JP3192429B2 - ガス減圧装置の試験に用いられる装置及び方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ガス減圧装置の試験に用いられる装置及び
方法に関する。

かかる装置は通常、いわゆるスキッドユニット（skid
unit）に取り付けられ、或いは、コンパクトであっ
て、一般に地下のピット内に据えつけられる制御モジュ
ールの形態をしている。かかる装置を以下、「pr装置」
という。

このpr装置は、スキッドユニット及びガス制御モジュ
ールの診断試験を実施できるコンピュータ援用診断試験
装置の一部をなすようになっている。特に、pr装置を現
場で試験するポータブル式診断システムを形成すること
が意図されている。かかる試験では、スキッドユニット
又は制御モジュールに組み込まれた種々の圧力調整弁、
例えば逃がし弁のような安全装置、スラムシャット弁及
びストリーム又は流れ方向選択弁等の静的及び動的試験
を全く分解する必要なく実施し、しかも正確な圧力設定
値を得ることが必要である。また、かかる試験により、
得た結果を先に実施して得られた試験結果と比較するこ
とにより、摩耗又は裂け目の漸増による性能の変化を識
別できる。

本発明によれば、減圧装置を現場で試験するポータブ
ル式診断システムであって、少なくとも一つの変位変換
器を減圧装置に接続する手段と、流体圧力を検出する手
段と、減圧装置を試験するための出力流体圧力を選択す
る制御手段と、選択すると共に、或いは検出した圧力に
基づいて少なくとも一つの変換器から弁変位情報を受け
取り、該弁変位情報に対する弁の移動度を求める手段と
を有することを特徴とするシステムが提供される。

初期データ収集操作の完了後、オペレータは、結果に
関する基準が満たされていないときに、好ましくは診断
システムの一部をなすコンピュータに問い合わせて、ど
の構成要素が故障状態にあるかを突き止めることができ
る。試験結果をダウンロードしてオフィス用コンピュー
タ装置に記憶させるという簡単な操作で高い保守記録基
準が得られることになる。

コンピュータは表示装置を含み、このコンピュータに
より、知識ベースのエキスパートシステムを採用でき
る。本装置により、非常に複雑な一組の試験を比較的容
易に実施できる。コンピュータに用いられるプログラム
ディスクにより、全ての命令及びプロンプト（指示メッ
セージ）をコンピュータの表示画面上に表示できる。

本装置は、試験対象であるpr装置の種々の箇所にガス
を供給し、ガス流量及びガス圧力を測定し、この情報を
コンピュータにとって利用可能にする。変位変換器及び
ガス圧力変換器がpr装置に取り付けられており、これら
変換器で得られた情報をコンピュータにとって利用可能
にする。コンピュータの役目としては、pr装置の種々の
構成要素のところでのガス圧力の増減度の計算だけでな
く、pr装置に供給されるガスの圧力の増減度の計算が挙
げられる。コンピュータの役目として又、pr装置の種々
の構成要素の開閉移動度の計算が含まれる。

本装置は、列状に配置された弁によってpr装置へのガ
ス供給量を制御し、かかる弁は、閉鎖位置を除く弁部材
の全ての位置でガスを通す弁を含み、コンピュータの役
目として、その弁のアクチュエータを、開閉弁のアクチ
ュエータと共に制御する信号の発生が含まれる。

本装置は、多種類の試験の任意の組合せを実行するコ
ンピュータ援用診断試験装置として使用され、コンピュ
ータで用いられるソフトウェアはかかる試験を実行する
よう作成されている。本装置により、かかる試験の種々
の組合せを容易に実施できる。

さらに、本発明によれば、ガス減圧装置の試験に用い
られるガス入口及びガスポートを有する装置であって、
第１、第２及び第３の弁を有し、第１及び第２の弁は各
々、入口及び出口を有し、第３の弁は、第１および第２
の弁ポートを有し、第１の弁の入口は、前記ガス入口と
連通し、第１の弁の出口は、第２の弁の入口と第３の弁
の弁ポートの両方と連通し、第２の弁の出口は、大気に
通じ、第３の弁の第２の弁ポートは、ガスポートと連通
し、第３の弁は、弁部材と、弁部材を完全閉鎖位置、完
全開放位置及びこれらの間の中間位置に移動させる手段
とを有することを特徴とする装置が提供される。

