JPH09512109A - ガス減圧装置の試験に用いられる装置及び方法 - Google Patents

ガス減圧装置の試験に用いられる装置及び方法

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Abstract

(57)【要約】 ガス減圧装置を試験するポータブル式診断システムが、ガス減圧装置のための試験圧力を提供し、ガス減圧装置からの変位に関する情報を受け取る電気空気圧式試験ユニット(12)にインタフェースされたコンピュータ装置(16)を含む。試験ユニット(12)は、3つの電磁開閉弁、ニードル弁及び開閉玉弁を含む多数の弁を有する。ニードル弁の弁部材の位置は、位置変換器によって検出される。ガス減圧装置に接続されている変位変換器(40,42)が、スラムシャット弁及び圧力調整弁の変位を検出し、圧力変換器(44)及び差圧変換器(102)がそれぞれガス減圧装置に接続されている。変換器からの信号は、データ収集システム(210)に伝送され、このデータ収集システムも又、電磁開閉弁、ニードル弁及び開閉玉弁を全てPC16の制御下で駆動し、例えば、ガス減圧装置内で弁がどれほど開いているか(即ち、弁座からどれほど離れているか)についての指示が得られるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】 ガス減圧装置の試験に用いられる装置及び方法 本発明は、ガス減圧装置の試験に用いられる装置及び方法に関する。 かかる装置は通常、いわゆるスキッドユニット(skid unit)に取り付けられ、 或いは、コンパクトであって、一般に地下のピット内に据えつけられる制御モジ ュールの形態をしている。かかる装置を以下、「pr装置」という。 このpr装置は、スキッドユニット及びガス制御モジュールの診断試験を実施 できるコンピュータ援用診断試験装置の一部をなすようになっている。特に、p r装置を現場で試験するポータブル式診断システムを形成することが意図されて いる。かかる試験では、スキッドユニット又は制御モジュールに組み込まれた種 々の圧力調整弁、例えば逃がし弁のような安全装置、スラムシャット弁及びスト リーム又は流れ方向選択弁等の静的及び動的試験を全く分解する必要なく実施し 、しかも正確な圧力設定値を得ることが必要である。また、かかる試験により、 得た結果を先に実施して得られた試験結果と比較することにより、摩耗又は裂け 目の漸増による性能の変化を識別できる。 本発明によれば、減圧装置を現場で試験するポータブル式診断システムであっ て、少なくとも一つの変位変換器を減圧装置に接続する手段と、流体圧力を検出 する手段と、減圧装置を試験するための出力流体圧力を選択する制御手段と、選 択すると共に、或いは検出した圧力に基づいて少なくとも一つの変換器から弁変 位情報を受け取り、該弁変位情報に対する弁の移動度を求める手段とを有するこ とを特徴とするシステムが提供される。 初期データ収集操作の完了後、オペレータは、結果に関する基準が満たされて いないときに、好ましくは診断システムの一部をなすコンピュータに問い合わせ て、どの構成要素が故障状態にあるかを突き止めることができる。試験結果をダ ウンロードしてオフィス用コンピュータ装置に記憶させるという簡単な操作で高 い保守記録基準が得られることになる。 コンピュータは表示装置を含み、このコンピュータにより、知識ベースのエキ スパートシステムを採用できる。本装置により、非常に複雑な一組の試験を比較 的容易に実施できる。コンピュータに用いられるプログラムディスクにより、全 ての命令及びプロンプト(指示メッセージ)をコンピュータの表示画面上に表示 できる。 本装置は、試験対象であるpr装置の種々の箇所にガスを供給し、ガス流量及 びガス圧力を測定し、この情報をコンピュータにとって利用可能にする。変位変 換器及びガス圧力変換器がpr装置に取り付けられており、これら変換器で得ら れた情報をコンピュータにとって利用可能にする。