JP3267037B2 - Ic試験装置のデータ表示制御方法 - Google Patents
Ic試験装置のデータ表示制御方法Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、IC試験装置でウェ
ハ上に多数形成されたデバイスを複数個同時に試験する
場合に、デバイスの試験結果をIC試験装置の表示部に
表示する制御方法についてのものである。
ハ上に多数形成されたデバイスを複数個同時に試験する
場合に、デバイスの試験結果をIC試験装置の表示部に
表示する制御方法についてのものである。
【0002】
【従来の技術】IC試験装置は、ウェハ上に多数形成さ
れた各デバイス(以下、試料という。)を測定するもの
であり、複数の試料を同時に測定して測定結果を表示す
る。次に、一般的なIC試験装置の構成を図8に示す。
図8の1はIC試験部、3は制御プロセッサ、4はデー
タ処理プロセッサ、5は表示部である。IC試験部1と
制御プロセッサ3とデータ処理プロセッサ4でIC試験
装置10を構成する。2はIC試験装置10の図示を省
略したテストヘッドとウェハ上の試料との位置合わせを
自動的に行うプローバである。
れた各デバイス(以下、試料という。)を測定するもの
であり、複数の試料を同時に測定して測定結果を表示す
る。次に、一般的なIC試験装置の構成を図8に示す。
図8の1はIC試験部、3は制御プロセッサ、4はデー
タ処理プロセッサ、5は表示部である。IC試験部1と
制御プロセッサ3とデータ処理プロセッサ4でIC試験
装置10を構成する。2はIC試験装置10の図示を省
略したテストヘッドとウェハ上の試料との位置合わせを
自動的に行うプローバである。
【0003】図8で、制御プロセッサ3は共通メモリ3
Aと制御プログラム3Bを備えており、データ処理プロ
セッサ4は設定入力手段4Aと表示ソフトウェア4Bを
備えている。IC測定装置10は制御プロセッサ3とデ
ータ表示プロセッサ4の2つのプロセッサを搭載し、一
方をテストプログラム制御用、他の一方をデータの処理
用と使い分けている。
Aと制御プログラム3Bを備えており、データ処理プロ
セッサ4は設定入力手段4Aと表示ソフトウェア4Bを
備えている。IC測定装置10は制御プロセッサ3とデ
ータ表示プロセッサ4の2つのプロセッサを搭載し、一
方をテストプログラム制御用、他の一方をデータの処理
用と使い分けている。
【0004】次に、従来技術による試料の測定方法を図
6を参照して説明する。図6は、基準となる試料の座標
および同時に測定される他の試料(以下、非基準試料と
いう。)の座標の方向を選択記号として示している。
6を参照して説明する。図6は、基準となる試料の座標
および同時に測定される他の試料(以下、非基準試料と
いう。)の座標の方向を選択記号として示している。
【0005】従来のIC試験装置では、ウェハ上に多数
存在する被測定試料を試験する時、複数の試料を同時に
試験する場合には、基準となる試料のウェハ上の座標に
対する非基準試料の座標の方向を、図6の選択記号ア〜
クを使用して事前に設定する。
存在する被測定試料を試験する時、複数の試料を同時に
試験する場合には、基準となる試料のウェハ上の座標に
対する非基準試料の座標の方向を、図6の選択記号ア〜
クを使用して事前に設定する。
【0006】図6で、選択記号アは「a」の列に示すよ
うにX軸方向へ+1、Y軸方向へ+1の方向を表す。選
択記号イは「b」の列に示すようにX軸方向へ0、Y軸
方向へ+1の方向を表す。選択記号ウは「c」の列に示
すようにX軸方向へ−1、Y軸方向へ+1の方向を表
す。選択記号エは「d」の列に示すようにX軸方向へ−
1、Y軸方向へ0の方向を表す。選択記号オは「e」の
列に示すようにX軸方向へ−1、Y軸方向へ−1の方向
を表す。選択記号カは「f」の列に示すようにX軸方向
へ0、Y軸方向へ−1の方向を表す。選択記号キは
「g」の列に示すようにX軸方向へ+1、Y軸方向へ−
1の方向を表す。選択記号クは「h」の列に示すように
X軸方向へ+1、Y軸方向へ0の方向を表している。こ
のように、座標の方向には選択記号ア〜クの記号を選択
することができる。
うにX軸方向へ+1、Y軸方向へ+1の方向を表す。選
択記号イは「b」の列に示すようにX軸方向へ0、Y軸
方向へ+1の方向を表す。選択記号ウは「c」の列に示
すようにX軸方向へ−1、Y軸方向へ+1の方向を表
す。選択記号エは「d」の列に示すようにX軸方向へ−
1、Y軸方向へ0の方向を表す。選択記号オは「e」の
