JP3265076B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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    • G11C29/84Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with improved access time or stability

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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置に係わ
り、特に不良救済のため冗長メモリを有する半導体記憶
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、DRAM,SRAM,EEP
ROM等においては、不良救済のため冗長メモリを搭載
するメモリが知られている。これは、例えば64Mビッ
トのメモリであれば6700万個以上のメモリセルが搭
載されていて、この内いくつかのメモリセルが不良とな
っていても64Mビットのメモリとして構成できるよう
に、不良メモリセルを置き換えるために予備のメモリセ
ルを冗長メモリとして備えているものである。さらに、
不良アドレスを記憶させるためROMを備えている。通
常、このROMはポリシリコンからなるヒューズで構成
され、ヒューズを切断することで不良アドレスを記憶さ
せる。この記憶されている不良アドレスとアドレス信号
を比較し、アドレス信号と不良アドレスが一致する場合
は、冗長メモリをアクセスするように回路は構成され
る。
【0003】しかしながら、この種の半導体記憶装置に
あっては次のような問題があった。即ち、従来の回路構
成では、アドレス信号が確定してからそのアドレスが不
良アドレスか否かを検出しているため、アドレス確定か
らメモリアクセスまで待たなければならない。このた
め、アクセス時間が長くなり、データの入出力が遅くな
るという問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このように従来の半導
体記憶装置では、不良メモリセルを救済するための回路
を搭載することによって、アクセス時間が長くなり、高
速のデータ入出力ができないという問題があった。
【0005】本発明は、上記事情を考慮してなされたも
ので、その目的とするところは、アクセス時間を遅くす
ることなく不良メモリセルを救済することができ、高速
にデータ入出力を行い得る半導体記憶装置を提供するこ
とにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、次のような構成を採用している。即ち本発
明は、アクセス時のアドレスの順序が予め決まっている
半導体記憶装置において、メモリセルがマトリクス状に
配置されたメモリセルアレイと、メモリセルアレイ内の
不良メモリセルと置き換え救済するための冗長メモリセ
ルと、不良メモリセルのアドレスに従ってアクセスする
サイクルのnサイクル前のアドレスを記憶するアドレス
記憶回路と、このアドレス記憶回路の記憶内容とアドレ
ス信号を比較し一致しているか否かの救済情報を出力す
る比較回路と、救済情報を対応するサイクルに出力する
手段とを具備してなることを特徴とする。
【0007】ここで、本発明の望ましい実施態様として
は、次のものがあげられる。 (1) アドレス信号を内部で自動的に発生させるためのア
ドレス信号発生回路を備えたこと。 (2) アドレス信号発生回路の初期アドレスを設定するア
ドレス設定回路を備え、このアドレス設定回路は、アク
セス先頭アドレスのnサイクル前のアドレスを初期アド
レスとして設定し、先頭アドレスを含むnサイクル分の
救済情報をアクセス開始前に検出する手段と、アクセス
開始前に検出された救済情報を対応するサイクルで出力
する手段とからなること。 (3) 救済情報を対応するサイクルに出力する手段は、対
応するサイクルでアドレス信号の切り替わりと同時に或
いは先に出力するものであること。 (4) 冗長メモリセルは冗長列を構成し、アドレス記憶回
路は不良列アドレスを記憶するものであること。 (5) 前記冗長メモリセルは冗長行を構成し、アドレス記
憶回路は不良行アドレスを記憶するものであること。
【0008】
【作用】本発明においては、予めnサイクル後のアドレ
ス信号が不良アドレスと一致するか否かを検出してお
き、その検出情報(救済情報)がnサイクル後にアドレ
ス信号に遅れることなく出力される。従って本発明によ
れば、不良メモリセルを救済するためにアクセス時間が
長くなることを防止することができ、不良メモリセル救
済のための冗長メモリを備えた半導体記憶装置におい
て、冗長メモリを備えてない半導体記憶装置とアクセス
時間を同等にできる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図1は、本発明の一実施例に係わる半導体記憶装
置の概略構成を示すブロック図である。冗長部を含むメ
モリセルアレイ1に対して、データ書き込み,データ読
み出しを行うためにデータラッチ回路2が設けられてい
る。カラム選択回路3によって選択されたアドレスのデ
ータラッチ回路2と、データ入出力端子(I/Oパッ
ド)7との間のデータの転送は、データ入出力バッファ
6を介して行われる。アドレス信号はアドレス信号発生
回路5によって連続的に発生され、その先頭アドレスは
外部から指定される。アドレス信号は冗長部選択回路4
に入力され、カラム冗長部を選択すべき場合は冗長部選
択信号を発生し、アドレス信号発生回路5の出力アドレ
ス信号でのカラム選択を非活性化する。また、メモリセ
ルアレイ1のワード線を駆動するためロウ・デコーダ8
が設けられている。
【0010】図2,図3にデータラッチ回路(D.
