JP2882583B2 - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents

顕微鏡対物レンズ

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JP2882583B2 JP63172654A JP17265488A JP2882583B2 JP 2882583 B2 JP2882583 B2 JP 2882583B2 JP 63172654 A JP63172654 A JP 63172654A JP 17265488 A JP17265488 A JP 17265488A JP 2882583 B2 JP2882583 B2 JP 2882583B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、顕微鏡対物レンズに関するものである。
〔従来の技術〕
レンズ系中に非球面を設けることによつて結像性能が
良く小型軽量で安価なレンズ系を構成し得ることはカメ
ラレンズ、投影レンズ、光デイスク用対物レンズなどで
公知であるが、非球面を設けた顕微鏡対物レンズは知ら
れていない。
顕微鏡対物レンズは、解像限界までの性能が要求され
るために、カメラレンズや投影レンズよりははるかに良
好にすべての収差が補正されていなければならず、レン
ズ構成が複雑であつてレンズ枚数も多くなる。
比較的レンズ構成が簡単であつて枚数の少ない顕微鏡
対物レンズとして特公昭57−59527号、特公昭43−15237
号、特公昭40−24318号の各公報に記載されたものがあ
る。しかし性能としては、軸上で収差が良好に補正され
ているが、像面わん曲などの軸外収差が十分に補正され
ておらず、NAも比較的小さい。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明の目的は、レンズ構成が簡単であつてレンズ枚
数が少ないにも拘らずNAが大きく像面わん曲等の軸外収
差が良好に補正された顕微鏡対物レンズを提供すること
にある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の顕微鏡対物レンズは、最も物体側に配置され
ていて像側に凸面を向けたレンズ成分と、その後方に配
置された接合レンズを含む複数のレンズ成分とよりな
り、上記のレンズ成分のいずれかに次に示すような形状
の非球面を設けたものである。
(A)前記の非球面がその頂点における近軸曲率面の屈
折力が正の場合、この非球面は光軸から離れるにつれて
正の屈折力を弱める形状を有しているものである。
(B)前記の非球面が、その頂点における近軸曲率面の
屈折力が負の場合、その非球面は、光軸から離れるにつ
れて負の屈折力を強める形状を有しているものである。
即ち、本発明の顕微鏡対物レンズは、物体側からの光
線を収差の発生を抑えつつ光軸に対する角度を小さくす
るための像側に凸面を向けたレンズ成分と、色収差を補
正するための接合レンズを含む複数のレンズ成分よりな
るものであつて、非球面を導入することによつて諸収差
の補正を図つたものである。
本発明の顕微鏡対物レンズにおいては、接眼レンズと
組合わせて性能が良好になるために、対物レンズにおい
てすべての収差を除去するのではない。
接眼レンズは、レンズ枚数,径,光軸方向の長さに制
約があるため、凸のパワーが強くなり、ペツツパール和
を零にすることが出来ない。そのため対物レンズにおい
てペツツパール和をマイナス方向にもつて行く必要があ
る。
物体側から順に各レンズ面に1,2,…iと番号をつけ、
第i面のパワーをφi、第i面に入射する近軸光線高をh
i、第i面を含むレンズの屈折率をniとすると、対物レ
ンズ全体のパワーφは正であつて次の式(i)で表わす
ことが出来る。
又ペツツバール和Pは式(ii)で表わされる。
ペツツバール和をマイナス方向にもつて行くために
は、niを考えなければ凹面のパワーを強くして光線高を
低くし、凸面のパワーを弱くして光線高を高くしなけれ
ばならない。
ここで凸レンズ,凹レンズのパワーは、レンズ系の焦
点距離でほぼ決まるために制約があり、ペツツパール和
の補正は、主に光線高を変えることによつて行なわなけ
