JP3242451B2 - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents
顕微鏡対物レンズInfo
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
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- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、屈折率分布レンズ特に
半径方向に屈折率が変化するいわゆるラジアル型屈折率
分布レンズを用いた顕微鏡対物レンズに関するものであ
る。
半径方向に屈折率が変化するいわゆるラジアル型屈折率
分布レンズを用いた顕微鏡対物レンズに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡対物レンズは、諸収差が充分に補
正されている必要があるが、同時に収差補正のための自
由度を制限するような条件を満足しなければならない。
例えば、標本と対物レンズの衝突を避けるために、長い
作動距離を有することが必要である。又種々の対物レン
ズを同一のレボルバーに取付けて、切換え使用する必要
上、レンズ系の全長が所定の範囲内に収まる必要があ
る。更に高い解像力を得るためには、開口数が大きくな
ければならない。これらの種々の要件を満足しつつ諸収
差を充分に補正するためには、レンズ枚数の多い極めて
複雑な光学系にならざるを得ず、コストや公差等の面で
大きな問題があった。
正されている必要があるが、同時に収差補正のための自
由度を制限するような条件を満足しなければならない。
例えば、標本と対物レンズの衝突を避けるために、長い
作動距離を有することが必要である。又種々の対物レン
ズを同一のレボルバーに取付けて、切換え使用する必要
上、レンズ系の全長が所定の範囲内に収まる必要があ
る。更に高い解像力を得るためには、開口数が大きくな
ければならない。これらの種々の要件を満足しつつ諸収
差を充分に補正するためには、レンズ枚数の多い極めて
複雑な光学系にならざるを得ず、コストや公差等の面で
大きな問題があった。
【０００３】この問題を解決するために、均質球面系に
比べて収差補正の自由度の大きなラジアル型屈折率分布
レンズを用いることが知られている。
比べて収差補正の自由度の大きなラジアル型屈折率分布
レンズを用いることが知られている。
【０００４】顕微鏡対物レンズにラジアル型屈折率分布
レンズを用いた従来例として、特開昭６２−３１８１６
号公報に記載されたレンズ系がある。しかしこの対物レ
ンズは、ラジアル型屈折率分布レンズを３枚も用いてお
り、コストや公差の点で望ましくない。また光軸方向に
屈折率分布を有するアキシャル型屈折率分布レンズとラ
ジアル型屈折率分布レンズの２枚のレンズで構成した対
物レンズとして特開平３−１８９６０８号公報に記載さ
れたレンズ系が知られている。しかしこの対物レンズ
は、ＮＡが０．１１と小さい。又レンズ系に非球面を用
いることが考えられるが、非球面はレンズ単体でペッツ
バール和や色収差を補正する能力を有せず、したがって
レンズ枚数を大幅に削減するために非球面レンズを用い
ることは有効ではない。
レンズを用いた従来例として、特開昭６２−３１８１６
号公報に記載されたレンズ系がある。しかしこの対物レ
ンズは、ラジアル型屈折率分布レンズを３枚も用いてお
り、コストや公差の点で望ましくない。また光軸方向に
屈折率分布を有するアキシャル型屈折率分布レンズとラ
ジアル型屈折率分布レンズの２枚のレンズで構成した対
物レンズとして特開平３−１８９６０８号公報に記載さ
れたレンズ系が知られている。しかしこの対物レンズ
は、ＮＡが０．１１と小さい。又レンズ系に非球面を用
いることが考えられるが、非球面はレンズ単体でペッツ
バール和や色収差を補正する能力を有せず、したがって
レンズ枚数を大幅に削減するために非球面レンズを用い
ることは有効ではない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ＮＡが０．
２以上と明るく、レンズ枚数が２枚と少ない低コストで
諸収差が良好に補正された顕微鏡対物レンズを提供する
ことを目的としている。
２以上と明るく、レンズ枚数が２枚と少ない低コストで
諸収差が良好に補正された顕微鏡対物レンズを提供する
ことを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の対物レンズは、
２枚のレンズよりなり、２枚のレンズがいずれも下記の
式にて表わされる光軸から半径方向に屈折率分布を有す
るラジアル型屈折率分布レンズであって、物体側から順
に、正の屈折力の第１レンズと正の屈折力の第２レンズ
とよりなり、ＮＡが０．２以上となるように以下の条件
（１）を満足することを特徴としている。 Ｎ（ｒ）＝Ｎ00＋Ｎ10ｒ2＋Ｎ20ｒ4＋・・・ （１） φ1／φ2＞５．０ ここでｒは光軸から半径方向の距離、Ｎ00は光軸上の屈
折率、Ｎ10，Ｎ20，・・・はそれぞれ２次、４次、・・
・の係数、φ1，φ2 は夫々第１レンズと第２レンズの
屈折力である。
２枚のレンズよりなり、２枚のレンズがいずれも下記の
式にて表わされる光軸から半径方向に屈折率分布を有す
るラジアル型屈折率分布レンズであって、物体側から順
に、正の屈折力の第１レンズと正の屈折力の第２レンズ
とよりなり、ＮＡが０．２以上となるように以下の条件
（１）を満足することを特徴としている。 Ｎ（ｒ）＝Ｎ00＋Ｎ10ｒ2＋Ｎ20ｒ4＋・・・ （１） φ1／φ2＞５．０ ここでｒは光軸から半径方向の距離、Ｎ00は光軸上の屈
折率、Ｎ10，Ｎ20，・・・はそれぞれ２次、４次、・・
・の係数、φ1，φ2 は夫々第１レンズと第２レンズの
屈折力である。
【０００７】顕微鏡対物レンズは、作動距離やＮＡ等の
様々な要件を満たしながら諸収差を充分に補正する必要
があるため、どうしてもレンズの枚数が多くなり複雑な