L.)を含むデータラッチ回路部2とカラム選択回路3
の具体的な構成を示す。図2は、偶数カラム番地のI/
Oi (i=0〜7)に対応する部分を示している。図3
は、奇数カラム番地のそれである。データラッチ回路2
は、nチャネルMOSトランジスタQn1 〜Qn10,Q
n11〜Qn20のカラム選択トランジスタを介してデータ
入出力線IOiL,IOiLB,IOiR,IOiRB に接続さ
れる。カラム選択トランジスタのゲートは、カラム選択
回路3の出力を受けるものとなっている。
【0011】NAND回路G1 ,G2 ,G8 ,G9 とイ
ンバータI1 ,I2 ,I9 ,I10は冗長部を選択するた
めのもので、冗長カラムアドレス信号CSKX(K=1,
2,X=L,R)と冗長カラム活性化信号CENBRDX
(X=L,R)を入力とする。NAND回路G3 〜G5 ,G
10〜G12とインバータI3 〜I5 ,I11〜I13は、通常
カラムを選択するためのもので、アドレス信号(X)
{AiSX,AiSXB(i=1〜7,X=L,R)}の内
のアドレスに対応する7つの信号と、通常カラム活性化
信号CENBX (X=L,R)を入力とする。
【0012】NAND回路G6 ,G13とインバータI6
,I14はCENBRDXを出力する回路で、冗長部選
択信号RECLMX(X=L,R),カラム活性化信号CE
NB,及びカラム選択中止信号CXSTOPB(X=L,
R)を入力とする。NAND回路G7 ,G14とインバー
タI7 ,I8 ,I15,I16はCENBXを出力する回路
であり、冗長カラム活性化信号CENBRDXを出力す
る回路とはNAND回路の信号RECLMXの入力が反
転しているところが違う。この実施例では、シリアルア
クセス高速化のため、偶数カラム番地と奇数カラム番地
のデータラッチ回路は同時に選択される。
【0013】本発明の目的を達成するため、アドレス信
号,冗長部選択信号,冗長カラムアドレス信号及びカラ
ム活性化信号は、図4(a)に示されるように発生され
る。図4(b)は従来例である。従来は不良カラムアド
レスを、冗長部選択回路にヒューズなどで記憶させてい
た。このため、アドレス信号が出力されてから、冗長部
を選択するか否かを検出し冗長部選択信号や冗長カラム
アドレス信号が出力されるまでにタイムラグtARが生じ
ていた。
【0014】本実施例においては、1サイクル前のカラ
ムアドレス信号で、次サイクルのカラムアドレスが不良
カラムアドレスか否かを検出し、次サイクルのアドレス
信号が出力されると同時に冗長部選択信号や冗長カラム
アドレス信号を出力する。このため、図4(b)に見ら
れるようなタイムラグtARは生じなくなり、高速にアク
セスすることができるようになる。このため、冗長部選
択回路には、不良カラムアドレスが出力される1サイク
ル前のカラムアドレスを記憶させておく。
【0015】図4(a)(b)で、tRSは冗長部選択信
号又は冗長カラムアドレス信号が出力されてからカラム
を活性化するまでの時間、tSHはカラム活性化時間、t
SAはカラムが非活性化されてから次のカラムアドレス信
号を出力するまでの時間である。
【0016】図5,図6はアドレス信号発生回路5の具
体的な回路構成を示している。図5は、最下位カラムア
ドレス(A0S,A0SB)信号発生回路を示してい
る。この回路は、初期値設定可能カウンタ回路とレジス
タ回路から主に構成される。信号DIN0は先頭アドレ
スの最下位である。信号AINPC,AINPCBをそ
れぞれ“H”,“L”として先頭アドレスを設定する。
カウントアップ信号φ0,φ0(bar)が“H”,“L”と
なると、インバータI20,I21で構成されるレジスタに
カウンタの出力が取り込まれ、“L”,“H”となると
カウントアップされる。また、DIN0によってインバ
ータI24,I25で構成されるレジスタは、先頭アドレス
が奇数か偶数かを記憶する。
【0017】図6は、アドレス信号AiSX,AiSB
X(i=1〜7,X=L,R)発生回路である。この回路
は、主に初期値設定可能なカウンタ回路とレジスタ回路
から構成される。信号DINi(i=1〜7)は先頭ア
ドレスデータである。φi (i=1〜7)とCNTIN