第３の弁は好ましくは、第３の弁部材の位置を表す電
気出力を生じさせることができる位置変換器と連携して
いる。

この装置は好ましくは、入口及び出口を備えた第４の
弁を有し、第４の弁の入口は、ガス入口と連通し、第４
の弁の出口は、ガスポートと連通している。

この装置は好ましくは、入口及び出口を備えた第５の
弁を有し、第５の弁の入口は、ガスポートと連通し、第
５の弁の出口は、大気に通じている。

さらに、本発明によれば、本発明の装置を用いてガス
減圧装置を試験する方法であって、得られた結果を、先
に該方法を実施した際に得られた結果と比較してガス減
圧装置の性能の変化を見分ける段階を含むことを特徴と
する方法が提供される。

本発明の方法は、上記の結果により所定の基準が満た
されていないことが分かると、ガス減圧装置のどの構成
要素が故障状態にあるかを突き止めるためにコンピュー
タに問い合わせる段階を含むのが良い。

本発明の方法は、保守記録を得るために、試験結果を
ダウンロードしてコンピュータ装置に記憶させる段階を
含むのが良い。

本発明の方法は、コンピュータで用いられるソフトウ
ェアによってガス減圧装置の構成要素に適用されるガス
の圧力増大度及び圧力減少度を制御する段階を含むのが
良い。

ガス減圧装置の試験に用いられる装置の実施形態を、
添付の図面を参照して例示として説明する。

図１は、コンピュータ装置及び、実施形態ではスキッ
ドユニットの形態のpr装置に接続された電気空気圧式試
験ユニットを含む診断システムの略図である。

図２及び図３は、それぞれ配管接続状態及び電気ケー
ブル接続状態を示す電気空気圧式試験装置の部分切欠き
平面図である。

図４は、pr装置及び試験診断装置への接続状態（破線
で示す）の線図である。

図５は、試験診断装置を単純化形態で、その動作を制
御するのに用いられるリレードライバ基板が設けられた
状態で示す略図である。

図6A及び図6Bは、インタフェース14内の電気回路の一
部の線図であり、図５に示す弁のアクチュエータを制御
するのに用いられるリレードライバ基板の詳細を示す図
である。

図７は、一方において弁及び変換器と他方においてイ
ンタフェース及びコンピュータとの間の電気的接続状態
を示すブロック図である。

図８は、スラムシャット弁の試験用流れ図である。

図９は、表示された試験結果を示す図である。

図10は、別のスラムシャット弁の試験用流れ図であ
る。

図11は、表示結果を示すグラフ図である。

図１は、スキッドユニットの形態をしていて、試験を
受けるようになったpr装置10を示している。電気空気圧
式試験ユニット12がこのpr装置10に接続されており、ケ
ース内に収納されたインタフェースユニット14が、キー
ボード15及び関連表示画面17を有するポータブル式パー
ソナルコンピュータ（以下、「PC」ともいう）16に接続
されている。12ボルト電池の電源18が診断システムに電
力を供給するのに利用可能な状態で図示されている。コ
ンピュータは、マイクロプロセッサ、RAM、ROM、ハード
ディスク記憶装置及び直列及び並列ポートを含む形式の
ものである。フロッピーディスク装置も設けられる。

入口弁20と出口弁22は両方とも閉じられる。ユニット
12は、ホース24により、開閉弁28を経て高圧ガス本管26
に連結されている。ユニット12は第２のホース30によっ
て開閉弁32に連結されており、この開閉弁32は、pr装置
内に位置していて、出口弁22のすぐ上流側の箇所に連結
されている。ガスをpr装置に供給してホース30を経由し
てpr装置から運び出すことができることは注目されるべ
きである。

変位変換器40,42がpr装置に取り付けられている。例
えば、変換器40はスラムシャット弁部材の移動量を表示
する電気アナログ信号を出し、変換器42は圧力調整弁部
材の移動量を表示する電気アナログ信号を出す。

圧力変換器44が圧力マニホルド（図４参照）に接続さ
れており、この圧力マニホルドは、pr装置内に位置して
いて、逃がし弁46（図４参照）のすぐ下流側の箇所に連
結された開閉弁（図４参照）に連結されている。

変換器40,42,44はそれぞれケーブル48,50,52によりユ
ニット12に設けられた接続箱54に接続されている。接続
箱54はケーブル56によってインタフェース14に接続され
ている。

