JP3318676B2 - ツインローラ型薄板製造装置における薄板厚さの制御装置及び制御方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は、鎔湯から直接に薄板を鋳造するツインロー
ラ型薄板製造装置に関し、より詳細には、薄板鋳造中の
ローラ間に一定のギャップを維持するように、ローラの
偏心及びローラ軸心の変位による厚さ偏差を予測し補償
するツインローラ型薄板製造装置における薄板厚さを制
御する制御装置及びその製造方法に関する。

発明の背景 ツインローラ型薄板製造装置は、一般に図１に示すよ
うに、鎔湯３から鋳造ローラ１、２の回転によって薄板
５を直接に鋳造する装置であり、鋳造された薄板５の厚
さはローラ１、２間のギャップ、すなわちローラ１、２
間の最小距離としてのローラ噛合い部（nip）４によっ
て制御される。

したがって、ツインローラ型薄板製造装置で製造され
る薄板５の厚さが一定となるように維持するためには、
ローラ噛合い部４の間隔が製造しようとする薄板５の厚
さに一致するように維持する必要がある。

薄板５の厚さを所望の値に制御するためには、薄板５
の厚さを正確に測定する必要があるが、従来における測
定方法は、接触式センサーを使用するために次のような
問題があった。

先ず、鋳造時において、薄板の温度が高温となってい
るために、接触式センサーを用いて薄板の厚さを直接に
測定するのは不可能であり、したがって、図４に示すよ
うに、ローラ11、12の支持フレーム（chock）13間に接
触式距離センサー16を装着し、この距離センサー16によ
りローラ11と12間のギャップを測定して薄板厚さを制御
している。

一般的に、ローラ11、12間のギャップ、すなわち薄板
厚さは、固定ローラ11と水平移動可能な可動ローラ12間
の最小距離であるローラ噛合い部17の距離を意味する。
したがって、従来における薄板厚さの測定方法では、実
際のローラギャップでない支持フレーム13間のギャップ
を測定することになり、このような従来の測定方法は、
薄板の厚さを間接的に測定するということを意味する。

このように、支持フレーム13間のギャップを測定する
従来の薄板製造方法では、加工時に発生するローラ偏心
によるローラギャップの変化及びローラ回転時における
ローラ軸心の変位によるローラの上下及び左右移動など
を明確に把握することができず、その結果、薄板厚さ制
御の正確度が低下する問題点がある。

また、このような問題を解決するために使用される従
来のローラ偏心補償（REC:Roll Eccentricity Compensa
tion）システムでは、ローラ回転時に、ローラ偏心によ
って発生するローラ分離力（RSF:Roll Separation Forc
e）を利用して薄板厚さ誤差を補償しているが、ローラ
偏心と関係のない鋳造速度の変化、ローラギャップの変
化、鎔湯の高さの変化及びローラ間に混入するスカル
（skull）等により発生するローラ分離力によって誤差
を補償するのは効果的ではない問題点があった。

さらに、前記従来のローラ偏心補償システムにおいて
は、ローラ軸心の変位による薄板厚さの変化を補償でき
る方法が見出せなかった。

発明の要約 本発明は、前記従来の問題点を解決するために創案さ
れたものであり、ローラの偏心及びローラ軸心の変位に
よって発生する薄板厚さの偏差を予測し、これを補償し
てローラ間のギャップを均一に維持することにより、製
造される薄板の厚さを一定に維持し、これにより品質向
上を図ることができるツインローラ型薄板製造装置の薄
板厚さの制御装置及びその方法を提供することを目的と
している。

前記の目的を達成するために、本発明は、固定ローラ
及び水平移動可能である可動ローラと、軸受に取付けら
れて、前記固定ローラと水平移動可能な可動ローラの軸
受間の変化量を測定する第１距離センサーと、前記固定
ローラ及び可動ローラのローラ本体近方に取付けられて
前記固定ローラ及び可動ローラのローラ本体の変位を感
知するいずれも非接触センサーである第２距離センサー
及び第３距離センサーと、第２距離センサー及び第３距
離センサーによって感知された固定ローラ及び可動ロー
ラ本体の変位で第１距離センサーによって感知された軸
受間の変化量を減算する第１減算器及び第２減算器と、
前記第１減算器及び第２減算器から入力される信号を処
理し、ローラ噛合い部の変化量を算出し、算出された信
号から高周波成分を除去する制御部と、前記制御部から
入力される信号によってローラギャップを制御するロー
ラギャップ制御部から構成される。

