JPS62250651A - Ｌｓｉ不良解析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＬＳＩ試験に関し、特に自動配置配線されたゲ
ートアレイＬＳＩ等の不良解析試験に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のＬＳＩ不良解析は計算機シミエレーシ嘗
ンによるほか、チップモ二り図でトランジスタ等の素子
位置を確認した後、マニエアルプ０−ハヲ用いて針車２
を行い、オシロスコ−７’にて動作波形を確認する方法
が行われている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の不良解析方法は、自動配置配線されたＬ
ＳＩ又はゲートアレイＬＳＩが同一形状のトランジスタ
素子の集合であることから、回路図上の任意の素子位置
をＬＳＩチップ上で探すのが極めて困難であり、誤りも
多いという欠点がある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明のＬＳＩ不良解析装置は、回路設計データファイ
ルを図形表示する手段と、解析しようとする回路図上の
素子位置を指示する入力手段とを有しており、指示され
た素子位置を回路設計データファイル情報を処理する手
段、及び配置設計情報を処理する手段とによりＬＳＩチ
ップ上の位置として算出し、その算出データを基に被試
験ＬＳＩの搭載ステージを移動させる手段を有するもの
である。

ステージは、ＬＳＩチップ表面を拡大観測するために設
けられた顕微鏡の視野中心へ回路図上で指示された素子
位置を持ってくるように移動する。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例である。回路設計データファ
イル清報１、配置設計データファイル情報２、は電子計
算機３、へ入力される。

１、をもとにしてディスプレイ４、には回路図が表示さ
れる。座標入力装置５、は解析したい回路図上の素子位
置を入力するのに用いられる。この座標情報は配置設計
データファイル情報２、を参照することにより、ＬＳＩ
チップ上の座標位置に３、を用いて変換される。この座
標位置データはＸ、Ｙ駆動制御部６、へ送られＸ駆動装
ｆｌｌｌｉ７、Ｙ駆動装置８、を駆動する。これによっ
て、被試験ＬＳ１１ｏ、の搭載されたステージ９、が移
動して、囮倣１＞、　ｌ　ｌ　、の視野中心へ解析しよ
うとする素子部分をもってくる。試験者１２、は１１、
をのぞくだけで解析部分を探す作業を行う必要がない。

その後の針車２、オシロスコープによる波形観測作業は
従来通りの方法で行う。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は回路図からＬＳＩチップ上
のトランジスタ等の素子位置を求めることにより、容易
ＧＣＬＳＩの不良解析を行うことが出来る効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の構成図である。 １・・・・・・回路設計データファイル情報、２・・・
・・・配置設計データファイル情報、３・・・・・・電
子計算機、４・・・・・・ディスプレイ、５・・・・・
・座標入力装置、６・・・・・−ｘ　、　Ｙ＋駆動制御
部、７・・・・・・Ｘ駆動部、８・・・・・・Ｙ駆動部
、９・・・・・・被試験ＬＳＩ搭載用ステージ、１０・
・・・・・被試験ＬＳＩ、１１・・・・・・顕微鏡、１
２・・・・・・試験者。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ＬＳＩの回路設計データファイル情報を処理する手段と
   、配置設計データファイル情報を処理する手段と、前記
   回路設計データファイルを図形表示する手段と、前記回
   路図形上の任意の回路図位置を指示するための入力手段
   と、被試験ＬＳＩの搭載されるステージをＸ、Ｙ方向の
   任意の位置に移動させる手段と、前記ステージ上にＸ、
   Ｙ方向について固定された顕微鏡とから構成され、回路
   図形上で指示した任意の素子が顕微鏡視野の中心へ位置
   するよう前記ステージを移動させることを特長とするＬ
   ＳＩ不良解析装置。