コンピュータの役目としては 、pr装置の種々の構成要素のところでのガス圧力の増減度の計算だけでなく、 pr装置に供給されるガスの圧力の増減度の計算が挙げられる。コンピュータの 役目として又、pr装置の種々の構成要素の開閉移動度の計算が含まれる。 本装置は、列状に配置された弁によってpr装置へのガス供給量を制御し、か かる弁は、閉鎖位置を除く弁部材の全ての位置でガスを通す弁を含み、コンピュ ータの役目として、その弁のアクチュエータを、開閉弁のアクチュエータと共に 制御する信号の発生が含まれる。 本装置は、多種類の試験の任意の組合せを実行するコンピュータ援用診断試験 装置として使用され、コンピュータで用いられるソフトウェアはかかる試験を実 行するよう作成されている。本装置により、かかる試験の種々の組合せを容易に 実施できる。 さらに、本発明によれば、ガス減圧装置の試験に用いられるガス入口及びガス ポートを有する装置であって、第1、第2及び第3の弁を有し、第1及び第2の 弁は各々、入口及び出口を有し、第3の弁は、第1および第2の弁ポートを有し 、第1の弁の入口は、前記ガス入口と連通し、第1の弁の出口は、第2の弁の入 口と第3の弁の弁ポートの両方と連通し、第2の弁の出口は、大気に通じ、第3 の弁の第2の弁ポートは、ガスポートと連通し、第3の弁は、弁部材と、弁部材 を完全閉鎖位置、完全開放位置及びこれらの間の中間位置に移動させる手段とを 有することを特徴とする装置が提供される。 第3の弁は好ましくは、第3の弁部材の位置を表す電気出力を生じさせること ができる位置変換器と連携している。 この装置は好ましくは、入口及び出口を備えた第4の弁を有し、第4の弁の入 口は、ガス入口と連通し、第4の弁の出口は、ガスポートと連通している。 この装置は好ましくは、入口及び出口を備えた第5の弁を有し、第5の弁の入 口は、ガスポートと連通し、第5の弁の出口は、大気に通じている。 さらに、本発明によれば、本発明の装置を用いてガス減圧装置を試験する方法 であって、得られた結果を、先に該方法を実施した際に得られた結果と比較して ガス減圧装置の性能の変化を見分ける段階を含むことを特徴とする方法が提供さ れる。 本発明の方法は、上記の結果により所定の基準が満たされていないことが分か ると、ガス減圧装置のどの構成要素が故障状態にあるかを突き止めるためにコン ピュータに問い合わせる段階を含むのが良い。 本発明の方法は、保守記録を得るために、試験結果をダウンロードしてコンピ ュータ装置に記憶させる段階を含むのが良い。 本発明の方法は、コンピュータで用いられるソフトウェアによってガス減圧装 置の構成要素に適用されるガスの圧力増大度及び圧力減少度を制御する段階を含 むのが良い。 ガス減圧装置の試験に用いられる装置の実施形態を、添付の図面を参照して例 示として説明する。 図1は、コンピュータ装置及び、実施形態ではスキッドユニットの形態のpr 装置に接続された電気空気圧式試験ユニットを含む診断システムの略図である。 図2及び図3は、それぞれ配管接続状態及び電気ケーブル接続状態を示す電気 空気圧式試験装置の部分切欠き平面図である。 図4は、pr装置及び試験診断装置への接続状態(破線で示す)の線図である 。 図5は、試験診断装置を単純化形態で、その動作を制御するのに用いられるリ レードライバ基板が設けられた状態で示す略図である。 図6A及び図6Bは、インタフェース14内の電気回路の一部の線図であり、 図5に示す弁のアクチュエータを制御するのに用いられるリレードライバ基板の 詳細を示す図である。 図7は、一方において弁及び変換器と他方においてインタフェース及びコンピ ュータとの間の電気的接続状態を示すブロック図である。 図8は、スラムシャット弁の試験用流れ図である。 図9は、表示された試験結果を示す図である。 図10は、別のスラムシャット弁の試験用流れ図である。 図11は、表示結果を示すグラフ図である。 図1は、スキッドユニットの形態をしていて、試験を受けるようになったpr 装置10を示している。