前記制御部は、第１減算器及び第２減算器の出力信号
を各々保存した後で、180度位相反転して出力する第１
バッファー及び第２バッファーと、前記第１バッファー
及び第２バッファーで各々出力された信号で第１距離セ
ンサーによって感知された軸受間の変化量を加算する第
１加算器及び第２加算器と、前記第１加算器及び第２加
算器から各々出力される信号を減算して、ローラ噛合い
部の変化量を算出する第４減算器と、前記第４減算器で
出力される信号が入力されて誤差補償信号を発生するギ
ャップ集計器と、前記ギャップ集計器から出力される誤
差補償信号をフーリエ（Fourier）変換して高周波成分
を除去して出力する高速フーリエ変換部（FFT:Fast Fou
rier Transformer）からなる。

ローラギャップ制御部は、前記高速フーリエ変換部か
ら出力される誤差補償信号とローラギャップの目標値を
加算し、ローラギャップの測定値を減算する第５減算器
と、支持フレームに装着されて支持フレームの間にロー
ラギャップを測定するローラギャップ測定距離センサー
と、前記第５減算器の比較によって誤差補償分を加算し
たローラギャップの目標値が測定値より大きければ、ロ
ーラギャップが大きくなる方向に、小さければ、ローラ
ギャップが小さくなる方向に制御信号を出力するPID制
御器と、前記PID制御器からの制御信号によって動作
し、移動可能である可動ローラを移動させるサーボバル
ブから構成されている。

また、本発明のツインローラ型薄板製造装置の薄板厚
さの制御方法は、固定ローラと水平移動可能な可動ロー
ラの軸受の変位Gj（θ）とローラ本体の変位Gg（θ＋
π）を測定する段階、測定したローラの軸受の変位Gj
（θ）とローラ本体の変位Gg（θ＋π）から固定ローラ
のローラ噛合い部の変位Mfcr（θ）及び可動ローラのロ
ーラ噛合い部の変位Mmcr（θ）を予測する段階、固定ロ
ーラのローラ噛合い部の変位Mfcr（θ）及び可動ローラ
のローラ噛合い部の変位Mmcr（θ）の差を算出してロー
ラ噛合い部のギャップの変化量Mdiff（θ）を求める段
階、ローラギャップの変化量Mdiff（θ）を最小化させ
る方向で薄板厚さを制御する段階とから構成される。

図面の簡単な説明 図１は、一般的ツインローラ型薄板製造装置の概略図
である。

図２は、本発明によるツインローラ型薄板製造装置に
薄板厚さを制御するために装着された距離センサーを図
示した概略図である。

図３は、本発明によるツインローラ型薄板製造装置で
の薄板厚さの制御方法による厚さ制御ループを図示した
ブロック図である。

図４は、従来の薄板厚さの制御装置でローラギャップ
測定距離センサーの装着構造を図示した概略図である。

発明の実施の詳細な説明 以下、添付した図面を参照して本発明の構成及び作用
を詳細に説明する。

図２は、本発明による薄板の厚さを制御するためにツ
インローラ型薄板製造装置に装着される距離センサーの
装着構造を図示したものであり、符号11はツインローラ
型薄板製造装置における固定ローラ、12は水平移動可能
な可動ローラ、13は固定ローラ11及び可動ローラ12の支
持フレーム、14は固定ローラ11と可動ローラ12各々の中
心に取付けられる軸受、15は固定ローラ11と可動ローラ
12の軸受14間の距離、すなわち軸受14の変位を感知する
接触式第１距離センサー、16は支持フレーム13に装着さ
れてローラギャップを検出する接触式距離センサーのロ
ールギャップ検出センサー（roll gap predicting sens
or）、17は固定ローラ11と可動ローラ12のローラ噛合い
部、18は固定ローラ11に近接設置されたローラ本体の変
位を検出する非接触式第２距離センサー、19は可動ロー
ラ12に近接設置されてローラ本体の変位を検出する非接
触式第３距離センサーである。

