JP3346683B2 - シート材剥離装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、エアー吸引を介してシ
ート材を吸着する吸着具を用いてシート材載置体のシー
ト材を剥離するシート材剥離装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、この種のシート材剥離装置
は、シート材載置体からシート材を剥離して搬送装置に
受け渡したり、或いは搬送装置自体に組み込まれてシー
ト材の剥離・搬送を行なうものとして用いられている。
そして、シート材を剥離するに当たっては、皿状，椀
状，ベローズ状等の種々の形状のいわゆる吸着パッドを
シート材載置体のシート材にその真上から押し付けて吸
引し、この吸着パッドにシート材を吸着させる。次い
で、この状態で吸着パッドを上昇させてシート材載置体
から引き離し、シート材を剥離する。この場合、シート
材がその周縁で僅かにでもシート材載置体から離れると
その後の剥離が容易であるので、通常、吸着パッドの押
し付けはシート材の周縁領域で行なわれている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たシート材剥離装置では、シート材への密着が不可欠な
シート材載置体からシート材を剥離する際に、剥離対象
となるシート材が剥離できないことがあった。これは、
次のような理由による。

【０００４】例えば、カラー受像管用のシャドウマスク
やアパーチャグリル，半導体用のリードフレームなどの
製造の過程では、その原材料たる金属薄板を対向プレー
トで密着挟持しこの金属薄板の主面に所定のパターンを
焼き付けることが行なわれる。このような場合には、パ
ターンの焼き付け品質を確保するために、比較的高い度
合いで対向プレート間が真空吸引されるので、金属薄板
がその主面の全域に亘ってプレートに密着している。し
かも、このプレートと金属薄板は、高い精度で滑らかに
整面されているので、その密着の度合いも高い。このた
め、金属薄板をその周縁領域において吸着パッドで吸引
して剥離する際には、金属薄板の内部領域側での密着が
抵抗となる。よって、金属薄板の真空密着力に勝る吸引
力が必要であると共に、金属薄板の大きさに応じて比較
的頻繁に吸引力を調整する必要があとなり、吸引力が不
足すると剥離ができなくなる。また、金属薄板の大きさ
が変わると、それまで良好に吸引・剥離できていたにも
拘らず、吸引力の調整不備により吸引・剥離ができない
ことがあった。

【０００５】また、通常は、金属薄板の各コーナーの４
箇所で吸着パッドにより吸着を行なうが、その一箇所或
いは二箇所で吸着力が弱いと、金属薄板を剥離して持ち
上げることができなくなる。

【０００６】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
であり、シート材載置体からシート材を確実且つ簡単に
剥離することをその目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
になされた本発明のシート材剥離装置で採用した手段
は、エアー吸引を介してシート材を吸着する吸着具と、
該吸着具を保持し、シート材載置体に載置されたシート
材の周縁領域への前記吸着具の押し付けと前記シート材
載置体からの前記吸着具の引き離しとを行なう吸着具保
持手段と、を有し、前記シート材載置体のシート材を該
シート材載置体から剥離するシート材剥離装置であっ
て、前記吸着具は、前記シート材で塞がれる開口を包囲
して該開口周囲にエアー吸引空間を形成し、前記シート
材に当接して弾性変形する吸引口包囲体を備え、前記吸
着具保持手段は、前記シート材載置体に載置されたシー
ト材の内部領域側から前記周縁領域側に向けて、前記吸
着具を傾斜して保持する傾斜保持手段を備えることをそ
の要旨とする。

【０００８】こうした本発明のシート材剥離装置におい
て、 前記吸引口包囲体は、前記シート材載置体に載置さ
れたシート材の内側に当たる領域に比べて前記シート材
の周縁側に当たる領域の方が容易に弾性変形する変形性
を備えるものとすることができる。

【０００９】上記した本発明のシート剥離装置では、更
に、前記シート材載置体に載置されたシート材の周縁端
に向けて配置されたエアーノズルと、前記吸着具保持手
段による前記吸着具の引き離しの際に、前記エアーノズ
ルからエアーを送風する送風手段と、を有する。