ユニット12内に組み込まれている装置は、コンピュー
タ16により制御されるアクチュエータ（図示せず）によ
って操作される弁（図５参照）を有する。インタフェー
ス14はケーブル60によって接続箱58に接続されている。

インタフェース14はケーブル62によって電池電源18に
接続され、コンピュータ16はケーブル（図示せず）によ
ってインタフェース14に接続されている。

図２及び図３はユニット12の詳細を示している。ガス
はホース24（図１）を経てユニット12に到達し、開閉弁
66（図３）を通ってユニットに流入する。図３をさらに
参照すると、ガスは次に圧力調整弁68に流入し、そして
Ｔ継手70まで流れる。一方の枝管は第２のＴ継手72まで
延び、そこから開閉弁74（大気に通じている）まで延
び、そして他方の枝管は第１の電磁弁76の入口まで延び
ている。弁76の出口はＴ継手78に連結されている。Ｔ継
手78の一方の出口は第２の電磁弁80の入口に連結され、
第２の電磁弁80の出口は大気に通じている。

Ｔ継手78の他方の出口はニードル弁82の形態をした第
３の弁の第１の弁ポートに接続されている。ニードル弁
82の第２の弁ポートはＴ継手84に連結されている。

ニードル弁82の「入口」又は「出口」と呼称すること
はできない。というのは、ガスはニードル弁82を通って
いずれの方向にも流れることができるからである。

Ｔ継手84の一方のポートはＴ継手85に連結され、Ｔ継
手85の一方の出口は玉弁86の形態をした第４の弁の出口
に連結されている。玉弁86の入口はＴ継手70の第２の出
口に連結されている。

Ｔ継手84の第２の出口は、電磁弁90の形態をした第４
の弁の入口に連結されている。弁90の出口は、開閉弁92
の入口に連結され、開閉弁92の出口は大気に通じてい
る。

Ｔ継手85の第２のポートはオリフィスプレート94に連
結されている。オリフィスプレート94はガスポート100
に連結され、このガスポート100はガスホース30に連結
されている（図１）。

差圧変換器102が管104,106によってオリフィスプレー
ト94の両側に接続されている。

図２は、ニードル弁82のためのアクチュエータ110及
び玉弁86のためのアクチュエータ112を示している。図
２は又、接続箱58から電磁弁76、電磁弁80、玉弁86、ニ
ードル弁82、電磁弁84にそれぞれ制御信号を伝送するケ
ーブル114,116,118,120,122を示している。接続箱58は
ケーブル60によってインタフェース14に接続されてい
る。

図３は又、弁82と接続箱54を相互に接続するケーブル
140を示している。このケーブル140はアクチュエータ11
0内に組み込まれていて、弁82の弁部材（ニードル）の
位置を表示する位置変換器又は位置検出器（図示せず）
から電気信号を伝送する。

図３は又、差圧変換器102と接続箱54を相互に接続
し、オリフィスプレート94の前後で測定された差圧を表
わす電気信号を伝送するケーブル142を示している。コ
ンピュータは、この信号からオリフィスプレート94の通
過ガス流量を計算する。

図４は、スキッドユニットの形態をしたpr装置の一部
を示している。pr装置は、メインストリーム（図示して
いる）及びスタンバイ（待機）ストリーム（図４には示
していないが全体として図１の背景に示されている）を
有する。診断システムを第１の一方のストリーム（図示
している）に接続し、次に所望ならば他方のストリーム
に接続できることは理解されよう。

例えば、メインストリームは、入口弁150、フィルタ1
52、スラムシャット弁154、圧力調整弁156、逃がし弁15
7、ウェーハチェック弁158及び出口弁160を有する。メ
インストリームと並列状態に、「Ｊ」ガバナ166、
「Ｊ」逃がし弁168、吸入器170、K1パイロット弁172及
びK2パイロット弁174を含む補助レールが設けられてい
る。

以下に記載するような手動操作式開閉弁、即ち、弁15
0の上流側に位置していて、ホース24が接続されている
（図１）弁28、スラムシャット弁154と圧力調整弁150と
の間に位置した弁180、圧力調整弁156のダイアフラムの
下側に通じていて、衝撃圧力を圧力調整弁156のダイア
フラムの下側に直接作用させることができるようにする
弁182、逃がし弁157とウェーハチェック弁158との間に
位置していて、圧力マニホルド189が接続されている弁1
84が設けられている。圧力マニホルドについては図１の
説明と関連して言及した。圧力変換器44は圧力マニホル
ド189に接続されており、弁32についてはすでに説明し
た（図１参照）。