光学系にならざるを得ず、コストや公差等の問題があ
る。そこでレンズ枚数が２枚で上記のような要件を満足
する顕微鏡対物レンズを構成することを考えた。しかし
均質レンズ２枚では、諸収差を充分に補正することは困
難で、特に対物レンズの結像性能を決定する上で重要な
ペッツバール和と色収差とを良好に補正することは不可
能である。そこで光軸から半径方向に屈折率分布を有す
るラジアル型屈折率分布レンズを用いることを考えた。
ラジアル型屈折率分布レンズは、媒質に屈折力を持つの
でレンズ単体でペッツバール和と色収差の補正が可能で
ある等、均質レンズが持たない収差補正の自由度を有す
る。
様々な要件を満たしながら諸収差を充分に補正する必要
があるため、どうしてもレンズの枚数が多くなり複雑な
光学系にならざるを得ず、コストや公差等の問題があ
る。そこでレンズ枚数が２枚で上記のような要件を満足
する顕微鏡対物レンズを構成することを考えた。しかし
均質レンズ２枚では、諸収差を充分に補正することは困
難で、特に対物レンズの結像性能を決定する上で重要な
ペッツバール和と色収差とを良好に補正することは不可
能である。そこで光軸から半径方向に屈折率分布を有す
るラジアル型屈折率分布レンズを用いることを考えた。
ラジアル型屈折率分布レンズは、媒質に屈折力を持つの
でレンズ単体でペッツバール和と色収差の補正が可能で
ある等、均質レンズが持たない収差補正の自由度を有す
る。
【０００８】次にラジアル型屈折率分布レンズを用いて
の顕微鏡対物レンズにおける具体的な収差補正方法を述
べる。
の顕微鏡対物レンズにおける具体的な収差補正方法を述
べる。
【０００９】本発明で目的としている、物体側から順
に、正の屈折力の第１レンズと正の屈折力の第２レンズ
とよりなり、ＮＡが０．２以上の顕微鏡対物レンズを得
るためには、特に、第１レンズで物点からの発散光束を
収束させる必要があり、そのため第２レンズに比べて第
１レンズには強い正の屈折力を持たせる必要がある。そ
のためには本発明のレンズ系において、次の条件（１）
を満足することが望ましい。 （１） φ1 ／φ2 ＞５．０ ただしφ1 ，φ2 は夫々第１レンズと第２レンズの屈折
力である。
に、正の屈折力の第１レンズと正の屈折力の第２レンズ
とよりなり、ＮＡが０．２以上の顕微鏡対物レンズを得
るためには、特に、第１レンズで物点からの発散光束を
収束させる必要があり、そのため第２レンズに比べて第
１レンズには強い正の屈折力を持たせる必要がある。そ
のためには本発明のレンズ系において、次の条件（１）
を満足することが望ましい。 （１） φ1 ／φ2 ＞５．０ ただしφ1 ，φ2 は夫々第１レンズと第２レンズの屈折
力である。
【００１０】本発明のレンズ系が条件（１）を満足すれ
ば、物点からの光束を第１レンズで十分に収束すること
が可能になる。もしも条件（１）を満足しないと第１レ
ンズの屈折力が弱くなり、物点からの発束光束を十分に
収束することが難しくなり、ＮＡを大きくすることが出
来なくなり好ましくない。
ば、物点からの光束を第１レンズで十分に収束すること
が可能になる。もしも条件（１）を満足しないと第１レ
ンズの屈折力が弱くなり、物点からの発束光束を十分に
収束することが難しくなり、ＮＡを大きくすることが出
来なくなり好ましくない。
【００１１】本発明のレンズ系において、このように第
１レンズの屈折力が大になると第２レンズに比較して第
１レンズで発生する収差量が大になる傾向がある。その
ため正の屈折力の第１レンズに用いたラジアル型屈折率
分布レンズでペッツバール和と色収差を補正するように
する。
１レンズの屈折力が大になると第２レンズに比較して第
１レンズで発生する収差量が大になる傾向がある。その
ため正の屈折力の第１レンズに用いたラジアル型屈折率
分布レンズでペッツバール和と色収差を補正するように
する。
【００１２】ラジアル型屈折率分布レンズのペッツバー
ル和ＰＳは、次の式で表わされることが知られている。 （ａ） ＰＳ＝φS ／Ｎ00＋φM ／Ｎ00 2 ただしφS ，φM は夫々ラジアル型屈折率分布レンズの
面および媒質の屈折力である。尚φM は次の式（ｂ）で
近似される。 （ｂ） φM ＝−２Ｎ10ｄ ただしｄはラジアル型屈折率分布レンズの厚さである。
ル和ＰＳは、次の式で表わされることが知られている。 （ａ） ＰＳ＝φS ／Ｎ00＋φM ／Ｎ00 2 ただしφS ，φM は夫々ラジアル型屈折率分布レンズの
面および媒質の屈折力である。尚φM は次の式（ｂ）で
近似される。 （ｂ） φM ＝−２Ｎ10ｄ ただしｄはラジアル型屈折率分布レンズの厚さである。
【００１３】上記の式（ａ）において、媒質のペッツバ
ール和を表わす第２項の分母に２乗が掛かっているた
め、同じ屈折力の均質レンズと比較してラジアル型屈折
率分布レンズは、ペッツバール和の値を小さくすること
が可能である。
ール和を表わす第２項の分母に２乗が掛かっているた
め、同じ屈折力の均質レンズと比較してラジアル型屈折
率分布レンズは、ペッツバール和の値を小さくすること
が可能である。
【００１４】本発明のレンズ系においては、前述のよう
に第１レンズを強い正の屈折力を持つようにすることが
好ましく、そのためにペッツバール和が正の方向に大き
く発生する傾向になる。そこで本発明のレンズ系におい
て、物体側のレンズである第１レンズの媒質に正の屈折
力を持たせるようにすると、このレンズで発生している
ペッツバール和を補正することが可能になる。
に第１レンズを強い正の屈折力を持つようにすることが
好ましく、そのためにペッツバール和が正の方向に大き
く発生する傾向になる。そこで本発明のレンズ系におい
て、物体側のレンズである第１レンズの媒質に正の屈折
力を持たせるようにすると、このレンズで発生している
ペッツバール和を補正することが可能になる。
【００１５】又式（ｂ）より、ラジアル型屈折率分布レ
ンズの媒質に正の屈折力を持たせるには、次の条件
（２）を満足することが望ましい。 （２） Ｎ10＜０ 上記のように、本発明のレンズ系において、物体側のラ