【００１０】

【作用】上記した本発明のシート材剥離装置では、吸着
具保持手段によりシート材の周縁領域に押し付けられる
吸着具は、傾斜保持手段によりシート材載置体のシート
材に対して、その内部領域側から周縁領域側に向けて傾
斜して保持されている。従って、この吸着具がシート材
の周縁領域に押し付けられると、吸着具の吸引口包囲体
は、シート材の内部領域側に当初当接し、その後はこの
当初の当接箇所において弾性変形を起こして、やがて周
縁領域側でも当接する。このため、吸引口包囲体は、シ
ート材の内部領域側では大きく弾性変形し周縁領域側で
は比較的弾性変形することなくシート材に当接し、この
状態で開口がシート材で塞がれてその周囲のエアー吸引
空間は気密とされる。つまり、吸引口包囲体は、その弾
性変形の変位量がシート材の周縁領域側では内部領域側
に比べて少ない状態で、シート材に当接する。そして、
このエアー吸引空間のエアーが吸引されるので、シート
材はその周縁領域で吸着具に吸着される。この際、シー
ト材には吸引口包囲体に向けて吸引力が作用するので、
シート材は吸引口包囲体に引き付けられることになる。

【００１１】ところで、シート材の周縁領域側では内部
領域側に比べて吸引口包囲体の弾性変形の変位量が少な
いことから、吸引口包囲体へのシート材の引き付けによ
り、吸引口包囲体は、弾性変形の変位量が少ない周縁領
域側で更に弾性変形する。このため、シート材載置体の
シート材は、周縁領域側での吸引口包囲体の更なる弾性
変形に伴ってその周縁端側がシート材載置体からめくり
剥され、この際に、シート材の内部領域側でのシート材
載置体に対する密着による抵抗を受けることは少ない。

【００１２】また、シート材の周縁領域に押し付けられ
る吸着具の吸引口包囲体を、シート材載置体に載置され
たシート材の内側に当たる領域に比べてシート材の周縁
側に当たる領域の方が容易に弾性変形する変形性を備え
るものとした。よって、吸引口包囲体におけるシート材
の周縁側に当たる領域では、シート材の内側に当たる領
域に比べて吸引口包囲体の更なる弾性変形の余地が残さ
れていることになる。

【００１３】そして、吸着具のシート材の周縁領域への
押し付けを通して吸引口包囲体の開口がシート材で塞が
れてその周囲のエアー吸引空間が気密とされ、この状態
で、エアー吸引空間のエアーが吸引されるので、シート
材はその周縁領域で吸着具に吸着される。この際、シー
ト材には吸引口包囲体に向けて吸引力が作用するので、
シート材は吸引口包囲体に引き付けられることになる。

【００１４】ところで、吸引口包囲体の更なる弾性変形
の余地はシート材の周縁側に当たる領域でシート材の内
側に当たる領域に比べて残されていることから、吸引口
包囲体へのシート材の引き付けにより、吸引口包囲体
は、更なる弾性変形の余地が残されているシート材の周
縁側に当たる領域で更に弾性変形する。このため、シー
ト材載置体のシート材は、周縁領域側での吸引口包囲体
の更なる弾性変形に伴ってその周縁端側がシート材載置
体からめくり剥され、この際に、シート材の内部領域側
でのシート材載置体に対する密着による抵抗を受けるこ
とはない。

【００１５】また、吸着具保持手段による吸着具の引き
離しの際に、送風手段によりエアーノズルからエアーを
送風するので、このエアーはシート材の周縁端に向けて
吹き付けられる。このため、周縁領域側での吸引口包囲
体の更なる弾性変形に伴ってめくり剥されたシート材の
周縁端側から、シート材とシート材載置体との間にエア
ーが入り込み、シート材がその内側領域においてもシー
ト材載置体から離れる。

【００１６】

【実施例】次に、本発明にかかるシート材剥離装置の実
施例について、当該シート材剥離装置を露光装置におけ
る搬送装置に組み込んだ場合を例に採り説明する。ま
ず、実施例の露光装置の全体構成および動作の概況につ
いて説明する。

