JP3349650B2 - 水切り乾燥装置 - Google Patents
水切り乾燥装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、水分の付着した
ワークを洗浄および水切り乾燥するような水切り乾燥装
置に関する。
ワークを洗浄および水切り乾燥するような水切り乾燥装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、上述例の洗浄および水切りには有
機溶剤としてのＡＫ−２２５（商品名）が用いられてい
たが、大気汚染や地球温暖化の要因となる関係上、規則
により使用不可能となる。なお上述のＡＫ−２２５の物
性は次の通りである。
機溶剤としてのＡＫ−２２５（商品名）が用いられてい
たが、大気汚染や地球温暖化の要因となる関係上、規則
により使用不可能となる。なお上述のＡＫ−２２５の物
性は次の通りである。
【０００３】 分子量……２０２．９４ 沸 点……５４℃ 比 重……１．５５（但し２５℃において） 表面張力…１６．２dynes/cm（但し２５℃において） 引火点……なし ＫＢ値……３１ ＳＰ値……６．９ オゾン破壊係数…０．０１〜０．０４ 上記の物性から明らかなようにＡＫ−２２５はオゾン破
壊係数が０．０１〜０．０４で大気汚染の要因となる。
一方、ワークの水切り乾燥に有効な溶剤としてはＩＰＡ
（イソプロピルアルコール）が知られているが、このＩ
ＰＡは常温以下で引火する危険物（引火点２１．１℃）
であるから、防爆構造なしには使用することができない
問題点があった。
壊係数が０．０１〜０．０４で大気汚染の要因となる。
一方、ワークの水切り乾燥に有効な溶剤としてはＩＰＡ
（イソプロピルアルコール）が知られているが、このＩ
ＰＡは常温以下で引火する危険物（引火点２１．１℃）
であるから、防爆構造なしには使用することができない
問題点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、ＩＰＡと
混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤と、上述
のＩＰＡとが混合された混合液を設け、この混合液が貯
蔵された洗浄槽と、この洗浄槽の液面上に形成された上
記フッ素系溶剤の蒸気層とを備えることで、フッ素系溶
剤によりＩＰＡの引火性をなくして、防爆構造を不要と
なしつつ、水分の付着したワークから水分を除去し、良
好な乾燥効果を得ることができ、しかも、上述のフッ素
系溶剤をオゾン破壊係数(つまりＯＤＰ)が零のＨＦＥ
（ハイドロ・フルオロ・エーテル）に設定することで、
オゾン破壊、大気汚染、地球温暖化を招くことがなく、
またＨＦＥ＋ＩＰＡの状態にある混合液中に水分（Ｈ２
Ｏ）の付着したワークが入ってくると、ＩＰＡ＋Ｈ２Ｏ
とＨＦＥとに分離して、確実な水切り乾燥効果を得るこ
とができる水切り乾燥装置の提供を目的とする。
混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤と、上述
のＩＰＡとが混合された混合液を設け、この混合液が貯
蔵された洗浄槽と、この洗浄槽の液面上に形成された上
記フッ素系溶剤の蒸気層とを備えることで、フッ素系溶
剤によりＩＰＡの引火性をなくして、防爆構造を不要と
なしつつ、水分の付着したワークから水分を除去し、良
好な乾燥効果を得ることができ、しかも、上述のフッ素
系溶剤をオゾン破壊係数(つまりＯＤＰ)が零のＨＦＥ
（ハイドロ・フルオロ・エーテル）に設定することで、
オゾン破壊、大気汚染、地球温暖化を招くことがなく、
またＨＦＥ＋ＩＰＡの状態にある混合液中に水分（Ｈ２
Ｏ）の付着したワークが入ってくると、ＩＰＡ＋Ｈ２Ｏ
とＨＦＥとに分離して、確実な水切り乾燥効果を得るこ
とができる水切り乾燥装置の提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、水分の付着
したワークを水切り乾燥する水切り乾燥装置であって、
ＩＰＡと混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤
と、上記ＩＰＡとが混合された混合液を設け、上記混合
液が貯溜された洗浄槽と、該洗浄槽の液面上に形成され
た上記フッ素系溶剤の蒸気層とを備え、上記フッ素系溶
剤はオゾン破壊係数が零のＨＦＥに設定され、上記ＨＦ
ＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５wt％、ＩＰ
Ａを約５wt％の割合に設定された水切り乾燥装置である
ことを特徴とする。
したワークを水切り乾燥する水切り乾燥装置であって、
ＩＰＡと混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤
と、上記ＩＰＡとが混合された混合液を設け、上記混合
液が貯溜された洗浄槽と、該洗浄槽の液面上に形成され
た上記フッ素系溶剤の蒸気層とを備え、上記フッ素系溶
剤はオゾン破壊係数が零のＨＦＥに設定され、上記ＨＦ
ＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５wt％、ＩＰ
Ａを約５wt％の割合に設定された水切り乾燥装置である
ことを特徴とする。
【０００６】
【発明の作用及び効果】この発明によれば、ＩＰＡ（イ
ソプロピルアルコール）と混合してＩＰＡの引火性をな
くすフッ素系溶剤と、ＩＰＡとを混合した混合液を設け
たので、上述のフッ素系溶剤によりＩＰＡの引火性をな
くして、装置側の防爆構造を省略することができる。ま
た、混合液中に含有するＩＰＡにより水分の付着したワ
ークから水分を除去し、さらにフッ素系溶剤の蒸気層に
てワークの温度を上げて乾燥する。したがって、良好な
水切り乾燥効果を得ることができ、大気汚染や地球温暖
化の影響もなくなる効果がある。
ソプロピルアルコール）と混合してＩＰＡの引火性をな
くすフッ素系溶剤と、ＩＰＡとを混合した混合液を設け
たので、上述のフッ素系溶剤によりＩＰＡの引火性をな
くして、装置側の防爆構造を省略することができる。ま
た、混合液中に含有するＩＰＡにより水分の付着したワ
ークから水分を除去し、さらにフッ素系溶剤の蒸気層に
てワークの温度を上げて乾燥する。したがって、良好な
水切り乾燥効果を得ることができ、大気汚染や地球温暖
化の影響もなくなる効果がある。
【０００７】さらに、上述のフッ素系溶剤をオゾン破壊
係数(つまりＯＤＰ)が零のＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ
・エーテル）に設定したので、オゾン破壊、大気汚染、
地球温暖化を招くことがなく、またＨＦＥ＋ＩＰＡの状
態にある混合液中に水分（Ｈ２Ｏ）の付着したワークが
入ってくると、ＩＰＡ＋Ｈ２ＯとＨＦＥとに分離して、
確実な水切り乾燥効果を得ることができる。しかも、Ｈ
ＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５wt％、Ｉ
ＰＡを約５wt％の割合に設定したので、ＩＰＡの引火性
を確実になくすことができる。
係数(つまりＯＤＰ)が零のＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ
・エーテル）に設定したので、オゾン破壊、大気汚染、
地球温暖化を招くことがなく、またＨＦＥ＋ＩＰＡの状
態にある混合液中に水分（Ｈ２Ｏ）の付着したワークが
入ってくると、ＩＰＡ＋Ｈ２ＯとＨＦＥとに分離して、
確実な水切り乾燥効果を得ることができる。しかも、Ｈ
ＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５wt％、Ｉ
ＰＡを約５wt％の割合に設定したので、ＩＰＡの引火性
を確実になくすことができる。
【０００８】
【実施例】この発明の一実施例を以下図面に基づいて詳
述する。図面は水切り乾燥装置を示し、図１において、
この水切り乾燥装置はタンク本体１の上部にワーク出入
口２を形成する一方、このワーク出入口２と上下方向に
対向するタンク下部には超音波洗浄槽３を形成してい
る。
述する。図面は水切り乾燥装置を示し、図１において、
この水切り乾燥装置はタンク本体１の上部にワーク出入
口２を形成する一方、このワーク出入口２と上下方向に
