JP3302165B2 - カラーフィルターの欠陥修正方法 - Google Patents
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Description
レビ、カラー表示デバイス、カラー撮像デバイス等に、
使用されるカラーフィルターの製造時に発生する画素等
の欠落を修正する方法に関する。
る方法としては印刷法、染色法、顔料分散法(特開昭5
7−16407号公報)、電着法(特開昭59−1145
72号公報)、レジスト電着法(特開平4−247402
号公報)などが知られている。液晶表示素子を用いたデ
バイスでは、カラーフィルターを構成する各色の画素の
欠陥が無いことが望ましい。しかしながら、周囲の微小
なゴミや基板の不十分な洗浄などに起因するピンホール
や異物の存在により、画素の欠落が全く無いカラーフィ
ルターを製造することは非常に難しい。
数の欠落する画素を有するカラーフィルターの修正方法
が求められてきた。しかし、従来の着色感光性樹脂塗布
液を用いた欠陥修正法では、塗布技術の限界から欠陥部
に平坦性の良好な修正画素を形成することは非常に困難
である。また、正常画素部上に塗布液を覆う修正にも正
常画素部に着色感光性樹脂が残存する、云わゆる現像残
りによる地残りが発生する。更に、複数の色の欠陥があ
る場合には、着色感光性樹脂塗布液を塗布、露光、現像
する工程を複数回数繰り返す必要があり、膨大な手間を
要すると共に、新たな欠陥が生じることもあった。特開
平4−369604号公報では、保護膜層を形成し、地
残りを回避する修正方法も開示されているが、上記問題
点は解決されない。
題点を有さない、簡便なカラーフィルターの欠陥修正方
法を提供する。
透明基板上の少なくとも一部に形成された透明電極およ
びそれらの上に形成された一色からなる画素層からなる
カラーフィルターの画素層の少なくとも一部に画素形成
が不十分な欠陥を有するものの欠陥部分を電着方法によ
り特定色の電着塗膜を形成した後、熱または紫外線によ
り欠陥部分に電着された塗膜を硬化することを特徴とす
るカラーフィルターの欠陥修正方法を提供する。
平坦性が良好で、多色の欠陥が存在する場合でも、電着
により塗着することで一括修正することができる。以
下、本発明について詳細に説明する。
のように行われる。ガラス基板上に導電性薄膜層を形成
する工程で、薄膜層が全面の場合には特開平4−247
402号公報のレジスト電着法があり、薄膜層が絶縁さ
れた任意のパターンを有する場合には特開昭59−11
4572号公報の電着法がある。
1〜3に示すような欠陥が存在することがある。図1は
透明電極2が基板1上に全面存在する場合の、R、G、
Bおよびブラックストライプの各色を含む画素3の一部
が欠落4していることを示す。図2は基板1上に透明電
極2が全面ではなく一部に形成されていおり、その上に
存在する画素3が欠落4している場合を示す。図3では
画素3の上にほこりなどの異物6'あるいは画素3表面
に凹凸6が存在する場合を示す。本発明はこれら図1〜
3に示された欠陥以外にも種々の欠陥を取扱うことがで
きる。たとえば画素の形成が半分まであるが、その上に
存在しない場合なども存在する。そのような画素が一部
分存在し、一部分欠陥している場合は、その画素部分の
電極が露出するのにレーザーなどの手段で欠陥画素を除
去し、図4に示す欠陥カラーフィルターを形成してもよ
い。
に、本発明ではカラーフィルター上の電極に再度結線
し、電着方法によりその欠陥部分に再度特定色の電着塗
膜を形成する。そのようにして形成された欠陥を修正し
たカラーフィルターは図5あるいは図6に示されてい
る。
のあるカラーフィルターに電着工程により再度欠陥部分
を電着被覆することは、改めて説明するまでもないが、
たとえば特定色の電着浴(水性樹脂と着色料を水性媒体
中に混合したもの)中に浸漬し、通電することにより行
われる。電着は一般的に1〜100ボルトの電圧で1〜
60秒間行うと良好な結果が得られる。60秒間を越え
ても、電着された樹脂により絶縁性が増し、電着効果が
上がらない。
示す。図7において3は画素部分であり、4はその画素
にできた欠陥部分である。7は電着浴であり、透明電極
にプラス極をつないで、電着を行っている。
ンポイント電着も存在する。この選択ピンポイント電着
法は公知である。たとえば特公昭51−37204号公
報などに記載されている。この方法によれば、欠陥部分
にのみ電着塗装が施される。
にはその欠陥の存在する部分の色であることが望ましい
が、何種類もの色を用いて電着塗装を行うことは、装置
や工程等を複雑にするから、一般に一色で欠陥補修する
のが好ましい。とくに黒色の電着溶液を用いて欠陥補修
するのが、欠陥部分からの光の漏出を防ぐことができ、
好ましい。
よびアニオン電着溶液のいずれであってもよく、これら
は特開昭63−210901号および特開昭60−23
830号公報などに詳しく記載されている。好適に用い