【００１７】この露光装置３０は、カラー受像管用のシ
ャドウマスクの原材料である金属薄板の表裏の主面に透
孔の配列パターンを同時に焼き付け・露光するための装
置であり、次のような構成を備える。露光装置３０は、
その概略正面図である図１に示すように、その中央に露
光部３２を備え、その左右には、露光部３２に金属薄板
Ｋを搬入するための供給部３４と、露光部３２から搬出
された金属薄板Ｋを受け取る排出部３６を備える。供給
部３４は、その上面に外部から搬入・載置された金属薄
板Ｋを当該上面で予備的に位置合わせする。排出部３６
は、露光済みの金属薄板Ｋを露光部３２から受け取り、
後工程であるエッチング装置に金属薄板Ｋを排出する。

【００１８】露光部３２は、上下に露光光源３８，４０
を備え、両光源の間に、金属薄板Ｋを密着挟持し金属薄
板Ｋの表裏の主面に焼き付けパターンを密着するための
マスク部４２を有する。マスク部４２は、上マスク部４
４と下マスク部４６とを近接離間可能に対向して有し、
この上下のマスク部を平行に備える。上マスク部４４
は、その下面側に上マスクプレート４８を上プレート吸
着枠５０と一体に吸着保持し、下マスク部４６は、その
上面側に下マスクプレート５２を下プレート吸着枠５４
と一体に吸着保持する。上マスクプレート４８，下マス
クプレート５２は、紫外領域の波長の光の透過効率が高
い透光性を有し、上マスクプレート４８の下面および下
マスクプレート５２の上面には、それぞれ所定の焼き付
けパターンが予め設けられている。

【００１９】そして、下プレート吸着枠５４下方の２台
のＣＣＤカメラ２０，２２を用いて両マスクプレートの
位置合わせを行ない、その後、両マスクプレートの間に
金属薄板Ｋを挟持してその周囲をシール体５５により気
密とし、真空吸引を経てこれらを真空密着する。次い
で、この状態で露光光源３８，４０を点灯制御して、金
属薄板Ｋの表裏の主面に、各マスクプレートのパターン
を焼き付ける。

【００２０】なお、上マスク部４４および下マスク部４
６は、それぞれのプレート吸着枠を介在させて、各マス
クプレートを上マスクプレート支持台５６，下マスクプ
レート支持台６０で支持しており、各支持台は上保持枠
５８，下保持枠６２でその三方で取り囲まれて保持され
ている。

【００２１】供給部３４と露光部３２との間には、搬送
装置７０が設置されており、この搬送装置７０は、供給
部３４の載置台に載置された金属薄板Ｋを吸着してこれ
を保持し、当該金属薄板Ｋを供給部３４から持ち上げた
後に露光部３２まで搬送する。そして、搬送した金属薄
板Ｋを下マスク部４６における下マスクプレート５２の
所定位置に載置する。一方、露光部３２と供給部３４と
の間にも、この搬送装置７０と同一構成の搬送装置７０
ａが設けられており、この搬送装置７０ａは、下マスク
プレート５２の露光済み金属薄板Ｋの吸着・保持および
搬送を行ない、露光済み金属薄板Ｋを排出部３６の載置
台の所定位置に載置するなお、供給部３４から或いは排
出部３６への金属薄板Ｋの搬送の際には、シャッター３
２ａ，３２ｂが開閉制御される。

【００２２】次に、搬送装置７０と搬送装置７０ａの構
成について、搬送装置７０を例に採り説明する。搬送装
置７０は、その概略斜視図である図２に示すように、シ
ート材剥離装置７１を中心に備え、このシート材剥離装
置７１は、両端に吸着パッド７２を有する吸着パッド保
持板７４を４枚有する。この図２や図３に示すように、
各吸着パッド保持板７４は、搬送板７６の下面に位置
し、固定螺子ハンドル７８の図示しない雄螺子部が搬送
板７６の長孔７６ａを貫通し吸着パッド保持板７４の雌
螺子孔に螺合している。よって、この固定螺子ハンドル
７８により、吸着パッド保持板７４は長孔７６ａの任意
の位置に固定される。

【００２３】図示するように、吸着パッド７２は、ベロ
ーズ状の外観をなし、弾性に富んだ材料であるシリコー
ンゴムやシリコーン樹脂等の合成ゴムや合成樹脂から成
形されている。

