JPWO2016042760A1 - 流体経路検査装置及び流体経路検査方法 - Google Patents

Abstract

システム上の問題なのか、専用チューブのリークなのか、締め付け圧力の不具合の問題なのか等の異常モードの分類やその異常モードの分析等が簡単にできる流体経路検査装置及び流体経路検査方法を提供する。圧力調整用比例電磁弁（Ｖ1a2，Ｖ1a4，Ｖ1a6，Ｖ1b2，Ｖ1b4，Ｖ1b6）を有し、被測定機器３の流体経路に発生する可能性のある複数の異常モードのそれぞれが呈する流体回路の特性を、被測定加圧手段３０３による流体圧力の加圧と圧力調整用比例電磁弁による流体圧力の調整によってそれぞれエミュレートして、被測定機器３の流体経路の異常を検査する異常エミュレーションユニット２１ｂを備える。

Description

本発明は流体経路の異常を検査する装置に係り、特に間歇的流体圧迫法（intermittent pneumatic compression：ＩＰＣ）に用いる医療機器の場合等のように、人体に取り付ける場合に圧力調整の微妙な流体経路を形成するシステムにおいて、人体に対する取り付け環境を含めた複雑な異常等を検査し、流体経路をメインテナンスする際に必要となる流体経路検査装置及びこの流体経路検査装置を用いた流体経路検査方法に関する。

間歇的流体圧迫法では、図３４及び図３５に示すようなスリーブ（ガーメント）３０１ａ，３０１ｂを下肢や足底に巻き付け、加圧ポンプ（ＩＰＣポンプ）によって加えられる圧力により、静脈中の血液を押し出し、静脈血流速度を増加させ、線維素溶解活動を刺激する。このＩＰＣ法においては、始業時に、接続チューブ４ａ₁，４ａ₂，４ａ₃；４ｂ₁，４ｂ₂，４ｂ₃が確実に接続されているか、接続チューブ４ａ₁，４ａ₂，４ａ₃；４ｂ₁，４ｂ₂，４ｂ₃にネジレや折れがないか、接続チューブ４ａ₁，４ａ₂，４ａ₃；４ｂ₁，４ｂ₂，４ｂ₃からの空気漏れがないか、コネクタに空気漏れがないか、スリーブ、カーフポンプやフットポンプに空気漏れや故障がないか等の点検が必要である。

従来、高圧の流体加圧ポンプの作動状態を監視する装置（特許文献１参照。）やチューブの不具合のみを単独で検査する装置（特許文献２参照。）等の提案は知られている。しかしながら、医療機器に用いる５〜１０ｋＰａ程度の低圧領域を対象とするシステムにおいては、スリーブ３０１ａ，３０１ｂ等を人体に巻き付ける際の締め付け圧力の不具合等は、微少レベルの圧力変化を伴う複雑な事象である。よって、医療機器に用いられる低圧領域の流体経路の場合は、不具合の検知や原因の究明は経験則を伴う微妙な判断が求められ、非常に困難である。したがって、微少レベルの圧力変化の検知が必要な低圧領域の流体経路をシステム構成とするような医療機器を被測定機器とする場合は、加圧ポンプ等の被測定機器を構成しているハードウェアやシステムの故障なのか、被測定機器に用いる接続チューブ４ａ₁，４ａ₂，４ａ₃；４ｂ₁，４ｂ₂，４ｂ₃等のリークや不備なのか、被測定機器に用いるスリーブ３０１ａ，３０１ｂの取り付け方や締め付け圧力に不具合があるのかを簡単に判別することは困難である。このため、従来は、専用チューブのリークと加圧手段等のシステム上の問題とを簡単に判別できるような流体経路検査装置や流体経路検査方法の提案はなかった。

特開２００１−１３２６５９号公報 特開２００２−２０２２３２号公報

本発明は、被測定機器を構成している加圧手段等のハードウェアやシステム上の問題なのか、被測定機器に用いる専用チューブのリークや不備の問題なのか、被測定機器に用いるスリーブ等の部品の取り付け方や締め付け圧力の不具合の問題なのか等の被測定機器の異常モードの分類やその異常モードの分析等を、１台の小型の装置を用いて簡単にできる流体経路検査装置及びこの流体経路検査装置を用いた流体経路検査方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の第１の態様は、被測定加圧手段と専用チューブを有する被測定機器の流体経路を検査する流体経路検査装置に関する。即ち、本発明の第１の態様に係る流体経路検査装置は、(a)測定用加圧手段を有し、専用チューブの経路を流体経路の一部として閉じた流体回路を構成し、測定用加圧手段によって流体回路を加圧して一定時間保持することにより専用チューブのリークを検査するリーク検査ユニットと、(b)圧力調整用比例電磁弁を有し、被測定機器の流体経路に発生する可能性のある複数の異常モードのそれぞれの流体回路の特性を、被測定加圧手段による流体圧力の加圧と圧力調整用比例電磁弁による流体圧力の調整によってそれぞれエミュレートして、被測定機器の流体経路の異常を検査する異常エミュレーションユニットと、を備えることを要旨とする。

本発明の第２の態様は、被測定加圧手段と専用チューブを有する被測定機器の流体経路を検査する流体経路検査方法に関する。即ち、本発明の第２の態様に係る流体経路検査方法は、(a)専用チューブの経路を流体経路の一部として閉じた流体回路を構成し、流体回路を加圧して一定時間保持することにより専用チューブのリークを検査するステップと、(b)被測定機器の流体経路に発生する可能性のある複数の異常モードのそれぞれの流体回路の特性を流体経路検査装置によってエミュレートするステップと、(c)被測定機器に接続された流体経路検査装置の内部配管を被測定加圧手段で加圧して、エミュレートされた特性と比較して、被測定機器の流体経路の異常を検査するステップと、を含むことを要旨とする。

本発明によれば、被測定機器を構成している加圧手段等のハードウェアやシステム上の問題なのか、被測定機器に用いる専用チューブのリークや不備の問題なのか、被測定機器に用いるスリーブ等の部品の取り付け方や締め付け圧力の不具合の問題なのか等の被測定機器の異常モードの分類やその異常モードの分析等を、１台の小型の装置を用いて簡単にできる流体経路検査装置及びこの流体経路検査装置を用いた流体経路検査方法を提供することができる。

本発明の第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の一部を構成するリーク検査ユニットの平面配置レイアウトの要部の概略を説明する模式的なブロック図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の他の一部を構成する異常エミュレーションユニットの平面配置レイアウトの要部の概略を、３系統の流体回路を一部に示しながら説明する模式的なブロック図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の筐体に囲まれた下側の小部屋の要部の概略を説明する左側面側から見た部分断面斜視図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の上側の小部屋と下側の小部屋を含めて全体を透視する左側面図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の筐体に囲まれた下側の小部屋に着目した一部透視平面図である。 図６（ａ）は、第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の下側の小部屋に配置されたプリント基板スタックの要部の概略を説明する模式的な側面図で、図６（ｂ）は、第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の上側の小部屋に配置されたプリント基板スタックの要部の概略を説明する模式的な側面図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置のシステム構成の要部の概略を説明するブロック図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に用いる全体制御回路の要部の概略を説明するブロック図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に用いるリーク用流体供給圧力計測回路の要部の概略を説明するブロック図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に用いるＡポート流体供給圧力計測回路の要部の概略を説明するブロック図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に用いるＢポート流体供給圧力計測回路の要部の概略を説明するブロック図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に用いるリーク検査用駆動回路とこのリーク検査用駆動回路によって駆動される素子との関係を説明するブロック図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に用いるＡポート検査用異常負荷発生回路とこのＡポート検査用異常負荷発生回路によって駆動される素子との関係を説明するブロック図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に用いるＢポート検査用異常負荷発生回路とこのＢポート検査用異常負荷発生回路によって駆動される素子との関係を説明するブロック図である。 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に用いる動作表示灯点灯回路とこの動作表示灯点灯回路によって駆動される素子との関係を説明するブロック図である。 「エラーモード（異常モード）」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その１）。 「エラーモード」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その２）。 「エラーモード」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その３）。 「エラーモード」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その４）。 「エラーモード」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その５）。 「エラーモード」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その６）。 「エラーモード」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その７）。 「エラーモード」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その８）。 「エラーモード」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その９）。 「ノーマルモード（正常モード）」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その１）。 「ノーマルモード」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その２）。 「ノーマルモード」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その３）。 「ノーマルモード」における第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その４）。 リーク検査の場合の第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その１）。 リーク検査の場合の第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その２）。 リーク検査の場合の第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その３）。 リーク検査の場合の第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その４）。 リーク検査の場合の第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の動作を説明するフローチャートである（その５）。 本発明の第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の適用例として好適な医療機器が人体に取り付けられた状態の概略を説明する模式的な鳥瞰図である。 人体に取り付ける前に、図３４に示した医療機器を展開した状態の概略を説明する模式的な平面図である。

次に、図面を参照して、本発明の第１の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。又、以下に示す第１の実施の形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、本発明の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。本発明の技術的思想は、特許請求の範囲に記載された請求項が規定する技術的範囲内において、種々の変更を加えることができる。

（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態に係る流体経路検査装置は、図２に示すような被測定加圧手段（コンプレッサ）３０３と専用チューブ（４_a1，４_a2，４_a3，４_b1，４_b2，４_b3）を有する被測定機器３の流体経路を検査する流体経路検査装置である。即ち、第１の実施の形態に係る流体経路検査装置は、図１に示すような３０ｋＰａ程度以下の低圧領域の加圧が可能な測定用加圧手段（コンプレッサ）３４を有する。流体経路検査装置からは、専用チューブ（４_a1，４_a2，４_a3，４_b1，４_b2，４_b3）とは異なる検査チューブ４_xjが出ており、エラーモード・ノーマルモード時には検査チューブ４_xjのみで被測定機器３と流体経路検査装置とを接続している。被測定機器３の通常使用時には専用チューブ（４_a1，４_a2，４_a3，４_b1，４_b2，４_b3）が被測定機器３とスリーブ（ガーメント）とを接続している。流体経路検査装置と検査チューブ４_xj（４_a1，４_a2，４_a3，４_b1，４_b2，４_b3）のみを接続してリーク検査を行う。検査チューブ４_xjの経路を流体経路の一部として閉じた流体回路を構成し、測定用加圧手段３４によって流体回路を加圧して一定時間保持することにより検査チューブ４_xjのリークを検査するリーク検査ユニット２１ａと、図２に示すような圧力調整用比例電磁弁（Ｖ_1a2，Ｖ_1a4，Ｖ_1a6，Ｖ_1b2，Ｖ_1b4，Ｖ_1b6）を有し、被測定機器３の流体経路に発生する可能性のある複数の異常モードのそれぞれの流体回路特性を、被測定加圧手段３０３による流体圧力の加圧と圧力調整用比例電磁弁（Ｖ_1a2，Ｖ_1a4，Ｖ_1a6，Ｖ_1b2，Ｖ_1b4，Ｖ_1b6）による流体圧力の調整によってそれぞれエミュレートして、被測定機器３の流体経路の異常を検査する異常エミュレーションユニット２１ｂとを備える。