電気空気圧式試験ユニット12がこのpr装置10に接 続されており、ケース内に収納されたインタフェースユニット14が、キーボー ド15及び関連表示画面17を有するポータブル式パーソナルコンピュータ(以 下、「PC」ともいう)16に接続されている。12ボルト電池の電源18が診 断システムに電力を供給するのに利用可能な状態で図示されている。コンピュー タは、マイクロプロセッサ、RAM、ROM、ハードディスク記憶装置及び直列 及び並列ポートを含む形式のものである。フロッピーディスク装置も設けられる 。 入口弁20と出口弁22は両方とも閉じられる。ユニット12は、ホース24 により、開閉弁28を経て高圧ガス本管26に連結されている。ユニット12は 第2のホース30によって開閉弁32に連結されており、この開閉弁32は、p r装置内に位置していて、出口弁22のすぐ上流側の箇所に連結されている。ガ スをpr装置に供給してホース30を経由してpr装置から運び出すことができ ることは注目されるべきである。 変位変換器40,42がpr装置に取り付けられている。例えば、変換器40 はスラムシャット弁部材の移動量を表示する電気アナログ信号を出し、変換器4 2は圧力調整弁部材の移動量を表示する電気アナログ信号を出す。 圧力変換器44が圧力マニホルド(図4参照)に接続されており、この圧力マ ニホルドは、pr装置内に位置していて、逃がし弁46(図4参照)のすぐ下流 側の箇所に連結された開閉弁(図4参照)に連結されている。 変換器40,42,44はそれぞれケーブル48,50,52によりユニット 12に設けられた接続箱54に接続されている。接続箱54はケーブル56によ ってインタフェース14に接続されている。 ユニット12内に組み込まれている装置は、コンピュータ16により制御され るアクチュエータ(図示せず)によって操作される弁(図5参照)を有する。イ ンタフェース14はケーブル60によって接続箱58に接続されている。 インタフェース14はケーブル62によって電池電源18に接続され、コンピ ュータ16はケーブル(図示せず)によってインタフェース14に接続されてい る。 図2及び図3はユニット12の詳細を示している。ガスはホース24(図1) を経てユニット12に到達し、開閉弁66(図3)を通ってユニットに流入する 。図3をさらに参照すると、ガスは次に圧力調整弁68に流入し、そしてT継手 70まで流れる。一方の枝管は第2のT継手72まで延び、そこから開閉弁74 (大気に通じている)まで延び、そして他方の枝管は第1の電磁弁76の入口ま で延びている。弁76の出口はT継手78に連結されている。T継手78の一方 の出口は第2の電磁弁80の入口に連結され、第2の電磁弁80の出口は大気に 通じている。 T継手78の他方の出口はニードル弁82の形態をした第3の弁の第1の弁ポ ートに接続されている。ニードル弁82の第2の弁ポートはT継手84に連結さ れている。 ニードル弁82の「入口」又は「出口」と呼称することはできない。というの は、ガスはニードル弁82を通っていずれの方向にも流れることができるからで ある。 T継手84の一方のポートはT継手85に連結され、T継手85の一方の出口 は玉弁86の形態をした第4の弁の出口に連結されている。玉弁86の入口はT 継手70の第2の出口に連結されている。 T継手84の第2の出口は、電磁弁90の形態をした第4の弁の入口に連結さ れている。弁90の出口は、開閉弁92の入口に連結され、開閉弁92の出口は 大気に通じている。 T継手85の第2のポートはオリフィスプレート94に連結されている。オリ フィスプレート94はガスポート100に連結され、このガスポート100はガ スホース30に連結されている(図1)。 差圧変換器102が管104,106によってオリフィスプレート94の両側 に接続されている。 図2は、ニードル弁82のためのアクチュエータ110及び玉弁86のための アクチュエータ112を示している。図2は又、接続箱58から電磁弁76、電 磁弁80、玉弁86、ニードル弁82、電磁弁84にそれぞれ制御信号を伝送す るケーブル114,116,118,120,122を示している。