【００２４】また、吸着パッド保持板７４には、長孔７
４ａが設けられており、この長孔７４ａには、次のよう
にして吸着パッド７２が組み込まれている。図３とその
４−４線断面図に示すように、長孔７４ａには、その上
下から断面がＴ字状のスライド駒８０，８２が摺動可能
に嵌め込まれており、この両スライド駒８０，８２は図
示しないボルトにて固定されいる。スライド駒８０，８
２には、外側に傾斜して吸着パッド連通管８４が嵌合固
定されており、その先端に吸着パッド７２が設けられて
いる。従って、吸着パッド７２は、その下方の供給部３
４に載置された供給部３４の金属薄板Ｋに対して、スラ
イド駒８０，８２を介して、金属薄板Ｋの内部領域側か
ら周縁領域側に向けて傾斜して保持されることになる。
そして、吸着パッド７２は、スライド駒８０，８２が長
孔７４ａに沿って図中矢印Ａに示すように摺動すること
で、長孔７４ａの任意の位置に保持される。なお、吸着
パッド連通管８４は、図示しない吸引機器と接続されて
いる。

【００２５】また、搬送装置７０は、搬送板７６のスラ
イドブロック８６を図２における矢印Ｂに示すように水
平に案内する水平スライドシャフト８８ａ，８８ｂと、
当該シャフトが固定される端部ブロック９０と、この端
部ブロック９０を図中矢印Ｃに示すように垂直に案内す
る垂直リニアガイド９２とを備える。水平スライドシャ
フト８８ａ，８８ｂは、供給部３４と露光部３２との間
に亘って架設されているので、図示しないシリンダによ
るスライドブロック８６の水平スライドを通して、搬送
装置７０は、シート材剥離装置７１を供給部３４と露光
部３２との間を往復動する。一方、垂直リニアガイド９
２は、供給部３４の金属薄板Ｋ載置面および露光部３２
における下マスク部４６の下マスクプレート５２上面か
ら所定高さまで架設されているので、図示しないシリン
ダによる端部ブロック９０の垂直スライドを通して、搬
送装置７０は、シート材剥離装置７１を供給部３４およ
び露光部３２において昇降する。従って、搬送装置７０
は、供給部３４の金属薄板Ｋ載置面から露光部３２の下
マスクプレート５２上面まで、金属薄板Ｋを搬送する。

【００２６】更に、シート材剥離装置７１は、図示しな
いエアー送風器に接続されたエアーノズル９４を、その
吹き出し端が吸着パッド７２の先端に向くよう吸着パッ
ド保持板７４に固定して備える。

【００２７】次に、この搬送装置７０による金属薄板Ｋ
の吸着の様子と金属薄板Ｋの剥離の様子について説明す
る。まず、図３に示す吸着開始位置にあるシート材剥離
装置７１を、端部ブロック９０の垂直スライド降下を通
して金属薄板Ｋに近づけ、吸着パッド７２を金属薄板Ｋ
の周縁領域に押し付ける。すると、上記したように傾斜
して保持されている吸着パッド７２は、図５に示すよう
に、その開口７２ａ（図３参照）の周壁を金属薄板Ｋの
内部領域側７３ａでこの金属薄板Ｋに当初当接させる
（図５（ａ））。そして、引き続き押し付けられると、
吸着パッド７２は、この当初の当接側である内部領域側
７３ａでそのベローズ形状を弾性変形（圧縮変形）を起
こして、やがては金属薄板Ｋの周縁領域側７３ｂでも弾
性変形を起こして、開口７２ａの周壁をその全域に亘っ
て金属薄板Ｋに当接させる（図５（ｂ））。この状態で
は、吸着パッド７２は、周縁領域側７３ｂでは比較的弾
性変形することなく、内部領域側７３ａがより大きく弾
性変形して金属薄板Ｋに当接し、開口７２ａが金属薄板
Ｋで塞がれその周囲のエアー吸引空間７２ｂ（図３参
照）は気密とされる。つまり、吸着パッド７２は、その
弾性変形の変位量が周縁領域側７３ｂでは内部領域側７
３ａに比べて少ない状態で、金属薄板Ｋに当接する。