例えば、被測定機器３が、ＩＰＣに用いる医療機器の場合であれば微妙な圧力変動を基準として、以下の４つの異常モード（エラーモードＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４）の存在を、被測定機器３の流体経路の異常として仮定できる：
（イ）第１の異常モード（エラーモードＥ１）は、医療機器の内部圧力が高くなると出る「システム高圧エラー」である。図３４及び図３５に示すようなスリーブ（ガーメント）３０１ａ，３０１ｂを下肢や足底に巻き付ける場合で説明すれば、例えば、「第１部位」として定義した「足底」にスリーブを巻き付ける場合は、医療機器の内部圧力が２４ｋＰａ以上で「システム高圧エラー」と規定し、「第２部位」として定義した「下肢（レッグ）」にスリーブを巻き付ける場合は、医療機器の内部圧力が１２ｋＰａ以上で「システム高圧エラー」と規定することができる。

（ロ）第２の異常モード（エラーモードＥ２）は、通常使用時において、「第１部位」及び「第２部位」への取り付け状態が締め付け過ぎた場合に出る「高圧エラー」である。例えば「第１部位」については、１０サイクル連続で１８ｋＰａ以上、又は５サイクル連続で２１．３ｋＰａ以上になれば「高圧エラー」と規定することができる。一方、「第２部位」については、１０サイクル連続で６．３ｋＰａ以上、又は５サイクル連続で８．７ｋＰａ以上になれば「高圧エラー」と規定することができる。

（ハ）第３の異常モード（エラーモードＥ３）は、通常使用時において、「第１部位」及び「第２部位」への取り付け状態が緩過ぎた場合に出る「低圧エラー」である。例えば「第１部位」については、１０サイクル連続で１８．７ｋＰａ以下になれば「低圧エラー」と規定することができる。一方、「第２部位」については、１０サイクル連続で５．７ｋＰａ以下になれば「低圧エラー」と規定することができる。

（ニ）第４の異常モード（エラーモードＥ４）は、「システム高圧エラー」、「高圧エラー」、「低圧エラー」以外の要因で規定圧力範囲外となった場合に出る「システム低圧エラー」である。例えば「第１部位」については、１２サイクル連続で１４．７〜２０ｋＰａの範囲外になれば「システム低圧エラー」と規定することができる。一方、「第２部位」については、１２サイクル連続で４．７〜７．３ｋＰａの範囲外になれば「システム低圧エラー」と規定することができる：
ただし、これらの４つの異常モード（エラーモードＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４）は例示であり、被測定機器３が呈する流体経路の特性によって、２つ〜３つの異常モードや、５つ以上の異常モードや他の異常モードを設定して、異常エミュレーションユニット２１ｂがエミュレートするようにしても構わない。

第１の実施の形態に係る流体経路検査装置を構成するリーク検査ユニット２１ａは、図１に示すように、検査チューブ４_xjの経路を流体経路の一部とする配管系が構成する流体回路を加圧する測定用加圧手段（コンプレッサ）３４と、測定用加圧手段３４に内部配管ｇ₁を介して接続された供給側ソレノイド弁Ｖ_4aと、供給側ソレノイド弁Ｖ_4aに内部配管ｇ₁を介して接続された圧力センサＳ１を内蔵するマニホールド３１と、圧力センサＳ１に内部配管ｇ₃を介して接続された排気側ソレノイド弁Ｖ_4bと、排気側ソレノイド弁Ｖ_4bに内部配管ｇ₄を介して接続されたリーク検査用比例電磁弁Ｖ₃と、圧力センサＳ１に内部配管ｇ₅を介して接続された第１のチューブ接続継手ｆ_1aと、圧力センサＳ１に内部配管ｇ₆を介して接続された第２のチューブ接続継手ｆ_2aと、を備える。第１のチューブ接続継手ｆ_1aと第２のチューブ接続継手ｆ_2aには、一方の端部に第１の取付継手ｆ_1bを有し、他方の端部に第２の取付継手ｆ_2bを有する検査チューブ４_xj（ｘ＝ａ，ｂ；ｊ＝１〜３）が接続される。なお、図１では第１のチューブ接続継手ｆ_1a、第２のチューブ接続継手ｆ_2a、第１の取付継手ｆ_1b及び第２の取付継手ｆ_2bが、あたかもフランジタイプであるかのように表現されているが、模式的な表現であり、実際には検査チューブ４_xj（ｘ＝ａ，ｂ；ｊ＝１〜３）の両端がフランジタイプである必要はなく、雄−雌のソケットタイプ等、種々の接続継手が採用可能である。

一方、第１の実施の形態に係る流体経路検査装置を構成する異常エミュレーションユニット２１ｂは、図２に示すように、被測定機器３のＡポートに３本の専用チューブである第１チューブ４ａ₁，第２チューブ４ａ₂，第３チューブ４ａ₃を介してそれぞれ順に接続されるＡポート第１チューブ用圧力センサＳ２，Ａポート第２チューブ用圧力センサＳ３，Ａポート第３チューブ用圧力センサＳ４を備えている。同様に、異常エミュレーションユニット２１ｂは、被測定機器３のＢポートに３本の専用チューブである第１チューブ４ｂ₁，第２チューブ４ｂ₂，第３チューブ４ｂ₃を介してそれぞれ順に接続されるＢポート第１チューブ用圧力センサＳ５，Ｂポート第２チューブ用圧力センサＳ６，Ｂポート第３チューブ用圧力センサＳ７を更に備えている。図１の検査チューブ４_xj（ｘ＝ａ，ｂ；ｊ＝１〜３）は、Ａポートの第１チューブ４ａ₁，Ａポートの第２チューブ４ａ₂，Ａポートの第３チューブ４ａ₃、Ｂポートの第１チューブ４ｂ₁，Ｂポートの第２チューブ４ｂ₂，Ｂポートの第３チューブ４ｂ₃のいずれかに対応する。

そして、異常エミュレーションユニット２１ｂは、Ａポート第１チューブ用圧力センサＳ２に一方の端部を接続した垂直方向の内部配管ｇ７_a1から水平方向に分岐した第１の分岐配管に接続されたＡポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a1と、第１の分岐配管に隣接して内部配管ｇ７_a1から水平方向に分岐した第２の分岐配管に接続されたＡポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1と、内部配管ｇ７_a1の他方の端部に接続されたＡポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2と、第１電磁弁Ｖ_2a1に水平方向の内部配管ｇ８_a1を介して接続されたＡポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1と、を備える。被測定機器３のＡポート第１チューブ４ａ₁によって指定される流体経路に発生する可能性のある複数の異常モードのそれぞれの流体回路特性を、被測定加圧手段３０３による流体圧力の加圧、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2とＡポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1との調整によってエミュレートして、被測定機器３のＡポート第１チューブ４ａ₁の系の流体経路の異常を検査することができる。例えば、被測定機器３が、ＩＰＣに用いる医療機器の場合であれば、上述した「システム高圧エラー」、「高圧エラー」、「低圧エラー」及び「システム低圧エラー」の４つの異常モード（エラーモードＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４）の存在を、被測定機器３の流体経路の異常として設定できるので、これら４つの異常モードが呈する流体回路の特性を、被測定加圧手段３０３による流体圧力の加圧、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2とＡポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1との調整によってエミュレートして、被測定機器３のＡポート第１チューブ４ａ₁の系の流体経路の異常を検査することができる。ここで、被測定機器３が有する被測定加圧手段３０３は、３０ｋＰａ程度以下の低圧領域の加圧が可能なコンプレッサ等である。

同様に、異常エミュレーションユニット２１ｂは、Ａポート第２チューブ用圧力センサＳ３に一方の端部を接続した垂直方向の配管（図示省略）から水平方向に分岐した第１の分岐配管（図示省略）に接続されたＡポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a2と、第１の分岐配管に隣接して垂直方向の配管から水平方向に分岐した第２の分岐配管（図示省略）に接続されたＡポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2と、垂直方向の配管の他方の端部に接続されたＡポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4と、第１電磁弁Ｖ_2a2に水平方向の配管（図示省略）を介して接続されたＡポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3と、を備える。被測定機器３のＡポート第２チューブ４ａ₂によって指定される流体経路に発生する異常モードが呈する流体回路の特性を、被測定加圧手段３０３による流体圧力の加圧、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4とＡポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3との調整によってエミュレートして、被測定機器３のＡポート第２チューブ４ａ₂の系の流体経路の異常を検査することができる。

更に、異常エミュレーションユニット２１ｂは、Ａポート第３チューブ用圧力センサＳ４に一方の端部を接続した垂直方向の配管（図示省略）から水平方向に分岐した第１の分岐配管（図示省略）に接続されたＡポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a3と、第１の分岐配管に隣接して垂直方向の配管から水平方向に分岐した第２の分岐配管（図示省略）に接続されたＡポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3と、垂直方向の配管の他方の端部に接続されたＡポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6と、第１電磁弁Ｖ_2a3に水平方向の配管（図示省略）を介して接続されたＡポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5と、を備える。被測定機器３のＡポート第３チューブ４ａ₃によって指定される流体回路の特性を、被測定加圧手段３０３による流体圧力の加圧、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6とＡポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5との調整によってエミュレートして、被測定機器３のＡポート第３チューブ４ａ₃の系の流体経路の異常を検査することができる。

更に、異常エミュレーションユニット２１ｂは、Ｂポート第１チューブ用圧力センサＳ５に一方の端部を接続した垂直方向の内部配管ｇ７_b1から水平方向に分岐した第１の分岐配管に接続されたＢポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b1と、第１の分岐配管に隣接して内部配管ｇ７_b1から水平方向に分岐した第２の分岐配管に接続されたＢポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1と、内部配管ｇ７_b1の他方の端部に接続されたＢポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2と、第１電磁弁Ｖ_2b1に水平方向の内部配管ｇ８_b1を介して接続されたＢポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1と、を備える。被測定機器３のＢポート第１チューブ４ｂ₁によって指定される流体回路の特性を、被測定加圧手段３０３による流体圧力の加圧、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2とＢポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1との調整によってエミュレートして、被測定機器３のＢポート第１チューブ４ｂ₁の系の流体経路の異常を検査することができる。

更に、異常エミュレーションユニット２１ｂは、Ｂポート第２チューブ用圧力センサＳ６にπ型の配管（図示省略）を介して接続されたＢポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b2、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2及びＢポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4と、第１電磁弁Ｖ_2b2に水平方向の配管（図示省略）を介して接続されたＢポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3とを備える。被測定機器３のＢポート第２チューブ４ｂ₂によって指定される流体回路の特性を、被測定加圧手段３０３による流体圧力の加圧、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4とＢポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3との調整によってエミュレートして、被測定機器３のＢポート第２チューブ４ｂ₂の系の流体経路の異常を検査することができる。

更に、異常エミュレーションユニット２１ｂは、Ｂポート第３チューブ用圧力センサＳ７にπ型の配管（図示省略）を介して接続されたＢポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b3、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3及びＢポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6と、第１電磁弁Ｖ_2b3に水平方向の配管（図示省略）を介して接続されたＢポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5とを備える。被測定機器３のＢポート第３チューブ４ｂ₃によって指定される流体回路の特性を、被測定加圧手段３０３による流体圧力の加圧、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6とＢポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5との調整によってエミュレートして、被測定機器３のＢポート第３チューブ４ｂ₃の系の流体経路の異常を検査することができる。