られる電着浴はアニオン電着では、カルボキシル基を有
するポリエステル樹脂を塩基で中和して基材樹脂とする
のが一般的であり、カチオン電着ではアミノ基を有する
樹脂を酸で中和して基材樹脂とするのが一般的である。
硬化剤は電着塗料に一般に用いられるもので、メラミン
樹脂、ブロック化イソシアネート等が挙げられる。電着
浴には適当な色の顔料が配合される。顔料の例としては
カーボンブラック、ベンガラ、等が挙げられる。電着浴
は上記組成を水性媒体中に分散することにより得られ
る。
る。本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
である。まず図9(A)の工程では、透明なガラス基板上
にITO(インジウム錫酸化物)をスパッタリングにより
塗着し、基板を作成した。図10(A)では、図9(A)の
基板にポジ型レジストをスピナーにて塗布乾燥し、所定
のパターンを有するフォトマスクをその上に載置し、紫
外線を100mJ/cm2照射し、その後、塩基性現像液に
てレジストをパターン除去、現像した。その基板を塩化
第二鉄水溶液にてITOをエッチングして互いに絶縁さ
れたパターンを有する基板を作成した。
O基板上にカラーフィルター画素を形成したが、青(B)
画素の中にピンホール欠陥が発生し、下からITOが露
出した。図10(B)では、電着法にて互いに絶縁された
パターン化されたITO基板上にカラーフィルター画素
を形成したが、緑(G)画素の中にピンホール欠陥が発生
し下からITOが露出した。
線しカーボン顔料とポリエステル/メラミン樹脂からな
る電着溶液に浸漬し、5ボルトの直流電圧を3秒印加
し、その基板を引き上げ、水洗、乾燥した。その後、1
75℃のオーブンにて30分間加熱して硬化させた。
に画素欠陥部にカーボン顔料で着色された電着樹脂によ
り修正されたカラーフィルターとなった。
実施例を示す。図11(A)では図9(A)と同様にガラス
基板上にITOを全面に形成した。図11(B)では、レ
ジスト電着法にてITO基板上にカラーフィルター画素
を形成したが、緑(G)画素上にゴミが、青(B)画素内に
異物が混入した状態を示す。図11(C)で、2mJ/パ
ルスの出力エネルギーを有するレーザービームをゴミと
異物を有する画素部に照射して周囲部分を除去した。本
実施例では欠陥部が50μm程度の白抜きのスポットに
なった。
線したカートリッジ型容器に電着溶液を入れ、白抜きの
スポット部位に電着溶液を滴下し、陰極線を液に浸し、
5ボルトの直流電圧を5秒印加し、その後、カートリッ
ジ容器を上げて、基板を水洗、乾燥した。電着溶液はア
クリル系感光性樹脂に光開始剤及びカーボン顔料から作
成した。電着塗着面の背面より超高圧水銀灯ランプで5
00mJ/cm2で照射した。現像液に2分浸漬して未硬化
部分の光硬化性塗膜を溶出させた。この後、上記基板を
100℃で30分加熱して後硬化させて修正を終えた。
部に黒色光硬化樹脂により修正されたカラーフィルター
となった。
欠陥の修正が可能であり、電着法での修正塗着により、
平坦性の優れた、正常画素部への地残りの無い、更に電
着のつきまわり性(スローイングパワー)による白抜けの
無い画素品質の高いカラーフィルターの作成となり、カ
ラーフィルターの歩留りを大幅に向上させることができ
る。
一例を示す図。
一例を示す図。
一例を示す図。
法により欠陥部分の一部を除去したカラーフィルターの
図である。
模式図。
模式図。
ルターの補修を模式的に示す図。
程図。
す工程図。
ー画素、4…カラーフィルター画素欠陥部、5…修正電
着画素、6…凹凸、6'…異物、7…電着用溶液。
Claims (5)
- 【請求項1】 透明基板、その透明基板上の少なくとも
一部に形成された透明電極およびそれらの上に形成され
た少なくとも一色からなる画素層からなるカラーフィル
ターの画素層の少なくとも一部に画素形成が不十分な欠
陥を有するものの欠陥部分を電着塗装により特定色の電
着塗膜を形成した後、熱または紫外線により欠陥部分に
電着された塗膜を硬化することを特徴とするカラーフィ
ルターの欠陥修正方法。 - 【請求項2】 欠陥のある画素層の欠陥部分をレーザー
ビームを照射して、透明電極層が露出するまで除去する
ことを特徴とする請求項1記載のカラーフィルターの欠
陥修正方法。 - 【請求項3】 欠陥部分の電着塗装が、欠陥のある基板
を電着溶液に浸漬した後、電流を印加することによりを
行うことを特徴とする請求項1記載のカラーフィルター
の欠陥修正方法。 - 【請求項4】 欠陥部分の電着塗装が選択ピンポイント
電着法により行われることを特徴とする請求項1記載の
カラーフィルターの欠陥修正方法。 - 【請求項5】 欠陥部分の電着塗装が黒色の電着塗料を
用いて行われることを特徴とする請求項1記載のカラー
フィルターの欠陥修正方法。
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