JP3183855B2 - 半導体デバイス製造用ベーク設備のプロセスチャンバードア開閉装置 - Google Patents
半導体デバイス製造用ベーク設備のプロセスチャンバードア開閉装置Info
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D1/00—Casings; Linings; Walls; Roofs
- F27D1/18—Door frames; Doors, lids, removable covers
- F27D1/1858—Doors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体デバイス製
造用ベーク設備のプロセスチャンバードア開閉装置に関
するもので、より詳細には、湿式エッチング工程を経た
ウェーハをハードベークするベーク設備においてカセッ
トが出入する通路を開閉するドア開閉装置に関する。
造用ベーク設備のプロセスチャンバードア開閉装置に関
するもので、より詳細には、湿式エッチング工程を経た
ウェーハをハードベークするベーク設備においてカセッ
トが出入する通路を開閉するドア開閉装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体デバイスは、フォトリソ
グラフィー、エッチング、薄膜形成等の多くの工程を繰
り返して製造される。ハードベーク工程は、これらの工
程の中で、湿式エッチングの後に行われる工程である。
図６は、従来のベーク設備を示した斜視図であり、ま
た、図７は、従来のベーク設備の内部を示した断面構造
図である。図６に示されるように、ベーク工程は、カセ
ット３に複数枚のウェーハ２を積載し、これを内部が所
定の温度に加熱されたプロセスチャンバー１の中に入れ
ることにより遂行される。
グラフィー、エッチング、薄膜形成等の多くの工程を繰
り返して製造される。ハードベーク工程は、これらの工
程の中で、湿式エッチングの後に行われる工程である。
図６は、従来のベーク設備を示した斜視図であり、ま
た、図７は、従来のベーク設備の内部を示した断面構造
図である。図６に示されるように、ベーク工程は、カセ
ット３に複数枚のウェーハ２を積載し、これを内部が所
定の温度に加熱されたプロセスチャンバー１の中に入れ
ることにより遂行される。
【０００３】また、図７に示されるように、プロセスチ
ャンバー１は、下部に送風機４を有する。送風機４は、
チャンバー内部の空気を通風路５へ送り、循環させるた
めのものである。通風路５には、ヒーター６が設置され
ており、通風路５を循環する空気は、このヒーター６に
より所定の温度まで加熱される。また、プロセスチャン
バー１は、その上部にフィルター７を備える。フィルタ
ー７は、通風路５からプロセスチャンバー１の内部へ流
れる空気から異物を除去するためのものである。
ャンバー１は、下部に送風機４を有する。送風機４は、
チャンバー内部の空気を通風路５へ送り、循環させるた
めのものである。通風路５には、ヒーター６が設置され
ており、通風路５を循環する空気は、このヒーター６に
より所定の温度まで加熱される。また、プロセスチャン
バー１は、その上部にフィルター７を備える。フィルタ
ー７は、通風路５からプロセスチャンバー１の内部へ流
れる空気から異物を除去するためのものである。
【０００４】プロセスチャンバー１は、カセット３を出
し入れするための出入口８を有する。この出入口８は、
図６に示されるドア９により開閉される。ドア９は、そ
の一方の側がヒンジ(Hinge)１０によりプロセスチャン
バー１に取り付けられている。また、ドア９は、手動に
よる開閉を可能とする取っ手１１を他方の側に備えてい
る。
し入れするための出入口８を有する。この出入口８は、
図６に示されるドア９により開閉される。ドア９は、そ
の一方の側がヒンジ(Hinge)１０によりプロセスチャン
バー１に取り付けられている。また、ドア９は、手動に
よる開閉を可能とする取っ手１１を他方の側に備えてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のプロセスチャン
バーでは、ドアの開閉は手動により行われる。つまり、
作業者は、直接ドア９の取っ手１１を操作し、出入口８
を開閉しなければならず、そのために作業効率が悪くな
るという問題があった。
バーでは、ドアの開閉は手動により行われる。つまり、
作業者は、直接ドア９の取っ手１１を操作し、出入口８
を開閉しなければならず、そのために作業効率が悪くな
るという問題があった。
【０００６】また、ドアの開閉の際には、ヒンジ１０の
結合部位における磨耗により磨耗粉（微粒子）が発生す
るために、ウェーハ及び周辺環境が汚染されるという問
題もあった。
結合部位における磨耗により磨耗粉（微粒子）が発生す
るために、ウェーハ及び周辺環境が汚染されるという問
題もあった。
【０００７】さらに、ヒンジ１０の構造は十分に堅牢で
ないので破損しやすく、破損した場合には、装置全体を
修理に出さねばならないという問題もあった。
ないので破損しやすく、破損した場合には、装置全体を
修理に出さねばならないという問題もあった。
【０００８】さらにまた、ドア９は容易に開くので、工
程の途中又は工程の後に不注意により作業者がドア９を
開くと、内部の高熱により作業者が火傷を受ける危険が
あるという問題点もあった。
程の途中又は工程の後に不注意により作業者がドア９を
開くと、内部の高熱により作業者が火傷を受ける危険が
あるという問題点もあった。
【０００９】本発明は、上記の問題を解決すべくなされ
たものであり、その目的は、ドアを自動的に開閉させる