図３には、第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の筐体（外装）２１に囲まれた下側の小部屋の部分断面斜視図を、図５には筐体２１に囲まれた下側の小部屋に着目した一部透視平面図を示したが、測定用加圧手段（コンプレッサ）３４が、図３の右側の奥（図５の右側の上部）となる位置において、第１の台座板（ベース）２４の上に配置されている。図４は筐体２１に囲まれた上側の小部屋と下側の小部屋を含めて全体を透視する左側面図であるが、図３及び図４に示すように、測定用加圧手段３４の左側の下段側（１段目側）に、手前側から順にＡポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a1、Ｂポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b1、Ｂポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b2、Ｂポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b3が紙面の奥に向かって、第１の台座板２４の上にコンパクトに配列されている。Ａポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a1、Ｂポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b1、Ｂポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b2、Ｂポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b3の配列の左側の第１の台座板２４の上には、圧力センサＳ１を有するマニホールド３１が配置されている。そして、図３及び図４において、マニホールド３１の左側の第１の台座板２４の上には手前側から順にＡポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、圧力センサユニット３５，Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2がコンパクトに配列されている。図５に示すように、圧力センサユニット３５は、下側（図３及び図４において手前側）から順に、Ａポート第１チューブ用圧力センサＳ２，Ａポート第２チューブ用圧力センサＳ３，Ａポート第３チューブ用圧力センサＳ４、Ｂポート第１チューブ用圧力センサＳ５，Ｂポート第２チューブ用圧力センサＳ６，Ｂポート第３チューブ用圧力センサＳ７がコンパクトに配列されている。

図３及び図４に示すように、マニホールド３１の上には矩形の開口部２８を有する矩形の第２の台座板（ベース）２３が、４隅を４本の支柱２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄでそれぞれ支えられて中空状態で設けられている。この第２の台座板２３の右側の領域には手前側から順にＡポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a2、Ａポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a3、供給側ソレノイド弁Ｖ_4a、排気側ソレノイド弁Ｖ_4bが上段側（２段目側）の弁（バルブ）としてコンパクトに配列されている。図５の一部透視平面図から分かるように、Ａポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a2、Ａポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a3、供給側ソレノイド弁Ｖ_4a、排気側ソレノイド弁Ｖ_4bは、それぞれＡポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a1、Ｂポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b1、Ｂポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b2、Ｂポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b3の１段目側の配置位置の上方に配列され、コンパクトな構造を実現している。

一方、開口部２８を挟んで第２の台座板２３の左側の領域には、手前側から順にＡポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6、リーク検査用比例電磁弁Ｖ₃が２段目側の弁として配列され、コンパクトな構造を実現している。図５の一部透視平面図から分かるように、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6、リーク検査用比例電磁弁Ｖ₃は、それぞれＡポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第１チューブ用圧力センサＳ２，Ａポート第２チューブ用圧力センサＳ３，Ａポート第３チューブ用圧力センサＳ４、Ｂポート第１チューブ用圧力センサＳ５，Ｂポート第２チューブ用圧力センサＳ６，Ｂポート第３チューブ用圧力センサＳ７，Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2の１段目側の配置位置の上方に配列され、コンパクトな構造を実現している。図示を省略しているが、開口部２８を介して１段目の流体経路と２段目の流体経路を接続する配管（流体経路）等が通過している。

図３の部分断面斜視図及び図４の左側面図の右側の手前側（図５の下部構造に着目した一部透視平面図の右側の下部）に示すように、第１の台座板２４の上には６枚のプリント基板からなるプリント基板スタック３３が配置されている。図６（ａ）に示すように、プリント基板スタック３３は下段側から、電源回路用基板６７６ｓ、第１の比例電磁弁駆動回路用基板６７５ｓ、第２の比例電磁弁駆動回路用基板６７４ｓ、第３の比例電磁弁駆動回路用基板６７３ｓ、加圧手段駆動回路用基板６７２ｓ、電磁弁駆動回路用基板６７１ｓの順に、スペーサ（カラー）を介して、間を開けて積層配置されている。

図４に示すように、筐体２１に囲まれた上側の小部屋（２階）には、４枚のプリント基板からなるプリント基板スタック３６が配置されている。図６（ｂ）に示すように、プリント基板スタック３６は左側から順に、センサ信号増幅回路用基板６７７ｓ、Ｂポート用エミュレーション制御回路用基板６８ｓ、Ａポート用エミュレーション制御回路用基板６９ｓ、タッチパネル駆動回路用基板６１ｓが右方向に向かって、スペーサ（カラー）を介して間を開けて積層配置されている。図６（ｂ）では、右端のタッチパネル駆動回路用基板６１ｓの紙面の奥に、リーク検査制御回路用基板６２ｓがＡポート用エミュレーション制御回路用基板６９ｓから離間して、Ａポート用エミュレーション制御回路用基板６９ｓの右側に配置されている。

図４の筐体２１に囲まれた上側の小部屋の左側の空間から外装に露出するように、被測定機器３の専用チューブを接続する接続コネクタホルダ３８が設けられている。一方、図４の筐体２１の右側の外装部分にはタッチパネル３７が設けられている。又、図５に示すように、筐体２１に囲まれた下側の小部屋の中央部から外装に露出するように、リーク検査チューブ接続部品（雌）２９ａ及びリーク検査チューブ接続部品（雄）２９ｂが設けられている。 図３の筐体２１に囲まれた下側の小部屋の部分断面斜視図においては、下側の小部屋の中央部にリーク検査チューブ接続部品（雄）２９ｂが図示され、図４の左側面図においては、下側の小部屋の中央部に３孔のリーク検査チューブ接続部品（雌）２９ａが図示されている。即ち、図１では第１のチューブ接続継手ｆ_1a、第２のチューブ接続継手ｆ_2a、第１の取付継手ｆ_1b及び第２の取付継手ｆ_2bが、あたかも単独のフランジタイプであるかのように表現されているが模式的な表現である。実際には３本の検査チューブ４_xj（ｘ＝ａ，ｂ；ｊ＝１〜３）が、図４の左側面図から分かるような３孔のリーク検査チューブ接続部品（雌）２９ａ及びリーク検査チューブ接続部品（雄）２９ｂを用いて、第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に同時に接続されることが可能である。

図３〜図６に示すような物理構造とすることにより、測定用加圧手段３４を有し、３本の専用チューブ（検査用チューブ）４_xjをリーク検査チューブ接続部品（雌）２９ａ及びリーク検査チューブ接続部品（雄）２９ｂを用いて第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に接続される。そして、３本の専用チューブ（検査用チューブ）４_xjの経路を３本の流体経路のそれぞれの一部として閉じた３本の流体回路が構成される。リーク検査ユニット２１ａは、測定用加圧手段３４によって３本の流体回路を加圧して一定時間保持することにより３本の検査用チューブ４_xjのリークを検査する。

一方、筐体２１の上側の小部屋に設けられた接続コネクタホルダ３８を用いて、３本の専用チューブ（検査用チューブ）４_xjを同時に接続することが可能であり、接続コネクタホルダ３８を介して３本の流体回路が構成される。異常エミュレーションユニット２１ｂは、圧力調整用比例電磁弁（Ｖ_1a2，Ｖ_1a4，Ｖ_1a6，Ｖ_1b2，Ｖ_1b4，Ｖ_1b6）を有しているので、被測定機器３の３本の流体経路に発生する異常モードが呈する流体回路の特性を、被測定加圧手段３０３による流体圧力の加圧と圧力調整用比例電磁弁（Ｖ_1a2，Ｖ_1a4，Ｖ_1a6，Ｖ_1b2，Ｖ_1b4，Ｖ_1b6）による流体圧力の調整によってそれぞれエミュレートして、被測定機器３の３本の流体経路の異常を検査することができる。図３〜図６に示すような物理構造とすることにより、リーク検査ユニット２１ａと異常エミュレーションユニット２１ｂとが、１台の小型の装置を構成するように、同一の筐体２１の内部に物理的に収納される。

第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の物理構造であるプリント基板スタック３３及びプリント基板スタック３６の全体は、図７のブロック図に示すようなシステム構成を実現している。即ち、第１の実施の形態に係る流体経路検査装置は、図７に示すような検査チューブ４_xjのリークを検査するリーク用流体供給圧力計測回路６１と、被測定機器３のＡポート側の正常動作及び異常動作をエミュレーションするＡポート流体供給圧力計測回路６９と、被測定機器３のＢポート側の正常動作及び異常動作をエミュレーションするＢポート流体供給圧力計測回路６８と、リーク用流体供給圧力計測回路６１、Ａポート流体供給圧力計測回路６９及びＢポート流体供給圧力計測回路６８の全体の動作を制御する全体制御回路６７と、検査チューブ４_xjのリークの検査、被測定機器３のＡポート及びＢポート側の正常動作及び異常動作のエミュレーションに必要な情報や検査結果を、図４に示したタッチパネル３７に表示させる液晶表示制御回路６２を備える。電気的な接続関係の図示を省略しているが、リーク用流体供給圧力計測回路６１、Ａポート流体供給圧力計測回路６９、Ｂポート流体供給圧力計測回路６８、全体制御回路６７及び液晶表示制御回路６２には、図７に示した電源６３から１２Ｖや５Ｖ等の直流電圧が供給される。

図８に示すように、全体制御回路６７は全体信号増幅回路６７７と、リーク用計測用演算処理回路（ＣＰＵ）５２ａ、Ａポート計測用演算処理回路（ＣＰＵ）５２ｂ、Ｂポート計測用演算処理回路（ＣＰＵ）５２ｃを備えており、リーク用計測用ＣＰＵ５２ａ、Ａポート計測用ＣＰＵ５２ｂ及びＢポート計測用ＣＰＵ５２ｃは外部クロック５１から供給されるクロック信号により動作する。リーク用計測用ＣＰＵ５２ａ、Ａポート計測用ＣＰＵ５２ｂ及びＢポート計測用ＣＰＵ５２ｃのそれぞれには、全体信号増幅回路６７７からそれぞれ増幅信号が供給される。又、リーク用計測用ＣＰＵ５２ａとＡポート計測用ＣＰＵ５２ｂとは互いに動作信号を交換し、Ａポート計測用ＣＰＵ５２ｂとＢポート計測用ＣＰＵ５２ｃも互いに動作信号を交換する。

リーク用流体供給圧力計測回路６１は、図９に示すように演算処理回路（ＣＰＵ）５４と数値表示回路５３とを備え、圧力センサＳ１からの計測信号を受信してＣＰＵ５４が演算処理した処理結果としての計測信号は数値表示回路５３に送信される。Ａポート流体供給圧力計測回路６９は、図１０に示すように第１の演算処理回路（ＣＰＵ）５６ａ、第２の演算処理回路（ＣＰＵ）５６ｂ、第３の演算処理回路（ＣＰＵ）５６ｃ、第１の数値表示回路５５ａ、第２の数値表示回路５５ｂ及び第３の数値表示回路５５ｃを備える。圧力センサＳ２からの計測信号を受信して第１のＣＰＵ５６ａが演算処理した処理結果としての計測信号は第１の数値表示回路５５ａに送信され、圧力センサＳ３からの計測信号を受信して第２のＣＰＵ５６ｂが演算処理した処理結果としての計測信号は第２の数値表示回路５５ｂに送信され、圧力センサＳ４からの計測信号を受信して第３のＣＰＵ５６ｃが演算処理した処理結果としての計測信号は第３の数値表示回路５５ｃに送信される。