列に示すようにX軸方向へ−1、Y軸方向へ−1の方向
を表す。選択記号カは「f」の列に示すようにX軸方向
へ0、Y軸方向へ−1の方向を表す。選択記号キは
「g」の列に示すようにX軸方向へ+1、Y軸方向へ−
1の方向を表す。選択記号クは「h」の列に示すように
X軸方向へ+1、Y軸方向へ0の方向を表している。こ
のように、座標の方向には選択記号ア〜クの記号を選択
することができる。
【0007】次に、従来技術によるIC試験装置のデー
タ表示制御方法について、図6〜図8を参照して説明す
る。まず、図8の制御プロセッサ3Aには、図6の選択
信号ア〜クが格納されており、データ処理プロセッサ4
の設定入力手段4Aからの内容により、選択信号を指定
する。図7は、図6で選択記号クを選択し、ウェハ上の
8個の被測定試料を同時に試験した時の表示状態を示し
たものである。
タ表示制御方法について、図6〜図8を参照して説明す
る。まず、図8の制御プロセッサ3Aには、図6の選択
信号ア〜クが格納されており、データ処理プロセッサ4
の設定入力手段4Aからの内容により、選択信号を指定
する。図7は、図6で選択記号クを選択し、ウェハ上の
8個の被測定試料を同時に試験した時の表示状態を示し
たものである。
【0008】次に、同時に試験された8個の試料の中
で、基準試料になる試料の試験結果が、図7のX軸・Y
軸の2次元平面上の基準座標A0 (X0 ,Y0 )に表示
される。基準座標A0 (X0 ,Y0 )はウェハ上の被試
験試料の絶対座標のデータで、プローバ2から送られて
くる。そして、残る試料の試験結果A2 =Dを、順次基
準座標A0 (X0 ,Y0 )から図8の制御プログラム3
Bで得られる選択された選択記号クの方向A1 の各座標
へ、図8の表示ソフトウェア4Bで処理して表示部5に
表示する。このように、基準試料以外の試料の試験結果
を、固定された方向にある座標に表示している。
で、基準試料になる試料の試験結果が、図7のX軸・Y
軸の2次元平面上の基準座標A0 (X0 ,Y0 )に表示
される。基準座標A0 (X0 ,Y0 )はウェハ上の被試
験試料の絶対座標のデータで、プローバ2から送られて
くる。そして、残る試料の試験結果A2 =Dを、順次基
準座標A0 (X0 ,Y0 )から図8の制御プログラム3
Bで得られる選択された選択記号クの方向A1 の各座標
へ、図8の表示ソフトウェア4Bで処理して表示部5に
表示する。このように、基準試料以外の試料の試験結果
を、固定された方向にある座標に表示している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】従来のIC試験装置で
は、ウェハ上の複数の試料を同時に試験する時、基準試
料以外の試料の試験結果は、座標の固定された方向にの
み表示するようになっていたため、IC試験装置で試験
した複数の試料の座標が固定された方向以外の座標であ
る場合、試験結果が試験した試料の座標と異なる座標に
表示されるという問題がある。この発明は、ウエハ上の
試験する試料の座標を試験作業者が自由に設定するIC
試験装置のデータ表示制御回路の提供を目的とする。
は、ウェハ上の複数の試料を同時に試験する時、基準試
料以外の試料の試験結果は、座標の固定された方向にの
み表示するようになっていたため、IC試験装置で試験
した複数の試料の座標が固定された方向以外の座標であ
る場合、試験結果が試験した試料の座標と異なる座標に
表示されるという問題がある。この発明は、ウエハ上の
試験する試料の座標を試験作業者が自由に設定するIC
試験装置のデータ表示制御回路の提供を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、IC試験部1と共通メモリ3Aと制御
プログラム3Bをもつ制御プロセッサ3と、設定入力手
段4Aと表示ソフトウェア4Bをもつデータ処理プロセ
ッサ4を備え、試料を試験するIC試験装置10と、I
C試験装置10に接続し、試料との位置合わせを自動的
に行うプローバ2を備え、設定入力手段4Aは試験する
複数の試料の1つを基準試料として規準座標を入力する
とともに、他の試料の基準試料に対する相対座標を入力
し、設定入力手段4Aの内容を共通メモリ3Aに書き込
み、制御プログラム3Bはプローバ2より基準試料の絶
対座標を入力するとともに、共通メモリ3Aから他の試
料の相対座標を入力して、各被試験試料の絶対座標を演
算し、表示ソフトウェア4Bは、各試料の絶対座標ごと
に試験結果を表示する。