加うるに、補助レールには、以下の手動開閉弁、即
ち、メインストリームと「Ｊ」ガバナとの間に位置する
弁186、「Ｊ」ガバナと「Ｊ」逃がし弁との間に位置す
る弁188、補助レールとメインストリームとの接続部の
すぐ上流側に位置する弁190が設けられている。

最後に、パイロット弁172,174のダイアフラムの下側
の圧力を検出するよう接続された手動操作弁192が設け
られると共に、ストリーム出口弁160の下流側の圧力が
パイロット弁172,174のダイアフラムの下に作用するこ
とができるようにする手動操作弁194が設けられてい
る。

図４は又、圧力マニホルド189と手動操作式弁180との
間に位置していて、圧力調整弁156の上流側の圧力を抜
きながらガスの流れを絞る絞り弁又はレストリクタ199
を示している。

図５は、ユニット12内に組み込まれていて、図３を参
照して説明した装置を示している。図５は、単純化した
図であるが、本発明の一実施形態を形成する弁76,80,8
2,86,90を示している。オリフィスプレート94だけでな
く、圧力調整弁68、Ｔ継手72及び開閉弁も図５から省略
されている。

本発明の一特徴はその最も広い形態では、図５に示す
ように配置された弁76,80,82だけを含み、弁86,90は省
かれている。しかしながら、図５は全体として、本発明
のその特徴の好ましい形態を示している。図５では、入
口ポートには符号75が付けられ、ガスポートには符号77
が付けられている。電磁弁80は符号79のところで大気に
通じている出口を有し、電磁弁90は符号81のところで大
気に通じている出口を有している。

電磁弁76,80,90及び玉弁86は全て、一方向だけのガス
の流れを取り扱う。しかしながら、ニードル弁82は、い
ずれの方向のガス流をも取り扱う。電磁弁76を供給弁と
称しても良く、また電磁弁80を低速ガス抜き弁又はベン
ト弁と称しても良い（なお、ガス抜き率は、ニードル弁
内のニードルの設定によって定められる）、電磁弁90を
高速ガス抜き弁又はベント弁と称しても良い。

図５は又、概略的に示されているリレードライバ印刷
回路基板200を示し、図６は、この印刷回路基板及び関
連回路を一層詳細に示している。リレードライバ印刷回
路基板は、インタフェースユニット14内に配置されてい
る。リレードライバ印刷回路基板は、電磁弁76,80,90及
び弁82,86のアクチュエータを付勢する。リレードライ
バ印刷回路基板は、符号202のところで10本のリード線S
K1〜SK8、SK10及びSK12の各々に設けられた流入電流抑
制器を含む。図５に示す「オフ」状態では、ピンPL13
7、PL139、PL141、PL143、PL145、PL147はすべて消勢さ
れ、電圧がリード線SK1〜SK8、SK10及びSK12に示されて
いる。

図５に示すプラグPL1は、PC16とシステム残部との間
のインタフェースに接続されている。変換器からの入力
も、このインタフェースに接続され、このインタフェー
スは又、PC16への入力／出力接続部を有している。

PL137はリレーRL6及びRL5へのパワー（電源）を制御
する（図６）。PL139は、PL5を制御し、パワーオンオフ
用SK31、SK32及びSK33を切り替える。PL141はRL4を制御
し、パワーオンオフ用SK34、SK35及びSK36を切り替え
る。PL143はRL3を制御し、パワーオンオフ用SK38を切り
替える。PL145はRL2を制御し、パワーオンオフ用SK310
を切り替える。PL147はRL1を制御し、パワーオンオフ用
SK312を切り替える。

図６は、流入電流抑制器（図５では符号202で示され
ている）CSR1〜CSR10を示している。ICIで示されたチッ
プはドライバチップであり、リレーを駆動する電流を生
じさせ、電圧をその入力からその出力へ反転させる。換
言すると、入力における５ボルトは、出力において０ボ
ルトになる。

ニードル弁82の作動により、弁を閉鎖したり、弁を完
全に開放したり、或いはニードルをソフトウェアの要求
及び実施中の特定の試験に応じて或る中間位置に設定で
きることは思い出されるべきである。また、ニードルの
位置はアクチュエータ110に組み込まれた位置変換器
（図示せず）によってモニターされ、その結果得られる
電気信号は、ニードルの正確な設定値を計算するために
圧力変換器44からの信号又は変換器102からの信号と共
にコンピュータによって利用される。