図３は、本発明による薄板厚さの制御方法が適用され
る装置を示すブロック図である。

図３に示すように、本発明による薄板厚さの制御装置
は、固定ローラ11と、可動ローラ12と、固定ローラ11と
可動ローラ12間の軸受ギャップ変化量S3を感知する第１
距離センサー15と、固定ローラ11のローラ本体の変位S1
を感知する第２距離センサー18と、可動ローラ12のロー
ラ本体の変位S2を感知する第３距離センサー19と、第２
距離センサー18によって感知した固定ローラ11のローラ
本体の変位S1から、第１距離センサー15によって感知し
た軸受ギャップの変化量S3を減算する第１減算器44a
と、第１減算器44aの出力信号S4を保存した後で180度位
相反転して出力する第１バッファー36aと、第３距離セ
ンサー19によって感知される可動ローラ12のローラ本体
の変位S2から、第１距離センサー15によって感知した軸
受ギャップの変化量S3を減算する第２減算器44bと、第
２減算器44bの出力信号S5を保存した後で180度位相反転
して出力する第２バッファー36bと、第１及び２バッフ
ァー36a、36bから出力される信号S6、S7に、第１距離セ
ンサー15による軸受ギャップ変化量S3を各々加算する第
１加算器45a、45bと、第１及び第２加算器45a、45bから
各々出力される出力信号S8、S9を減算する第３減算器46
と、第３減算器46の出力値（信号）S10から誤差補償信
号を作るギャップ集計器（gap trim predictor）37と、
ギャップ集計器37から出力される誤差補償信号をフーリ
エ変換した後で低周波領域の高周波成分を除去して出力
する高速フーリエ変換部38と、高速フーリエ変換部38か
ら出力される高周波成分が除去された誤差補償信号S11
とローラギャップの目標値S12を加算した後でローラギ
ャップ測定値S13を減算する第４減算器47と、支持フレ
ーム間に装着されて支持フレーム間のローラギャップを
測定するローラギャップ測定距離センサー16と、第４減
算器47の比較によって誤差補償分S11が加算できたロー
ラギャップの目標値S12が測定値S13より大きければロー
ラギャップが大きくなる方向で、小さければローラギャ
ップが小さくなる方向で、制御信号を出力するPID制御
器（PID controller）40と、PID制御器40からの制御信
号によって動作して可動ローラ12を左右に移動するサー
ボバルブ（servo valve）41を備える。

まず、本発明による薄板の厚さ制御のためのローラギ
ャップ集計器37の基本原理を説明する。

ツインローラ型薄板製造装置で、基本的な目標はロー
ラ噛合い部17の変位を把握することであるが、このロー
ラ噛合い部17の変位は測定が不可能であるため、測定可
能なデータで前記ローラ噛合い部17の変位を予測するこ
とになる。すなわち、固定ローラ11と可動ローラ12が回
転する状態において、ローラ本体の変位をGg（θ＋
π）、軸受の変位をGj（θ）、ローラ本体に現れる偏心
による変位をＥ（θ＋π）、ローラ噛合い部17の偏心に
よる変位をＥ（θ）とすると、ローラが回転する時の軸
受ギャップの変位Gj（θ）とローラ本体の変位Gg（θ＋
π）が測定可能なデータとなる。

ローラが回転する場合、ローラの変位を一般的に表現
すると、ローラの偏心とローラの軸心の変位によって誘
発される変位が複合的に現れると考えられる。ローラ本
体の部位に発生するローラの総体的な変位は、一般的に
Gg（θ＋π）として表現できる。

前記複合的な作動の中で、ローラ本体の総体的な変位
Gg（θ＋π）は、第２、第３距離センサー18及び19によ
り測定され、軸受の変位Gj（θ）は、第１距離センサー
15により測定可能である。

ローラ本体の変位Ｇ（θ＋π）は、ローラ噛合い部17
の変位とは180度の位相差を有し、軸受の変位Gj（θ）
は、ローラ噛合い部17の変位と同位相である。また、偏
心によるローラ本体の変位Ｅ（θ＋π）は、ローラ噛合
い部17の現れる偏心量とは180度の位相差を持って測定
が不可能な値である。

