
ｌＯ）2 等を用いることができる。
を挙げて本発明をより詳細に説明する。
む半導体工場の排水（ｐＨ２．３）に消石灰、ポリ塩化
アルミニウムを添加し、ｐＨ６．８に調整した後、沈殿
物を除去した。この上澄液はフッ素３７ｍｇ／ｌ及び過
酸化水素８９ｍｇ／ｌを含むものであった。この液を原
水として用い、図１に示す方法に従って、原水の処理を
行なった。
ｈｒとし、活性炭としては「クラレコールＫＷ１０／３
０」（（株）クラレ製）１００ｍｌを硫酸（Ｈ2 ＳＯ4
）と２０分間渣浸接触させることにより酸洗浄したも
のを用い、フッ素吸着樹脂としては水和酸化セリウム５
０ｍｌを用いた。
ｍＶとなるように、塩酸及び次亜塩素酸ナトリウムの注
入制御を行ない、２０時間通水処理したところ、処理水
中のフッ素濃度は１ｍｇ／ｌ以下、セリウム濃度は０．
５ｍｇ／ｌ以下であり、フッ素吸着樹脂からのフッ素吸
着材であるセリウムイオンの溶出を抑えて、即ち、フッ
素吸着樹脂の劣化を防止して、フッ素を効率的に吸着除
去することができることが確認された。
わず（ＯＲＰ電位は＋１６０ｍＶであった。）、また、
活性炭吸着塔を設けず、次亜塩素酸ナトリウムの添加及
び活性炭による処理を行なわなかったこと以外は同様に
して原水の処理を行なった。
／ｌ以下であったが、フッ素吸着樹脂のフッ素吸着材で
あるセリウムイオンが処理水中に７．４ｍｇ／ｌ溶出し
ており、長時間の運転では、フッ素吸着樹脂中のセリウ
ム含有量が低下し、フッ素吸着能力が確実に低下するこ
とが予想された。
る処理を行なわなかったこと以外は同様にして原水の処
理を行なった。その結果、処理水中のフッ素濃度は１ｍ
ｇ／ｌ以下であったが、セリウム濃度は１．６ｍｇ／ｌ
であり、やはり、セリウムイオンの溶出が起こることが
確認された。
いたこと以外は同様にして処理を行なった。その結果、
処理水のフッ素濃度は１〜３ｍｇ／ｌであった。これ
は、活性炭溶出物と思われる物質がフッ素吸着を妨害し
たためと考えられた。
過酸化水素含有水の処理方法によれば、フッ素及び過酸
化水素含有水を、フッ素吸着樹脂で処理してフッ素の除
去を行なう方法において、フッ素吸着樹脂による処理に
先立ち、過酸化水素を効率的に除去することにより、該
過酸化水素によるフッ素吸着樹脂の吸着能力の低下を有
効に防止して、高水質の処理水を効率的に得ることが可
能とされる。
理方法は、特に、半導体工程から排出されるフッ素と過
酸化水素とを含む水の処理に極めて有効である。
法の一実施例方法を説明する系統図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 フッ素及び過酸化水素含有水をフッ素吸
着樹脂と接触させて該水中からフッ素を除去する方法に
おいて、前記水に次亜塩素酸塩を添加した後、活性炭と
接触させて残留する次亜塩素酸塩を活性炭で吸着除去
し、次いでフッ素吸着樹脂と接触させることを特徴とす
るフッ素及び過酸化水素含有水の処理方法。 - 【請求項２】 請求項１に記載の方法において、ＯＲＰ
計によって前記水への次亜塩素酸塩の注入制御を行うこ
とを特徴とするフッ素及び過酸化水素含有水の処理方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16445193A JP3367150B2 (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | フッ素及び過酸化水素含有水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16445193A JP3367150B2 (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | フッ素及び過酸化水素含有水の処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0716561A JPH0716561A (ja) | 1995-01-20 |
| JP3367150B2 true JP3367150B2 (ja) | 2003-01-14 |
Family
ID=15793427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16445193A Expired - Lifetime JP3367150B2 (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | フッ素及び過酸化水素含有水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3367150B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101941943B1 (ko) * | 2017-06-22 | 2019-01-24 | 삼성엔지니어링 주식회사 | 암모니아 폐수 처리 방법 및 장치 |
| JP2020006323A (ja) * | 2018-07-09 | 2020-01-16 | 栗田工業株式会社 | 塩素酸含有水の処理方法及び処理装置 |
-
1993
- 1993-07-02 JP JP16445193A patent/JP3367150B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0716561A (ja) | 1995-01-20 |
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