この実施形態では、診断システムはスキッドユニット
10について16種類の試験を行うよう設計されている。か
かる試験は以下の通りである。

1.漏れ試験：装置試験ライン 2.ウェーハチェック弁：逆流試験 3.逃がし弁の性能 4.スラムシャット弁の再現性 5.漏れ試験：スラムシャット・レットバイ（Let−by） 6.漏れ試験：スラムシャット；ステムシール 7.動作中の圧力調整弁の静的性能 8.スラムシャット応答 9.逃がし弁の再現性 10.漏れ試験：スラムシャット・ダイアフラム室 11.「Ｊ」ガバナ／逃がし弁の設定値点検 12.漏れ試験：動作中の圧力調整弁のダイアフラム室 13.Kパイロット設定値点検 14.スノーフレークＫパイロット設定値点検 15.漏れ試験：ストリーム遮断弁 16.漏れ試験：圧力健全性 次に、試験第２及び試験第７を実施するために図５に
示す弁の作動を例示として説明する。

試験第２ ウェーハチェック弁：逆流試験 ニードル弁アクチュエータ110を制御してニードル弁8
2を50％だけ開く。供給ソレノイド弁76を開く。35mbの
圧力に達すると（圧力変換器44でモニターする）、玉弁
アクチュエータ112を制御して玉弁86を開く。次に、ス
トリームウェーハチェック弁158を通過して弁の右側か
ら左側に流れる流量をモニターする（変換器102によ
る）。

10秒後、玉弁86を閉じるが、電磁弁76は開いたままの
状態にして逃がし弁157の部分開放圧力をチェックす
る。30秒経過時に電磁弁76を閉じ、逃がし弁157の再着
座圧力を記録する。

50秒経過時、高速ガス抜き電磁弁90を開いて試験を終
了する。

モニターした結果をコンピュータ16の表示画面上に表
示する。

試験第７ 動作中の圧力調整弁の静的性能 低速ガス抜き電磁弁80を開いて蒸気圧力を所定レベル
（変換器44によってモニターする）まで下げ、ついには
圧力調整弁156が動作し始めるようにする。ニードル弁
アクチュエータ110を制御してニードル弁82のニードル
を設定し、ガス抜き率を調整して圧力調整弁156の移動
量を調整する。

圧力調整弁156が完全に開かれると、低速ガス抜き電
磁弁80を閉じる。供給電磁弁76を開いて圧力調整弁を閉
鎖し、この閉鎖移動量は、アクチュエータ110及びニー
ドル弁82のコンピュータ制御によって決定される。次
に、供給電磁弁76を閉じて試験を終了する。

モニターした結果がコンピュータ16の表示画面上に表
示される。

図７は、一方において上述の弁及び変換器と他方にお
いてPC16上のインタフェース14との間の電気的接続状態
を示している。

PC16はスキッドユニット（図示している）又は制御モ
ジュールのための試験及び診断ソフトウェアを実行す
る。PC16の並列ポートの出力を切り替えることにより、
PC16は、上述の各種診断試験を実行することができ、ま
たその並列ポートの入力を読み取ることにより、試験中
スキッドユニットがどれほど性能を発揮したかについて
の情報を得ることができる。

データ収集システム210はコンピュータ16とシステム
残部をインタフェースし、アナログ−ディジタル変換器
を含む。データ収集システムは、コンピュータ16の並列
ポートを用い、これから、出力を駆動することができる
と共にコンピュータが読み取ることができる入力を提供
する。

リレードライバ印刷回路基板200は、コンピュータに
よって駆動されるデータ収集システム210からのディジ
タル出力を受け取り、これらディジタル出力を用いて電
磁弁76,80,90又はニードル弁82、或いは玉弁86を付勢す
る。基本的に、リレードライバ印刷回路基板は、低出力
ディジタル信号を受け取り、適当なバッファリング／ド
ライバと協働し、リレーを用いて電磁弁及び玉弁及びニ
ードル弁のアクチュエータのための高出力信号を出す。

アイソレータ220は、ユニット12とデータ収集システ
ム210への入力を電気的に絶縁する。これは、本来的に
安全なシステムであり、もし万が一PC16またはインタフ
ェース14に故障が生じても、危険な領域の中にあるユニ
ット12でガス爆発又は着火の恐れはないであろう。