Ｂポート流体供給圧力計測回路６８は、図１１に示すように第１の演算処理回路（ＣＰＵ）５８ａ、第２の演算処理回路（ＣＰＵ）５８ｂ、第３の演算処理回路（ＣＰＵ）５８ｃ、第１の数値表示回路５７ａ、第２の数値表示回路５７ｂ及び第３の数値表示回路５７ｃを備える。圧力センサＳ５からの計測信号を受信して第１のＣＰＵ５８ａが演算処理した処理結果としての計測信号は第１の数値表示回路５７ａに送信され、圧力センサＳ６からの計測信号を受信して第２のＣＰＵ５８ｂが演算処理した処理結果としての計測信号は第２の数値表示回路５７ｂに送信され、圧力センサＳ７からの計測信号を受信して第３のＣＰＵ５８ｃが演算処理した処理結果としての計測信号は第３の数値表示回路５７ｃに送信される。

図８のリーク用計測用ＣＰＵ５２ａから出力される駆動信号は、図１２に示されるように、駆動素子７０に伝達され、駆動素子７０が測定用加圧手段（コンプレッサ）３４を駆動させる。更に、図１２に示されるようにリーク用計測用ＣＰＵ５２ａから出力される駆動信号は、駆動素子７１ａに伝達され、駆動素子７１ａが供給側ソレノイド弁Ｖ_4aを駆動し、リーク用計測用ＣＰＵ５２ａから出力される駆動信号は、駆動素子７１ｂに伝達され、駆動素子７１ｂが排気側ソレノイド弁Ｖ_4bを駆動し、リーク用計測用ＣＰＵ５２ａから出力される駆動信号は、駆動素子７１ｃに伝達され、駆動素子７１ｃがリーク検査用比例電磁弁Ｖ₃を駆動する。図１２に示されるように駆動素子７１ａ、駆動素子７１ｂ、駆動素子７１ｃとでリーク検査用駆動回路６１１を構成している。

図８のＡポート計測用ＣＰＵ５２ｂから出力される駆動信号は、図１３に示した駆動素子７２_1aに伝達され、駆動素子７２_1aがＡポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a1を動作させる。同様に、Ａポート計測用ＣＰＵ５２ｂから出力される駆動信号は、駆動素子７２_1bに伝達され、駆動素子７２_1bがＡポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1を動作させる。更に、Ａポート計測用ＣＰＵ５２ｂから出力される駆動信号は、駆動素子７３₁に伝達され、駆動素子７３₁がＡポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1を動作させ、Ａポート計測用ＣＰＵ５２ｂから出力される駆動信号は、駆動素子７３₂に伝達され、駆動素子７３₂がＡポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2を動作させる。図１３に示すように、駆動素子７２_1a、駆動素子７２_1b、駆動素子７３₁及び駆動素子７３₂の４台の駆動素子によって第１チューブに対するＡポート検査用異常負荷発生回路６９１_aを構成している。

図１３ではＡポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a2、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3及びＡポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4の図示を省略しているが、図８のＡポート計測用ＣＰＵ５２ｂからは、図２に示したＡポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a2、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3及びＡポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4をそれぞれ動作させる４台の駆動素子から構成された第２チューブに対するＡポート検査用異常負荷発生回路６９１_bに入力される。

同様に、図１３ではＡポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a3、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5及びＡポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6の図示を省略しているが、図８のＡポート計測用ＣＰＵ５２ｂからは、図２に示したＡポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a3、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5及びＡポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6をそれぞれ動作させる４台の駆動素子から構成された第３チューブに対するＡポート検査用異常負荷発生回路６９１_cに入力される。

図８のＢポート計測用ＣＰＵ５２ｃから出力される駆動信号は、図１４に示した駆動素子７４_1aに伝達され、駆動素子７４_1aがＢポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b1を動作させる。同様に、Ｂポート計測用ＣＰＵ５２ｃから出力される駆動信号は、駆動素子７４_1bに伝達され、駆動素子７４_1bがＢポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1を動作させる。更に、Ｂポート計測用ＣＰＵ５２ｃから出力される駆動信号は、駆動素子７５₁に伝達され、駆動素子７５₁がＢポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1を動作させ、Ｂポート計測用ＣＰＵ５２ｃから出力される駆動信号は、駆動素子７５₂に伝達され、駆動素子７５₂がＢポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2を動作させる。図１４に示すように、駆動素子７４_1a、駆動素子７４_1b、駆動素子７５₁及び駆動素子７５₂の４台の駆動素子によって第１チューブに対するＢポート検査用異常負荷発生回路６８１_aを構成している。

図１４ではＢポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b2、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3及びＢポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4の図示を省略しているが、図８のＢポート計測用ＣＰＵ５２ｃからは、図２に示したＢポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b2、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3及びＢポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4をそれぞれ動作させる４台の駆動素子から構成された第２チューブに対するＢポート検査用異常負荷発生回路６８１_bに入力される。

同様に、図１４ではＢポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b3、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5及びＢポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6の図示を省略しているが、図８のＢポート計測用ＣＰＵ５２ｃからは、図２に示したＢポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b3、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5及びＢポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6をそれぞれ動作させる４台の駆動素子から構成された第３チューブに対するＢポート検査用異常負荷発生回路６８１_cに入力される。

リーク用計測用ＣＰＵ５２ａ、Ａポート計測用ＣＰＵ５２ｂ及びＢポート計測用ＣＰＵ５２ｃのそれぞれからは図１５に示す駆動素子７６ａ、駆動素子７ｂａ、駆動素子７６ｃを有する動作表示灯点灯回路６２１に駆動信号が伝達され、駆動素子７６ａは赤発光素子８６ａに点灯信号を出力し、赤発光素子８６ａが点灯する。同様に、駆動素子７ｂａは緑発光素子８６ｂに点灯信号を出力し、緑発光素子８６ｂが点灯し、駆動素子７６ｃは青発光素子８６ｃに点灯信号を出力し、青発光素子８６ｃが点灯する。赤発光素子８６ａ、緑発光素子８６ｂ及び青発光素子８６ｃによって、図１５に示すように動作状態表示灯６２２を構成している。

被測定機器３の故障や不具合の発見は逆問題解析である。例えば、計算機トモグラフィーでは、出力された結果のみから、逆問題解析によって見えない内部の構造を決定している。本発明の第１の実施の形態に係る流体経路検査装置によれば、被測定機器３を構成している被測定加圧手段３０３によるシステム上の問題なのか、被測定機器３に用いる専用チューブである検査チューブ４_xj（ｘ＝ａ，ｂ；ｊ＝１〜３）のリークの問題なのか、被測定機器３に用いるスリーブ３０１ａ，３０１ｂの「第１部位」や「第２部位」に対する締め付け圧力の問題なのか等の逆問題解析を、被測定機器３の故障や不具合をエミュレートした流体経路検査装置を用いて、複数の異常モード（エラーモードＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４）に分類して測定することによって、１台の小型の装置を用いて簡単且つ短時間の操作で実現して、３０ｋＰａ程度以下の低圧領域の流体経路を有するシステムであっても、被測定機器３の故障や不具合を簡単に発見することが可能である。

（流体経路検査装置の動作１：エラーモードの場合）
図１６〜図２４のフローチャートを用いて、「エラーモード（異常モード）」における本発明の第１の実施の形態に係る流体経路検査方法の処理の流れを説明する。なお、以下の図１６〜図２４のフローチャートを用いた説明では、被測定機器３がＩＰＣに用いる医療機器の場合に問題となる「システム高圧エラー」、「高圧エラー」、「低圧エラー」及び「システム低圧エラー」の４つの異常モード（エラーモードＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４）を前提として説明するが、これらの４つの異常モードは例示であり、被測定機器３が呈する流体経路の特性によって、２〜３の異常モードや、５以上の異常モードや他の異常モードを設定しても構わない。即ち、４つの異常モードを用いた流体経路検査装置の動作は、簡単な説明をするための一例であり、特許請求の範囲に記載した趣旨の範囲内であれば、この変形例を含めて、これ以外の種々の異常モード、手順、順番、選択、動作方法等により、実現可能であることは勿論である。

又、図１９及び図２２のフローチャートでは、図面上の枠の大きさの制限から「被測定機器」を被測定機器３の一例である「ＳＣＤ」と略記し、「流体経路検査装置」を「ＩＰＣＤ」と略記しているが、単なる便宜上の表記であり、「ＳＣＤ］や「ＩＰＣＤ」が特定の意味を有するものではない。又、本発明の第１の実施の形態に係る流体経路検査装置が検査する被測定機器３がＳＣＤに限定されるものでもなく、「流体経路検査装置」がＩＰＣＤに限定されるものでもない。

(a) 先ず、図２に示したように、被測定機器３のＡポートに３本の専用チューブである第１チューブ４ａ₁，第２チューブ４ａ₂，第３チューブ４ａ₃を、Ｂポートに３本の専用チューブである第１チューブ４ｂ₁，第２チューブ４ｂ₂，第３チューブ４ｂ₃をそれぞれ接続して、被測定機器３と第１の実施の形態に係る流体経路検査装置とを互いに接続する。そして、図１６のステップＳ１０１において、図４に示したタッチパネル３７を入力装置として用いて「エラーモード」を選択し、ステップＳ１０２のポートの選択に進む。ステップＳ１０２においてポートが選択（Ｙｅｓ）されていれば、Ｂポート用の電磁弁を閉じてステップＳ１０３のＡポートの設定に進み、更にステップＳ１０５に進む。ステップＳ１０２においてポートが選択されていなければ（Ｎｏ）、Ａポート用の電磁弁を閉じてステップＳ１０４のＢポートの設定に進み、更にステップＳ１０５に進む。即ち、ステップＳ１０３とステップＳ１０４を用いて、１ポート毎にパラメータの設定が可能なようなフローチャートの流れにして、ステップＳ１０５に進む。

(b) 図１６のステップＳ１０５において、図４に示したタッチパネル３７を入力装置として用いて第１部位を選択した場合は、ステップＳ１０６において、「第１部位の設定」を宣言して、ステップＳ１０７に進む。被測定機器３が、ＩＰＣに用いる医療機器の場合であれば、図３４及び図３５に示すようなスリーブ（ガーメント）３０１ａ，３０１ｂを下肢や足底に巻き付けるので、例えば、「第１部位」として「足底」にスリーブを巻き付ける条件の設定とし、「第２部位」として「下肢」にスリーブを巻き付ける条件の設定とすることができる。以下の説明では、便宜上、「第１部位」を「足底（フット）」、「第２部位」を「下肢（レッグ）」と定義するが、単なる選択であり、「第１部位」が「下肢（レッグ）」、「第２部位」が「足底（フット）」でもよく、他の部位でも構わない。ステップＳ１０７では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を「第１部位」の締め付け圧力の設定に必要な条件にタッチパネル３７上で設定して、ステップＳ１０８に進む。ステップＳ１０８では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、「第１部位」の締め付け圧力の設定に必要な条件にタッチパネル３７上で設定して、図１７のステップＳ１１２に進む。図１６のステップＳ１０５において、第２部位を選択した場合は、ステップＳ１０９において、「第２部位の設定」を宣言して、ステップＳ１１０に進む。ステップＳ１１０では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を「第２部位」の締め付け圧力の設定に必要な条件にタッチパネル３７上で設定して、ステップＳ１１１に進む。ステップＳ１１１では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、「第２部位」の締め付け圧力の設定に必要な条件にタッチパネル３７上で設定して、図１７のステップＳ１１２に進む。