【００２８】このようにエアー吸引空間７２ｂが気密と
されると、このエアー吸引空間７２ｂのエアー吸引が開
始され、当該空間のエアーは吸着パッド連通管８４を経
て吸引機器に継続して吸引される。すると、金属薄板Ｋ
は、このエアー吸引によりその周縁領域で吸着パッド７
２に吸着され、吸着パッド７２に向けた吸引力を受けて
吸着パッド７２に引き付けられることになる。この場
合、吸着パッド７２の周縁領域側７３ｂではその弾性変
形の変位量が内部領域側７３ａに比べて少ないので、吸
着パッド７２への金属薄板Ｋの引き付けにより、吸着パ
ッド７２は、周縁領域側７３ｂが、内部領域側７３ａと
同程度の変位量となるように更に弾性変形する（図５
（ｃ））。このため、供給部３４に載置された金属薄板
Ｋは、吸着パッド７２の周縁領域側７３ｂでの更なる弾
性変形に伴ってその周縁端側が供給部３４からめくり剥
される。

【００２９】こうして金属薄板Ｋの周縁端側が剥される
と、搬送装置７０は、端部ブロック９０の垂直スライド
上昇を通してシート材剥離装置７１を供給部３４から図
３の吸着開始位置まで持ち上げ、吸着パッド７２を供給
部３４から引き離す。そして、この引き離しと共に、或
いはこの引き離しに先立つ前述の周縁端部のめくり剥し
時において、エアーノズル９４から、吸着パッド７２の
先端、即ち金属薄板Ｋの剥離箇所に向けてエアーを吹き
付ける。その後、搬送装置７０は、スライドブロック８
６の水平スライドを通して、シート材剥離装置７１を供
給部３４から露光部３２に搬送し、露光部３２では、シ
ート材剥離装置７１の降下，エアー吸引の停止，シート
材剥離装置７１の上昇を行ない、露光部３２の下マスク
プレート５２に金属薄板Ｋを載置する。そして、搬送装
置７０は、シート材剥離装置７１と共に、供給部３４上
方の吸着開始位置に復帰する。

【００３０】以上説明したように、本実施例のシート材
剥離装置７１では、吸着パッド７２の周縁領域側７３ｂ
での更なる弾性変形に伴って金属薄板Ｋの周縁端側を供
給部３４からめくり剥すので、この際に、金属薄板Ｋの
内部領域側での供給部３４に対する密着による抵抗を受
けることはない。このため、本実施例のシート材剥離装
置７１によれば、金属薄板Ｋの内部領域側での密着抵抗
に勝る吸引力の発揮や当該吸引力の調整を必要としない
ので、金属薄板Ｋを供給部３４から確実且つ簡単に剥離
することができる。

【００３１】また、本実施例のシート材剥離装置７１で
は、金属薄板Ｋの剥離の際に、吸着パッド７２の周縁領
域側７３ｂでの更なる弾性変形に伴ってその周縁端側で
めくり剥された金属薄板Ｋにエアーを吹き付ける。よっ
て、金属薄板Ｋは、金属薄板Ｋと供給部３４との間への
エアーの吹き込みを通して、金属薄板Ｋの内側領域にお
いても供給部３４から離される。よって、本実施例のシ
ート材剥離装置７１によれば、供給部３４からの金属薄
板Ｋの剥離を速やかに行なうことができる。

【００３２】また、シート材剥離装置７１では、吸着パ
ッド７２をスライド駒８０，８２により上記したように
傾斜して保持するだけで金属薄板Ｋの剥離を確実且つ簡
単に行なうことができる。よって、吸着パッド７２を金
属薄板Ｋに真上から押し付ける既存のシート材剥離装置
を、簡単な改造で金属薄板Ｋの剥離が確実且つ簡単なも
のとすることができ、既存設備の有効理由を図ることが
できる。

【００３３】更に、本実施例では、シート材剥離装置７
１を露光装置３０の搬送装置７０に組み込むことで、金
属薄板Ｋの速やかな剥離を通して、金属薄板Ｋの搬送時
間の短縮化と露光処理の効率向上を図ることができる。

【００３４】次に、その他の実施例について説明する。
第２実施例では、上記の第１実施例における吸着パッド
７２に替わって、図６に示す吸着パッド９６を用いた。
この吸着パッド９６は、吸着パッド７２と同様に、弾性
に富んだ材料であるシリコーンゴムやシリコーン樹脂等
の合成ゴムや合成樹脂から成形されているものの、深底
のカップ状をなす。そして、金属薄板Ｋの内部領域側９
６ａでは吸着パッド９６の周壁の肉厚が厚く、周縁領域
側９６ｂでは周壁の肉厚が薄くされている。そして、吸
着パッド連通管８４およびスライド駒８０，８２（図示
せず）を介して、金属薄板Ｋに対してほぼ垂直に保持さ
れており、この姿勢で金属薄板Ｋに押し付けられる。