ジアル型屈折率分布レンズが条件（２）を満足すれば、
レンズの媒質で正の屈折力を有し、このレンズで発生し
ているペッツバール和を、同じ屈折力の均質レンズと比
べて小さくすることが可能である。もしこのラジアル型
屈折率分布レンズが条件（２）を満足しないと、媒質の
屈折力が負の値になり、このレンズで発生するペッツバ
ール和を助長してしまい好ましくない。
ンズの媒質に正の屈折力を持たせるには、次の条件
（２）を満足することが望ましい。 （２） Ｎ10＜０ 上記のように、本発明のレンズ系において、物体側のラ
ジアル型屈折率分布レンズが条件（２）を満足すれば、
レンズの媒質で正の屈折力を有し、このレンズで発生し
ているペッツバール和を、同じ屈折力の均質レンズと比
べて小さくすることが可能である。もしこのラジアル型
屈折率分布レンズが条件（２）を満足しないと、媒質の
屈折力が負の値になり、このレンズで発生するペッツバ
ール和を助長してしまい好ましくない。
【００１６】次に本発明のレンズ系において第１レンズ
での軸上色収差を次のようにすれば補正出来る。
での軸上色収差を次のようにすれば補正出来る。
【００１７】ラジアル型屈折率分布レンズの軸上色収差
ＰＡＣは、次のように与えられることが知られている。 （ｃ） ＰＡＣ＝Ｋ（φ Ｓ ／Ｖ ００ ＋φ Ｍ ／Ｖ １０ ） ここでＫは光線高及び最終近軸光線角度に依存する係
数、Ｖ００，Ｖ１０は夫々下記の式にて表わされる定数
である。 Ｖ００＝（Ｎ００ｄ−１）／（Ｎ００Ｆ−Ｎ００Ｃ） Ｖ１０＝Ｎ１０ｄ／（Ｎ１０Ｆ−Ｎ１０Ｃ） ただしＮ００ｄ，Ｎ００Ｆ，Ｎ００Ｃは夫々ｄ線，Ｆ
線，Ｃ線に対する光軸上の屈折率、Ｎ１０ｄ，
Ｎ１０Ｆ，Ｎ１０Ｃは夫々ｄ線，Ｆ線，Ｃ線に対する屈
折率分布係数Ｎ１０を表わす。
ＰＡＣは、次のように与えられることが知られている。 （ｃ） ＰＡＣ＝Ｋ（φ Ｓ ／Ｖ ００ ＋φ Ｍ ／Ｖ １０ ） ここでＫは光線高及び最終近軸光線角度に依存する係
数、Ｖ００，Ｖ１０は夫々下記の式にて表わされる定数
である。 Ｖ００＝（Ｎ００ｄ−１）／（Ｎ００Ｆ−Ｎ００Ｃ） Ｖ１０＝Ｎ１０ｄ／（Ｎ１０Ｆ−Ｎ１０Ｃ） ただしＮ００ｄ，Ｎ００Ｆ，Ｎ００Ｃは夫々ｄ線，Ｆ
線，Ｃ線に対する光軸上の屈折率、Ｎ１０ｄ，
Ｎ１０Ｆ，Ｎ１０Ｃは夫々ｄ線，Ｆ線，Ｃ線に対する屈
折率分布係数Ｎ１０を表わす。
【００１８】式（ｃ）からわかるように、Ｖ10の値を変
化させることによりラジアル型屈折率分布レンズの媒質
で発生する軸上色収差を変化させることが可能である。
化させることによりラジアル型屈折率分布レンズの媒質
で発生する軸上色収差を変化させることが可能である。
【００１９】本発明のレンズ系においては、ペッツバー
ル和の補正のために第１レンズの媒質は正の屈折力を持
つのが好ましいため、式（ｃ）で与えられる軸上色収差
の値を小さくするためには、第１レンズが下記の条件
（３）を満足することが望ましい。 （３） Ｖ00＜Ｖ10 又は Ｖ10＜０ 第１レンズが条件（３）を満足すれば、このレンズで発
生する軸上色収差を同じ屈折力の均質レンズと比較して
小さくすることが出来る。もし条件（３）を満足しなけ
れば第１レンズで発生する軸上色収差を助長するので好
ましくない。以上述べたように、本発明のレンズ系にお
いて、第１レンズを条件（２）、（３）を満足するよう
にすれば、顕微鏡対物レンズの収差補正上特に重要なペ
ッツバール和と軸上色収差を良好に補正することが可能
である。これら収差の補正効果を更に十分に得るために
は、式（ｂ）で与えられる媒質の屈折力φM がある程度
大きな値を持つことが必要である。そのために、本発明
のレンズ系において、第１レンズが次の条件（４）を満
足することが望ましい。 （４） ｜Ｎ10／ｆ2 ｜＞０．１×１０-5 ただしｆは全系の焦点距離である。
ル和の補正のために第１レンズの媒質は正の屈折力を持
つのが好ましいため、式（ｃ）で与えられる軸上色収差
の値を小さくするためには、第１レンズが下記の条件
（３）を満足することが望ましい。 （３） Ｖ00＜Ｖ10 又は Ｖ10＜０ 第１レンズが条件（３）を満足すれば、このレンズで発
生する軸上色収差を同じ屈折力の均質レンズと比較して
小さくすることが出来る。もし条件（３）を満足しなけ
れば第１レンズで発生する軸上色収差を助長するので好
ましくない。以上述べたように、本発明のレンズ系にお
いて、第１レンズを条件（２）、（３）を満足するよう
にすれば、顕微鏡対物レンズの収差補正上特に重要なペ
ッツバール和と軸上色収差を良好に補正することが可能
である。これら収差の補正効果を更に十分に得るために
は、式（ｂ）で与えられる媒質の屈折力φM がある程度
大きな値を持つことが必要である。そのために、本発明
のレンズ系において、第１レンズが次の条件（４）を満
足することが望ましい。 （４） ｜Ｎ10／ｆ2 ｜＞０．１×１０-5 ただしｆは全系の焦点距離である。
【００２０】本発明のレンズ系において、第１レンズが
前記の条件（４）を満足すれば、媒質の屈折力φM があ
る程度大きな値を持ち、ペッツバール和および軸上色収
差を補正することが可能になる。もし条件（４）を満足
しないと、第１レンズの媒質の屈折力が小さくなり、ペ
ッツバール和および軸上色収差を補正することが出来な
くなる。
前記の条件（４）を満足すれば、媒質の屈折力φM があ
る程度大きな値を持ち、ペッツバール和および軸上色収
差を補正することが可能になる。もし条件（４）を満足
しないと、第１レンズの媒質の屈折力が小さくなり、ペ
ッツバール和および軸上色収差を補正することが出来な
くなる。
【００２１】屈折率分布レンズは、素材の作製上Ｎ １０
を大きくするのにはある程度の限界がある。この点を考
慮すると、本発明のレンズ系において、ペッツバール和
および軸上色収差を十分に補正するには、条件（４）に
加えてラジアル型屈折率分布レンズの厚さｄを下記の条
件（５）を満足するようにすることが望ましい。 （５） ｄ／ｆ＞０．１ 第１レンズの厚さｄが条件（５）を満足すれば、媒質で