図１の表示装置17は、診断を助けるために種々のpr装
置試験の試験結果を図形表示する。表示装置上の表によ
る結果も得られる。例えばスラムシャット弁についての
試験を行うと、本システムは次の項目をチェックするこ
とができる。

（ａ）トリップレベルに関するスラムシャット応答及び
スティックションの形跡 （ｂ）高速圧力増大下におけるスラムシャットのトリッ
プポイント及びアクチュエータのダイアフラム及びシー
ルを通過する漏れの形跡 点検項目（ａ）を実施するため、コンピュータ流れ図
は、図８に示すように動作する。ここでは、試験は、コ
ンピュータ制御下で圧力を自動的に増分させ、検出操作
まで圧力が増大する際の変化を検出して測定する。測定
して記憶した結果を、設定パラメータ及び図９に示すよ
うに表示装置について得られた結果のグラフ図及び表と
比較することができる。

自動シーケンスは、例えば以下に示す操作を助けるた
めに表示装置上に示された「プロンプト」の後に続くこ
とができる。

１ スラムシャットがセットされているかどうかを点検
する。

２ 試験ラインを圧力変換器に接続する。

３ 試験ラインをスラムシャット試験箇所に接続する。

４ 試験スラムシャット弁が「試験」にセットされてい
るかどうかを点検する。

点検項目（ｂ）を実施するため、ソフトウェアフォー
ム中のコンピュータ流れ図は、図10に示すように動作す
ることになる。表示結果は、図11に示されている。

試験段階の組合せから成る同様なシーケンスにより、
全ての弁の試験を行うことができるであろう。試験を繰
り返すことにより、再現性のある結果についての情報を
診断目的のために記憶させることができるであろう。

図面を参照して行った上記の説明は、スキッドユニッ
トの形態のガス減圧装置を試験するための装置に関連し
ている。しかしながら、本発明による装置を用いると、
例えばガス制御モジュールの形態の他のガス減圧装置を
試験できることは理解されよう。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 カースカッデン イアン アンドリュー イギリス ニューキャッスル アポン タイン エヌイー７ ７キューエス ハ イ ヒートン フェニファー グローヴ 33 (56)参考文献 特開 平７−4549（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−187432（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−153881（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−73477（ＪＰ，Ａ) 特表 平５−509149（ＪＰ，Ａ) 米国特許4464931（ＵＳ，Ａ) 米国特許5235525（ＵＳ，Ａ) 米国特許5301128（ＵＳ，Ａ) 米国特許5257208（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F16K 37/00 F16K 31/00 G01M 3/26