したがって、偏心によるローラ本体の変位Ｅ（θ＋
π）と180度の位相差を持つ偏心によるローラ噛合い部1
7の変位Ｅ（θ）もやはり測定不可能な値となる。

ところが、正確な薄板の厚さを制御するために要求さ
れることは、ローラ噛合い部17に現れる総体的な変位Ｍ
（θ）である。このようなローラ噛合い部17の総体的な
変位Ｍ（θ）は、ローラ噛合い部17の偏心による変位と
軸受ギャップの変化量を合せた値Ｅ（θ）＋Gj（θ）で
表現され、ローラ噛合い部17の変位Ｍ（θ）を算出する
ための測定可能である値Gg（θ＋π）及びGj（θ）を利
用する。

軸受の変位Gj（θ）を測定するときのローラ本体の変
位Gg（θ＋π）は、軸受の変位Gj（θ）と偏心によるロ
ーラ本体の変位Ｅ（θ＋π）に起因する。

したがって、これを数式で表現すると、 Gg（θ＋π）＝Ｅ（θ＋π）＋Gj（θ）となる。

前記数式から、偏心によるローラ本体の変位Ｅ（θ＋
π）は、 Ｅ（θ＋π）＝Gg（θ＋π）−Gj（θ）となる。

すなわち、測定可能な値のローラ本体の変位Gg（θ＋
π）と軸受の変位Gj（θ）の差異からローラ本体に現れ
る偏心による変位Ｅ（θ＋π）を算出する。この時、前
記偏心によるローラ本体の変位Ｅ（θ＋π）を180度位
相反転させれば偏心によるローラ本体の変位Ｅ（θ）を
求めることができる。これにより、ローラ噛合い部17の
総体的な変位値Ｍ（θ）＝Ｅ（θ）＋Gj（θ）を求め得
る。

Ｍ（θ）＝Ｅ（θ）＋Gj（θ）を求める時のGj（θ）
は、Gg（θ＋π）＝Ｅ（θ＋π）＋Gj（θ）を測定する
ときのGj（θ）とは別の値である。その理由は、Ｍ
（θ）＝Ｅ（θ）＋Gj（θ）を計算する時間と、Gg（θ
＋π）＝Ｅ（θ＋π）＋Gjを測定する時間は違うことに
よる。

したがって、Ｍ（θ）＝Ｅ（θ）＋Gj（θ）を計算す
る過程では、計算時のGj（θ）を新たに測定して正確度
を期する。

前記と同じ方法により、求めた固定ローラ11のローラ
噛合い部17の変位をMfcr（θ）として、可動ローラ12で
のローラ噛合い部17の変位をMmcr（θ）とすれば、ツイ
ンローラ型薄板製造装置でのローラ噛合い部17のギャッ
プの変位は二つのローラ噛合い部17の変位の差値Mdiff
（θ）＝Mfcr（θ）−Mmcr（θ）となり、前記ローラ噛
合い部17のギャップの変位Mdiff（θ）を減少させるこ
とによって、薄板厚さをより一層精密に制御することが
可能となる。

したがって、本発明によるツインローラ型薄板製造装
置での薄板厚さの制御方法は、薄板厚さと実質的に関係
があるローラ噛合い部17のギャップの変位をローラ本体
の変位と軸受ギャップの変化量Ｅで予測し、前記予測し
たローラ噛合い部17のギャップの変位をローラギャップ
の制御時に補償する。

上述した原理による薄板厚さの制御方法について、図
３を参照して詳細に説明する。

図３に図示するように、薄板製造中に、固定ローラ11
と可動ローラ12のローラ本体の部位に装着した二つの第
２、第３距離センサー18、19で、固定ローラ11と可動ロ
ーラ12が回転する時のローラ本体の変位を表す信号S1、
S2を各々検出する。

同時に、軸受間に装着される第１距離センサー15で、
固定ローラ11と可動ローラ12の軸受ギャップの変位S3を
測定する。この軸受ギャップの変化量（変位）S3は固定
ローラ11の軸受の変位と可動ローラ12の軸受の変位を包
含する値である。

そして、ローラ本体の変位を感知する第２、第３距離
センサー18、19から出力される信号S1、S2が、ローラ噛
合い部17の変位を予測するためのデータとして使用され
るために、固定ローラ11のローラ本体の変位S1のGfcr
（θ＋π）から、第１距離センサー15により検出した軸
受ギャップの変位S3のGj（θ）が第１減算器44aにより
減算された後、第１バッファー36aに保存される。

可動ローラ12のローラ本体の変位S2のGmcr（θ＋π）
は、やはり第２減算器44bにより第１距離センサー15で
検出された軸受ギャップの変位S3のGj（θ）を減算した
後、第２バッファー36bに保存される。