ればならない。しかし凸面での光線高を高くすると、そ
の面で発生する球面収差,コマ収差が大になり、又凹面
での光線高を低くすると、凸面で発生する球面収差,コ
マ収差を凹面で発生する逆方向の収差で打消すことが出
来ず、レンズ系全体で発生する球面収差量,コマ収差量
は増加する。そのために、球面系ではある程度のレンズ
枚数がないと、球面収差,コマ収差を補正することがで
きなくなる。
一方非球面を使用した場合は、凸面では光軸から離れ
るにしたがつて面の屈折力を弱める形状とすれば、凸面
で発生する球面収差量,コマ収差量は小になり、レンズ
系全体での球面収差,コマ収差を小さく出来る。
また非球面を凹面に用いる場合は、光軸から離れるに
したがつて、面の屈折力を強める形状にすれば、凹面で
発生する球面収差量,コマ収差量が大になりつまりレン
ズ系全体で発生する球面収差,コマ収差と逆方向の収差
が大になり、レンズ系全体として球面収差,コマ収差を
小さくする効果がある。
本発明の対物レンズが、最も物体側に凹面を物体側に
向けたメニスカスレンズを有する場合には、このメニス
カスレンズを含むレンズ群を前群とし、その後方にある
接合レンズを含むレンズ群を後群とするとき、前群中に
前記のような非球面を設けることが効果的である。
このタイプの顕微鏡対物レンズは、メニスカスレンズ
の物体側の凹面がペツツパール和を負にする作用をも
ち、一方側側の凸面が、球面収差,コマ収差の補正に寄
与している。すなわち、球面系で考えた場合、前記のよ
うに特に前群で球面収差,コマ収差を補正しているレン
ズ構成であるので、前述のような非球面を前群中に設け
れば、最も効果的である。
更に前記の非球面形状としては、次の条件(1)を満
足することが望ましい。
(1)0.0005<|Δx/yA|<0.08 ただしyAは非球面を施した面の最大光線高、Δxは非
球面を施したレンズの最大光線高の非球面上の点におけ
る近軸曲率球面から光軸方向に対する変位量である。
尚上記非球面の形状は、光軸をx軸、光軸に垂直で非
球面の頂点を通る方向をy軸とした時次の式にて与えら
れる。
上記式でRAは非球面の頂点における近軸曲率半径、B,
C,D,E,Fは非球面係数である。
したがつて最大光線高をy=yAとすると変位量Δxは
次のように与えられる。
Δx=ByA 2+CyA 4+DyA 6+…… ただし前記条件(1)ではB=0としている。
条件(1)において下限の0.0005を越えると、非球面
による球面収差量,コマ収差量が小さいために球面での
球面収差,コマ収差の発生量を小さくしなければなら
ず、その場合ペツツパール和をマイナス方向に出すこと
が難しくなる。また上限の0.08を越えると非球面での球
面収差,コマ収差の発生量が大になりレンズ系全体での
球面収差,コマ収差の補正が難しくなる。
本発明の顕微鏡の対物レンズにおいて、前記のように
最も物体側のレンズが物体側に凹面を設けた凹凸レンズ
で、更に最も像側に正のパワーをもつた接合レンズを配
置した構成とし、そして次の条件(2),(3)を満足
すればペツツパール和を含めた軸外収差が良好に補正さ
れるので望ましい。
(2)0.2<|r1/D1|<6.0 (3)D2/f>0.1 ただしr1は物体に最も近いメニスカスレンズの物体側
の凹面の近軸曲率半径、D1は物体から前記凹面の頂点ま
での距離、D2は前記メニスカスレンズの肉厚、fは全系
の焦点距離である。
条件(2)において下限の0.2を越えると前記の凹面
が強すぎて、非球面を設けても球面収差,コマ収差の補
正が難しくなる。又条件(2)の上限の6.0を越える
か、条件(3)において下限の0.1を越えるとペツツパ
ール和がプラス方向に大きくなり像面わん曲の補正が困
難になる。
次に前記の最も物体側のメニスカスレンズを2枚接合
の貼合わせレンズにすれば色収差を良好に補正すること
が出来る。更に最も像側の接合レンズに関し、下記の条
件(4)を満足することが好ましい。
(4)ν2p−ν2n>10 ただしν2p,ν2nは夫々最も像側の接合レンズの正レ
ンズおよび負レンズのアツベ数である。
又本発明の顕微鏡対物レンズにおいて像側に凹面を向
けたメニスカスレンズを後群中に配置した場合は、この
メニスカスレンズにペツツパール和を負にする作用をも