Vは、それぞれカウントアップ信号とカウンタアドレス
反転信号である。信号AiSC(i=1〜7)はカウン
タアドレスである。信号ACUP1,ACUPB1は、
インバータI36,I37で構成されるレジスタ(R1)に
カウンタ出力を取り込むための信号で、ACUP1,A
CUPB1がそれぞれ“H”,“L”になると取り込ま
れ、それぞれ“L”,“H”となることでラッチする。
【0018】信号ACUP2,ACUPB2はインバー
タI38,I39で構成されるレジスタ(R2)にカウンタ
出力を取り込むための信号である。信号SKX,SKX
B(K=1,2,X=L,R)はレジスタRK(K=1,2)の出力
をアドレス信号AiSX,AiSBX(X=L,R)として
出力するための信号で、例えば、S1Lが“H”,S1
LBが“L”となると、レジスタ(R1)の出力がAi
SL、AiSBLとして出力される。
【0019】図7に、アドレスカウンタのカウントアッ
プ信号φ0 ,φ0(bar),φi (i=1〜7)を出力する
回路の構成を示す。φ1 はカウントアップパルスPUL
Cで駆動される。φi (i=2〜7)は、そのi番目の
カウンタアドレスAiSCより下位のカウンタアドレス
が全て“H”である場合のみ、カウントアップパルスP
ULCを受けて駆動される。信号φ0 ,φ0(bar)は、シ
リアル読み出し時には読み出し活性化信号REPで、デ
ータ入力時には書き込み活性化信号WESBで、駆動さ
れる。シリアル読み出し信号SREADはシリアル読み
出し時に“H”であり、データ入力信号DLOADはデ
ータ入力時に“H”になる。
【0020】図8は、冗長部選択回路4の具体的な構成
を示している。nチャネルMOSトランジスタQn59〜
Qn72のゲートにはカラムアドレス信号AiSX,Ai
SBX(i=1〜7,X=L,R)が入力される。例えば、
不良カラムアドレスが“00000000”なら、その
1サイクル前のカラムアドレスは“11111110”
であるから、X=Lの冗長部選択回路のヒューズF1 〜
F7 を切断する。“01010101”なら、その1サ
イクル前のカラムアドレスは“01010011”だか
ら、X=Rの冗長部選択回路のヒューズF1 ,F4 ,F
6 ,F9 ,F10,F12,F14を切断する。
【0021】この実施例では、偶数、奇数カラムアドレ
ス同時アクセスでアドレス信号AiSX,AiSBX
(i=1〜7,X=L,R)はカウンタで連続的に発生させ
ているため、不良カラムアドレスの最下位アドレスに対
応した冗長部選択回路の、1サイクル前のカラムアドレ
スに対応するヒューズを切断する。また、この実施例で
は奇数、偶数それぞれのカラム群について2カラムまで
救済できる。
【0022】冗長部選択回路は、信号STABが“H”
で活性化され、不良カラムアドレスの1サイクル前に信
号PULCが“H”となると、冗長カラムアドレス信号
CSKX(K=1,2,X=L,R)が“H”となる。CS1X
又はCS2Xが“H”となると、NOR回路G28とイン
バータI69,或いはNOR回路G29とインバータI70に
よって、冗長部選択信号RECLMXが“H”となる
(X=L,R)。
【0023】図9,図10は、データ入出力バッファ6
の具体的な構成である。入出力パッドIOPADi(i
=0〜7)に入力されたデータは、書き込み活性化信号
WESBが、“L”で受け付けられる。この時、アドレ
スデータラッチパルスALPが“H”であれば、入力デ
ータはアドレスカウンタの初期値DINi(i=0〜
7)となる。
【0024】データラッチパルスDLT1が“H”で、
最下位カラムアドレスA0SBが“H”なら、偶数アド
レスに対応するカラムのデータとしてラッチされる。デ
ータラッチパルスDLT1が“H”で、最下位カラムア
ドレスA0Sが“H”なら、奇数アドレスに対応するカ
ラムのデータとしてラッチされる。データラッチパルス
DLT2が“H”となって、インバータI90,I91,I
95,I96で構成されるレジスタにデータが転送されて、
データ入力信号DLOAD,DLOADBがそれぞれ
“H”,“L”であれば、データはデータ入出力バッフ