(c) 図１７のステップＳ１１２のデフォルトの条件ではステップＳ１１３として、図１６のステップＳ１０１のエラーモードの選択に戻ることになっている。一方、図４に示したタッチパネル３７を入力装置として用いて４つのエラーモードＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４が選択できるので、第１の異常モード（エラーモードＥ１）を選択した場合は、ステップＳ１１５において、第１の異常モードの選択を宣言して、ステップＳ１１６に進む。ステップＳ１１６において規定サイクル数を例えば４回に設定し、ステップＳ１１７に進む。ステップＳ１１７では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を第１の異常モードのパラメータに設定して、ステップＳ１１８に進む。ステップＳ１１８では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、第１の異常モードのパラメータに設定して、ステップＳ１３１に進む。タッチパネル３７を入力装置として用いて第２の異常モード（エラーモードＥ２）を選択した場合は、ステップＳ１１９において、第２の異常モードの選択を宣言して、ステップＳ１２０において規定サイクル数を例えば１０回に設定し、ステップＳ１２１に進む。ステップＳ１２１では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を第２の異常モードのパラメータに設定して、ステップＳ１２２に進む。ステップＳ１２２では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、第２の異常モードのパラメータに設定して、ステップＳ１３１に進む。第３の異常モード（エラーモードＥ３）を選択した場合は、ステップＳ１２３において、第３の異常モードの選択を宣言して、ステップＳ１２４において規定サイクル数を例えば１０回に設定し、ステップＳ１２５に進む。ステップＳ１２５では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を第３の異常モードのパラメータに設定して、ステップＳ１２６に進む。ステップＳ１２６では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、第３の異常モードのパラメータに設定して、ステップＳ１３１に進む。第４の異常モード（エラーモードＥ４）を選択した場合は、ステップＳ１２７において、第４の異常モードの選択を宣言して、ステップＳ１２８において規定サイクル数を例えば１２回に設定し、ステップＳ１２９に進む。ステップＳ１２９では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を第４の異常モードのパラメータに設定して、ステップＳ１３０に進む。ステップＳ１３０では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、第４の異常モードのパラメータに設定して、ステップＳ１３１に進む。ステップＳ１３１でポート設定の確認をしたら図１８のステップＳ１３２に進む。

(d) 図１８のステップＳ１３２ではタッチパネル３７の表示が「Ａポート」に設定されているか確認する。ステップＳ１３２でＡポートの設定が確認されたら、ステップＳ１３３に進む。ステップＳ１３３ではＡポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3を閉じ、ステップＳ１３４に進む。ステップＳ１３４では、Ｂポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3を開放してステップＳ１３５に進む。そしてステップＳ１３５で「部位確認」を宣言して、ステップＳ１３６でタッチパネル３７の表示が「第１部位」に設定されているか確認する。ステップＳ１３６で第１部位の設定が確認されたら、ステップＳ１３７に進み、Ａポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a1を閉じてステップＳ１３８に進む。そして、ステップＳ１３８でＡポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a2を開放してステップＳ１３９に進む。更に、ステップＳ１３９でＡポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a3を閉じてステップＳ１４０に進む。ステップＳ１４０では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を第１部位のパラメータで動作させて、ステップＳ１４１に進む。ステップＳ１４１では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を第１部位のパラメータで動作させて、図１９のステップＳ１６１に進む。ステップＳ１３６で第１部位の設定が確認されないときは、ステップＳ１４２に進み、Ａポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a1を開放してステップＳ１４３に進む。そして、ステップＳ１４３でＡポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a2を開放してステップＳ１４４に進む。更に、ステップＳ１４４でＡポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a3を閉じてステップＳ１４５に進む。ステップＳ１４５では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を第２部位のパラメータで動作させて、ステップＳ１４６に進む。ステップＳ１４６では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を第２部位のパラメータで動作させて、図１９のステップＳ１６１に進む。

(e) 図１８のステップＳ１３２でＡポートの設定が確認されない場合は、ステップＳ１４７に進む。ステップＳ１４７ではＡポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3を開放し、ステップＳ１４８に進む。ステップＳ１４８では、Ｂポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3を閉じてステップＳ１４９に進む。そしてステップＳ１４９で「部位確認」を宣言して、ステップＳ１５０でタッチパネル３７の表示が「第１部位」に設定されているか確認する。ステップＳ１５０で第１部位の設定が確認されたら、ステップＳ１５１に進み、Ｂポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b1を閉じてステップＳ１５２に進む。そして、ステップＳ１５２でＢポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b2を開放してステップＳ１５３に進む。更に、ステップＳ１５３でＢポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b3を閉じてステップＳ１５４に進む。ステップＳ１５４では、Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5を第１部位のパラメータで動作させて、ステップＳ１５５に進む。ステップＳ１５５では、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6を第１部位のパラメータで動作させて、図１９のステップＳ１６１に進む。ステップＳ１５０で第１部位の設定が確認されないときは、ステップＳ１５６に進み、Ｂポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b1を開放してステップＳ１５７に進む。そして、ステップＳ１５７でＢポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b2を開放してステップＳ１５８に進む。更に、ステップＳ１５８でＢポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b3を閉じてステップＳ１５９に進む。ステップＳ１５９では、Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5を第２部位のパラメータで動作させて、ステップＳ１６０に進む。ステップＳ１６０では、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6を第２部位のパラメータで動作させて、図１９のステップＳ１６１に進む。

(f) 図１９のステップＳ１６１ではタッチパネル３７に検査画面を表示させ、ステップＳ１６２に進む。ステップＳ１６２で被測定機器３の電源オンの「スタンバイ完了」をタッチパネル３７に表示させ、ステップＳ１６３に進む。ステップＳ１６３で被測定機器３の電源がオフの表示であるか確認し、オフの表示（電源投入待ちではない）であれば、ステップＳ１６２に戻り、タッチパネル３７に被測定機器３の「スタンバイ完了（電源投入待ち）」が表示されるのを待つ。ステップＳ１６３で被測定機器３の電源が電源投入待ちであることが確認された場合は、Ｓ１６４に進み、被測定機器３の電源を入れ、被測定機器３の被測定加圧手段（コンプレッサ）３０３を起動する。そして、ステップＳ１６５で被測定機器３の動作条件を読み出し、ステップＳ１６６に進む。ステップＳ１６６では、図１６〜図１８のフローで第１の実施の形態に係る流体経路検査装置が設定した動作条件を「被測定機器側の動作条件」として読み出す。ステップＳ１６６で被測定機器３側の動作条件の読み出しが完了したら、タッチパネル３７に動作条件を表示させステップＳ１６７に進む。ステップＳ１６７で被測定機器３を動作させると、被測定機器３のＡポートから専用チューブである第１チューブ４ａ₁，第２チューブ４ａ₂，第３チューブ４ａ₃を介して、Ｂポートから専用チューブである第１チューブ４ｂ₁，第２チューブ４ｂ₂，第３チューブ４ｂ₃を介して第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に流体圧が供給される。ステップＳ１６７で被測定機器３を動作させ、被測定機器３の被測定加圧手段３０３から専用チューブに流体圧が供給されると、ステップＳ１６８で第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に内蔵されたＡポート第１チューブ用圧力センサＳ２，Ａポート第２チューブ用圧力センサＳ３，Ａポート第３チューブ用圧力センサＳ４、Ｂポート第１チューブ用圧力センサＳ５，Ｂポート第２チューブ用圧力センサＳ６，Ｂポート第３チューブ用圧力センサＳ７の反応が開始される。ステップＳ１６８で各圧力センサの反応が開始されると、動作タイミングが取得される。そして、ステップＳ１６９ではタッチパネル３７に「選択ポートＡ」の表示がされているか確認する。ステップＳ１６９で、「選択ポートＡ」の表示が確認されれば、図２０のステップＳ１７０に進み、「選択ポートＡ」の表示が確認されないときは、図２１のステップＳ１８８に進む。

(g) 図２０のステップＳ１７０のデフォルトの条件ではステップＳ１７１で動作なしとして、図２２のステップＳ２０６に進むことになっている。一方、タッチパネル３７を入力装置として用いて４つのエラーモードＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４が選択できるので、ステップＳ１７０で第１の異常モード（エラーモードＥ１）を選択した場合は、ステップＳ１７２において、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を第１の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１７３に進む。ステップＳ１７３では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、第１の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１７４に進む。ステップＳ１７４では、Ａポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3を閉じて、ステップＳ１７５に進む。そしてステップＳ１７５で４サイクル継続した後、図２２のステップＳ２０６に進む。ステップＳ１７０で第２の異常モード（エラーモードＥ２）を選択した場合は、ステップＳ１７６において、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を第２の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１７７に進む。ステップＳ１７７では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、第２の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１７８に進む。ステップＳ１７８では、Ａポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3を閉じて、ステップＳ１７９に進む。そしてステップＳ１７９で１０サイクル継続した後、図２２のステップＳ２０６に進む。ステップＳ１７０で第３の異常モード（エラーモードＥ３）を選択した場合は、ステップＳ１８０において、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を第３の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１８１に進む。ステップＳ１８１では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、第３の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１８２に進む。ステップＳ１８２では、Ａポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3を開放して、ステップＳ１８３に進む（第１の実施の形態に係る流体経路検査装置では第３の異常モードを「低圧エラー」としているので、ステップＳ１８２では、Ａポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3も開放する。）。そしてステップＳ１８３で１０サイクル継続した後、図２２のステップＳ２０６に進む。ステップＳ１７０で第４の異常モード（エラーモードＥ４）を選択した場合は、ステップＳ１８４において、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を第４の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１８５に進む。ステップＳ１８５では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、第４の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１８６に進む。ステップＳ１８６では、Ａポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3を開放して、ステップＳ１８７に進む（第１の実施の形態に係る流体経路検査装置では第４の異常モードを「低圧エラー」としているので、ステップＳ１８６では、Ａポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3も開放する。）。そしてステップＳ１８７で１２サイクル継続した後、図２２のステップＳ２０６に進む。