Claims (25)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】減圧装置装置テスターであって、現場で減
   圧装置（10）に接続することができるポータブル式診断
   システム（12、14、16）を有し、前記テスターが、 自動圧力調整弁（156）、スラムシャット弁（154）に夫
   々接続された第１、第２変位変換器（42、40）の出力を
   受け取るための手段（48、50、54）を有し、前記自動圧
   力調整弁が、前記減圧装置内で、流体ストリームにおい
   て前記スラムシャット弁と直列に接続され、 前記自動圧力調整弁による減圧に続いて、流体ストリー
   ムの流体圧力を検出するための圧力センサ手段と、 前記減圧装置を試験するための流体ストリームの出力流
   体圧力を選択するための制御手段と、 選択された圧力又は検出された圧力に基づいて前記変換
   器から弁変位情報を受け取り、検出された圧力に対する
   前記圧力調整弁又は前記スラムシャット弁の移動度を求
   めるための手段と を有することを特徴とするシステム。
2. 【請求項２】前記制御手段によって作動され、ストリー
   ム圧力を降下させて前記調節弁がストリーム圧力を自動
   的に調節するように構成された弁手段（80）を有し、前
   記変位変換器（42）が、自動調整弁（156）に接続さ
   れ、前記調整弁の作動設定点を変更する必要なしに、対
   応する弁の移動を検出する、請求項１記載のテスター。
3. 【請求項３】自動調整弁ダイアフラムに作用して、その
   予め設定された作動圧力を調節し、前記圧力センサ手段
   によりストリーム圧力の変化を求める補助手段（182）
   を有する、請求項１又は請求項２記載のテスター。
4. 【請求項４】前記制御手段がコンピュータを有し、該コ
   ンピュータは前記コンピュータによって駆動される表示
   手段を備え、前記コンピュータは、弁変位に対する圧力
   又は時間に対する弁作動を示すグラフの形態の表示を提
   供するように構成されている、請求項１乃至請求項３の
   いずれか一項記載のテスター。
5. 【請求項５】前記コンピュータは、作業者がテスターを
   前記減圧装置に接続するのを助ける視覚指示のリストを
   表示手段に作るように構成されている、請求項４記載の
   テスター。
6. 【請求項６】前記制御手段が、測定情報と所望の作動条
   件と比較して、潜在的な故障状態を指示する診断情報を
   提供するための手段（16）を有する、請求項１乃至請求
   項５のいずれか一項記載のテスター。
7. 【請求項７】圧力及び流量を制御するために、制御手段
   により操作できる、複数の弁（76、80、82、86、90）を
   有する電気空気圧式装置が設けられ、流量を測定する流
   量測定手段（16、1025）が設けられた、請求項１乃至請
   求項６のいずれか一項記載のテスター。
8. 【請求項８】前記流量測定手段が、差圧測定装置から流
   量情報を提供するため、差圧検出手段（102）及びコン
   ピュータ手段（16）を有する、請求項６記載のテスタ
   ー。
9. 【請求項９】次に行う試験を先に得られた試験結果と比
   較して故障の予測に役立たせるための記憶手段（16）が
   設けられている、請求項６記載のシステム。
10. 【請求項１０】減圧装置が可燃性流体を運ぶタイプのも
    のであり、テスターが作動電圧を提供するための低電圧
    源（18）を有し、流体に関して本来的に安全なインター
    フェースを提供する電気絶縁手段（14）が設けられた、
    請求項１乃至請求項９のいずれか一項記載のテスター。
11. 【請求項１１】減圧装置が第１、第２流体ストリームを
    有し、各流体ストリームが、スラムシャット弁と、夫々
    のストリームの流体圧力を制御するための自動圧力調整
    弁と、テスターを前記ストリームのうちのいずれかに接
    続させるための連結手段（28、32）を有する、請求項１
    乃至請求項10のいずれか一項記載のテスター。
12. 【請求項１２】ガス減圧装置の試験に用いられる、ガス
    入口及びガスポートを有する装置であって、 第１、第２及び第３の弁（76、80、82）を有し、 前記第１弁（76）及び第２弁（80）は夫々入口及び出口
    を有し、 前記第３弁（82）は、第１弁ポート及び第２弁ポートを
    有し、第１の弁の入口は、前記ガス入口と連通し、 前記第１弁（76）の出口は、第２弁（80）の入口と第３
    弁（82）の第１弁ポートの両方と連通し、 前記第２弁の出口は大気に通じ、第３弁の第２弁ポート
    は前記ガスポートと連通し、第３弁は弁部材と、該弁部
    材を完全閉鎖位置、完全開放位置及びこれらの間の中間
    位置に移動させるための手段とを有する、 装置。
13. 【請求項１３】前記第３弁（82）が、前記第３弁部材の
    位置を表す電気出力を生じさせることができる位置変換
    器と連携している、請求項12記載の装置。
14. 【請求項１４】入口及び出口を備えた第４弁（86）を有
    し、該第４弁の入口は、ガス入口と連通し、前記第４弁
    の出口は、前記ガスポートと連通している、請求項12又
    は13記載の装置。