十分な屈折力を持つことが可能になり、ペッツバール和
および軸上色収差を十分補正することが出来なくなる。
を大きくするのにはある程度の限界がある。この点を考
慮すると、本発明のレンズ系において、ペッツバール和
および軸上色収差を十分に補正するには、条件（４）に
加えてラジアル型屈折率分布レンズの厚さｄを下記の条
件（５）を満足するようにすることが望ましい。 （５） ｄ／ｆ＞０．１ 第１レンズの厚さｄが条件（５）を満足すれば、媒質で
十分な屈折力を持つことが可能になり、ペッツバール和
および軸上色収差を十分補正することが出来なくなる。
【００２２】以上述べた条件（２）乃至条件（５）はい
ずれも第１レンズに対して設定した条件であるが、第２
レンズもこれら条件（２）乃至条件（５）を満足すれば
一層望ましい。
ずれも第１レンズに対して設定した条件であるが、第２
レンズもこれら条件（２）乃至条件（５）を満足すれば
一層望ましい。
【００２３】更に本発明の対物レンズは、ＮＡが０．２
以上と大きいので、特に正の屈折力が大である第１レン
ズで発生する負の球面収差が大になる傾向にある。その
ために第１レンズのラジアル型屈折率分布レンズの媒質
で正の球面収差を発生させることによって上記負の球面
収差を補正することが好ましい。このようにラジアル型
屈折率分布レンズの媒質で正の球面収差を発生させるた
めには、この第１レンズのラジアル型屈折率分布レンズ
が下記の条件（６）を満足することが望ましい。 （６） Ｎ２０＞０ ラジアル型屈折率分布レンズが上記条件（６）を満足す
れば、その媒質で正の球面収差を発生させることが可能
であり、第１レンズで発生する負の球面収差を良好に補
正することが可能になる。もし条件（６）を満足しない
とラジアル型屈折率分布レンズの媒質で負の球面収差を
発生させることになり好ましくない。前述のように、本
発明のレンズ系においては、第１レンズでの収差補正、
特にペッツバール和、軸上色収差、そして球面収差の補
正が非常に重要である。そこでこれら収差を同時に補正
することを考えると、面と媒質との屈折力比や第１レン
ズの面形状等を十分に考慮する必要がある。特に、ペッ
ツバール和と軸上色収差の補正は、面と媒質の屈折力の
関係に大きく依存するため、それらを十分に考慮する必
要がある。
以上と大きいので、特に正の屈折力が大である第１レン
ズで発生する負の球面収差が大になる傾向にある。その
ために第１レンズのラジアル型屈折率分布レンズの媒質
で正の球面収差を発生させることによって上記負の球面
収差を補正することが好ましい。このようにラジアル型
屈折率分布レンズの媒質で正の球面収差を発生させるた
めには、この第１レンズのラジアル型屈折率分布レンズ
が下記の条件（６）を満足することが望ましい。 （６） Ｎ２０＞０ ラジアル型屈折率分布レンズが上記条件（６）を満足す
れば、その媒質で正の球面収差を発生させることが可能
であり、第１レンズで発生する負の球面収差を良好に補
正することが可能になる。もし条件（６）を満足しない
とラジアル型屈折率分布レンズの媒質で負の球面収差を
発生させることになり好ましくない。前述のように、本
発明のレンズ系においては、第１レンズでの収差補正、
特にペッツバール和、軸上色収差、そして球面収差の補
正が非常に重要である。そこでこれら収差を同時に補正
することを考えると、面と媒質との屈折力比や第１レン
ズの面形状等を十分に考慮する必要がある。特に、ペッ
ツバール和と軸上色収差の補正は、面と媒質の屈折力の
関係に大きく依存するため、それらを十分に考慮する必
要がある。
【００２４】ここで面の屈折力と媒質の屈折力との和を
φ（＝φS ＋φM ）、媒質の屈折力比をａ（＝φM ／
φ）とし、ペッツバール和ＰＳと軸上色収差ＰＡＣと媒
質の屈折力比ａとの関係を式（ａ）および式（ｃ）から
求めると次の式（ａ’）および（ｃ’）のように表わせ
る。 （ａ’） ＰＳ＝φ｛（１−Ｎ00）ａ＋Ｎ00｝／Ｎ00 2 （ｃ’） ＰＡＣ＝φ｛（Ｖ00−Ｖ10）ａ＋Ｖ10｝／Ｖ00Ｖ10 上記の式（ａ’）および式（ｃ’）におけるＰＳおよび
ＰＡＣとａとの関係を図示すると図７の通りである。尚
この図では、縦軸にＰＳおよびＰＡＣを又横軸にａをと
った。
φ（＝φS ＋φM ）、媒質の屈折力比をａ（＝φM ／
φ）とし、ペッツバール和ＰＳと軸上色収差ＰＡＣと媒
質の屈折力比ａとの関係を式（ａ）および式（ｃ）から
求めると次の式（ａ’）および（ｃ’）のように表わせ
る。 （ａ’） ＰＳ＝φ｛（１−Ｎ00）ａ＋Ｎ00｝／Ｎ00 2 （ｃ’） ＰＡＣ＝φ｛（Ｖ00−Ｖ10）ａ＋Ｖ10｝／Ｖ00Ｖ10 上記の式（ａ’）および式（ｃ’）におけるＰＳおよび
ＰＡＣとａとの関係を図示すると図７の通りである。尚
この図では、縦軸にＰＳおよびＰＡＣを又横軸にａをと
った。
【００２５】この図７および式（ａ’）よりＰＳ＝０と
なるときの媒質の屈折力比ａPS［＝Ｎ00／（Ｎ00−
１）］の存在範囲は、ラジアル型屈折率分布レンズの素
材特性より１．４＜Ｎ00＜２程度であり、これより２＜
ａPS＜３．５程度であると考えられる。このことから、
ラジアル型屈折率分布レンズで、ペッツバール和と軸上
色収差を同時に補正するには、ＰＡＣ＝０となる時の媒
質の屈折力比ａPAC ［＝Ｖ10／（Ｖ10−Ｖ00）］の存在
範囲が０．５＜ａPAC ＜５程度であることが好ましい。
ラジアル型屈折率分布レンズの素材特性から２０＜Ｖ00
＜９０程度であり、また前記の条件（３）を満足させる
とすると、ラジアル型屈折率分布レンズが前記の０．５
＜ａPAC ＜５の存在範囲を満足するためには、次の条件
（７）を満足することが望ましい。 （７） −０．０５＜１／Ｖ10＜１／Ｖ00 ラジアル型屈折率分布レンズのＶ10が上記の条件（７）
を満足すれば、ａPSおよびａPAC の存在範囲をほぼ一致
させることが可能になり、ペッツバール和を補正すると
同時に軸上色収差を補正することが可能になる。もしこ
の条件を満足しなければ、ペッツバール和と同時に軸上
色収差を良好に補正することができなくなる。