接続箱58 はケーブル60によってインタフェース14に接続されている。 図3は又、弁82と接続箱54を相互に接続するケーブル140を示している 。このケーブル140はアクチュエータ110内に組み込まれていて、弁82の 弁部材(ニードル)の位置を表示する位置変換器又は位置検出器(図示せず)か ら電気信号を伝送する。 図3は又、差圧変換器102と接続箱54を相互に接続し、オリフィスプレー ト94の前後で測定された差圧を表わす電気信号を伝送するケーブル142を示 している。コンピュータは、この信号からオリフィスプレート94の通過ガス流 量を計算する。 図4は、スキッドユニットの形態をしたpr装置の一部を示している。pr装 置は、メインストリーム(図示している)及びスタンバイ(待機)ストリーム( 図4には示していないが全体として図1の背景に示されている)を有する。診断 システムを第1の一方のストリーム(図示している)に接続し、次に所望ならば 他方のストリームに接続できることは理解されよう。 例えば、メインストリームは、入口弁150、フィルタ152、スラムシャッ ト弁154、圧力調整弁156、逃がし弁157、ウェーハチェック弁158及 び出口弁160を有する。メインストリームと並列状態に、「J」ガバナ166 、「J」逃がし弁168、吸入器170、K1パイロット弁172及びK2パイ ロット弁174を含む補助レールが設けられている。 以下に記載するような手動操作式開閉弁、即ち、弁150の上流側に位置して いて、ホース24が接続されている(図1)弁28、スラムシャット弁154と 圧力調整弁150との間に位置した弁180、圧力調整弁156のダイアフラム の下側に通じていて、衝撃圧力を圧力調整弁156のダイアフラムの下側に直接 作用させることができるようにする弁182、逃がし弁157とウェーハチェッ ク弁158との間に位置していて、圧力マニホルド189が接続されている弁1 84が設けられている。圧力マニホルドについては図1の説明と関連して言及し た。圧力変換器44は圧力マニホルド189に接続されており、弁32について はすでに説明した(図1参照)。 加うるに、補助レールには、以下の手動開閉弁、即ち、メインストリームと「 J」ガバナとの間に位置する弁186、「J」ガバナと「J」逃がし弁との間に 位置する弁188、補助レールとメインストリームとの接続部のすぐ上流側に位 置する弁190が設けられている。 最後に、パイロット弁172,174のダイアフラムの下側の圧力を検出する よう接続された手動操作弁192が設けられると共に、ストリーム出口弁160 の下流側の圧力がパイロット弁172,174のダイアフラムの下に作用するこ とができるようにする手動操作弁194が設けられている。 図4は又、圧力マニホルド189と手動操作式弁180との間に位置していて 、圧力調整弁156の上流側の圧力を抜きながらガスの流れを絞る絞り弁又はレ ストリクタ199を示している。 図5は、ユニット12内に組み込まれていて、図3を参照して説明した装置を 示している。図5は、単純化した図であるが、本発明の一実施形態を形成する弁 76,80,82,86,90を示している。オリフィスプレート94だけでな く、圧力調整弁68、T継手72及び開閉弁も図5から省略されている。 本発明の一特徴はその最も広い形態では、図5に示すように配置された弁76 ,80,82だけを含み、弁86,90は省かれている。しかしながら、図5は 全体として、本発明のその特徴の好ましい形態を示している。図5では、入口ポ ートには符号75が付けられ、ガスポートには符号77が付けられている。電磁 弁80は符号79のところで大気に通じている出口を有し、電磁弁90は符号8 1のところで大気に通じている出口を有している。 電磁弁76,80,90及び玉弁86は全て、一方向だけのガスの流れを取り 扱う。しかしながら、ニードル弁82は、いずれの方向のガス流をも取り扱う。 電磁弁76を供給弁と称しても良く、また電磁弁80を低速ガス抜き弁又はベン ト弁と称しても良い(なお、ガス抜き率は、ニードル弁内のニードルの設定によ って定められる)、電磁弁90を高速ガス抜き弁又はベント弁と称しても良い。 