15. 【請求項１５】入口及び出口を備えた第５弁（90）を有
    し、該第５弁の入口はガスポートと連通し、前記第５弁
    の出口は大気に通じている、請求項12、請求項13、又
    は、請求項14記載の装置。
16. 【請求項１６】前記全ての弁が弁部材を有し、前記各弁
    が、前記弁の前記弁部材を移動させるための、電気的に
    操作できる手段を有する、請求項12乃至請求項15のいず
    れか一項記載の装置。
17. 【請求項１７】前記第１弁、第２弁及び第５弁は電磁弁
    （76、80、90）であり、前記第３弁は、電動機から成る
    アクチュエータ（110）によって移動できる弁部材を有
    するニードル弁（82）であり、前記第４弁は、電動機か
    ら成るアクチュエータ（112）によって移動できる弁部
    材を有する玉弁（86）である、請求項16記載の装置。
18. 【請求項１８】ガス流量を測定するための手段（102）
    及びガス圧力を測定するための手段（44）を有し、前記
    測定手段が電気出力信号を発生できる変換器を含む、請
    求項12乃至請求項17のいずれか一項記載の装置。
19. 【請求項１９】ダイアフラムにより動作できるガス圧力
    調整弁（156）の形態のガス減圧装置と組み合わせて用
    いられ、 コンピュータ（16）及びコンピュータインタフェース
    （14）と、前記コンピュータに接続された電気エネルギ
    供給源（18）とを有し、前記ガス入口及びガスポート
    が、耐圧ホース（24、30）により前記圧力調整弁又は関
    連の本管系統に設けられたタッピング部に連結され、電
    気出力信号を発生できる圧力変換器（44）が、前記圧力
    調整弁のタッピング部に連結されたマニホルドに連結さ
    れ、前記マニホルドが、前記圧力調整弁のダイアフラム
    の下側を含む前記圧力調整弁に設けられた複数のタッピ
    ング部に夫々連結された複数のポートを有し、変位変換
    器（40、42）が、圧力調整弁に適合する電気出力信号を
    発生することができ、前記電気出力信号が、前記圧力調
    整弁のダイアフラムの変位に応答する電気出力信号を含
    み、前記変換器の全てが、ケーブル（48、50）によって
    前記コンピュータインタフェースに接続され、前記イン
    タフェースはケーブル（56）によって、前記各弁部材を
    移動させる前記手段に接続されている、請求項16又は17
    に従属した、請求項18記載の装置。
20. 【請求項２０】請求項12乃至請求項19のいずれか一項記
    載の装置を用いてガス減圧装置を試験する方法であっ
    て、 得られた結果を、先に該方法を実施した際に得られた結
    果と比較して、前記ガス減圧装置の性能の変化を見分け
    ることを含む、 方法。
21. 【請求項２１】請求項19記載の装置を用いて前記ガス減
    圧装置を試験する方法であって、 前記結果により所定の基準が満たされていないことが分
    かると、前記ガス減圧装置のどの構成要素が故障状態に
    あるかを突き止めるためにコンピュータに問い合わせる
    ことを含む、 方法。
22. 【請求項２２】請求項19に記載の装置を用いて前記ガス
    減圧装置を試験する方法であって、保守記録を得るため
    に試験結果をダウンロードしてコンピュータ装置に記憶
    させることを含む、 方法。
23. 【請求項２３】請求項19に記載の装置を用いてガス減圧
    装置を試験する方法であって、 コンピュータで用いられるソフトウエアによって前記ガ
    ス減圧装置の構成要素に適用されるガス圧力増大度及び
    圧力減少度を制御することを含む、方法。
24. 【請求項２４】請求項17に従属する請求項19に記載の装
    置を用いてガス減圧装置を試験する方法であって、 前記ガス減圧装置の逆止弁を逆流方式で試験するように
    実施される以下の工程、すなわち、 ａ ニードル弁によって形成された前記第３弁を50％だ
    け開き、 ｂ 第１電磁弁を開き、 ｃ 設定圧力に達すると、玉弁によって形成された第４
    弁を開き、 ｄ 前記逆止弁を通過する流量を記録し、 ｅ 第１の設定期間経過後、前記第４弁を閉じるが、前
    記第１弁を開いたままにして前記ガス減圧装置の逃がし
    弁の部分開放圧力を点検し、 ｆ 第２の設定期間経過後、前記第１弁を閉じ、 ｇ 逃がし弁の再着座圧力に対応する圧力を記録し、 ｈ 第３の設定期間経過後、前記第２電磁弁を開く、 ことを含む、方法。
25. 【請求項２５】請求項17に従属する請求項19に記載の装
    置を用いてガス減圧装置を試験する方法であって、 前記ガス減圧装置のガス圧力調整弁を試験するように実
    施される以下の工程、すなわち、 ａ 所定圧力に達するまで、前記第２弁を開いてガス減
    圧装置内のガス圧力を減少させ、 ｂ 前記圧力調整弁の弁部材が制御された速度で移動を
    開始するまで、ニードル弁によって形成された前記第３
    弁の設定を調節し、 ｃ 前記圧力調整弁が完全に開かれたときに、前記第２
    弁を閉じ、 ｄ 前記第１弁を開き、 ｅ 前記工程ｂを繰り返し、 ｆ 前記圧力調整弁が完全に閉じられたときに、前記第
    １弁を閉じる、 ことを含む、方法。