なるときの媒質の屈折力比ａPS［＝Ｎ00／（Ｎ00−
１）］の存在範囲は、ラジアル型屈折率分布レンズの素
材特性より１．４＜Ｎ00＜２程度であり、これより２＜
ａPS＜３．５程度であると考えられる。このことから、
ラジアル型屈折率分布レンズで、ペッツバール和と軸上
色収差を同時に補正するには、ＰＡＣ＝０となる時の媒
質の屈折力比ａPAC ［＝Ｖ10／（Ｖ10−Ｖ00）］の存在
範囲が０．５＜ａPAC ＜５程度であることが好ましい。
ラジアル型屈折率分布レンズの素材特性から２０＜Ｖ00
＜９０程度であり、また前記の条件（３）を満足させる
とすると、ラジアル型屈折率分布レンズが前記の０．５
＜ａPAC ＜５の存在範囲を満足するためには、次の条件
（７）を満足することが望ましい。 （７） −０．０５＜１／Ｖ10＜１／Ｖ00 ラジアル型屈折率分布レンズのＶ10が上記の条件（７）
を満足すれば、ａPSおよびａPAC の存在範囲をほぼ一致
させることが可能になり、ペッツバール和を補正すると
同時に軸上色収差を補正することが可能になる。もしこ
の条件を満足しなければ、ペッツバール和と同時に軸上
色収差を良好に補正することができなくなる。
【００２６】上記のように、ラジアル型屈折率分布レン
ズペッツバール和と軸上色収差とを同時に補正するため
には、条件（７）を満足することが望ましいが、この時
さらに媒質の屈折力比ａの値を考えると、ａ＞１となる
ことが望ましい。更に第１レンズは、φ Ｓ ＋φ Ｍ ＞０で
あることから、本発明のレンズ系において、第１レンズ
が次の条件（８）を満足することが一層好ましい。 （８） φＳ＜０ つまり、本発明のレンズ系において、ペッツバール和と
軸上色収差とを補正する上で、第１レンズの面の形状
は、凹レンズの形状であることが望ましい。もしも、第
１レンズの面の形状が凸レンズの形状であると、つまり
φＳ＞０であると、０＜ａ＜１となり、ペッツバール和
と軸上色収差とを十分に補正できなくなり好ましくな
い。
ズペッツバール和と軸上色収差とを同時に補正するため
には、条件（７）を満足することが望ましいが、この時
さらに媒質の屈折力比ａの値を考えると、ａ＞１となる
ことが望ましい。更に第１レンズは、φ Ｓ ＋φ Ｍ ＞０で
あることから、本発明のレンズ系において、第１レンズ
が次の条件（８）を満足することが一層好ましい。 （８） φＳ＜０ つまり、本発明のレンズ系において、ペッツバール和と
軸上色収差とを補正する上で、第１レンズの面の形状
は、凹レンズの形状であることが望ましい。もしも、第
１レンズの面の形状が凸レンズの形状であると、つまり
φＳ＞０であると、０＜ａ＜１となり、ペッツバール和
と軸上色収差とを十分に補正できなくなり好ましくな
い。
【００２７】また、球面収差の補正を考えた場合、第１
レンズで発生する負の球面収差を極力小さくするには、
第１レンズは、凹面を物体側に向けたメニスカス形状と
するのが望ましい。このような形状であれば、第１レン
ズへ入射するマージナル光線の屈折角を小さく出来、負
の球面収差の発生量を小さくすることが可能である。も
しも第１レンズが、凸面を物体側に向けた形状であれ
ば、負の球面収差を良好に補正することが難しくなる。
レンズで発生する負の球面収差を極力小さくするには、
第１レンズは、凹面を物体側に向けたメニスカス形状と
するのが望ましい。このような形状であれば、第１レン
ズへ入射するマージナル光線の屈折角を小さく出来、負
の球面収差の発生量を小さくすることが可能である。も
しも第１レンズが、凸面を物体側に向けた形状であれ
ば、負の球面収差を良好に補正することが難しくなる。
【００２８】以上のように、本発明のレンズ系において
ペッツバール和、軸上色収差および球面収差を同時に良
好に補正することを考えた場合、第１レンズは、凹面を
物体側に向けた負のメニスカスレンズの形状とすること
が望ましい。
ペッツバール和、軸上色収差および球面収差を同時に良
好に補正することを考えた場合、第１レンズは、凹面を
物体側に向けた負のメニスカスレンズの形状とすること
が望ましい。
【００２９】更に本発明のレンズ系において、倍率の色
収差、歪曲収差等の軸外収差をも良好に補正することを
考えると、正の屈折力を有する第２レンズを入射瞳を無
限遠とした時の軸外主光線の光軸と交わる点を境にし
て、この点よりも像側に配置することが好ましい。つま
り、第１レンズおよび第２レンズを上記の交点を境にし
て対称に配置することにより、ペッツバール和、軸上色
収差、球面収差だけでなく倍率の色収差、歪曲収差等の
軸外収差も良好に補正することが可能になる。
収差、歪曲収差等の軸外収差をも良好に補正することを
考えると、正の屈折力を有する第２レンズを入射瞳を無
限遠とした時の軸外主光線の光軸と交わる点を境にし
て、この点よりも像側に配置することが好ましい。つま
り、第１レンズおよび第２レンズを上記の交点を境にし
て対称に配置することにより、ペッツバール和、軸上色
収差、球面収差だけでなく倍率の色収差、歪曲収差等の
軸外収差も良好に補正することが可能になる。
【００３０】
【実施例】次に本発明の顕微鏡対物レンズの各実施例を
示す。 実施例１ ｆ＝16.44mm ，ＮＡ＝0.299 ，ＷＤ＝8.24mm，β＝10× ｒ1 ＝-15.1794 ｄ1 ＝10.5682 （屈折率分布
型レンズ１） ｒ2 ＝-96.4600 ｄ2 ＝17.7068 ｒ3 ＝-13.0488 ｄ3 ＝6.3648 （屈折率分布
型レンズ２） ｒ4 ＝-22.0762 φ1 ／φ2 ＝10.86 ｜Ｎ10／ｆ2 ｜＝2.01×10-5（第１レンズ）、0.67×10
-5（第２レンズ） ｄ／ｆ＝0.6428（第１レンズ）、0.3872( 第２レンズ） Ｖ00＝49.31 （第１レンズ）、49.31 （第２レンズ） Ｖ10＝172.49（第１レンズ）、96.56 （第２レンズ） φS ＝-0.039（第１レンズ）、-0.016（第２レンズ） １／Ｖ10＝0.0058（第１レンズ），0.0104（第２レン