図5は又、概略的に示されているリレードライバ印刷回路基板200を示し、 図6は、この印刷回路基板及び関連回路を一層詳細に示している。リレードライ バ印刷回路基板は、インタフェースユニット14内に配置されている。リレード ライバ印刷回路基板は、電磁弁76,80,90及び弁82,86のアクチュエ ータを付勢する。リレードライバ印刷回路基板は、符号202のところで10本 のリード線SK1〜SK8、SK10及びSK12の各々に設けられた流入電流 抑制器を含む。図5に示す「オフ」状態では、ピンPL1 37、PL1 39、P L1 41、PL1 43、PL1 45、PL1 47はすべて消勢され、電圧がリー ド線SK1〜SK8、SK10及びSK12に示されている。 図5に示すプラグPL1 は、PC16とシステム残部との間のインタフェース に接続されている。変換器からの入力も、このインタフェースに接続され、この インタフェースは又、PC16への入力/出力接続部を有している。 PL1 37はリレーRL6及びRL5へのパワー(電源)を制御する(図6) 。PL1 39は、RL5を制御し、パワーオンオフ用SK3 1、SK3 2及びS K3 3を切り替える。PL1 41はRL4を制御し、パワーオンオフ用SK3 4 、SK3 5及びSK3 6を切り替える。PL1 43はRL3を制御し、パワーオ ンオフ用SK3 8を切り替える。PL1 45はRL2を制御し、パワーオンオフ 用SK3 10を切り替える。PL1 47はRL1を制御し、パワーオンオフ用S K3 12を切り替える。 図6は、流入電流抑制器(図5では符号202で示されている)CSR1〜C SR10を示している。ICIで示されたチップはドライバチップであり、リレ ーを駆動する電流を生じさせ、電圧をその入力からその出力へ反転させる。換言 すると、入力における5ボルトは、出力において0ボルトになる。 ニードル弁82の作動により、弁を閉鎖したり、弁を完全に開放したり、或い はニードルをソフトウェアの要求及び実施中の特定の試験に応じて或る中間位置 に設定できることは思い出されるべきである。また、ニードルの位置はアクチュ エータ110に組み込まれた位置変換器(図示せず)によってモニターされ、そ の結果得られる電気信号は、ニードルの正確な設定値を計算するために圧力変換 器44からの信号又は変換器102からの信号と共にコンピュータによって利用 される。 この実施形態では、診断システムはスキッドユニット10について16種類の 試験を行うよう設計されている。かかる試験は以下の通りである。 1.漏れ試験:装置試験ライン 2.ウェーハチェック弁:逆流試験 3.逃がし弁の性能 4.スラムシャット弁の再現性 5.漏れ試験:スラムシャット・レットバイ(Let-by) 6.漏れ試験:スラムシャット・ステムシール 7.動作中の圧力調整弁の静的性能 8.スラムシャット応答 9.逃がし弁の再現性 10.漏れ試験:スラムシャット・ダイアフラム室 11.「J」ガバナ/逃がし弁の設定値点検 12.漏れ試験:動作中の圧力調整弁のダイアフラム室 13.Kパイロット設定値点検 14.スノーフレークKパイロット設定値点検 15.漏れ試験:ストリーム遮断弁 16.漏れ試験:圧力健全性 次に、試験第2及び試験第7を実施するために図5に示す弁の作動を例示とし て説明する。試験第2 ウェーハチェック弁:逆流試験 ニードル弁アクチュエータ110を制御してニードル弁82を50%だけ開く 。供給ソレノイド弁76を開く。35mbの圧力に達すると(圧力変換器44でモ ニターする)、玉弁アクチュエータ112を制御して玉弁86を開く。次に、ス トリームウェーハチェック弁158を通過して弁の右側から左側に流れる流量を モニターする(変換器102による)。 10秒後、玉弁86を閉じるが、電磁弁76は開いたままの状態にして逃がし 弁157の部分開放圧力をチェックする。30秒経過時に電磁弁76を閉じ、逃 がし弁157の再着座圧力を記録する。 