め、この発明は、IC試験部1と共通メモリ3Aと制御
プログラム3Bをもつ制御プロセッサ3と、設定入力手
段4Aと表示ソフトウェア4Bをもつデータ処理プロセ
ッサ4を備え、試料を試験するIC試験装置10と、I
C試験装置10に接続し、試料との位置合わせを自動的
に行うプローバ2を備え、設定入力手段4Aは試験する
複数の試料の1つを基準試料として規準座標を入力する
とともに、他の試料の基準試料に対する相対座標を入力
し、設定入力手段4Aの内容を共通メモリ3Aに書き込
み、制御プログラム3Bはプローバ2より基準試料の絶
対座標を入力するとともに、共通メモリ3Aから他の試
料の相対座標を入力して、各被試験試料の絶対座標を演
算し、表示ソフトウェア4Bは、各試料の絶対座標ごと
に試験結果を表示する。
【0011】
【作用】図8で、データ制御プロセッサ4の設定入力手
段4Aは基準試料の座標に対する非基準試料の相対座標
のデータを作成し、制御プロセッサ3の共通メモリ3A
に書き込む。制御プロセッサ3の制御プログラム3Bは
試験を実行した後、プローバ2より試験した被測定試料
の、基準試料の座標を得る。基準試料の座標を得た制御
プログラム3Bは、共通メモリ3Aより非基準試料の相
対アドレスを読み込み、読み取った各非基準試料の相対
座標を基準試料の座標に加算することにより、試験され
た各非基準試料の絶対座標を算出する。
段4Aは基準試料の座標に対する非基準試料の相対座標
のデータを作成し、制御プロセッサ3の共通メモリ3A
に書き込む。制御プロセッサ3の制御プログラム3Bは
試験を実行した後、プローバ2より試験した被測定試料
の、基準試料の座標を得る。基準試料の座標を得た制御
プログラム3Bは、共通メモリ3Aより非基準試料の相
対アドレスを読み込み、読み取った各非基準試料の相対
座標を基準試料の座標に加算することにより、試験され
た各非基準試料の絶対座標を算出する。
【0012】次に、制御プログラム3Bは、試験された
各試料の座標及びその試料のパス、フェイル情報をデー
タ制御プロセッサ4の表示ソフトウェア4Bへ送る。表
示ソフトウェア4Bは各試料の座標とパス、フェイル情
報を得て、表示部5のX・Y座標上のその座標にパス、
フェイル情報を出力する。
各試料の座標及びその試料のパス、フェイル情報をデー
タ制御プロセッサ4の表示ソフトウェア4Bへ送る。表
示ソフトウェア4Bは各試料の座標とパス、フェイル情
報を得て、表示部5のX・Y座標上のその座標にパス、
フェイル情報を出力する。
【0013】
【実施例】次に、この発明による実施例を図1〜図5と
図8を参照して説明する。ここでは、図1に示す位置の
8個の試料を同時に試験する場合の例について説明す
る。IC試験装置で、ウェハ上の8個の試料を同時に試
験した場合に、試験作業者は、被測定試料を図1に示す
ようにDUT1〜DUT8として定義する。DUT1は
基準試料であり、DUT1〜DUT8は基準試料と同時
に試験され、各DUTの試験結果がIC試験装置から個
別に得られる。
図8を参照して説明する。ここでは、図1に示す位置の
8個の試料を同時に試験する場合の例について説明す
る。IC試験装置で、ウェハ上の8個の試料を同時に試
験した場合に、試験作業者は、被測定試料を図1に示す
ようにDUT1〜DUT8として定義する。DUT1は
基準試料であり、DUT1〜DUT8は基準試料と同時
に試験され、各DUTの試験結果がIC試験装置から個
別に得られる。
【0014】次に試験作業者は、図2に示すように、図
8の設定入力手段4Aにより、図1に定義した各試料の
基準座標に対する相対座標を示すテーブルを作成する。
テーブルは基準試料DUT1の座標に対する非基準座標
DUT2〜DUT8の相対座標をX軸とY軸とで指定す
る。
8の設定入力手段4Aにより、図1に定義した各試料の
基準座標に対する相対座標を示すテーブルを作成する。
テーブルは基準試料DUT1の座標に対する非基準座標
DUT2〜DUT8の相対座標をX軸とY軸とで指定す
る。
【0015】DUT1は基準試料で、座標(X,Y)は
(0,0)で固定し、これを「A」とする。DUT2は
基準座標に対してX軸に+0方向、Y軸に+1方向にあ
るため、テーブルにはX軸を0、Y軸を1に設定し、こ
れを相対座標「B」とする。DUT3は基準座標に対し
てX軸に+1方向、Y軸に+0方向にあるため、テーブ
ルにはX軸を1、Y軸を0に設定し、これを相対座標
「C」とする。DUT4は基準座標に対してX軸に+1
方向、Y軸に+1方向にあるため、テーブルにはX軸を