(h) 図２１のステップＳ１８８のデフォルトの条件ではステップＳ１８９で動作なしとして、図２２のステップＳ２０６に進むことになっている。一方、タッチパネル３７を入力装置として用いて４つのエラーモードＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４が選択できるので、ステップＳ１８８で第１の異常モード（エラーモードＥ１）を選択した場合は、ステップＳ１９０において、Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5を第１の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１９１に進む。ステップＳ１９１では、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6を、第１の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１９２に進む。ステップＳ１９２では、Ｂポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3を閉じて、ステップＳ１９３に進む。そしてステップＳ１９３で４サイクル継続した後、図２２のステップＳ２０６に進む。ステップＳ１８８で第２の異常モード（エラーモードＥ２）を選択した場合は、ステップＳ１９４において、Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5を第２の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１９５に進む。ステップＳ１９５では、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6を、第２の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１９６に進む。ステップＳ１９６では、Ｂポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3を閉じて、ステップＳ１９７に進む。そしてステップＳ１９７で１０サイクル継続した後、図２２のステップＳ２０６に進む。ステップＳ１８８で第３の異常モード（エラーモードＥ３）を選択した場合は、ステップＳ１９８において、Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5を第３の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ１９９に進む。ステップＳ１９９では、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6を、第３の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ２００に進む。ステップＳ２００では、Ｂポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3を開放して、ステップＳ２０１に進む（第１の実施の形態に係る流体経路検査装置では第３の異常モードを「低圧エラー」としているので、ステップＳ２００では、Ｂポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3も開放する。）。そしてステップＳ２０１で１０サイクル継続した後、図２２のステップＳ２０６に進む。ステップＳ１８８で第４の異常モード（エラーモードＥ４）を選択した場合は、ステップＳ２０２において、Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5を第４の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ２０３に進む。ステップＳ２０３では、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6を、第４の異常モードのエラー条件再現パラメータにするようにパラメータを変更して、ステップＳ２０４に進む。ステップＳ２０４では、Ｂポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3を開放して、ステップＳ２０５に進む（第１の実施の形態に係る流体経路検査装置では第４の異常モードを「低圧エラー」としているので、ステップＳ２０４では、Ｂポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3も開放する。）。そしてステップＳ２０５で１２サイクル継続した後、図２２のステップＳ２０６に進む。

(i) 図２２のステップＳ２０６ではタッチパネル３７に「判定画面」を表示させる。ステップＳ２０６でＡポートの設定が確認されたら、ステップＳ２０７に進む。ステップＳ２０７では、Ａポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a1、Ａポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a2、Ａポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a3を閉じてステップＳ２０８に進む。ステップＳ２０８では、Ａポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3を閉じ、ステップＳ２０９に進む。ステップＳ２０９では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を閉じてステップＳ２１０に進む。ステップＳ２１０では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を閉じてステップＳ２１１に進む。ステップＳ２１１では、Ｂポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b1、Ｂポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b2、Ｂポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b3を閉じてステップＳ２１２に進む。ステップＳ２１２では、Ｂポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3を閉じ、ステップＳ２１３に進む。ステップＳ２１３では、Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を閉じてステップＳ２１４に進む。ステップＳ２１４では、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を閉じてステップＳ２１５に進む。ステップＳ２１５では、被測定機器３側の発生エラーの状況を目視で確認する。ステップＳ２１５で、被測定機器３側の発生エラーが確認できたら、ステップＳ２１６で被測定機器３の電源を切り、図２３のステップＳ２１７に進む。

(j) 図２３のステップＳ２１７のデフォルトの条件ではステップＳ２１８で不合格を選択して、ステップＳ２３１の初期画面に戻り、終了する。一方、図４に示したタッチパネル３７の画面を用いて４つのエラーモードＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４が選択できるので、ステップＳ２１７で、発生したエラーが第１の異常モード（エラーモードＥ１）であるとして画面上で選択した場合は、ステップＳ２１９において、第１の実施の形態に係る流体経路検査装置で選択したエラーが被測定機器３側で再現できたかを判定する。ステップＳ２１９において、 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置で選択した第１のエラーが被測定機器３側で再現できたと判定された場合は、ステップＳ２２０においてタッチパネル３７の画面の「合格」を押し、ステップＳ２３１の初期画面に戻り、終了する。ステップＳ２１９において、 被測定機器３側のエラーが第１の実施の形態に係る流体経路検査装置で選択した第１のエラー以外のエラーであることが分かった場合や、選択した第１のエラーが被測定機器３側で再現できていないと判定された場合は、ステップＳ２２１においてタッチパネル３７の画面の「不合格」を押し、ステップＳ２３１の初期画面に戻り、終了する。ステップＳ２１７で、発生したエラーが第２の異常モード（エラーモードＥ２）であるとして画面上で選択した場合は、ステップＳ２２２において、 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置で選択したエラーが被測定機器３側で再現できたかを判定する。ステップＳ２２２において、 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置で選択した第２のエラーが被測定機器３側で再現できたと判定された場合は、ステップＳ２２３においてタッチパネル３７の画面の「合格」を押し、ステップＳ２３１の初期画面に戻り、終了する。ステップＳ２２２において、被測定機器３側のエラーが第１の実施の形態に係る流体経路検査装置で選択した第２のエラー以外のエラーであることが分かった場合や、選択した第２のエラーが被測定機器３側で再現できていないと判定された場合は、ステップＳ２２４においてタッチパネル３７の画面の「不合格」を押し、ステップＳ２３１の初期画面に戻り、終了する。ステップＳ２１７で、発生したエラーが第３の異常モード（エラーモードＥ３）であるとして画面上で選択した場合は、図２４のステップＳ２２５において、 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置で選択したエラーが被測定機器３側で再現できたかを判定する。ステップＳ２２５において、 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置で選択した第３のエラーが被測定機器３側で再現できたと判定された場合は、ステップＳ２２６においてタッチパネル３７の画面の「合格」を押し、図２３のステップＳ２３１の初期画面に戻り、終了する。ステップＳ２２５において、被測定機器３側のエラーが第１の実施の形態に係る流体経路検査装置で選択した第３のエラー以外のエラーであることが分かった場合や、選択した第３のエラーが被測定機器３側で再現できていないと判定された場合は、ステップＳ２２７においてタッチパネル３７の画面の「不合格」を押し、ステップＳ２３１の初期画面に戻り、終了する。ステップＳ２１７で、発生したエラーが第４の異常モード（エラーモードＥ４）であるとして画面上で選択した場合は、図２４のステップＳ２２８において、 第１の実施の形態に係る流体経路検査装置で選択したエラーが被測定機器３側で再現できたかを判定する。ステップＳ２２８において、第１の実施の形態に係る流体経路検査装置で選択した第４のエラーが被測定機器３側で再現できたと判定された場合は、ステップＳ２２９においてタッチパネル３７の画面の「合格」を押し、図２３のステップＳ２３１の初期画面に戻り、終了する。ステップＳ２２８において、被測定機器３側のエラーが第１の実施の形態に係る流体経路検査装置で選択した第４のエラー以外のエラーであることが分かった場合や、選択した第４のエラーが被測定機器３側で再現できていないと判定された場合は、ステップＳ２３０においてタッチパネル３７の画面の「不合格」を押し、ステップＳ２３１の初期画面に戻り、終了する。

第１の実施の形態に係る流体経路検査方法によれば、図１６〜図２４のフローチャートに沿った手順により、被測定機器３の流体経路に発生する可能性のある４つの異常モード（エラーモードＥ１〜Ｅ４）の流体回路の特性を流体経路検査装置によってエミュレートし、被測定機器３に接続された流体経路検査装置を被測定加圧手段３０３で加圧して、エミュレートされた特性と比較して、被測定機器３の流体経路の異常を検査することができる。

（流体経路検査装置の動作２：ノーマルモードの場合）
図２５〜図２８のフローチャートを用いて、「ノーマルモード（正常モード）」の場合における第１の実施の形態に係る流体経路検査方法における処理の流れを説明する。なお、以下に述べるノーマルモード（正常モード）の場合の流体経路検査装置の動作は、簡単な説明をするための一例であり、特許請求の範囲に記載した趣旨の範囲内であれば、この変形例を含めて、これ以外の種々の手順、順番、選択、動作方法等により、実現可能であることは勿論である。なお、図２７のフローチャートでは、図面上の枠の大きさの制限から「被測定機器」を被測定機器３の一例であるＳＣＤと略記し、「流体経路検査装置」をＩＰＣＤと略記して簡略化表現を用いて説明しているが、単なる便宜上の表記であり、「ＳＣＤ］や「ＩＰＣＤ」が特定の意味を有するものではない。

(a) 先ず、図２に示したように、被測定機器３のＡポートに３本の専用チューブである第１チューブ４ａ₁，第２チューブ４ａ₂，第３チューブ４ａ₃を、Ｂポートに３本の専用チューブである第１チューブ４ｂ₁，第２チューブ４ｂ₂，第３チューブ４ｂ₃をそれぞれ接続して、被測定機器３と第１の実施の形態に係る流体経路検査装置とを互いに接続する。そして、図２５のステップＳ３０１において、図４に示したタッチパネル３７を入力装置として用いて「ノーマルモード」を選択し、ステップＳ３０２でＡポートを選択する。ステップＳ３０２においてＡポートを選択したら、ステップＳ３０３に進む。ステップＳ３０３では、図４に示したタッチパネル３７を入力装置として用いて第１部位又は第２部位を選択する。「エラーモード」の説明の際に述べたとおり、以下の説明では、便宜上、「第１部位」を「足底（フット）」、「第２部位」を「下肢（レッグ）」と定義するが、単なる選択であり、「第１部位」が「下肢（レッグ）」、「第２部位」が「足底（フット）」でもよく、他の部位でも構わない。

(b) 図２５のステップＳ３０３において、第２部位を選択した場合は、ステップＳ３０４に進む。ステップＳ３０４では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を「第２部位」の正常な締め付け圧力の設定に必要な条件にタッチパネル３７上で設定して、ステップＳ３０５に進む。ステップＳ３０５では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、「第２部位」の正常な締め付け圧力の設定に必要な条件にタッチパネル３７上で設定して、ステップＳ３０８に進む。図２５のステップＳ３０３において、第１部位を選択した場合は、ステップＳ３０６に進む。ステップＳ３０６では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を「第１部位」の正常な締め付け圧力の設定に必要な条件にタッチパネル３７上で設定して、ステップＳ３０７に進む。ステップＳ３０７では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、「第１部位」の正常な締め付け圧力の設定に必要な条件にタッチパネル３７上で設定して、ステップＳ３０８に進む。

(c) ステップＳ３０８においてＢポートを選択したら、図２６のステップＳ３０９に進む。ステップＳ３０９ではタッチパネル３７を入力装置として用いて第１部位又は第２部位を選択する。ステップＳ３０９において、第２部位を選択した場合は、ステップＳ３１０に進む。ステップＳ３１０では、Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5を「第２部位」の正常な締め付け圧力の設定に必要な条件にタッチパネル３７上で設定して、ステップＳ３１１に進む。ステップＳ３１１では、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6を、「第２部位」の正常な締め付け圧力の設定に必要な条件にタッチパネル３７上で設定して、ステップＳ３１４に進む。ステップＳ３０９において、第１部位を選択した場合は、ステップＳ３１２に進む。ステップＳ３１２では、Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5を「第１部位」の正常な締め付け圧力の設定に必要な条件にタッチパネル３７上で設定して、ステップＳ３１３に進む。ステップＳ３１３では、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6を、「第１部位」の正常な締め付け圧力の設定に必要な条件にタッチパネル３７上で設定して、ステップＳ３１４に進む。