対向するタンク下部には超音波洗浄槽３を形成してい
る。
【０００９】この超音波洗浄層３の一側（図示左側）に
はオーバフロー部４を介して分離槽５および蒸留槽６を
この順に配設し、超音波洗浄槽３の他側（図示右側）に
はオーバフロー部７を介して水分離槽８を配設してい
る。なお上述のタンク本体１においてワーク出入口２以
外の部分はそれぞれの天壁５ａ，６ａ，８ａにより覆わ
れている。
はオーバフロー部４を介して分離槽５および蒸留槽６を
この順に配設し、超音波洗浄槽３の他側（図示右側）に
はオーバフロー部７を介して水分離槽８を配設してい
る。なお上述のタンク本体１においてワーク出入口２以
外の部分はそれぞれの天壁５ａ，６ａ，８ａにより覆わ
れている。
【００１０】ここで、ＩＰＡ（イソプロピルアルコー
ル）と混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤と
してオゾン破壊係数(つまりＯＤＰ)が零のＨＦＥ（ハイ
ドロ・フルオロ・エーテル）と、上記ＩＰＡとが混合さ
れた混合液ａを設け、この混合液ａを上述の各槽３，
５，６に貯溜している。上述のＨＦＥとＩＰＡとの混合
比率は、ＨＦＥを約９５wt％、ＩＰＡを約５wt％の割合
にて混合する。
ル）と混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤と
してオゾン破壊係数(つまりＯＤＰ)が零のＨＦＥ（ハイ
ドロ・フルオロ・エーテル）と、上記ＩＰＡとが混合さ
れた混合液ａを設け、この混合液ａを上述の各槽３，
５，６に貯溜している。上述のＨＦＥとＩＰＡとの混合
比率は、ＨＦＥを約９５wt％、ＩＰＡを約５wt％の割合
にて混合する。
【００１１】ところで、上述の超音波洗浄槽３の底部に
は両サイドのフラット部３ａ，３ｂと中央の凹部３ｃと
が形成され、上述のフラット部３ａ，３ｂには超音波振
動子９，９を設ける一方、凹部３ｃには混合液ａを例え
ば３５〜５０℃（最良の超音波効果を得られる温度）に
加熱する加熱手段としてのヒータ１０を取付けている。
は両サイドのフラット部３ａ，３ｂと中央の凹部３ｃと
が形成され、上述のフラット部３ａ，３ｂには超音波振
動子９，９を設ける一方、凹部３ｃには混合液ａを例え
ば３５〜５０℃（最良の超音波効果を得られる温度）に
加熱する加熱手段としてのヒータ１０を取付けている。
【００１２】また上述の分離槽５には同槽５の側壁と離
反する２枚の仕切板１１，１２を立設し、ＨＦＥ＋ＩＰ
Ａの状態の混合液ａと、ワークの水切り洗浄により形成
されるＨ２Ｏ＋ＩＰＡの液ｂとを比重差により上下に分
離すべく構成し、蒸留槽６に対しては混合液ａのみをオ
ーバフローすべく構成している。なお、ＨＦＥの比重は
１．４３〜１．５２、ＩＰＡの比重は０．７８６〜０．
７８７、Ｈ２Ｏの比重は１．０である。
反する２枚の仕切板１１，１２を立設し、ＨＦＥ＋ＩＰ
Ａの状態の混合液ａと、ワークの水切り洗浄により形成
されるＨ２Ｏ＋ＩＰＡの液ｂとを比重差により上下に分
離すべく構成し、蒸留槽６に対しては混合液ａのみをオ
ーバフローすべく構成している。なお、ＨＦＥの比重は
１．４３〜１．５２、ＩＰＡの比重は０．７８６〜０．
７８７、Ｈ２Ｏの比重は１．０である。
【００１３】さらに、上述の蒸留槽６には混合液ａをＨ
ＦＥの沸点（使用するＨＦＥの種類により異なるが、例
えば６０℃）に加熱する加熱手段としてのヒータ１３を
取付け、前述の超音波洗浄槽３の液面と、冷却手段とし
てタンク本体１の内部周壁部分にのみ配置された冷却ジ
ャケット１４との間にＨＦＥ蒸気層１５を形成すべく構
成している。
ＦＥの沸点（使用するＨＦＥの種類により異なるが、例
えば６０℃）に加熱する加熱手段としてのヒータ１３を
取付け、前述の超音波洗浄槽３の液面と、冷却手段とし
てタンク本体１の内部周壁部分にのみ配置された冷却ジ
ャケット１４との間にＨＦＥ蒸気層１５を形成すべく構
成している。
【００１４】一方、前述の水分離槽８の上方には冷却手
段としての冷却コイル１６（溶剤ロスの低減を図る目的
で、ＨＦＥ蒸気を凝縮して再生液化するためのコイル）