【００３５】従って、この吸着パッド９６を用いた第２
実施例では、金属薄板Ｋの周縁領域に吸着パッド９６が
押し付けられると、吸着パッド９６の周壁の肉厚の相違
により、周縁領域側９６ｂの方が内部領域側９６ａに比
べて容易に弾性変形することになる。このため、周縁領
域側９６ｂでは、金属薄板Ｋへの押し付けにより弾性変
形する際の変形変位の程度に余裕ができ、内部領域側９
６ａに比べて更なる弾性変形の余地が残される。

【００３６】そして、吸着パッド９６の開口が金属薄板
Ｋで塞がれてその周囲のエアー吸引空間が気密とされ、
この状態で、エアー吸引空間からエアーを吸引する。す
ると、金属薄板Ｋはエアー吸引による吸引力を受けて吸
着パッド９６に引き付けられ、更なる弾性変形の余地が
残っている周縁領域側９６ｂで、図中二点鎖線に示すよ
うに吸着パッド９６が更に弾性変形する。このため、供
給部３４に載置されている金属薄板Ｋは、上記の第１実
施例の場合と同様、周縁端側が供給部３４からめくり剥
される。よって、吸着パッド９６を用いた第２実施例に
よっても、金属薄板Ｋを供給部３４から確実且つ簡単に
剥離することができる。

【００３７】また、この第２実施例では、吸着パッドを
金属薄板Ｋに押し付ける際の向きは従来のものと同じ真
上からであり、吸着パッドの構成のみ異なるに過ぎな
い。よって、この第２実施例によれば、吸着パッドの交
換のみで、既存のシート材剥離装置を金属薄板Ｋの剥離
が確実且つ簡単なものに改造することができる。

【００３８】第３実施例では、上記の第２実施例におけ
る吸着パッド９６に替わって、図７に示す吸着パッド９
８を用いた。この吸着パッド９８は、吸着パッド９６と
同様に、深底のカップ状をなすが、以下の点でその構成
が異なる。即ち、吸着パッド９８は、異なる弾性を有す
る二種類の合成ゴム，合成樹脂等の弾性材料を、いわゆ
る二色成形して形成されている。具体的に説明すると、
吸着パッド９８の製造金型の左半分には弾性の比較的少
ない弾性材料を、右半分には弾性の大きい弾性材料を、
それぞれ同時に射出等して送り込んで吸着パッド９８を
製造する。こうして製造された吸着パッド９８は、その
周壁の肉厚は同じではあるものの、左半分の範囲に当た
る金属薄板Ｋの内部領域側９８ａでは弾性が小さく、右
半分の範囲に当たる周縁領域側９８ｂでは弾性が大きく
なる。

【００３９】よって、この吸着パッド９８が第２実施例
の吸着パッド９６と同様に金属薄板Ｋの周縁領域に押し
付けられると、吸着パッド９８の周壁の弾性の相違によ
り、周縁領域側９８ｂの方が内部領域側９８ａに比べて
容易に弾性変形することになる。このため、この吸着パ
ッド９８であっても、吸着パッド９６と同様に周縁領域
側９８ｂでは弾性変形する際の変形変位の程度に余裕が
できて、内部領域側９８ａに比べて更なる弾性変形の余
地が残される。従って、吸着パッド９８を用いた第３実
施例によっても、第２実施例と同様に、金属薄板Ｋを供
給部３４から確実且つ簡単に剥離することができると共
に、既存のシート材剥離装置を金属薄板Ｋの剥離が確実
且つ簡単なものに容易に改造することができる。