すなわち、第１バッファー36a及び第２バッファー36b
には、各々Gfcr（θ＋π）−Gj（θ）及びGmcr（θ＋
π）−Gj（θ）が保存される。

また、Ｅ（θ＋π）＝Gg（θ＋π）−Gj（θ）である
ので、各々Efcr（θ＋π）及びEmcr（θ＋π）になる。

そして、第１及び第２バッファー36a、36bに保存され
た値は、各々180度位相反転され、Efcr（θ）及びEmcr
（θ）に出力した後で、第１及び第２加算器45a、45bに
より軸受ギャップの変位S3のGj（θ）が加算される。

すなわち、第１及び第２加算器45a、45bから各々出力
される信号S8、S9は、Efcr（θ）＋Gj（θ）及びEmcr
（θ）＋Gj（θ）として、結局ローラ噛合い部17の変位
Mfcr（θ）及びMmcr（θ）になる。

前記Mfcr（θ）及びMmcr（θ）が第３減算器46でその
差値が算出され、Mdiff（θ）が出力される。

前記で、最終的にギャップ集計器37に出力される信号
S10は、実際の固定ローラ11のローラ噛合い部17の変位
と可動ローラ12のローラ噛合い部17の変位によるローラ
噛合い部17のギャップの変化量である。

そして、ギャップ集計器37は、ローラ噛合い部17のギ
ャップの変化量S10を減少させる方向に薄板厚さの誤差
補償信号を出力し、高速フーリエ変換部38は、前記誤差
補償信号をフーリエ変換し、それから適当な次数の低周
波成分だけを抽出してローラギャップ制御部43に出力さ
れる。ここで、適当な次数の低周波成分の例とは、１次
高調波から３次高調波成分をいう。

固定ローラ11には自体の変位を補正するアクチュエー
タがない。したがって、薄板の厚さをより一層精密に制
御するためには、可動ローラ12だけでなくローラが回転
する時に発生する固定ローラ11の変位をも考慮し、可動
ローラ12に装着したアクチュエータによりサーボバルブ
41を利用して補償する必要がある。

このようなアルゴリズムにより、ローラギャップ集計
器37は、ローラ噛合い部17のギャップの変化量を最小と
することを目標とする。このようなアルゴリズムが最適
に実行される場合、ローラ噛合い部17の変位はなくな
り、これにともなって交流成分は消え、ローラギャップ
集計器37の積分器に累積される入力信号もゼロに収斂す
る。これによって、積分器の発散が防止される。

しかし、最終的にローラギャップ集計器37から出力さ
れる補償値S11が高周波成分をもつならば、これはロー
ラギャップ制御部43の動作を不安定にすることから望ま
しくない。このような場合に備え、本発明では、高速フ
ーリエ変換を利用して補償信号S11から適当な次数の低
周波成分（１次〜３次高調波）だけを抽出し、サーボ入
力に使用する。

したがって、高速フーリエ変換部38から出力される薄
板の厚さ誤差補償信号S11には高周波成分が除去され、
高周波成分によりローラギャップ制御部43におけるアク
チュエータのサーボバルブ41の制御が不安定になること
を防止できる。

ローラギャップ制御部43に入力した薄板の厚さ誤差の
補償信号S11は、第５減算器47により、元来のローラギ
ャップ目標値S12に加算され、ここに支持フレームの間
に具備したローラギャップ測定距離センサー16から出力
されるローラギャップ測定値S13と比較されて、PID制御
器40に出力される。

PID制御器40では、ローラギャップ目標値S12と前記制
御部42から出力されるローラギャップの変化による厚さ
補償値S11を合せた値よりローラギャップ測定値S13が大
きければ、ローラギャップが小さくなるようにサーボバ
ルブ41を制御し、前記ローラギャップ目標値S12と前記
制御部42から出力されるローラ噛合い部の変位に伴う厚
さ補償値S11を合せた値よりローラギャップ測定値S13が
小さければ、ローラギャップが大きくなるようにサーボ
バルブ41を制御する。

このように、ローラ噛合い部17の変位を予測するため
に使用されるデータは、ローラが回転する時、軸受ギャ
ップの変位と第２、第３距離センサー18、19を利用して
測定する固定ローラ11と可動ローラ12本体の変位であ
る。