ァ6から出力される。
【0025】信号CENB1Bが“L”となってIOi
X、IOiXB(i=0〜7,X=L,R)のイコライズは
解除される。データ入出力線IOiX,IOiXBにデ
ータラッチ回路2から出力された信号は、nチャネルM
OSトランジスタQn96,Qn97,Qn101,Qn102とp
チャネルMOSトランジスタQp62,Qp63,Qp64,
Qp67,Qp68,Qp69で構成されるカレントミラー回
路で、信号CENB2Bが“L”となってセンスされ
る。
【0026】センスされたデータは、信号CENB3が
“H”となってインバータI100 ,I101 ,I104 ,I
105 で構成されるレジスタにラッチされ、信号CENB
4が“H”となってインバータI72,I73,I75,I76
で構成されるレジスタに転送される。このデータは、最
下位カラムアドレス信号A0S,A0SBによって選択
的に、出力回路活性化信号OES,OESBがそれぞれ
“H”,“L”となって、入出力パッドIOPADi
(i=0〜7)に出力される。
【0027】次に、このように構成された半導体記憶装
置の動作を、図11〜図14に従って説明する。図1
1,図12は読み出し動作のタイミングチャート、図1
3,図14はデータ入力動作のタイミングチャートを示
している。それぞれ、実線は先頭アドレスが奇数カラム
の場合、点線は先頭アドレスが偶数カラムの場合であ
る。
【0028】読み出し動作ではまず、信号WESBの立
ち上がりで外部端子IOPADi(i=0〜7)のデー
タを、先頭カラムアドレスとして取り込む。アドレスA
1SC〜A7SC用のアドレスカウンタでは、反転デー
タが初期設定される。この後、カウントアップパルスP
ULCが出力され、カウンタアドレス反転信号CNTI
NVがパルス出力されることにより、A1SC〜A7S
C用のアドレスカウンタでは、先頭カラムアドレスの1
サイクル前のアドレスに設定される。
【0029】次に、信号ACUP1,ACUP1Bがそ
れぞれ“H”,“L”となり、レジスタ(R1)にアド
レスが取り込まれる。この時、先頭アドレスが奇数の場
合、パルス信号PULCが出力されアドレスカウンタは
カウントアップされる。さらに、信号ACUP2,AC
UP2Bがそれぞれ“H”,“L”となって、レジスタ
(R2)にアドレスが取り込まれる。レジスタ(R2)
に取り込まれるアドレスは、先頭アドレスが奇数の場合
カウントアップされたアドレス、先頭アドレスが偶数の
場合レジスタ(R1)と同じアドレスである。
【0030】この後の動作では、パルス信号PULCが
出力される時、信号ACUP1/ACUP1BかACU
P2/ACUP2Bは交互に必ず出力される。また、パ
ルス信号PULCの立ち上がり下がりに合わせて、信号
SKX,SKXB(K=1,2,X=L,R)は図のように出力
される。
【0031】以上述べた動作により、AiSX,AiS
BX(i=1〜7,X=L,R)には、先頭アドレスの1サ
イクル前のアドレス信号が出力される。よって、次にパ
ルス信号PULCが出力され“H”になった時点で、先
頭アドレスカラムが不良カラムの場合、冗長カラムアド
レスCSKXが“H”となり冗長部選択信号RECLM
Xが“H”となる。
【0032】次に、データラッチ回路2のデータを外部
端子IOPADiに出力するサイクルとなる。パルス信
号PULCが出力され、アドレス信号が出力される。こ
のアドレスが不良カラムの場合は、信号CSKX,RE
CLMXは先に出力されている。信号CENB1B,C
ENB2Bが“L”となり、カラム活性化信号CENB
が“H”となって、信号CENB3が“H”となると、
インバータI100 ,I101 ,I104 ,I105 で構成され
るレジスタに、データラッチ回路2のデータはラッチさ
れる。
【0033】このラッチされたデータは、読み出し活性
化信号REPが“H”となり、信号CENB4が“H”
となり、出力回路活性化信号OES,OESBがそれぞ
れ“H”,“L”となると、外部出力端子IOPADi
に出力される。信号REPに同期して、最下位カラムア
ドレスA0S,A0SBは切り替わる。また、信号RE
