JPH04198002A - ヨウ化水素酸の回収方法 - Google Patents

ヨウ化水素酸の回収方法

Info

Publication number
JPH04198002A
JPH04198002A JP2322402A JP32240290A JPH04198002A JP H04198002 A JPH04198002 A JP H04198002A JP 2322402 A JP2322402 A JP 2322402A JP 32240290 A JP32240290 A JP 32240290A JP H04198002 A JPH04198002 A JP H04198002A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hydroiodic acid
ozone
iodine
recovering
exchange resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2322402A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsushi Danjiyou
檀上 桂志
Mutsuo Mitsui
三井 六男
Masayuki Shimamune
島宗 正幸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2322402A priority Critical patent/JPH04198002A/ja
Publication of JPH04198002A publication Critical patent/JPH04198002A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
  • Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
  • Water Treatment By Sorption (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、ヨウ化水素酸を含有する水系からヨウ化水素
酸を回収する方法に関するものである。
[従来の技術] 従来、ヨウ化水素酸を含有する水系からヨウ化水素酸を
回収する方法には、例えば、濃縮装置を用いて、ヨウ化
水素酸を含有する水系を収容したタンクを外部から加熱
して濃縮し、水分を除去する方法がある。
また、他の方法として、ヨウ化水素酸を含有する水系に
次亜塩素酸ナトリウムを添加してヨウ化水素酸を酸化し
た後、水酸化ナトリウムでpH調整し、次いでイオン交
換樹脂あるいは活性炭によりヨウ素分を吸着回収する方
法がある。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、ヨウ化水素酸の回収方法として、上記従
来例で示した前者の濃縮法を利用した場合、一般に蒸気
による加熱方法が行なわれるために、大規模な装置化が
必要とされた。特に、ヨウ化水素酸を含有する水系中の
大量の水を濃縮するとなると、濃縮装置のみでなく、蒸
気の供給源までも大型化が必要となり、費用がかかり過
ぎる欠点があった。
一方、後者のイオン交換樹脂あるいは活性炭で簡易的に
ヨウ素分を吸着回収する方法においては、イオン交換樹
脂あるいは活性炭の吸着特性やpH依存性の為、次亜塩
素酸の添加によるヨウ化水素酸の酸化、および水酸化ナ
トリウムの添加によるpH調整からなる前処理が必要で
あった。そこで、前記のイオン交換樹脂あるいは活性炭
によるヨウ素分の吸着回収の前処理を行なうために、次
の問題点が発生した。
(1) M化反応槽、pH調整槽と2種類の反応槽を設
置しなければならず、広いスペースを必要とした。
(2)次亜塩素酸の添加装置が、次亜塩素酸に侵されて
故障し易かった。
(3)薬品添加により、他の化学種が水系に存在するこ
とになり、ヨウ素分の回収後の水の処理が新たに必要と
なった。
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであり
、ヨウ化水素酸を含有する水系をオゾンで前処理し、ヨ
ウ化水素酸の酸化を行なわせるかまたは酸化と同時にお
こるpH変化を読みとり適当なpHで次の操作に移る目
安にするpH調整手段を積極的に設けることにより、イ
オン交換樹脂あるいは活性炭によるヨウ化水素酸の吸着
能力の増強を可能とする安定で簡易的なヨウ化水素酸の
回収方法を提供することを目的とするものである。
[課題を解決するための手段] 即ち、本発明は、ヨウ化水素酸を含有する水系から、ヨ
ウ化水素酸を回収する方法において、ヨウ化水素酸を含
有する水系にオゾンによるヨウ化水素酸の酸化からなる
前処理を施した後、イオン交換樹脂あるいは活性炭でヨ
ウ素分を吸着回収することを特徴とするヨウ化水素酸の
回収方法である。
また、本発明は、上記の回収方法において、ヨウ化水素
酸を含有する水系にオゾンによるヨウ化水素酸の酸化お
よびpH調整からなる前処理を施すことを特徴とするヨ
ウ化水素酸の回収方法である。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明は、オゾン添加槽にヨウ化水素酸を含有する水系
を収容し、その水系中にオゾンを1〜lO%含有する気
体をバブリングすることにより前処理を施す。
ヨウ化水素酸を含、有する水系に、オゾンを添加すると
、以下の反応によりヨウ化水素酸の酸化が行なわれる。
それにともないpHも変化する。
03+  3I−+)IzO−一→ 1.−+ o2+
 208−    (1)41(r+o□−)  2r