【００４０】以上本発明の実施例について説明したが、
本発明はこの様な実施例になんら限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態
様で実施し得ることは勿論である。例えば、露光装置３
０に限らず、シート材の剥離やその後のシート材の搬送
を必要とする装置であれば、本実施例のシート材剥離装
置７１を適用することができることは勿論である。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のシート材
剥離装置では、シート材をその周縁領域で吸着具に吸着
する際に、吸着具の吸引口包囲体を、シート材の周縁領
域側で更に弾性変形させる。このため、シート材載置体
のシート材の周縁端側を、その周縁領域側での吸引口包
囲体の更なる弾性変形に伴ってシート材載置体からめく
り剥すことができ、この際に、シート材の内部領域側で
のシート材載置体に対する密着による抵抗を受けること
はない。よって、本発明のシート材剥離装置によれば、
シート材の内部領域側での密着抵抗に勝る吸引力の発揮
や当該吸引力の調整を必要としないので、シート材をシ
ート材載置体から確実且つ簡単に剥離することができ
る。

【００４２】また、周縁領域側での吸引口包囲体の更な
る弾性変形に伴ってその周縁端側でめくり剥されたシー
ト材を、シート材とシート材載置体との間へのエアーの
吹き込みを通して、その内側領域においてもシート材載
置体から離す。こうすれば、シート材載置体からのシー
ト材の剥離を速やかに行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る実施例のシート材剥離装置７１を
適用した露光装置３０の概略正面図。

【図２】シート材剥離装置７１が組み込まれた搬送装置
７０の概略斜視図。

【図３】シート材剥離装置７１の要部を説明する説明
図。

【図４】図３の４−４線断面図。

【図５】シート材剥離装置７１による金属薄板Ｋの吸着
の様子と供給部３４からの剥離の様子を説明する説明
図。

【図６】第２実施例のシート材剥離装置における吸着パ
ッド９６の断面図。

【図７】第３実施例のシート材剥離装置における吸着パ
ッド９８の断面図。

【符号の説明】

３０…露光装置 ３２…露光部 ３４…供給部 ３６…排出部 ３８，４０…露光光源 ４２…マスク部 ４４…上マスク部 ４６…下マスク部 ５２…下マスクプレート ５４…下プレート吸着枠 ６０…下マスクプレート支持台 ６２…下保持枠 ７０…搬送装置 ７０ａ…搬送装置 ７１…シート材剥離装置 ７２…吸着パッド ７２ａ…開口 ７２ｂ…エアー吸引空間 ７３ａ…内部領域側 ７３ｂ…周縁領域側 ７４…吸着パッド保持板 ７６…搬送板 ８０，８２…スライド駒 ８４…吸着パッド連通管 ８６…スライドブロック ８８ａ，８８ｂ…水平スライドシャフト ９０…端部ブロック ９２…垂直リニアガイド ９４…エアーノズル ９６…吸着パッド ９６ａ…内部領域側 ９６ｂ…周縁領域側 ９８…吸着パッド ９８ａ…内部領域側 ９８ｂ…周縁領域側 Ｋ…金属薄板

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭53−78563（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−22745（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−89680（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−171744（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−173533（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B65H 5/22 B65H 3/08 360 B65H 3/48 310

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エアー吸引を介してシート材を吸着する
   吸着具と、 該吸着具を保持し、シート材載置体に載置されたシート
   材の周縁領域への前記吸着具の押し付けと前記シート材
   載置体からの前記吸着具の引き離しとを行なう吸着具保
   持手段と、を有し、 前記シート材載置体のシート材を該シート材載置体から
   剥離するシート材剥離装置であって、 前記吸着具は、前記シート材で塞がれる開口を包囲して
   該開口周囲にエアー吸引空間を形成し、前記シート材に
   当接して弾性変形する吸引口包囲体を備え、 前記吸着具保持手段は、前記シート材載置体に載置され
   たシート材の内部領域側から前記周縁領域側に向けて、
   前記吸着具を傾斜して保持する傾斜保持手段を備えるこ
   とを特徴とするシート材剥離装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のシート材剥離装置であっ
   て、前記吸 引口包囲体は、前記シート材載置体に載置された
   シート材の内側に当たる領域に比べて前記シート材の周
   縁側に当たる領域の方が容易に弾性変形する変形性を備
   えるシート材剥離装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載のシート剥離
   装置であって、 更に、 前記シート材載置体に載置されたシート材の周縁端に向
   けて配置されたエアーノズルと、 前記吸着具保持手段による前記吸着具の引き離しの際
   に、前記エアーノズルからエアーを送風する送風手段
   と、を有するシート材剥離装置。