(d) ステップＳ３１４では、Ｂポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b1、Ｂポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b2、Ｂポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b3を開放し、その後ステップＳ３１５に進む。ステップＳ３１５では、Ｂポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3を閉じ、ステップＳ３１６に進む。ステップＳ３１６では、Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5を、正常な動作条件として設定したパラメータで動作させ、ステップＳ３１７に進む。ステップＳ３１７では、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6を、正常な動作条件として設定したパラメータで動作させ、ステップＳ３１８に進む。ステップＳ３１８で検査画面をタッチパネル３７上に表示させて、図２７のステップＳ３１９に進む。なお、ステップＳ３１４では、Ａポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a1、Ａポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a2、Ａポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a3についても同様に開放し、その後ステップＳ３１５に進む。ステップＳ３１５では、Ａポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3についても同様に閉じ、ステップＳ３１６に進む。ステップＳ３１６では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5についても同様に正常な動作条件として設定したパラメータで動作させ、ステップＳ３１７に進む。ステップＳ３１７では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6についても同様に正常な動作条件として設定したパラメータで動作させ、ステップＳ３１８に進む。ステップＳ３１８で検査画面をタッチパネル３７上に表示させて、図２７のステップＳ３１９に進む。

(e) ステップＳ３１９で被測定機器３の電源オンの「スタンバイ完了」をタッチパネル３７に表示させ、ステップＳ３２０に進む。ステップＳ３２０で被測定機器３の電源がオフの表示であるか確認し、オフの表示（電源投入待ちではない）であれば、ステップＳ３１９に戻り、タッチパネル３７に被測定機器３の「スタンバイ完了（電源投入待ち）」が表示されるのを待つ。ステップＳ３２０で被測定機器３の電源が電源投入待ちであることが確認された場合は、Ｓ３２１に進み、被測定機器３の電源を入れ、被測定機器３の被測定加圧手段３０３を起動する。そして、ステップＳ３２２で被測定機器３の動作条件を読み出し、ステップＳ３２３に進む。ステップＳ３２２では、図２５〜図２６のフローで第１の実施の形態に係る流体経路検査装置が設定した動作条件を「被測定機器側の動作条件」として読み出す。ステップＳ３２３で被測定機器３側の動作条件の読み出しが完了したら、タッチパネル３７に動作条件を表示させステップＳ３２４に進む。ステップＳ３２４で被測定機器３を動作させると、被測定機器３のＡポートから専用チューブである第１チューブ４ａ₁，第２チューブ４ａ₂，第３チューブ４ａ₃を介して、Ｂポートから専用チューブである第１チューブ４ｂ₁，第２チューブ４ｂ₂，第３チューブ４ｂ₃を介して第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に、被測定機器３の被測定加圧手段３０３から流体圧が供給される。ステップＳ３２４で被測定機器３を動作させ、専用チューブに流体圧が供給されると、ステップＳ３２５で第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に内蔵されたＡポート第１チューブ用圧力センサＳ２，Ａポート第２チューブ用圧力センサＳ３，Ａポート第３チューブ用圧力センサＳ４、Ｂポート第１チューブ用圧力センサＳ５，Ｂポート第２チューブ用圧力センサＳ６，Ｂポート第３チューブ用圧力センサＳ７の反応が開始され、流体圧の数値が表示される。ステップＳ３２５で各圧力センサの反応が開始されると、動作タイミングが取得され、ステップＳ３２６で１２サイクル動作させる。

(f) ステップＳ３２６では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5、Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5は全開放状態での排気であり、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6も全開放状態で排気する。そして、ステップＳ３２６では、Ａポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3、Ｂポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3も全開放状態で排気しながら、１２サイクル動作させる。ステップＳ３２６で、１２サイクルの動作がされれば、ステップＳ３２７に進み、Ａポート第１チューブ用圧力センサＳ２，Ａポート第２チューブ用圧力センサＳ３，Ａポート第３チューブ用圧力センサＳ４、Ｂポート第１チューブ用圧力センサＳ５，Ｂポート第２チューブ用圧力センサＳ６，Ｂポート第３チューブ用圧力センサＳ７のそれぞれについて、タッチパネル３７上に表示される数値から、１２サイクルの動作が第１〜第４のエラーのいずれかのエラー条件を満たしていると判断された場合は、ステップＳ３２８で「不合格」の画面をタッチパネル３７上に表示した後、被測定機器３の電源をオフして、被測定機器３の被測定加圧手段３０３を停止し、図２８のステップＳ３３０に進む。ステップＳ３２７で、１２サイクルの動作が第１〜第４のエラーのエラー条件のいずれをも満たしていないと判断された場合は、ステップＳ３２９で「合格」の画面をタッチパネル３７上に表示した後、被測定機器３の電源をオフして、図２８のステップＳ３３０に進む。

(g) 図２８のステップＳ３３０ではタッチパネル３７の判定画面上のリセットを選択する（ステップＳ３３０で判定画面上のリセットが未選択であれば、ステップＳ３３０に戻り、リセットを選択する。）。その後、ステップＳ３３１に進む。ステップＳ３３１では、Ａポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a1、Ａポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a3、Ａポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1a5、Ｂポート第１チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b1、Ｂポート第２チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b3、Ｂポート第３チューブ用バッファ用比例電磁弁Ｖ_1b5をすべて閉じ、ステップＳ３３２に進む。ステップＳ３３２では、Ａポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a2、Ａポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a4、Ａポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1a6、Ｂポート第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b2、Ｂポート第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b4、Ｂポート第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁Ｖ_1b6をすべて閉じ、ステップＳ３３３に進む。ステップＳ３３３では、Ａポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a1、Ａポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a2、Ａポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2a3、Ｂポート第１チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b1、Ｂポート第２チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b2、Ｂポート第３チューブ用第１電磁弁Ｖ_2b3をすべて閉じて、ステップＳ３３４に進む。そして、ステップＳ３３４では、Ａポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a1、Ａポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a2、Ａポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5a3、Ｂポート第１チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b1、Ｂポート第２チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b2、Ｂポート第３チューブ用第２電磁弁Ｖ_5b3をすべて閉じて、ステップＳ３３５に進む。ステップＳ３３５で初期画面に戻って終了する。

（流体経路検査装置の動作３：リーク検査の場合）
図２９〜図３３のフローチャートを用いて、「リーク検査」を選択した場合における本発明の第１の実施の形態に係る流体経路検査方法における処理の流れを説明する。なお、以下に述べる流体経路検査装置の動作は、簡単な説明をするための一例であり、特許請求の範囲に記載した趣旨の範囲内であれば、この変形例を含めて、これ以外の種々の手順、順番、選択、動作方法等により、実現可能であることは勿論である。なお、図２９〜図３１のフローチャートでは、図面上の枠の大きさの制限から「被測定機器」を被測定機器３の一例であるＳＣＤと略記し、「流体経路検査装置」をＩＰＣＤと略記して簡略化表現を用いて説明しているが、単なる便宜上の表記であり、「ＳＣＤ］や「ＩＰＣＤ」が特定の意味を有するものではない。

(a) 先ず、図１に示したように、第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の第１のチューブ接続継手ｆ_1aに検査チューブ４_xjの第１の取付継手ｆ_1bを結合し、第２のチューブ接続継手ｆ_2aに検査チューブ４_xjの第２の取付継手ｆ_2bを結合して、第１の実施の形態に係る流体経路検査装置に検査チューブ４_xjをする。そして、図２９のステップＳ４０１において、図４に示したタッチパネル３７の画面で「リーク」を選択しリーク検査ユニット２１ａを起動する。そして、ステップＳ４０２で供給側ソレノイド弁Ｖ_4aを開き、検査チューブ４_xjがその一部となって構成する流体回路（流体経路）を開く。ステップＳ４０２において供給側ソレノイド弁Ｖ_4aを開いたら、ステップＳ４０３に進む。ステップＳ４０３では、排気側ソレノイド弁Ｖ_4bを閉じ、検査チューブ４_xjがその一部となって構成する流体回路（流体経路）を閉じる。ステップＳ４０３で排気側ソレノイド弁Ｖ_4bを閉じたら、ステップＳ４０４に進み、ステップＳ４０４で第１の実施の形態に係る流体経路検査装置の測定用加圧手段（コンプレッサ）３４を起動し、ステップＳ４０５で第１の実施の形態に係る流体経路検査装置のマニホールド３１を経由して、検査チューブ４_xjに空気を供給する。ステップＳ４０５で検査チューブ４_xjに空気を供給が開始されたら、ステップＳ４０６において、第１の実施の形態に係る流体経路検査装置のマニホールド３１に内蔵された圧力センサＳ１によって、検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定を開始し、図３０のステップＳ４０７に進む。

(b) 図３０のステップＳ４０７で流体圧の測定の開始から５秒未満であれば、ステップＳ４０８で圧力センサＳ１が表示する検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定値をタッチパネル３７上で確認する。ステップＳ４０９で圧力センサＳ１が表示する検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定値が２０ｋＰａ以上になれば、ステップＳ４１０で「初期圧力ＯＫ」を設定してステップＳ４０７に戻る。ステップＳ４０９で圧力センサＳ１が表示する検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定値が２０ｋＰａ未満であれば、ステップＳ４０７に戻る。一方、ステップＳ４０７で流体圧の測定の開始から５秒以上経過していれば、ステップＳ４１１に進み、ステップＳ４１１で「初期圧力ＯＫ」が設定されているかを確認する。ステップＳ４１１で「初期圧力ＯＫ」の設定が確認されたら、図３１のステップＳ４１３に進む。ステップＳ４１１で「初期圧力ＯＫ」の設定が確認できなければ、ステップＳ４１２で、「初期圧力ＮＧ」を設定した後、図３１のステップＳ４１３に進む。

(c) 図３１のステップＳ４１３では、供給側ソレノイド弁Ｖ_4aを閉じることにより検査チューブ４_xjがその一部となって構成する流体回路を閉じてステップＳ４１４に進み、測定用加圧手段３４を停止する。空気の供給が停止した後、ステップＳ４１５に進み、排気側ソレノイド弁Ｖ_4bを開放して、検査チューブ４_xjがその一部となって構成する流体回路を開く。その後、ステップＳ４１６に進み、圧力センサＳ１が表示する検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定値をタッチパネル３７上で確認し、ステップＳ４１７に進む。ステップＳ４１７では図１に示したリーク検査用比例電磁弁Ｖ₃を開放し、ステップＳ４１８で検査チューブ４_xjの内部の圧力の調整を開始してステップＳ４１９に進む。ステップＳ４１９で圧力センサＳ１が表示する検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定値が２０ｋＰａ以上であれば、ステップＳ４１６に戻る。ステップＳ４１９で圧力センサＳ１が表示する検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定値が２０ｋＰａ未満のリーク測定用圧力に調整されたことが確認されれば、ステップＳ４２０に進み、排気側ソレノイド弁Ｖ_4bを閉じて、検査チューブ４_xjがその一部となって構成する流体回路を閉塞状態にする。更に、ステップＳ４２１に進み、リーク検査用比例電磁弁Ｖ₃を閉じる。ステップＳ４２１でリーク検査用比例電磁弁Ｖ₃を閉じて、検査チューブ４_xjがその一部となって構成する流体回路を閉塞状態にした後、ステップＳ４２２に進み、圧力センサＳ１が表示する検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定値をタッチパネル３７上で確認して、図３２のステップＳ４２３に進む。