Pの奇数番目の立ち上がりに同期して、CENB4にパ
ルスが出力され、内部での1サイクルは起動される。
【0034】図13,図14のデータ入力動作について
説明する。データ入力動作に先だって、カラムアドレス
が1サイクル前のアドレスに設定される部分は、データ
読み出し動作と同じである。先頭アドレスを取り込んだ
後、データ入力信号DLOAD,DLOADBが
“H”,“L”となる。信号WESBに同期して、最下
位カラムアドレスA0S,A0SBは切り替わり、デー
タラッチパルスDLT1が出力される。最下位カラムア
ドレスとパルスDLT1によって、IOPADiからの
入力データは偶数/奇数カラムのデータとして取り込ま
れ、偶数番目のパルスDLT1に同期してパルスDLT
2が出力され、データ入出力線IOiX,IOiXB
(i=0〜7,X=L,R)に書き込みデータが出力され
る。
【0035】また、パルスDLT2に同期してパルスP
ULCが出力され、カラムアドレスは切り替わり、次の
パルスDLT2が出力されるまでに、カラム活性化信号
CENBが出力される。信号DLOADが“H”になっ
た後の偶数番目のWESBパルスの立ち上がりで、内部
の1サイクルは起動される。
【0036】アドレス信号AiSX,AiSBXはサイ
クルの初めで出力され、冗長カラムアドレス信号CSK
Xはこれより早く出力される。冗長カラムアドレス信号
CSKXは、遅延時間を持たせることで、サイクルの初
めにアドレス信号AiSX,AiSBXと同時に出力さ
せることも容易に可能である。
【0037】例えば、先頭カラムアドレスが奇数カラム
の場合あるいは奇数個のデータ入力の場合、奇数番目の
WESBパルスの後、データ入力をしない方のカラム選
択中止信号CXSTOPB(X=L,R)が“L”となって
最後のデータ入力サイクルを起動する。図13,図14
では、先頭カラムアドレスに関わらず奇数個のデータ入
力がされる場合を示しているが、データ入力が偶数個の
場合は通常の内部1サイクルが起動されて最後のサイク
ルが終了する。
【0038】図15は、カラムアドレスAiSX,Ai
SBX(i=1〜7,X=L,R)のカウントアップのされ
方を示している。図11,図12,図13,図14と同
様、先頭アドレスが偶数の場合を点線で、奇数の場合を
実線で示している。カラムアドレスは図15の上部から
下部方向へ、点線或いは実線で結ばれているアドレスが
組となって発生される。
【0039】このように本実施例では、データ読み出し
/データ入力時に、1サイクル前のアドレスで次サイク
ルのアドレスが冗長部に置き換えをしたカラムか否かを
検出するため、1サイクルを短縮することができ、高速
にデータ入出力が行える半導体記憶装置を得ることがで
きる。
【0040】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではない。実施例では、アドレス記憶回路におい
て不良アドレスと一致するアドレス信号が出力されるサ
イクルより1サイクル前のアドレスを記憶したが、必ず
しも1サイクル前に限らず、nサイクル前のアドレスを
記憶するようにすればよい。また、アドレス信号発生回
路は必ずしも内部に備えられている必要はなく、外部か
らアドレス信号を入力するようにしてもよい。また、メ
モリセルアレイとしてはDRAM,SRAM,EEPR
OM、その他の各種の半導体メモリに適用できる。その
他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実
施することができる。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、予
めnサイクル後のアドレス信号が不良アドレスと一致す
るか否かを検出しておき、その検出情報(救済情報)を
nサイクル後にアドレス信号に遅れることなく出力する
ことにより、アクセス時間を遅くすることなく不良メモ
リセルを救済することができ、高速にデータ入出力を行
い得る半導体記憶装置を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係わる半導体記憶装置の概
略構成を示すブロック図。