50秒経過時、高速ガス抜き電磁弁90を開いて試験を終了する。 モニターした結果をコンピュータ16の表示画面上に表示する。試験第7 動作中の圧力調整弁の静的性能 低速ガス抜き電磁弁80を開いて蒸気圧力を所定レベル(変換器44によって モニターする)まで下げ、ついには圧力調整弁156が動作し始めるようにする 。ニードル弁アクチュエータ110を制御してニードル弁82のニードルを設定 し、ガス抜き率を調整して圧力調整弁156の移動量を調整する。 圧力調整弁156が完全に開かれると、低速ガス抜き電磁弁80を閉じる。供 給電磁弁76を開いて圧力調整弁を閉鎖し、この閉鎖移動量は、アクチュエータ 110及びニードル弁82のコンピュータ制御によって決定される。次に、供給 電磁弁76を閉じて試験を終了する。 モニターした結果がコンピュータ16の表示画面上に表示される。 図7は、一方において上述の弁及び変換器と他方においてPC16上のインタ フェース14との間の電気的接続状態を示している。 PC16はスキッドユニット(図示している)又は制御モジュールのための試 験及び診断ソフトウェアを実行する。PC16の並列ポートの出力を切り替える ことにより、PC16は、上述の各種診断試験を実行することができ、またその 並列ポートの入力を読み取ることにより、試験中スキッドユニットがどれほど性 能を発揮したかについての情報を得ることができる。 データ収集システム210はコンピュータ16とシステム残部をインタフェー スし、アナログ−ディジタル変換器を含む。データ収集システムは、コンピュー タ16の並列ポートを用い、これから、出力を駆動することができると共にコン ピュータが読み取ることができる入力を提供する。 リレードライバ印刷回路基板200は、コンピュータによって駆動されるデー タ収集システム210からのディジタル出力を受け取り、これらディジタル出力 を用いて電磁弁76,80,90又はニードル弁82、或いは玉弁86を付勢す る。基本的に、リレードライバ印刷回路基板は、低出力ディジタル信号を受け取 り、適当なバッファリング/ドライバと協働し、リレーを用いて電磁弁及び玉弁 及びニードル弁のアクチュエータのための高出力信号を出す。 アイソレータ220は、ユニット12とデータ収集システム210への入力を 電気的に絶縁する。これは、本来的に安全なシステムであり、もし万が一PC1 6またはインタフェース14に故障が生じても、危険な領域の中にあるユニット 12でガス爆発又は着火の恐れはないであろう。 図1の表示装置17は、診断を助けるために種々のpr装置試験の試験結果を 図形表示する。表示装置上の表による結果も得られる。例えばスラムシャット弁 についての試験を行うと、本システムは次の項目をチェックすることができる。 (a) トリップレベルに関するスラムシャット応答及びスティックションの形跡 (b) 高速圧力増大下におけるスラムシャットのトリップポイント及びアクチュエ ータのダイアフラム及びシールを通過する漏れの形跡 点検項目(a)を実施するため、コンピュータ流れ図は、図8に示すように動作 する。ここでは、試験は、コンピュータ制御下で圧力を自動的に増分させ、検出 操作まで圧力が増大する際の変化を検出して測定する。測定して記憶した結果を 、設定パラメータ及び図9に示すように表示装置について得られた結果のグラフ 図及び表と比較することができる。 自動シーケンスは、例えば以下に示す操作を助けるために表示装置上に示され た「プロンプト」の後に続くことができる。 1 スラムシャットがセットされているかどうかを点検する。 2 試験ラインを圧力変換器に接続する。 3 試験ラインをスラムシャット試験箇所に接続する。 4 試験スラムシャット弁が「試験」にセットされているかどうかを点検する。 点検項目(b)を実施するため、ソフトウェアフォーム中のコンピュータ流れ図 は、図10に示すように動作することになる。表示結果は、図11に示されてい る。 試験段階の組合せから成る同様なシーケンスにより、全ての弁の試験を行うこ とができるであろう。