本発明では、このように測定可能な軸受ギャップの変
化量（変位）S3とローラ本体の変位S1、S2を利用してロ
ーラ噛合い部17のギャップの変化量S10を予測し、予測
できたローラ噛合い部17のギャップの変化量S10を利用
して補償する薄板厚さの誤差補償信号S11を生成する。

このように、本発明による薄板厚さの制御方法は、従
来の短所を補完し、ローラ偏心だけでなく、ローラ回転
時に現れるローラ軸心の変位によるローラ噛合い部17の
変位を予測し、このローラの偏心及びローラ軸心の変位
によって誘発されるローラ噛合い部17の変位による厚さ
の偏差を正確に補償することにより、鋳造される薄板の
厚さの偏差をより精密に制御できる。

したがって、これにより、薄板の品質をより一層向上
させることができる効果がある。

フロントページの続き (72)発明者 キム ユン ハ 大韓民国 790―300 キョンサンブック −ド，ポハング−シ，ナム−ク，ヒョジ ャ−ドン，サン 32，リサーチ インス ティチュート オブ インダストリアル サイエンス アンド テクノロジー (72)発明者 リ ヒ ジョン 大韓民国 790―300 キョンサンブック −ド，ポハング−シ，ナム−ク，ヒョジ ャ−ドン，サン 32，リサーチ インス ティチュート オブ インダストリアル サイエンス アンド テクノロジー (72)発明者 リ デ ソン 大韓民国 790―300 キョンサンブック −ド，ポハング−シ，ナム−ク，ヒョジ ャ−ドン，サン 32，リサーチ インス ティチュート オブ インダストリアル サイエンス アンド テクノロジー (56)参考文献 特開 平８−229639（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−106305（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−31405（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−303655（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−66547（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−205655（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−61348（ＪＰ，Ｕ) 特表 平６−501203（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B22D 11/06 330