【図2】実施例における偶数カラムのデータラッチ回路
とカラム選択回路の具体的構成を示す図。
【図3】実施例における奇数カラムのデータラッチ回路
とカラム選択回路の具体的構成を示す図。
【図4】実施例における冗長カラムが選択されるタイミ
ングを示す図。
【図5】実施例における最下位カラムアドレスを発生さ
せるアドレス信号発生回路の構成を示す図。
【図6】実施例における最下位カラムを除くカラムアド
レスを発生させるアドレス信号発生回路の構成を示す
図。
【図7】実施例におけるアドレスカウンタのカウントア
ップパルスを出力する回路の構成を示す図。
【図8】実施例における冗長部選択回路の構成を示す
図。
【図9】実施例におけるデータ入出力バッファの構成を
示す図。
【図10】実施例におけるデータ入出力バッファの構成
を示す図。
【図11】実施例におけるデータ読み出し動作を示すタ
イミング図。
【図12】実施例におけるデータ読み出し動作を示すタ
イミング図。
【図13】実施例におけるデータ入力動作を示すタイミ
ング図。
【図14】実施例におけるデータ入力動作を示すタイミ
ング図。
【図15】実施例におけるカラムアドレスの発生順序を
示す図。
【符号の説明】
1…メモリセルアレイ 2…データラッチ回路 3…カラム選択回路 4…冗長部選択回路 5…アドレス発生回路 6…データ入出力バッファ 7…外部入出力端子 8…ロウ・デコーダ Qn…nチャネルMOSトランジスタ Qp…pチャネルMOSトランジスタ I…インバータ回路 G…論理回路 D.L.…データラッチ回路 F…ヒューズ

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】メモリセルがマトリクス状に配置されたメ
    モリセルアレイと、前記メモリセルアレイ内の不良メモ
    リセルと置き換え救済するための冗長メモリセルと、予
    め決められた順序のアドレスに従って前記メモリセルを
    アクセスする手段と、前記不良メモリセルのアドレスに
    従ってアクセスするサイクルのnサイクル前のアドレス
    を記憶するアドレス記憶回路と、このアドレス記憶回路
    の記憶内容とアドレス信号を比較し一致しているか否か
    の救済情報を出力する比較回路と、前記救済情報を対応
    するサイクルに出力する手段とを具備してなることを特
    徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】前記アドレス信号を内部で自動的に発生す
    るアドレス信号発生回路と、このアドレス信号発生回路
    の初期アドレスを設定するアドレス設定回路とを備え、 アドレス設定回路は、アクセス先頭アドレスの前記nサ
    イクル前のアドレスを初期アドレスとして設定し、先頭
    アドレスを含む前記nサイクル分の前記救済情報をアク
    セス開始前に検出する手段と、アクセス開始前に検出さ
    れた前記救済情報を対応するサイクルで出力する手段と
    からなることを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装
    置。
  3. 【請求項3】前記救済情報を対応するサイクルに出力す
    る手段は、対応するサイクルでアドレスの切り替わりと
    同時に或いは先に前記救済情報を出力する、ことを特徴
    とする請求項1記載の半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】前記冗長メモリセルは冗長列を構成し、前
    記アドレス記憶回路は不良列のアドレスを記憶する、こ
    とを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】前記冗長メモリセルは冗長行を構成し、前
    記アドレス記憶回路は不良行のアドレスを記憶する、こ
    とを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
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