ズ） １／Ｖ00＝0.0203（第１レンズ），0.0203（第２レン
ズ）
示す。 実施例１ ｆ＝16.44mm ，ＮＡ＝0.299 ，ＷＤ＝8.24mm，β＝10× ｒ1 ＝-15.1794 ｄ1 ＝10.5682 （屈折率分布
型レンズ１） ｒ2 ＝-96.4600 ｄ2 ＝17.7068 ｒ3 ＝-13.0488 ｄ3 ＝6.3648 （屈折率分布
型レンズ２） ｒ4 ＝-22.0762 φ1 ／φ2 ＝10.86 ｜Ｎ10／ｆ2 ｜＝2.01×10-5（第１レンズ）、0.67×10
-5（第２レンズ） ｄ／ｆ＝0.6428（第１レンズ）、0.3872( 第２レンズ） Ｖ00＝49.31 （第１レンズ）、49.31 （第２レンズ） Ｖ10＝172.49（第１レンズ）、96.56 （第２レンズ） φS ＝-0.039（第１レンズ）、-0.016（第２レンズ） １／Ｖ10＝0.0058（第１レンズ），0.0104（第２レン
ズ） １／Ｖ00＝0.0203（第１レンズ），0.0203（第２レン
ズ）
【００３１】実施例２ ｆ＝8.82mm，ＮＡ＝0.487 ，ＷＤ＝3.04mm，β＝-20 × ｒ1 ＝-6.2632 ｄ1 ＝7.8328 （屈折率分布
型レンズ１） ｒ2 ＝-31.3844 ｄ2 ＝14.0511 ｒ3 ＝-110.0147 ｄ3 ＝3.6105 （屈折率分布
型レンズ２） ｒ4 ＝91.0789 φ1 ／φ2 ＝8.0 ｜Ｎ10／ｆ2 ｜＝16.52 ×10-5（第１レンズ）、5.25×
10-5（第２レンズ） ｄ／ｆ＝0.8881（第１レンズ）、0.4094( 第２レンズ） Ｖ00＝49.31 （第１レンズ）、57.33 （第２レンズ） Ｖ10＝172.34（第１レンズ）、155.19（第２レンズ） φS ＝-0.082（第１レンズ）、-0.013（第２レンズ） １／Ｖ10＝0.0058（第１レンズ），0.0064（第２レン
ズ） １／Ｖ00＝0.0203（第１レンズ），0.0174（第２レン
ズ）
型レンズ１） ｒ2 ＝-31.3844 ｄ2 ＝14.0511 ｒ3 ＝-110.0147 ｄ3 ＝3.6105 （屈折率分布
型レンズ２） ｒ4 ＝91.0789 φ1 ／φ2 ＝8.0 ｜Ｎ10／ｆ2 ｜＝16.52 ×10-5（第１レンズ）、5.25×
10-5（第２レンズ） ｄ／ｆ＝0.8881（第１レンズ）、0.4094( 第２レンズ） Ｖ00＝49.31 （第１レンズ）、57.33 （第２レンズ） Ｖ10＝172.34（第１レンズ）、155.19（第２レンズ） φS ＝-0.082（第１レンズ）、-0.013（第２レンズ） １／Ｖ10＝0.0058（第１レンズ），0.0064（第２レン
ズ） １／Ｖ00＝0.0203（第１レンズ），0.0174（第２レン
ズ）
【００３２】実施例３ ｆ＝4.36mm，ＮＡ＝0.700 ，ＷＤ＝1.44mm，β＝40× ｒ1 ＝-4.3845 ｄ1 ＝8.5290 （屈折率分布
型レンズ１） ｒ2 ＝-19.0683 ｄ2 ＝6.7184 ｒ3 ＝16.1966 ｄ3 ＝7.4428 （屈折率分布
型レンズ２） ｒ4 ＝9.8443 屈折率分布型レンズ１ Ｎ00 Ｎ10 Ｎ20 Ｎ30 ｄ線 1.74330 -0.15316 ×10-1 -0.29035 ×10-5 0.35506×10-6 Ｃ線 1.73875 -0.15299 ×10-1 -0.29010 ×10-5 0.35452×10-6 Ｆ線 1.75382 -0.15355 ×10-1 -0.29094 ×10-5 0.35632×10-6 屈折率分布型レンズ２ Ｎ00 Ｎ10 Ｎ20 Ｎ30 ｄ線 1.74330 -0.11779 ×10-2 0.33710 ×10-4 0.26552×10-6 Ｃ線 1.73875 -0.11758 ×10-2 0.33656 ×10-4 0.26511×10-6 Ｆ線 1.75382 -0.11829 ×10-2 0.33835 ×10-4 0.26647×10-6 φ1 ／φ2 ＝59.67 ｜Ｎ10／ｆ2 ｜＝80.57 ×10-5（第１レンズ）、6.20×
10-5（第２レンズ） ｄ／ｆ＝1.9562（第１レンズ）、1.7071( 第２レンズ） Ｖ00＝49.31 （第１レンズ）、49.31 （第２レンズ） Ｖ10＝270.99（第１レンズ）、166.25（第２レンズ） φS ＝-0.098（第１レンズ）、-0.015（第２レンズ） １／Ｖ10＝0.0037（第１レンズ），0.0060（第２レン
ズ） １／Ｖ00＝0.0203（第１レンズ），0.0203（第２レン
ズ） ただしｒ1 ，ｒ2 ，・・・ はレンズ各面の曲率半径、ｄ
1 ，ｄ2 ，・・・ は各レンズの肉厚およびレンズ間隔であ
る。
型レンズ１） ｒ2 ＝-19.0683 ｄ2 ＝6.7184 ｒ3 ＝16.1966 ｄ3 ＝7.4428 （屈折率分布
型レンズ２） ｒ4 ＝9.8443 屈折率分布型レンズ１ Ｎ00 Ｎ10 Ｎ20 Ｎ30 ｄ線 1.74330 -0.15316 ×10-1 -0.29035 ×10-5 0.35506×10-6 Ｃ線 1.73875 -0.15299 ×10-1 -0.29010 ×10-5 0.35452×10-6 Ｆ線 1.75382 -0.15355 ×10-1 -0.29094 ×10-5 0.35632×10-6 屈折率分布型レンズ２ Ｎ00 Ｎ10 Ｎ20 Ｎ30 ｄ線 1.74330 -0.11779 ×10-2 0.33710 ×10-4 0.26552×10-6 Ｃ線 1.73875 -0.11758 ×10-2 0.33656 ×10-4 0.26511×10-6 Ｆ線 1.75382 -0.11829 ×10-2 0.33835 ×10-4 0.26647×10-6 φ1 ／φ2 ＝59.67 ｜Ｎ10／ｆ2 ｜＝80.57 ×10-5（第１レンズ）、6.20×