を配設している。この冷却コイル１６と上述の冷却ジャ
ケット１４とは図示しない冷凍サイクルに接続されてい
る。
段としての冷却コイル１６（溶剤ロスの低減を図る目的
で、ＨＦＥ蒸気を凝縮して再生液化するためのコイル）
を配設している。この冷却コイル１６と上述の冷却ジャ
ケット１４とは図示しない冷凍サイクルに接続されてい
る。
【００１５】また上述の水分離槽８には２つの仕切板１
７，１８を設け、一方の仕切板１７で水分離されたＨ２
Ｏが仕切板１８側へ流動しないように規制すると共に、
他方の仕切板１８で必要液面を確保すべく構成してい
る。
７，１８を設け、一方の仕切板１７で水分離されたＨ２
Ｏが仕切板１８側へ流動しないように規制すると共に、
他方の仕切板１８で必要液面を確保すべく構成してい
る。
【００１６】前述の超音波洗浄槽３の液面と冷却ジャケ
ット１４との間にはワークの出入と干渉しないようにシ
ャワー装置１９を配設し、水分離槽８における仕切板１
８と底板８ｂとの間から比較的ＨＦＥ濃度の濃い混合液
ａを、必要に応じて送液ポンプ２０、開閉弁２１および
送液ライン２２を介して上述のシャワー装置１９に送液
して、ワーク表面のすすぎを行なうように構成してい
る。
ット１４との間にはワークの出入と干渉しないようにシ
ャワー装置１９を配設し、水分離槽８における仕切板１
８と底板８ｂとの間から比較的ＨＦＥ濃度の濃い混合液
ａを、必要に応じて送液ポンプ２０、開閉弁２１および
送液ライン２２を介して上述のシャワー装置１９に送液
して、ワーク表面のすすぎを行なうように構成してい
る。
【００１７】さらに上述の水分離槽８における液面部と
分離槽５の液ｂの浮上部との間には、水分離槽８で分離
されたＨ２Ｏを液ｂの部分に還流させるライン２３を槽
外部にて設ける一方、分離槽５において混合液ａ上に浮
上した液ｂを槽外へ排出すべく構成している。また前述
の冷却ジャケット４上の所定範囲をワークの乾燥領域α
に設定している。
分離槽５の液ｂの浮上部との間には、水分離槽８で分離
されたＨ２Ｏを液ｂの部分に還流させるライン２３を槽
外部にて設ける一方、分離槽５において混合液ａ上に浮
上した液ｂを槽外へ排出すべく構成している。また前述
の冷却ジャケット４上の所定範囲をワークの乾燥領域α
に設定している。
【００１８】この実施例では上述のＨＦＥとしてＨＦＥ
−７１００（商品名）またはＨＦＥ−７２００（商品
名）を使用することができ、ＩＰＡとしてはＩＰＡＳＥ
（商品名）またはＩＰＡＳ（商品名）(いずれも高純度
のＩＰＡ)を使用するので、これら各溶剤の物性を以下
に列記する。
−７１００（商品名）またはＨＦＥ−７２００（商品
名）を使用することができ、ＩＰＡとしてはＩＰＡＳＥ
（商品名）またはＩＰＡＳ（商品名）(いずれも高純度
のＩＰＡ)を使用するので、これら各溶剤の物性を以下
に列記する。
【００１９】 ＨＦＥ−７１００の物性 化学式……Ｃ４Ｆ９ＯＣＨ３ 沸 点……６０℃ 表面張力…１３．６dynes/cm 引火点……なし ＶＯＣ……なし ＯＤＰ(オゾン破壊係数)……０ 比 重……１．５２ ＨＦＥ−７２００の物性 化学式……Ｃ４Ｆ９ＯＣ２Ｈ５ 沸 点……７３℃ 表面張力…１３．６dynes/cm 引火点……なし ＶＯＣ……なし ＯＤＰ(オゾン破壊係数)……０ 比 重……１．４３ ＩＰＡＳＥおよびＩＰＡＳの物性 比 重……０．７８６〜０．７８７ 沸 点……８２．４℃ 粘 度……２．４１cp/20 ℃ 引火点……２１．１℃（開放式） 発火点……４６０℃ 爆発範囲…２〜１２vol ％
【００２０】図示実施例は上記の如く構成するものにし
て、以下作用を説明する。ワークの水切り乾燥に際して
は、水分の付着したワークをワーク出入口２から超音波
洗浄槽３の混合液ａの液中に浸漬し、超音波振動子９，
９を駆動して、上述のワークを超音波洗浄する。
て、以下作用を説明する。ワークの水切り乾燥に際して
は、水分の付着したワークをワーク出入口２から超音波
洗浄槽３の混合液ａの液中に浸漬し、超音波振動子９，
９を駆動して、上述のワークを超音波洗浄する。
【００２１】混合液ａは約９５wt％のＨＦＥ＋約５wt％
のＩＰＡの状態にあるが、水分の付着したワークが浸漬