1、Y軸を1に設定し、これを相対座標「D」とする。
DUT5は基準座標に対してX軸に+0方向、Y軸に+
2方向にあるため、テーブルにはX軸を0、Y軸を2に
設定し、これを相対座標「E」とする。DUT6は基準
座標に対してX軸に+0方向、Y軸に+3方向にあるた
め、テーブルにはX軸を0、Y軸を3に設定し、これを
相対座標「F」とする。DUT7は、基準座標に対して
X軸に+1方向、Y軸に+2方向にあるため、テーブル
にはX軸を1、Y軸を2に設定し、これを相対座標
「G」とする。DUT8は基準座標に対してX軸に+1
方向、Y軸に+3方向にあるため、テーブルにはX軸を
1、Y軸を3に設定し、これを相対座標「H」とする。
(0,0)で固定し、これを「A」とする。DUT2は
基準座標に対してX軸に+0方向、Y軸に+1方向にあ
るため、テーブルにはX軸を0、Y軸を1に設定し、こ
れを相対座標「B」とする。DUT3は基準座標に対し
てX軸に+1方向、Y軸に+0方向にあるため、テーブ
ルにはX軸を1、Y軸を0に設定し、これを相対座標
「C」とする。DUT4は基準座標に対してX軸に+1
方向、Y軸に+1方向にあるため、テーブルにはX軸を
1、Y軸を1に設定し、これを相対座標「D」とする。
DUT5は基準座標に対してX軸に+0方向、Y軸に+
2方向にあるため、テーブルにはX軸を0、Y軸を2に
設定し、これを相対座標「E」とする。DUT6は基準
座標に対してX軸に+0方向、Y軸に+3方向にあるた
め、テーブルにはX軸を0、Y軸を3に設定し、これを
相対座標「F」とする。DUT7は、基準座標に対して
X軸に+1方向、Y軸に+2方向にあるため、テーブル
にはX軸を1、Y軸を2に設定し、これを相対座標
「G」とする。DUT8は基準座標に対してX軸に+1
方向、Y軸に+3方向にあるため、テーブルにはX軸を
1、Y軸を3に設定し、これを相対座標「H」とする。
【0016】図4は設定入力手段4Aの動作を示すフロ
ーチャートであり、図5は図8の制御プロセッサ3の制
御プログラム3Bの動作を示すフローチャートである。
このテーブルの作成が完了すると、図8の設定入力手段
4Aは、テーブルの内容を制御プロセッサ3の共通メモ
リ3Aへ書き込む。
ーチャートであり、図5は図8の制御プロセッサ3の制
御プログラム3Bの動作を示すフローチャートである。
このテーブルの作成が完了すると、図8の設定入力手段
4Aは、テーブルの内容を制御プロセッサ3の共通メモ
リ3Aへ書き込む。
【0017】図8の制御プロセッサ3の制御プログラム
3Bは、試験を実行した後、試験した被測定試料の中の
基準試料の絶対座標(X,Y)をプローバ2より得る。
図3では、基準試料の絶対座標(X,Y)が例として
(4,3)の場合について説明している。基準試料の絶
対座標を得た制御プログラム3Bは、共通メモリ3Aよ
り各非基準試料DUT2〜DUT8の相対座標「B」〜
「H」を読み込み、基準試料の座標(3,4)へそれぞ
れ加算することにより、試験された各非基準試料の絶対
座標を算出する。DUT2〜DUT8の絶対座標は、図
3のB1 〜B8 になる。
3Bは、試験を実行した後、試験した被測定試料の中の
基準試料の絶対座標(X,Y)をプローバ2より得る。
図3では、基準試料の絶対座標(X,Y)が例として
(4,3)の場合について説明している。基準試料の絶
対座標を得た制御プログラム3Bは、共通メモリ3Aよ
り各非基準試料DUT2〜DUT8の相対座標「B」〜
「H」を読み込み、基準試料の座標(3,4)へそれぞ
れ加算することにより、試験された各非基準試料の絶対
座標を算出する。DUT2〜DUT8の絶対座標は、図
3のB1 〜B8 になる。
【0018】次に、制御プログラム3Bは、試験された
各試料の絶対座標及び各試料のパス・フェイル情報をデ
ータ制御プロセッサ4の表示ソフトウェア4Bへ送る。
各試料の座標とパス・フェイル情報を得た表示ソフトウ
ェア4Bは、表示部5のX・Y座標上の座標B1 〜B8
にパス、フェイル情報を出力する。
各試料の絶対座標及び各試料のパス・フェイル情報をデ
ータ制御プロセッサ4の表示ソフトウェア4Bへ送る。
各試料の座標とパス・フェイル情報を得た表示ソフトウ
ェア4Bは、表示部5のX・Y座標上の座標B1 〜B8
にパス、フェイル情報を出力する。
【0019】
【発明の効果】この発明によれば、IC試験装置におい
て、ウェハ上の複数の被測定試料を一度に試験する時、
試験する試料の座標を試験作業者が自由に設定すること
ができる。
て、ウェハ上の複数の被測定試料を一度に試験する時、