試験を繰り返すことにより、再現性のある結果についての 情報を診断目的のために記憶させることができるであろう。 図面を参照して行った上記の説明は、スキットユニットの形態のガス減圧装置 を試験するための装置に関連している。しかしながら、本発明による装置を用い ると、例えばガス制御モジュールの形態の他のガス減圧装置を試験できることは 理解されよう。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 カースカッデン イアン アンドリュー イギリス ニューキャッスル アポン タ イン エヌイー7 7キューエス ハイ ヒートン フェニファー グローヴ 33

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.減圧装置を現場で試験するポータブル式診断システムであって、少なくとも 一つの変位変換器を減圧装置に接続する手段と、流体圧力を検出する手段と、減 圧装置を試験するための出力流体圧力を選択する制御手段と、選択すると共に、 或いは検出した圧力に基づいて少なくとも一つの変換器から弁変位情報を受け取 り、該弁変位情報に対する弁の移動度を求める手段とを有することを特徴とする システム。 2.制御手段は、測定情報を所望の作動条件と比較して診断情報を提供するため の手段を含むことを特徴とする請求項1記載のシステム。 3.制御手段は、コンピュータを含み、該コンピュータは、試験結果に関する視 覚情報を提供するようコンピュータにより駆動される表示手段を備えていること を特徴とする請求項1又は2記載のシステム。 4.表示手段は、被試験装置が機能的に適正な場合であっても、潜在的な故障状 態を表示する図形的及び他のディテールを提供するよう構成されていることを特 徴とする請求項3記載のシステム。 5.圧力及び流量を制御するために、制御手段により操作できる複数の弁を有す る電気空気圧式装置が設けられていることを特徴とする請求項1〜4のうち何れ か一つに記載のシステム。 6.圧力試験に用いられる流量測定手段を更に有することを特徴とする請求項1 〜5のうち何れか一つに記載のシステム。 7.次に行う試験を先に得られた試験結果と比較して故障の予測に役立たせるた めの記憶手段が設けられていることを特徴とする請求項1〜6のうち何れか一つ に記載のシステム。 8.ガス減圧装置の試験に用いられるガス入口及びガスポートを有する装置であ って、第1、第2及び第3の弁を有し、第1及び第2の弁は各々、入口及び出口 を有し、第3の弁は、第1および第2の弁ポートを有し、第1の弁の入口は、前 記ガス入口と連通し、第1の弁の出口は、第2の弁の入口と第3の弁の弁ポート の両方と連通し、第2の弁の出口は、大気に通じ、第3の弁の第2の弁ポ ートは、ガスポートと連通し、第3の弁は、弁部材と、弁部材を完全閉鎖位置、 完全開放位置及びこれらの間の中間位置に移動させる手段とを有することを特徴 とする装置。 9.第3の弁は、第3の弁部材の位置を表す電気出力を生じさせることができる 位置変換器と連携していることを特徴とする請求項8記載の装置。 10.入口及び出口を備えた第4の弁を有し、第4の弁の入口は、ガス入口と連通 し、第4の弁の出口は、ガスポートと連通していることを特徴とする請求項8又 は9記載の装置。 11.入口及び出口を備えた第5の弁を有し、第5の弁の入口は、ガスポートと連 通し、第5の弁の出口は、大気に通じていることを特徴とする請求項8、9又は 10記載の装置。 12.前記弁は全て、弁部材を有し、各弁は、弁の弁部材を移動させるよう電気的 に操作できる手段を有することを特徴とする請求項8〜11のうち何れか一つに 記載の装置。 13.第1、第2及び第5の弁は、電磁弁であり、第3の弁は、電動機から成るア クチュエータによって移動できる弁部材を有するニードル弁であり、第4の弁は 、電動機から成るアクチュエータにより移動できる弁部材を有する玉弁であるこ とを特徴とする請求項12記載の装置。 14.