(d) 図３２のステップＳ４２３で、圧力センサＳ１が表示する検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定値が２０ｋＰａであれば、ステップＳ４２５に進み、検査チューブ４_xjがその一部となって構成する流体回路の閉塞状態を５秒間保持する。圧力センサＳ１が表示する検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定値が２０ｋＰａでなければ、ステップＳ４２４に進み、「基準圧力ＮＧ」を設定した後、ステップＳ４２５に進み、検査チューブ４_xjがその一部となって構成する流体回路の閉塞状態を５秒間保持する。ステップＳ４２５で検査チューブ４_xjがその一部となって構成する流体回路の閉塞状態を５秒間保持した後、ステップＳ４２６に進む。ステップＳ４２６で、「初期圧力ＮＧ」の設定がされているか確認し、「初期圧力ＮＧ」の設定がない場合は、ステップＳ４２７に進む。ステップＳ４２６で、「初期圧力ＮＧ」の設定がされている場合は、ステップＳ４３５に進み、「不合格」画面をタッチパネル３７に表示させる。ステップＳ４３５で「不合格」画面が表示されたら、ステップＳ４３６に進み、タッチパネル３７上で「不合格」を選択した後、図３３のステップＳ４３７に進む。一方、ステップＳ４２７では、「基準圧力ＮＧ」の設定がされているか確認し、「基準圧力ＮＧ」の設定がされている場合は、ステップＳ４３３に進み、「不合格」画面をタッチパネル３７上に表示させる。ステップＳ４３３で「不合格」画面が表示されたら、ステップＳ４３４に進み、タッチパネル３７上で「不合格」を選択した後、図３３のステップＳ４３７に進む。ステップＳ４２７で、「基準圧力ＮＧ」の設定がされているか確認し、「基準圧力ＮＧ」の設定がない場合は、ステップＳ４２８に進む。ステップＳ４２８では、５秒間の保持において、圧力センサＳ１が表示する検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定値が２０ｋＰａ〜１９．５ｋＰａの範囲内の値であるか確認する。ステップＳ４２８で、５秒間の保持における圧力センサＳ１が表示する検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定値が２０ｋＰａ〜１９．５ｋＰａの範囲内の値であると確認されれば、ステップＳ４２９に進み、「合格」画面をタッチパネル３７に表示させる。ステップＳ４２９で「合格」画面が表示されたら、ステップＳ４３０に進み、タッチパネル３７上で「合格」を選択した後、図３３のステップＳ４３７に進む。一方、ステップＳ４２８で、５秒間の保持において、一回でも、圧力センサＳ１が表示する検査チューブ４_xjの内部の流体圧の測定値が２０ｋＰａ〜１９．５ｋＰａの範囲内の値ではないと判断されれば、ステップＳ４３１に進み、「不合格」画面をタッチパネル３７に表示させる。ステップＳ４３１で「不合格」画面が表示されたら、ステップＳ４３２に進み、「不合格」を選択した後、図３３のステップＳ４３７に進む。

(e) 図３３のステップＳ４３７では、供給側ソレノイド弁Ｖ_4aを開放する。ステップＳ４３７で供給側ソレノイド弁Ｖ_4aを開放したら、ステップＳ４３８に進む。ステップＳ４３８では排気側ソレノイド弁Ｖ_4bを開放して、検査チューブ４_xjがその一部となって構成する流体回路を開く。その後、ステップＳ４３９に進み、リーク検査用比例電磁弁Ｖ₃を全開放の状態にし、５秒間排気を続ける。即ち、ステップＳ４４０で全開放の状態での排気が５秒未満であると判断されれば、ステップＳ４３７に戻る。一方、ステップＳ４４０で全開放の状態での排気が５秒以上続いていると判断されれば、ステップＳ４４１に進む。ステップＳ４４１では、供給側ソレノイド弁Ｖ_4aを閉じ、ステップＳ４４２に進む。ステップＳ４４２でも排気側ソレノイド弁Ｖ_4bを閉じ、検査チューブ４_xjがその一部となって構成する流体回路を閉じる。その後、ステップＳ４４３に進み、リーク検査用比例電磁弁Ｖ₃も閉じて、ステップＳ４４４に進む。ステップＳ４４４で、「合格」又は「不合格」の表示がされているタッチパネル３７の画面にタッチすると、初期画面に戻り、一連のリーク検査の処理を終了する。

第１の実施の形態に係る流体経路検査方法によれば、図２９〜図３３のフローチャートに示した手順を用いて、専用チューブを検査用チューブ４_xjとして、検査用チューブ４_xjの経路を流体経路の一部として閉じた流体回路を構成し、この流体回路を加圧して一定時間保持することにより、３本１組を１個のチューブとする検査用チューブ４_xjのそれぞれのリークを、１組毎、順に短時間で簡単に検査することができる。

以上のように、第１の実施の形態に係る流体経路検査方法によれば、２５ｋＰａ程度以下の低圧領域の流体経路を有するシステムであっても微少レベルの圧力変化を検知できるので、被測定機器３を構成している被測定加圧手段３０３等のシステム上の問題なのか、検査用チューブ４_xjのリークの問題なのか、被測定機器３に用いるスリーブ３０１ａ，３０１ｂの「第１部位」や「第２部位」に対する締め付け圧力の問題なのか等を明確に示す複数の異常モード（エラーモードＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４）の分類やその異常モード（エラーモードＥ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅ４）の分析等を、１台の小型の装置を用いて簡単且つ短時間の操作で実現することが可能である。

（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は第１の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面は本発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。特に、第１の実施の形態の説明では「流体」が「空気」である場合について例示的に説明したが、本発明の「流体」は「空気」に限定されるものではなく、「流体」は酸素（Ｏ₂）、窒素（Ｎ₂）、ヘリウム（Ｈｅ）等の他のガスでもかまわない。また「流体」は水や油等の液体や水銀等の液体金属であっても構わない。したがって、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。よって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。

２１…筐体
２１ａ…リーク検査ユニット
２１ｂ…異常エミュレーションユニット
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ…支柱
２３…第２の台座板
２４…第１の台座板
２８…開口部
３…被測定機器
３０１ａ，３０１ｂ…スリーブ
３１…マニホールド
３３…プリント基板スタック
３４…測定用加圧手段
３５…圧力センサユニット
３６…プリント基板スタック
３７…タッチパネル
３８…接続コネクタホルダ
４_xj…検査チューブ
４_a1，４_a2，４_a3，４_b1，４_b2，４_b3…専用チューブ
５１…外部クロック
５２ａ，５２ｂ，５２ｃ，５４，５６ａ，５６ｂ，５８ａ，５８ｂ…ＣＰＵ
５３…数値表示回路
５５ａ，５７ａ…第１の数値表示回路
５５ｂ，５７ｂ…第２の数値表示回路
５５ｃ，５７ｃ…第３の数値表示回路
６１…リーク用流体供給圧力計測回路
６１１…リーク検査用駆動回路
１ｓ…タッチパネル駆動回路用基板
６２…液晶表示制御回路
６２１…動作表示灯点灯回路
６２２…動作状態表示灯
６２ｓ…リーク検査制御回路用基板
６３…電源
６７…全体制御回路
６７１ｓ…電磁弁駆動回路用基板
６７２ｓ…加圧手段駆動回路用基板
６７３ｓ…第３の比例電磁弁駆動回路用基板
６７４ｓ…第２の比例電磁弁駆動回路用基板
６７５ｓ…第１の比例電磁弁駆動回路用基板
６７６ｓ…電源回路用基板
６７７…全体信号増幅回路
６７７ｓ…センサ信号増幅回路用基板
６８…Ｂポート流体供給圧力計測回路
６８１a，６８１b，６８１c…Ｂポート検査用異常負荷発生回路
６８ｓ…Ｂポート用エミュレーション制御回路用基板
６９…Ａポート流体供給圧力計測回路
６９１a，６９１b，６９１c…Ａポート検査用異常負荷発生回路
６９ｓ…Ａポート用エミュレーション制御回路用基板
７０…駆動素子
７１ａ〜７１ｃ，７２_1a，７２_1b，７３₁，７３₂，７４_1a，７４_1b，７５₁，７５₂，７６ａ，７６ｃ，７ｂａ…駆動素子
８６ａ…赤発光素子
８６ｂ…緑発光素子
８６ｃ…青発光素子
Ｓ１〜Ｓ７…圧力センサ
Ｖ_1a1…第１チューブ用バッファ用比例電磁弁
Ｖ_1a2…第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁
Ｖ_1a3…第２チューブ用バッファ用比例電磁弁
Ｖ_1a4…第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁
Ｖ_1a5…第３チューブ用バッファ用比例電磁弁
Ｖ_1a6…第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁
Ｖ_1b1…第１チューブ用バッファ用比例電磁弁
Ｖ_1b2…第１チューブ用圧力調整用比例電磁弁
Ｖ_1b3…第２チューブ用バッファ用比例電磁弁
Ｖ_1b4…第２チューブ用圧力調整用比例電磁弁
Ｖ_1b5…第３チューブ用バッファ用比例電磁弁
Ｖ_1b6…第３チューブ用圧力調整用比例電磁弁
Ｖ2_a1〜Ｖ2_a3，Ｖ2_b1〜Ｖ2_b3…第１電磁弁
Ｖ3…リーク検査用比例電磁弁
Ｖ_4a…供給側ソレノイド弁
Ｖ_4b…排気側ソレノイド弁
Ｖ5_a1〜Ｖ5_a3、Ｖ5_b1〜Ｖ5_b3…第１電磁弁
ｆ_1a…第１のチューブ接続継手
ｆ_2a…第２のチューブ接続継手
ｆ_1b…第１の取付継手
ｆ_2b…第２の取付継手
ｇ1〜ｇ6，ｇ７_a1，ｇ７_b1，ｇ８_a1，ｇ８_b1…内部配管

Claims (2)

1. 被測定加圧手段と専用チューブを有する被測定機器の流体経路を検査する流体経路検査装置であって、
   測定用加圧手段を有し、前記専用チューブの経路を流体経路の一部として閉じた流体回路を構成し、前記測定用加圧手段によって前記流体回路を加圧して一定時間保持することにより前記専用チューブのリークを検査するリーク検査ユニットと、
   圧力調整用比例電磁弁を有し、前記被測定機器の流体経路に発生する可能性のある複数の異常モードのそれぞれが呈する流体回路の特性を、前記被測定加圧手段による流体圧力の加圧と前記圧力調整用比例電磁弁による流体圧力の調整によってそれぞれエミュレートして、前記被測定機器の流体経路の異常を検査する異常エミュレーションユニットと、
   を備えることを特徴とする流体経路検査装置。
2. 被測定加圧手段と専用チューブを有する被測定機器の流体経路を検査する流体経路検査方法であって、
   前記専用チューブの経路を流体経路の一部として閉じた流体回路を構成し、前記流体回路を加圧して一定時間保持することにより前記専用チューブのリークを検査するステップと、
   前記被測定機器の流体経路に発生する可能性のある複数の異常モードのそれぞれが呈する流体回路の特性を流体経路検査装置によってエミュレートするステップと、
   前記被測定機器に接続された前記流体経路検査装置の内部配管を前記被測定加圧手段で加圧して、前記エミュレートされた特性と比較して、前記被測定機器の流体経路の異常を検査するステップと、
   を含むことを特徴とする流体経路検査方法。

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