されることで、混合液ａの一部はＨＦＥとＩＰＡ＋Ｈ２
Ｏの状態に分離する。つまりＩＰＡの物性によりワーク
に付着した水分（Ｈ２Ｏ）が除去される。またＩＰＡ＋
Ｈ２Ｏの状態となった液ｂは比重差により混合液ａ上に
浮上する。
のＩＰＡの状態にあるが、水分の付着したワークが浸漬
されることで、混合液ａの一部はＨＦＥとＩＰＡ＋Ｈ２
Ｏの状態に分離する。つまりＩＰＡの物性によりワーク
に付着した水分（Ｈ２Ｏ）が除去される。またＩＰＡ＋
Ｈ２Ｏの状態となった液ｂは比重差により混合液ａ上に
浮上する。
【００２２】次に超音波洗浄および水切り後のワークを
ＨＦＥ蒸気層１５まで上昇させ、ワークの乾燥が良好に
行なわれるようＨＦＥ蒸気にてワーク温度を上げる。な
お、すすぎ処理が必要な場合には超音波洗浄槽３におけ
るＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをシャワー装
置１９からワークに吹付けて、ワーク表面のすすぎを実
行した後に、ＨＦＥ蒸気層１５にて所定時間ワークを蒸
気洗浄する。次に蒸気洗浄終了後のワークを乾燥領域α
まで上昇させて、乾燥処理し、乾燥後のワークはワーク
出入口２から取出して、次工程へ搬送する。
ＨＦＥ蒸気層１５まで上昇させ、ワークの乾燥が良好に
行なわれるようＨＦＥ蒸気にてワーク温度を上げる。な
お、すすぎ処理が必要な場合には超音波洗浄槽３におけ
るＨＦＥ濃度よりもその濃度が濃いＨＦＥをシャワー装
置１９からワークに吹付けて、ワーク表面のすすぎを実
行した後に、ＨＦＥ蒸気層１５にて所定時間ワークを蒸
気洗浄する。次に蒸気洗浄終了後のワークを乾燥領域α
まで上昇させて、乾燥処理し、乾燥後のワークはワーク
出入口２から取出して、次工程へ搬送する。
【００２３】なお、上述の超音波洗浄槽３において混合
液ａ上に浮上したＩＰＡ＋Ｈ２Ｏ状態の液ｂはオーバフ
ロー４を介して隣設する分離槽５に流下した後に、この
分離槽５において混合液ａと比重分離されてその液ａ面
上に浮上した後に、槽外に排出される。
液ａ上に浮上したＩＰＡ＋Ｈ２Ｏ状態の液ｂはオーバフ
ロー４を介して隣設する分離槽５に流下した後に、この
分離槽５において混合液ａと比重分離されてその液ａ面
上に浮上した後に、槽外に排出される。
【００２４】以上要するに、ＩＰＡ（イソプロピルアル
コール）と混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶
剤（ＨＦＥ参照）と、ＩＰＡとを混合した混合液ａを設
けたので、上述のフッ素系溶剤（ＨＦＥ参照）によりＩ
ＰＡの引火性をなくして、装置側の防爆構造を省略する
ことができる。また、混合液ａ中に含有するＩＰＡによ
り水分の付着したワークから水分を除去し、さらにＯＤ
Ｐ＝０のＨＦＥの蒸気層１５にてワークの温度を上げて
乾燥する。したがって、良好な水切り乾燥効果を得るこ
とができ、大気汚染や地球温暖化の影響もなくなる効果
がある。
コール）と混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶
剤（ＨＦＥ参照）と、ＩＰＡとを混合した混合液ａを設
けたので、上述のフッ素系溶剤（ＨＦＥ参照）によりＩ
ＰＡの引火性をなくして、装置側の防爆構造を省略する
ことができる。また、混合液ａ中に含有するＩＰＡによ
り水分の付着したワークから水分を除去し、さらにＯＤ
Ｐ＝０のＨＦＥの蒸気層１５にてワークの温度を上げて
乾燥する。したがって、良好な水切り乾燥効果を得るこ
とができ、大気汚染や地球温暖化の影響もなくなる効果
がある。
【００２５】さらに、上述のフッ素系溶剤をオゾン破壊
係数(つまりＯＤＰ)が零のＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ
・エーテル）に設定したので、オゾン破壊、大気汚染、
地球温暖化を招くことがなく、またＨＦＥ＋ＩＰＡの状
態にある混合液ａ中に水分（Ｈ２Ｏ）の付着したワーク
が入ってくると、ＩＰＡ＋Ｈ２ＯとＨＦＥとに分離し
て、確実な水切り乾燥効果を得ることができる効果があ
る。しかも、ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを
約９５wt％、ＩＰＡを約５wt％の割合に設定したので、
ＩＰＡの引火性を確実になくすことができる。
係数(つまりＯＤＰ)が零のＨＦＥ（ハイドロ・フルオロ
・エーテル）に設定したので、オゾン破壊、大気汚染、
地球温暖化を招くことがなく、またＨＦＥ＋ＩＰＡの状
態にある混合液ａ中に水分（Ｈ２Ｏ）の付着したワーク
が入ってくると、ＩＰＡ＋Ｈ２ＯとＨＦＥとに分離し
て、確実な水切り乾燥効果を得ることができる効果があ
る。しかも、ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを
約９５wt％、ＩＰＡを約５wt％の割合に設定したので、
ＩＰＡの引火性を確実になくすことができる。
【００２６】この発明の構成と、上述の実施例との対応
において、この発明の洗浄槽は、実施例の超音波洗浄槽
３に対応するも、この発明は、上述の実施例の構成のみ
に限定されるものではない。例えば、必要に応じて洗浄
槽３の槽数を増加してもよいことは勿論である。
において、この発明の洗浄槽は、実施例の超音波洗浄槽
３に対応するも、この発明は、上述の実施例の構成のみ
に限定されるものではない。例えば、必要に応じて洗浄
槽３の槽数を増加してもよいことは勿論である。
【図１】 本発明の水切り乾燥装置を示す断面図。
ａ…混合液 ３…超音波洗浄槽 １５…ＨＦＥ蒸気層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 12/00
Claims (1)
- 【請求項１】水分の付着したワークを水切り乾燥する水
切り乾燥装置であって、 ＩＰＡと混合してＩＰＡの引火性をなくすフッ素系溶剤
と、上記ＩＰＡとが混合された混合液を設け、 上記混合液が貯溜された洗浄槽と、 該洗浄槽の液面上に形成された上記フッ素系溶剤の蒸気
層とを備え、 上記フッ素系溶剤はオゾン破壊係数が零のＨＦＥに設定
される一方、 上記ＨＦＥとＩＰＡとの混合比率は、ＨＦＥを約９５wt
％、ＩＰＡを約５wt％の割合に設定された 水分の付着し
たワークを水切り乾燥する水切り乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11617797A JP3349650B2 (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | 水切り乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11617797A JP3349650B2 (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | 水切り乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10290901A JPH10290901A (ja) | 1998-11-04 |
| JP3349650B2 true JP3349650B2 (ja) | 2002-11-25 |
Family
ID=14680711
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11617797A Expired - Fee Related JP3349650B2 (ja) | 1997-04-18 | 1997-04-18 | 水切り乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3349650B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010108055A (ko) * | 1998-12-29 | 2001-12-07 | 스프레이그 로버트 월터 | 탈수 방법 |
| JP4689084B2 (ja) * | 2001-06-13 | 2011-05-25 | 新オオツカ株式会社 | 溶剤分離装置 |
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