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】固定ローラと可動ローラからなるツインロ
   ーラ形薄板製造装置における薄板厚さの制御方法におい
   て、 前記固定ローラと可動ローラの軸受の変位Gj（θ）と
   前記固定ローラと可動ローラの本体の変位Gg（θ＋π）
   を測定する段階； 前記変位Gg（θ＋π）から変位Gj（θ）を減算してロ
   ーラの偏心によるローラ本体の変位Ｅ（θ＋π）を計算
   し、 Ｅ（θ＋π）と180゜の位相差を持つローラの偏心によ
   るローラ噛合い部の変位Ｅ（θ）を求め、 軸受の変位Gj（θ）を再び測定し、再び測定した軸受の
   変位Gj（θ）を前記ローラの偏心によるローラ噛合い部
   の変位Ｅ（θ）と加算して前記固定ローラのローラ噛合
   い部の変位Mfcr（θ）と前記可動ローラ噛合い部の変位
   Mmcr（θ）を求める段階； 前記固定ローラと可動ローラ噛合い部間のギャップ変
   化量Mdiff（θ）を求めるために、前記変位Mfcr（θ）
   と変位Mmcr（θ）の差を計算する段階； ローラ噛合い部間のギャップの変化量Mdiff（θ）を
   最小化させる薄板厚さを制御する段階；からなることを
   特徴とするツインローラ形薄板製造装置における薄板厚
   さの制御方法。
2. 【請求項２】固定ローラと可動ローラからなるツインロ
   ーラ形薄板製造装置における薄板厚さの制御方法におい
   て、 前記固定ローラと可動ローラの本体の変位を表す第１
   信号S1及び第２信号S2と、前記固定ローラと可動ローラ
   の軸受間のギャップの変化量S3を表す信号とを検出する
   段階； 前記固定ローラ本体の変位を表す第１信号S1と可動ロ
   ーラ本体の変位を表す第２信号S2で、各々軸受ギャップ
   の変化量S3を減算した後、固定ローラの本体の偏心によ
   る変位と可動ローラ本体の偏心による変位を各々求める
   段階； 前記固定ローラ本体の偏心による変位と可動ローラ本
   体の偏心による変位を180度位相反転して固定ローラの
   偏心によるローラ噛合い部の変位と可動ローラ本体の偏
   心によるローラ噛合い部の変位を求める段階； 前記固定ローラと可動ローラの軸受間のギャップの変
   化量S3を測定して、固定ローラの偏心によるローラ噛合
   い部の変位と可動ローラ本体の偏心によるローラ噛合い
   部の変位に各々加算して固定ローラのローラ噛合い部の
   変位と可動ローラのローラ噛合い部の変位S9を求める段
   階； 前記固定ローラのローラ噛合い部の変位から前記可動
   ローラのローラ噛合い部の変位を減算してローラ噛合い
   部のギャップの変化量S10を求める段階； 前記ローラ噛合い部のギャップの変化量を減少させる
   方向に補償値を算出する段階；とを含むことを特徴とす
   るツインローラ形薄板製造装置における薄板厚さの制御
   方法。
3. 【請求項３】前記算出された補償値を高速フーリエ変換
   した後、１次〜３次周波数成分だけを抽出して高周波成
   分を除去することを特徴とする請求項２記載のツインロ
   ーラ形薄板製造装置における薄板厚さの制御方法。
4. 【請求項４】前記高周波成分が除去された補償値をロー
   ラギャップ目標値に加算する段階；及び、 前記補償値が加算されたローラギャップ目標値をセンサ
   ーで測定されたローラギャップ測定値と比較し、その差
   異によってローラギャップを制御する段階を包含するこ
   とを特徴とする請求項３記載のツインローラ型薄板製造
   装置における薄板厚さの制御方法。
5. 【請求項５】固定ローラと可動ローラからなるツインロ
   ーラ形薄板製造装置における薄板厚さの制御装置におい
   て、 前記固定ローラと可動ローラの軸受間のギャップの変化
   量S3を測定する第１距離センサー； 前記固定ローラ及び可動ローラの近傍に取付けられて、
   前記固定ローラ及び可動ローラの本体の変位を感知する
   第２距離センサー及び第３距離センサー； 前記第２距離センサー及び第３距離センサーによって感
   知された固定ローラ及び可動ローラ本体の変位で第１距
   離センサーよって感知された軸受間の変化量を減算する
   第１減算器及び第２減算器； 前記第１減算器及び第２減算器から入力される信号を処
   理してローラ噛合い部の変化量を算出し、算出された信
   号から高周波成分を除去する制御部；及び、 前記制御部から入力される信号によってローラギャップ
   を制御するローラギャップ制御部を含み、 前記ローラギャップ制御部は、 前記第１減算器及び第２減算器の出力信号を各々保存し
   た後、180度位相反転して出力する第１バッファー及び
   第２バッファー； 前記第１バッファー及び第２バッファーから各々出力さ
   れた信号で第１距離センサーによって感知された軸受間
   の変化量を加算する第１加算器及び第２加算器； 前記第１加算器及び第２加算器から各々出力される信号
   を減算してローラ噛合い部の変化量を算出する第４減算
   器； 前記第４減算器で出力される信号が入力されて誤差補償
   信号を発生するギャップ集計器；及び、 前記ギャップ集計器から出力される誤差補償信号をフー
   リエ変換して高周波成分を除去して出力する高速フーリ
   エ変換部から構成されることを特徴とするツインローラ
   型薄板製造装置における薄板厚さの制御装置。
6. 【請求項６】前記ローラギャップ制御部は、 前記高速フーリエ変換部から出力される誤差補償信号と
   ローラギャップ目標値を加算し、ローラギャップの測定
   値を減算する第５減算器； ローラ支持フレームの間に装着されてローラ支持フレー
   ムの間のローラギャップを測定するローラギャップ測定
   距離センサー； 前記第５減算器から出力される誤差補償分とローラギャ
   ップ目標値との和が前記ローラギャップ測定値より大き
   ければ、ローラギャップが大きくなる方向に、小さけれ
   ば、ローラギャップが小さくなる方向に制御信号を出力
   するPID制御器；及び、 前記PID制御器からの制御信号によって動作し、可動ロ
   ーラを移動させるサーボバルブで構成されることを特徴
   とする請求項５記載のツインローラ型薄板製造装置にお
   ける薄板厚さの制御装置。
7. 【請求項７】前記第１距離センサーは、接触式センサー
   であり、 前記第２距離センサー及び第３距離センサーは、非接触
   式センサーであることを特徴とする請求項５又は請求項
   ６記載のツインローラ型薄板製造装置における薄板厚さ
   の制御装置。