10-5（第２レンズ） ｄ／ｆ＝1.9562（第１レンズ）、1.7071( 第２レンズ） Ｖ00＝49.31 （第１レンズ）、49.31 （第２レンズ） Ｖ10＝270.99（第１レンズ）、166.25（第２レンズ） φS ＝-0.098（第１レンズ）、-0.015（第２レンズ） １／Ｖ10＝0.0037（第１レンズ），0.0060（第２レン
ズ） １／Ｖ00＝0.0203（第１レンズ），0.0203（第２レン
ズ） ただしｒ1 ，ｒ2 ，・・・ はレンズ各面の曲率半径、ｄ
1 ，ｄ2 ，・・・ は各レンズの肉厚およびレンズ間隔であ
る。
【００３３】実施例１は、図１に示す構成である。つま
り物体側より順に正の屈折力の第１レンズと正の屈折力
の第２レンズとからなり、倍率が１０倍、ＮＡが約０．
３の２枚のレンズからなる顕微鏡対物レンズである。こ
のレンズ系は、第１レンズと第２レンズにラジアル型屈
折率分布レンズを用い条件（１）を満足することにより
ＮＡの大きなレンズ系にすることになった。更に第１レ
ンズと第２レンズが条件（２），（３），（４），
（５）を満足することによりレンズ枚数が２枚にもかか
わらずペッツバール和と軸上色収差を良好に補正するこ
とを可能にしている。更に正の屈折力の第１レンズが条
件（６），（７），（８）を満足し、レンズ形状を物体
側に凹面を向けた負のメニスカス形状としたことによ
り、ペッツバール和、軸上色収差、球面収差を同時に良
好に補正することを可能にした。また正の屈折力の第２
レンズを入射瞳が無限遠の時の軸外主光線１と光軸２と
の交点３を境にして第１レンズと対称に配置して軸外収
差も良好に補正するようにしている。この実施例の収差
状況は図４に示す通りである。
り物体側より順に正の屈折力の第１レンズと正の屈折力
の第２レンズとからなり、倍率が１０倍、ＮＡが約０．
３の２枚のレンズからなる顕微鏡対物レンズである。こ
のレンズ系は、第１レンズと第２レンズにラジアル型屈
折率分布レンズを用い条件（１）を満足することにより
ＮＡの大きなレンズ系にすることになった。更に第１レ
ンズと第２レンズが条件（２），（３），（４），
（５）を満足することによりレンズ枚数が２枚にもかか
わらずペッツバール和と軸上色収差を良好に補正するこ
とを可能にしている。更に正の屈折力の第１レンズが条
件（６），（７），（８）を満足し、レンズ形状を物体
側に凹面を向けた負のメニスカス形状としたことによ
り、ペッツバール和、軸上色収差、球面収差を同時に良
好に補正することを可能にした。また正の屈折力の第２
レンズを入射瞳が無限遠の時の軸外主光線１と光軸２と
の交点３を境にして第１レンズと対称に配置して軸外収
差も良好に補正するようにしている。この実施例の収差
状況は図４に示す通りである。
【００３４】実施例２は、図２に示す通りで、物体側よ
り順に、正の屈折力の第１レンズと正の屈折力の第２レ
ンズとからなり、倍率が２０倍、ＮＡが約０．４９のレ
ンズ枚数が２枚の顕微鏡対物レンズである。このレンズ
系の第１レンズと第２レンズはラジアル型屈折率分布レ
ンズで、条件（１）を満足することによりＮＡの大きい
レンズ系とすることを可能にした。更に第１レンズと第
２レンズは、条件（２）乃至条件（５）を満足し、又正
の屈折力の第１レンズを条件（６）〜（８）を満足する
ようにし又レンズの形状を物体側に凹面を向けた負のメ
ニスカス形状とし、更に正の屈折力の第２レンズを入射
瞳が無限遠の時の軸外主光線１と光軸２とが交わる点３
を境にして第１レンズと対称に配置して、実施例１と同
様の効果が得られるようにしている。この実施例２は、
実施例１と比較して倍率とＮＡが共に大になっているが
諸収差は良好に補正されている。この実施例の収差状況
は、図５に示す通りである。
り順に、正の屈折力の第１レンズと正の屈折力の第２レ
ンズとからなり、倍率が２０倍、ＮＡが約０．４９のレ
ンズ枚数が２枚の顕微鏡対物レンズである。このレンズ
系の第１レンズと第２レンズはラジアル型屈折率分布レ
ンズで、条件（１）を満足することによりＮＡの大きい
レンズ系とすることを可能にした。更に第１レンズと第
２レンズは、条件（２）乃至条件（５）を満足し、又正
の屈折力の第１レンズを条件（６）〜（８）を満足する
ようにし又レンズの形状を物体側に凹面を向けた負のメ
ニスカス形状とし、更に正の屈折力の第２レンズを入射
瞳が無限遠の時の軸外主光線１と光軸２とが交わる点３
を境にして第１レンズと対称に配置して、実施例１と同
様の効果が得られるようにしている。この実施例２は、
実施例１と比較して倍率とＮＡが共に大になっているが
諸収差は良好に補正されている。この実施例の収差状況
は、図５に示す通りである。
【００３５】実施例３は、図３に示す通りであって、物
体側から順に、正の屈折力の第１レンズと正の屈折力の
第２レンズとからなっている。この実施例は、倍率が４
０倍、ＮＡが約７０で、２枚のレンズで構成した顕微鏡
対物レンズである。このレンズ系の第１レンズと第２レ
ンズは、いずれもラジアル型屈折率分布レンズで、条件
（１）を満足することにより、ＮＡの大きなレンズ系に
なっている。更に第１レンズと第２レンズは条件（２）
〜（５）を満足し、正の屈折力を有する第１レンズが条
件（６）〜条件（８）を満足しかつレンズの形状を物体
側に凹面を向けた負のメニスカス形状とし、更に第２レ
ンズを入射瞳が無限遠の時の軸外主光線１と光軸２とが
交わる交点３を境にして、第１レンズと対称に配置して
実施例１と同様の効果を得ている。更にこの実施例３
は、実施例１に比較して倍率、ＮＡ共に大きな値になっ
ているが諸収差は良好に補正されている。特にＮＡは約
０．７と実施例１，２に比べて非常に大きな値になって
いるが、ラジアル型屈折率分布レンズの高次の項Ｎ30を
設計時用いたことにより球面収差が良好に補正されてい
る。この実施例３の収差状況は、図６に示す通りであ
る。
体側から順に、正の屈折力の第１レンズと正の屈折力の
第２レンズとからなっている。この実施例は、倍率が４
０倍、ＮＡが約７０で、２枚のレンズで構成した顕微鏡
対物レンズである。このレンズ系の第１レンズと第２レ
ンズは、いずれもラジアル型屈折率分布レンズで、条件