たせているために、前群の凸面のみでは球面収差,コマ
収差が補正しきれず、上記の形状の非球面を最低2面用
いなければ各収差を良好に補正することが出来ない。そ
してその非球面形状としては、条件(1)の代りに次の
条件(1′)を満足することが収差補正を効果的に行な
えるので望ましい。
(1′)0.003<|Δx/yA|<0.3 ただしyAは非球面を施した面の最大光線高、Δxは非
球面を施したレンズの最大光線高の非球面上の点におけ
る近軸曲率球面からの光軸方向に対する変位量である。
尚非球の形状を表わす式は既に示した通りである。
上記条件(1′)において下限の0.003を越えた場
合、非球面による球面収差,コマ収差の補正量が小さい
ために球面系での球面収差,コマ収差の発生量を小さく
しなければならない。そのためペツツパール和をマイナ
ス方向に出すことが出来ず、像面わん曲の補正が難しく
なる。また上限の0.3を越えると非球面での球面収差,
コマ収差の発生量が大きくなり、レンズ全系での球面収
差,コマ収差の補正が困難になる。
また次の条件(5),(6)を満足すれば諸収差が一
層良好に補正されるので望ましい。
(5)0.2<rn/f<8 (6)0.2<rp/f<8 ただし、rn,rpは夫々最終レンズ成分であるメニスカ
スレンズの凹面および凸面の曲率半径、fは全系の焦点
距離である。
上記の条件(5),(6)は球面収差,コマ収差の補
正と像面わん曲の補正のための条件である。もしもこれ
ら条件(5),(6)において下限の0.2を越えると球
面で発生する球面収差,コマ収差が大になり、非球面を
用いても球面収差,コマ収差の補正が出来なくなり上限
の8.0を越えるとペツツパール和が大きな正の値になり
像面わん曲の補正が出来なくなる。
又色収差を補正するためには、中間のレンズ成分中に
少なくとも一組の接合レンズを用いることが有効であ
り、しかも次の条件(7)を満足するようにすれば望ま
しい。
(7)νp−νn>10 ただしνp,νnは夫々中間のレンズ成分に含まれる少
なくとも一組の接合レンズの凸レンズおよび凹レンズの
アツベ数である。
条件(7)より外れてνp−νn≦10になると軸上色収
差のC線とF線の隔差が大きくなり色収差を補正するこ
とが難しくなる。
〔実施例〕
次に本発明の顕微鏡の対物レンズの各実施例を示す。
実施例1 f=26.150 NA=0.1300 像高10.5 t=0.17 r0=∞ d0=11.1497 r1=−5.6821 d1=10.2016 n1=1.51728 ν1=69.56 r2=16.9161 d2=3.0000 n2=1.72000 ν2=46.03 r3=−23.5156(非球面) d3=9.7926 r4=116.5857 d4=1.2000 n3=1.78472 ν3=25.71 r5=21.9835 d5=3.0000 n4=1.48749 ν4=70.15 r6=−13.8620 非球面係数 B=0 C=0.84862×10-4 D=0.19214×10-6 E=0.11190×10-7 F=−0.17943×10-9 実施例2 f=8.785 NA=0.4600 像高10.5 t=0.17 r0=∞ d0=1.0000 r1=−2.7369(非球面) d1=3.0209 n1=1.80518 ν1=25.43 r2=36.6795 d2=2.3200 n2=1.88300 ν2=40.78 r3=−4.7134 d3=0.1000 r4=22.4407 d4=1.0200 n3=1.80518 ν3=25.43 r5=10.7448 d5=3.2000 n4=1.49700 ν4=81.61 r6=−10.5455 d6=22.1901 r7=76.6325 d7=1.3100 n5=1.78590 ν5=44.18 r8=11.2306 d8=2.7000 n6=1.60311 ν6=60.70 r9=−26.8542 非球面係数 B=0 C=−0.91098×10-2 D=−0.26588×10-2 E=−0.19679×10-3 F=−0.18049×10-3 実施例3 f=8.574 NA=0.4600 像高10.5 t=0.1700 r0=∞ d0=1.8950 r1=−3.3829 