ガス流量を測定する手段及びガス圧力を測定する手段を有し、前記測定手段 は、電気出力信号を発生できる変換器を含むことを特徴とする請求項8〜13の うち何れか一つに記載の装置。 15.ダイアフラムにより動作できるガス圧力調整弁の形態のガス減圧装置と組み 合わせて用いられ、コンピュータ及びコンピュータインタフェースと、コンピュ ータに接続された電気エネルギ供給源とを有し、ガス入口及びガスポートは、耐 圧ホースにより圧力調整弁又は関連の本管系統に設けられたタッピング部に連結 され、電気出力信号を発生できる圧力変換器が、圧力調整弁のタッピング部に連 結されたマニホルドに連結されており、マニホルドは、圧力調整弁のダイアフラ ムの下側を含む圧力調整弁に設けられた複数のタッピング部にそれぞれ連結され た複数のポートを有し、変位変換器が、圧力調整弁に適合する電気 出力信号を発生することができ、ガス入口電気出力信号は、圧力調整弁のダイア フラムの変位に応答する電気出力信号を含み、前記変換器は全て、ケーブルによ ってコンピュータインタフェースに接続され、インタフェースはケーブルにより 、各弁部材を移動させる前記手段に接続されていることを特徴とする、請求項1 2又は13に従属した請求項14記載の装置。 16.ガス減圧装置を、請求項8〜15のうち何れか一つに記載の装置を用いて試 験する方法であって、得られた結果を、先に該方法を実施した際に得られた結果 と比較してガス減圧装置の性能の変化を見分ける段階を含むことを特徴とする方 法。 17.ガス減圧装置を、請求項15に記載の装置を用いて試験する方法であって、 前記結果により所定の基準が満たされていないことが分かると、ガス減圧装置の どの構成要素が故障状態にあるかを突き止めるためにコンピュータに問い合わせ る段階を含むことを特徴とする方法。 18.ガス減圧装置を、請求項15に記載の装置を用いて試験する方法であって、 保守記録を得るために試験結果をダウンロードしてコンピュータ装置に記憶させ る段階を含むことを特徴とする方法。 19.ガス減圧装置を、請求項15に記載の装置を用いて試験する方法であって、 コンピュータで用いられるソフトウエアによってガス減圧装置の構成要素に適用 されるガスの圧力増大度及び圧力減少度を制御する段階を含むことを特徴とする 方法。 20.請求項13に従属する請求項15に記載の装置を用いてガス減圧装置を試験 する方法であって、ガス減圧装置の逆止弁を逆流方式で試験するように実施され る以下の段階、即ち、 (a) 第3の弁(ニードル弁)を50%だけ開く段階と、 (b) 第1の電磁弁を開く段階と、 (c) 設定圧力に達すると、第4の弁(玉弁)を開く段階と、 (d) 逆止弁を通過する流量を記録する段階と、 (e) 第1の設定期間経過後、第4の弁を閉じる(しかしながら、第1の弁を 開いたままにしてガス減圧装置の逃がし弁の部分開放圧力を点検する)段階と、 (f) 第2の設定期間経過後、第1の弁を閉じる段階と、 (g) 圧力(逃がし弁の再着座圧力)を記録する段階と、 (h) 第3の設定期間経過後、第2の電磁弁を開く段階とを有することを特徴 とする方法。 21.請求項6に従属する請求項8に記載の装置を用いてガス減圧装置を試験する 方法であって、ガス減圧装置のガス圧力調整弁を試験するように実施される以下 の段階、即ち、 (a) 所定圧力に達するまで、第2の弁を開いてガス減圧装置内のガス圧力を 減少させる段階と、 (b) 圧力調整弁の弁部材が制御された速度で移動を開始するまで、第3の弁 (ニードル弁)の設定を調節する段階と、 (c) 圧力調整弁が完全に開かれると、第2の弁を閉じる段階と、 (d) 第1の弁を開く段階と、 (e) 前記段階(b)を繰り返す段階と、 (f) 圧力調整弁が完全に閉じられると、第1の弁を閉じる段階とを有するこ とを特徴とする方法。 22.添付の図面を参照して明細書中に記載したポータブル式診断システム。 23.添付の図面を参照して明細書中に記載した請求項8記載の方法。
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