（１）を満足することにより、ＮＡの大きなレンズ系に
なっている。更に第１レンズと第２レンズは条件（２）
〜（５）を満足し、正の屈折力を有する第１レンズが条
件（６）〜条件（８）を満足しかつレンズの形状を物体
側に凹面を向けた負のメニスカス形状とし、更に第２レ
ンズを入射瞳が無限遠の時の軸外主光線１と光軸２とが
交わる交点３を境にして、第１レンズと対称に配置して
実施例１と同様の効果を得ている。更にこの実施例３
は、実施例１に比較して倍率、ＮＡ共に大きな値になっ
ているが諸収差は良好に補正されている。特にＮＡは約
０．７と実施例１，２に比べて非常に大きな値になって
いるが、ラジアル型屈折率分布レンズの高次の項Ｎ30を
設計時用いたことにより球面収差が良好に補正されてい
る。この実施例３の収差状況は、図６に示す通りであ
る。
【００３６】
【発明の効果】本発明の顕微鏡対物レンズは、ＮＡが
０．２以上であり２枚と少ないレンズ枚数で諸収差が良
好に補正されている。
０．２以上であり２枚と少ないレンズ枚数で諸収差が良
好に補正されている。
【図１】本発明の実施例１の断面図
【図２】本発明の実施例２の断面図
【図３】本発明の実施例３の断面図
【図４】本発明の実施例１の収差曲線図
【図５】本発明の実施例２の収差曲線図
【図６】本発明の実施例３の収差曲線図
【図７】ラジアル型屈折率分布レンズのペッツバール和
および軸上色収差と媒質の屈折力比との関係を示す図
および軸上色収差と媒質の屈折力比との関係を示す図
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−59190（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−221716（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−5222（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−42109（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−220305（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−218614（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−42110（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−189608（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−124509（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 9/00 - 17/08 G02B 21/02 - 21/04 G02B 25/00 - 25/04
Claims (1)
- 【請求項１】２枚のレンズよりなり、２枚のレンズがい
ずれも下記の式にて表わされる光軸から半径方向に屈折
率分布を有するラジアル型屈折率分布レンズであって、
物体側から順に、正の屈折力の第１レンズと正の屈折力
の第２レンズとよりなり、ＮＡが０．２以上となるよう
に以下の条件（１）を満足する顕微鏡対物レンズ。 Ｎ（ｒ）＝Ｎ00＋Ｎ10ｒ2＋Ｎ20ｒ4＋・・・ （１） φ1／φ2＞５．０ ここでｒは光軸から半径方向の距離、Ｎ00は光軸上の屈
折率、Ｎ10，Ｎ20，・・・はそれぞれ２次、４次、・・
・の係数、φ1，φ2 は夫々第１レンズと第２レンズの
屈折力である。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18575492A JP3242451B2 (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | 顕微鏡対物レンズ |
| US08/662,820 US5729389A (en) | 1992-06-22 | 1996-06-12 | Objective lens system for microscopes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18575492A JP3242451B2 (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | 顕微鏡対物レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063598A JPH063598A (ja) | 1994-01-14 |
| JP3242451B2 true JP3242451B2 (ja) | 2001-12-25 |
Family
ID=16176285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18575492A Expired - Fee Related JP3242451B2 (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | 顕微鏡対物レンズ |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5729389A (ja) |
| JP (1) | JP3242451B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3585297B2 (ja) * | 1995-09-12 | 2004-11-04 | オリンパス株式会社 | 対物レンズ |
| JPH09159910A (ja) * | 1995-12-04 | 1997-06-20 | Olympus Optical Co Ltd | 対物レンズ |
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