d1=4.6183 n1=1.78470 ν1=26.22 r2=62.0406 d2=2.3200 n2=1.81600 ν2=46.62 r3=−5.8202 d3=0.1000 r4=9.3436 d4=1.0200 n3=1.78470 ν3=26.22 r5=7.6574 d5=3.2000 n4=1.49700 ν4=81.61 r6=−99.7867(非球面) d6=20.5708 r7=−46.9324 d7=1.3100 n5=1.81600 ν5=46.62 r8=11.7704 d8=2.7000 n6=1.58313 ν6=59.36 r9=−14.7538 非球面係数 B=0 C=0.30437×10-3 D=0.15628×10-5 E=−0.12259×10-7 F=0.69258×10-9 実施例4 f=8.374 NA=0.4600 像高10.5 t=0.1700 r0=∞ d0=1.8950 r1=−3.9653(非球面) d1=4.8975 n1=1.76180 ν1=27.11 r2=∞ d2=2.3200 n2=1.88300 ν2=40.78 r3=−5.8065 d3=0.1000 r4=−137.6139 d4=1.0200 n3=1.74000 ν3=31.70 r5=9.7602 d5=3.2000 n4=1.61800 ν4=63.38 r6=−12.8008 d6=20.7150 r7=−147.5105 d7=1.3100 n5=1.74400 ν5=44.73 r8=14.6711 d8=2.7000 n6=1.61800 ν6=63.38 r9=−40.9569(非球面) 非球面係数 第1面 B=0 C=−0.12599×10-1 r4=−2.4527 d4=0.1100 r5=−12.6370 d5=0.4800 n3=1.74000 ν3=28.29 r6=2.5034 d6=3.3100 n4=1.45600 ν4=90.31 r7=−2.5871(非球面) d7=1.5989 r8=5.5745(非球面) d8=2.7769 n5=1.50137 ν5=56.40 r9=−5.7858 d9=0.8200 n6=1.77250 ν6=49.66 r10=8.5511(非球面) 非球面係数 (第7面) B=0、C=0.12970×10-1、D=−0.94362×10-3 E=0.30162×10-4、F=0.12043×10-4 (第8面) B=0、C=0.16471×10-1、D=−0.17368×10-2 E=0.17202×10-3、F=−0.29363×10-5 D=−0.33382×10-2 E=0.81978×10-3 F=−0.86799×10-3 第9面 B=0 C=0.25105×10-4 D=−0.24301×10-6 E=0.88068×10-8 F=0.98158×10-10 実施例5 f=1.857、NA0.900、像高10.5 t=0.17 r0=∞ d0=0.1644 r1=−1.3109 d1=1.0900 n1=1.88300 ν1=40.78 r2=−1.1350 d2=0.2890 r3=−4.1829 d3=1.2400 n2=1.88300 ν2=40.78 (第10面) B=0、C=0.99651×10-2、D=0.12868×10-2 E=−0.37135×10-3、F=0.95746×10-4 実施例6 f=8.158、NA=0.4600、像高10.5 t=0.17 r0=∞ d0=1.8950 r1=−4.9786 d1=5.1732 n1=1.78470 ν1=26.22 r2=−89.5093 d2=2.3200 n2=1.81600 ν2=46.62 r3=−8.0421 d3=0.1000 r4=27.8541 d4=1.0200 n3=1.74000 ν3=31.70 r5=12.2735 d5=3.2000 n4=1.56873 ν4=63.16 r6=−13.5923 d6=15.4091 r7=7.7746(非球面) d7=2.7000 n5=1.77250 ν5=49.66 r8=−25.4687 d8=1.3100 n6=1.65128 ν6=38.25 r9=5.7811(非球面) 非球面係数 (第7面) B=0、C=−0.47626×10-5、D=−0.51012×10-5 E=0.11010×10-6、F=−0.23598×10-8 (第9面) B=0、C=0.28884×10-3、D=−0.20573×10-4 E=0.12161×10-5、F=−0.34861×10-7 ただしr1,r2,…は各レンズ面の曲率半径、d1,d2