試験する試料の座標を試験作業者が自由に設定すること
ができる。
【図1】この発明による、同時に試験する8個の被試験
試料の配置の例を示す図である。
試料の配置の例を示す図である。
【図2】この発明による各試料の基準座標に対する相対
座標を示すテーブルである。
座標を示すテーブルである。
【図3】この発明による非試験試料の絶対座標上の試験
結果表示例である。
結果表示例である。
【図4】設定入力手段4Aの動作を示すフローチャート
である。
である。
【図5】図8の制御プロセッサ3の制御プログラム3B
の動作を示すフローチャートである。
の動作を示すフローチャートである。
【図6】従来技術による試料の測定方法の説明図であ
る。
る。
【図7】図6で選択記号クを選択し、ウェハ上の8個の
被測定試料を同時に試験した時の表示状態を示す図であ
る。
被測定試料を同時に試験した時の表示状態を示す図であ
る。
【図8】一般的なIC試験装置の構成図である。
1 IC試験装置 2 プローバ 3 制御プロセッサ 3A 共通メモリ 3B 制御プログラム 4 データ処理プロセッサ 4A 設定入力手段 4B 表示ソフトウェア 5 表示部
Claims (1)
- 【請求項1】 IC試験部(1) と共通メモリ(3A)と制御
プログラム(3B)をもつ制御プロセッサ(3) と、設定入力
手段(4A)と表示ソフトウェア(4B)をもつデータ処理プロ
セッサ(4) を備え、試料を試験するIC試験装置(10)
と、IC試験装置(10)に接続し、試料との位置合わせを
自動的に行うプローバ(2) を備え、 設定入力手段(4A)は試験する複数の試料の1つを基準試
料として規準座標を入力するとともに、他の試料の基準
試料に対する相対座標を入力し、 設定入力手段(4A)の内容を共通メモリ(3A)に書き込み、 制御プログラム(3B)はプローバ(2) より基準試料の絶対
座標を入力するとともに、共通メモリ(3A)から他の試料
の相対座標を入力して、各被試験試料の絶対座標を演算
し、 表示ソフトウェア(4B)は、各試料の絶対座標ごとに試験
結果を表示することを特徴とするIC試験装置のデータ
表示制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05457794A JP3267037B2 (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | Ic試験装置のデータ表示制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05457794A JP3267037B2 (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | Ic試験装置のデータ表示制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07240445A JPH07240445A (ja) | 1995-09-12 |
JP3267037B2 true JP3267037B2 (ja) | 2002-03-18 |
Family
ID=12974562
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05457794A Expired - Fee Related JP3267037B2 (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | Ic試験装置のデータ表示制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3267037B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3802283B2 (ja) | 1999-07-02 | 2006-07-26 | 沖電気工業株式会社 | 検査結果表示方法、検査結果表示装置及び記録媒体 |
-
1994
- 1994-02-28 JP JP05457794A patent/JP3267037B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07240445A (ja) | 1995-09-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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