2+2H20(2)■、十F−−→Is−(3) すなわち、オゾンによるI−の酸化によりヨウ素の重合
体を生じせしめることにより、イオン交換樹脂あるいは
活性炭のg当たりのヨウ素吸着量を増大することができ
る。
一方、酸化反応によってOH−が発生し、この水系のp
Hを変化させる。そこで、オゾンの添加量によって、イ
オン交換樹脂がヨウ素を吸着するのに最適なpHに調整
することができる。つまり、pHの値が増加してい(、
その変化を読みとって、最適なpH値を示した時、次の
操作に移行させればさらによい結果が得られる。
本発明における前処理は、オゾンによる酸化、pH調整
を行なうために、従来の薬品添加による方法と比較して
、装置の劣化や故障は起こりにくく、安定で簡易的な方
法である。
オゾンによる前処理を施した後、イオン交換樹脂あるい
は活性炭でヨウ素分を吸着回収する。イオン交換樹脂あ
るいは活性炭には、特に制限することなく通常使用され
ているものを用いることができる。
本発明において、ヨウ化水素酸を含有する水系には、特
に制限することなくヨウ化水素酸を含有するものであれ
ば如何なるものでも用いることができ、例えば液晶デイ
スプレィを構成するガラス基板へrTO電極パターンを
形成する際のエツチング液の廃液、等が挙げられる。
[実施例コ 以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に説明する。
実施例1 第1図は、本発明のヨウ化水素酸の回収方法に使用する
オゾン添加装置の一例を示す模式図である。同装置を用
いたヨウ化水素酸の回収方法を説明する。
先ず、本実施例におけるヨウ化水素酸を含有する水系は
、液晶デイスプレィを構成するガラス基板へITO(イ
ンジウム チン オキサイド:Indium Tin 
0xide)電極微細パターンを形成する工程において
、ヨウ化水素酸(HI47〜57wt%)と塩化第二鉄
(FeCR535wt%)の容積比が1:0.1〜1.
5の混合溶液からなるエツチング液lを用いて、 IT
Oをエツチングした後、水洗水2で基板に残ったエツチ
ング液を洗い流した一次水洗排水3であり、基板1枚あ
たりII!発生し、2〜4 g#!のヨウ素分を含有し
ている。
この−次水洗排水3を一次水洗排水配管4より落差でオ
ゾン添加槽5へ送る。次に、オゾン発生装置6より、1
〜lO%のオゾンを含有する気体を発生させ、これをオ
ゾン添加槽5の底部に設置したテフロン(登録商標)製
気泡発生器具7から噴出させることにより、−次水洗排
水3中にオゾン8をバブリングする。これによって−次
水洗排水中のニーの大部分はオゾン、酸素分子により酸
化され、13−なる化学種として一次水洗排水中に存在
する。
次に、酸化の前処理が施された一次水洗排水をポンプ9
の圧力で、スチレンとジビニルベンゼンとの球状共重合
物を基体とした強塩基性4級アンモニウム型の陰イオン
交換樹脂を充填した樹脂筒lOに通すと(流速2i!/
h〜400 f2/h> 、−次水洗排水中の13−は
樹脂のアンモニウム基に吸着される。
上記の様にして、オゾン酸化による前処理を施すことに
より、ヨウ素同志の重合を効率化し、1つのアンモニウ
ム基に複数のヨウ素が捕捉される。すなわち、樹脂1g
当たりのヨウ素吸着量が増大し、樹脂の再生頻度の減少
が可能となった。
しかも、酸化剤としてオゾンを用いたことにより、通常
の薬剤添加による酸化の場合と異なり、−次水洗排水中
にヨウ素以外の陰イオンを発生することがない。従って
、オゾン酸化による前処理により、イオン交換樹脂のヨ
ウ素吸着能力の増強と樹脂の長期使用が可能となった。
実施例2 第2図は、本発明のヨウ化水素酸の回収方法に使用する
pH調整装置を設けたオゾン添加装置の例を示す模式図
である。同装置を用いたヨウ化水素酸の回収方法を説明
する。
実施例1と同様の方法により、−次水洗排水中でオゾン
をバブリングする。これによってI−は■3−へ酸化さ
れると同時にOH−が発生しpHが変化する。そこで、
イオン交換樹脂がヨウ素を吸着するのに最適なるpHに
達するまでオゾンの添加を行ない、pHモニター11で
一次水洗排水のpH管理を行なった。それ以外は実施例
1と同様の方法でヨウ素分を吸着回収した。
これによって、アルカリ等の薬品の添加を行なうことな
く、簡易的にpH調整が可能となり、しかもイオン交換
樹脂のヨウ素吸着能力を増強することも可能となった。
実施例3 第1図に示す樹脂筒10を、カルボン社製のCAL(粒
径が12〜40メツシユを通過したもの)の活性炭につ
めかえた筒に交換して、実施例1と同様の実験を行なっ
た。実施例1と同様に長期使用可能なヨウ化水素酸の回
収方法を提供できることが確認できた。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、ヨウ化水素酸を
含有する水系からイオン交換樹脂あるいは活性炭で、ヨ
ウ化水素酸を回収する方法において、前処理としてオゾ
ンを添加する方法を用いることにより、イオン交換樹脂
あるいは活性炭のヨウ素吸着能力の増強を可能とし、し
かも薬品を添加せずにpH調整を行うことが出来る。そ
して、更に、簡易で安定な装置でヨウ化水素酸の回収の
前処理を施すことが可能となる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のヨウ化水素酸の回収方法に使用するオ
ゾン添加装置の一例を示す模式図および第2図は本発明
のヨウ化水素酸の回収方法に使用する、pH調整装置を
設けたオゾン添加装置の例を示す模式図である。 1・・・エツチング液 2・・・水洗水 3・・・−次水洗排水 4・・・−次水洗排水配管 5・・・オゾン添加槽 6・・・オゾン発生装置 7・・・気泡発生器具 8・・・オゾン 9・・・ポンプ 10・・・樹脂筒 11・・・pHモニター