…は各レンズの肉厚およびレンズ間隔、n1,n2,…は各
レンズの屈折率、ν1,ν2,…は各レンズのアッベ数、
tはカバーガラスの厚さ、r0はカバーガラスのレンズ側
の面、d0はカバーガラスとレンズ第1面との間隔であ
る。
上記実施例において実施例1乃至実施例6は、夫々第
1図乃至第6図に示すレンズ構成である。これらのうち
実施例1乃至実施例4はいずれも最も像側に正の接合レ
ンズを配置したものであり、又実施例5,実施例6は、い
ずれも最も像側に凹面を像側に向けたメニスカスレンズ
を配置したものである。
〔発明の効果〕
本発明の顕微鏡対物レンズは、最も物体側に像側に凸
面を向けたレンズ成分と、その後方のレンズ成分のうち
に正の接合レンズを含んでいることを基本構成にし、更
に適切な配置位置に適切形状の非球面を設けることによ
つて簡単な構成にもかかわらずNAが大で軸上から軸外ま
で収差が良好に補正されたものである。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第6図は夫々本発明の実施例1乃至実施例6
の断面図、第7図乃至第12図は夫々本発明の実施例1乃
至実施例6の収差曲線図である。

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】物体側から順に像側に強い凸面を向けたレ
    ンズ成分と、凸レンズと凹レンズとを接合した接合レン
    ズを少なくとも1つ含み正の屈折力を有する中間レンズ
    成分と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズ成分とか
    らなり、該メニスカスレンズ成分に2面以上非球面を設
    け、該非球面は、その頂点における近軸曲率面の屈折力
    が正の場合、光軸から離れるにつれて正の屈折力を弱め
    る形状を有し、又その頂点における近軸曲率面の屈折力
    が負の場合、光軸から離れるにつれて負の屈折力を強め
    る形状を有している顕微鏡対物レンズ。
  2. 【請求項2】物体側から順に、物体側に凹面を向けたメ
    ニスカスレンズ成分を最も物体側に含む前群と、接合レ
    ンズを含む後群とからなり、前記前群内に非球面を設
    け、該非球面は、その頂点における近軸曲率面の屈折力
    が正の場合、光軸から離れるにつれて正の屈折力を弱め
    る形状を有し、又その頂点における近軸曲率面の屈折力
    が負の場合、光軸から離れるにつれて負の屈折力を強め
    る形状を有している顕微鏡対物レンズ。
  3. 【請求項3】下記の条件(5)乃至(7)を満足するこ
    とを特徴とする請求項(1)記載の顕微鏡対物レンズ。
    ただし、rn,rpは夫々最終レンズ成分であるメニスカス
    レンズの凹面および凸面の曲率半径、fは全系の焦点距
    離、νp,νnは夫々前記中間レンズ成分に含まれる少な
    くとも一つの接合レンズの凸レンズおよび凹レンズのア
    ッペ数である。 (5)0.2<rn/f<8 (6)0.2<rp/f<8 (7)νp−νn>10
  4. 【請求項4】下記の条件(2)乃至(4)を満足するこ
    とを特徴とする請求項(2)記載の顕微鏡対物レンズ。
    ただし、r1は物体に最も近いメニスカスレンズの物体側
    の凹面の近軸曲率半径、D1は物体から前記凹面の頂点ま
    での距離、D2は前記メニスカスレンズの肉厚、fは全系
    の焦点距離、ν2p,ν2nは夫々最も像側の接合レンズの
    正レンズおよび負レンズのアッペ数である。 (2)0.2<|r1/D1|<6.0 (3)D2/f>0.1 (4)ν2p−ν2n>10
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