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ヨウ化水素酸を含有する水系から、ヨウ化水素酸
    を回収する方法において、ヨウ化水素酸を含有する水系
    にオゾンによるヨウ化水素酸の酸化からなる前処理を施
    した後、イオン交換樹脂あるいは活性炭でヨウ素分を吸
    着回収することを特徴とするヨウ化水素酸の回収方法。
  2. (2)請求項1記載の回収方法において、ヨウ化水素酸
    を含有する水系にオゾンによるヨウ化水素酸の酸化およ
    びpH調整からなる前処理を施すことを特徴とするヨウ
    化水素酸の回収方法。
  3. (3)請求項1または2記載の回収方法において、ヨウ
    化水素酸を含有する水系にオゾンをバブリングして前処
    理を施すことを特徴とするヨウ化水素酸の回収方法。
JP2322402A 1990-11-28 1990-11-28 ヨウ化水素酸の回収方法 Pending JPH04198002A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2322402A JPH04198002A (ja) 1990-11-28 1990-11-28 ヨウ化水素酸の回収方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2322402A JPH04198002A (ja) 1990-11-28 1990-11-28 ヨウ化水素酸の回収方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04198002A true JPH04198002A (ja) 1992-07-17

Family

ID=18143265

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2322402A Pending JPH04198002A (ja) 1990-11-28 1990-11-28 ヨウ化水素酸の回収方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04198002A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009142764A (ja) * 2007-12-14 2009-07-02 Japan Organo Co Ltd よう素含有廃液からのよう素回収方法およびよう素回収装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009142764A (ja) * 2007-12-14 2009-07-02 Japan Organo Co Ltd よう素含有廃液からのよう素回収方法およびよう素回収装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5234606A (en) Method and system for recovering wastewater
JP2677235B2 (ja) 半導体基板の洗浄装置及び洗浄方法並びに洗浄液の生成方法
CN1040738C (zh) 从碱金属氯化物水溶液中除去碘的纯化方法
CN101954272A (zh) 一种用于电解食盐水的微量碘吸附剂及其制备方法和应用
JP4978275B2 (ja) 一次純水製造プロセス水の処理方法及び装置
KR102256404B1 (ko) 제염 폐액의 처리 방법
CN108854490B (zh) 一种氯乙酸尾气净化及副产盐酸脱硫工艺
JP4447212B2 (ja) 超純水の製造方法及び超純水製造装置
JPH04198002A (ja) ヨウ化水素酸の回収方法
WO2012018038A1 (ja) 酢酸含有排水の処理方法及び装置
JP2001179252A (ja) 酸化性物質低減純水製造方法及び装置
JPH07232915A (ja) 廃水中のフッ素回収方法
JP2021137805A (ja) 水処理方法および水処理装置
JPH0663547A (ja) ヨウ化水素酸の回収方法
JP2000308815A (ja) オゾン溶解水の製造装置
CN217567821U (zh) 一种浓盐酸净化除铁装置
JPH08141582A (ja) 産業排水処理方法および装置
CN105565416A (zh) 一种氯化苯装置废水的处理方法
JP3367150B2 (ja) フッ素及び過酸化水素含有水の処理方法
JPH0328102A (ja) 粗塩酸の精製方法
JP4436183B2 (ja) ヨウ素イオン除去プロセス及び電解プロセス
CN108658329A (zh) 一种基于臭氧氧化的复合型反渗透浓水处理方法
CN219059129U (zh) 一种蚀刻废液处理回收装置
US20070110652A1 (en) Apparatus and method for removing ozone
CN212954678U (zh) 一种废水中氯离子的吸附、去除和资源化利用的系统