ことにより、作業効率を向上させること、ドア開閉動作
時における微粒子の発生を最小限に抑制することによ
り、微粒子によるウェーハ及び周辺環境の汚染を最小限
に防止すること、さらに、作業者の不注意による火傷を
防止することができる半導体デバイス製造用ベーク設備
のプロセスチャンバードア開閉装置を提供することにあ
る。
たものであり、その目的は、ドアを自動的に開閉させる
ことにより、作業効率を向上させること、ドア開閉動作
時における微粒子の発生を最小限に抑制することによ
り、微粒子によるウェーハ及び周辺環境の汚染を最小限
に防止すること、さらに、作業者の不注意による火傷を
防止することができる半導体デバイス製造用ベーク設備
のプロセスチャンバードア開閉装置を提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、半導体デ
バイス製造用ベーク設備のプロセスチャンバードア開閉
装置において、プロセスチャンバー（２１）の出入口
（２２）の一方の側に形成されたボス（２３）と、前記
ボスに回転可能に貫通し、両端がボスの両側から露出し
ている回転軸（２４）と、前記プロセスチャンバーに固
定され、前記回転軸の端部を回転可能に支持するベアリ
ング（２５、２６）と、前記回転軸を所定角度で正回転
及び逆回転させる駆動手段（２７）と、前記回転軸と連
動し、前記プロセスチャンバーの出入口の開閉に用いら
れるドア（３１）と、前記ドアの開閉位置を制御する制
御手段とを含み、前記制御手段は、前記駆動手段の動作
を停止させる第１ボタン及び第２ボタンを有するリミッ
トスイッチと、第１突起及び第２突起を有し、前記回転
軸と連動するヘッド部とを含み、前記第１突起は、前記
ドアが前記プロセスチャンバーの出入口を閉鎖する位置
に達したときに前記第１ボタンに接触して前記リミット
スイッチを作動させ、前記第２突起は、前記ドアが前記
プロセスチャンバーの出入口から所定角度だけ開いたと
きに前記第２ボタンに接触して前記リミットスイッチを
作動させることを特徴とするドア開閉装置により達成さ
れ得る。
バイス製造用ベーク設備のプロセスチャンバードア開閉
装置において、プロセスチャンバー（２１）の出入口
（２２）の一方の側に形成されたボス（２３）と、前記
ボスに回転可能に貫通し、両端がボスの両側から露出し
ている回転軸（２４）と、前記プロセスチャンバーに固
定され、前記回転軸の端部を回転可能に支持するベアリ
ング（２５、２６）と、前記回転軸を所定角度で正回転
及び逆回転させる駆動手段（２７）と、前記回転軸と連
動し、前記プロセスチャンバーの出入口の開閉に用いら
れるドア（３１）と、前記ドアの開閉位置を制御する制
御手段とを含み、前記制御手段は、前記駆動手段の動作
を停止させる第１ボタン及び第２ボタンを有するリミッ
トスイッチと、第１突起及び第２突起を有し、前記回転
軸と連動するヘッド部とを含み、前記第１突起は、前記
ドアが前記プロセスチャンバーの出入口を閉鎖する位置
に達したときに前記第１ボタンに接触して前記リミット
スイッチを作動させ、前記第２突起は、前記ドアが前記
プロセスチャンバーの出入口から所定角度だけ開いたと
きに前記第２ボタンに接触して前記リミットスイッチを
作動させることを特徴とするドア開閉装置により達成さ
れ得る。
【００１１】
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して詳細に説明する。図１及び図２は、それ
ぞれ、本発明の第１の実施の形態による半導体デバイス
製造用ベーク設備のプロセスチャンバードア開閉装置を
示す斜視図及び正面図である。本実施の形態のプロセス
チャンバー２１は、その出入口２２の一方の側にボス２
３を備えている。ボス２３は、その中央に回転軸２４を
回転可能に貫通させており、回転軸２４は、その両端部
をボス２３の両側から露出させている。
図面を参照して詳細に説明する。図１及び図２は、それ
ぞれ、本発明の第１の実施の形態による半導体デバイス
製造用ベーク設備のプロセスチャンバードア開閉装置を
示す斜視図及び正面図である。本実施の形態のプロセス
チャンバー２１は、その出入口２２の一方の側にボス２
３を備えている。ボス２３は、その中央に回転軸２４を
回転可能に貫通させており、回転軸２４は、その両端部
をボス２３の両側から露出させている。
【００１３】回転軸２４の両端部は、ベアリング２５、
２６に挿入されている。これらベアリング２５、２６
は、回転軸２４の円滑な回転を可能とするためのもので
あり、プロセスチャンバー２１に固定されている。回転
軸２４の一端には、ギア減速モータ２７の出力軸２８が
連結されている。ギア減速モータ２７は、回転軸２４を
正方向及び逆方向に回転させるためのものである。ギア
減速モータ２７の作動は、ドア開放スイッチ２９及び閉
鎖スイッチ３０の操作により制御される。
２６に挿入されている。これらベアリング２５、２６
は、回転軸２４の円滑な回転を可能とするためのもので
あり、プロセスチャンバー２１に固定されている。回転
軸２４の一端には、ギア減速モータ２７の出力軸２８が
連結されている。ギア減速モータ２７は、回転軸２４を
正方向及び逆方向に回転させるためのものである。ギア
減速モータ２７の作動は、ドア開放スイッチ２９及び閉
鎖スイッチ３０の操作により制御される。
【００１４】回転軸２４は、固定バー３２、３３を介し
てプロセスチャンバー２１の出入口２２を開閉するドア
３１と連結されている。すなわち、回転軸２４の両端
は、固定バー３２、３３の一端にそれぞれ固定されてお
り、固定バー３２、３３の他端は、ドア３１の上側及び
下側にそれぞれ固定されている。従って、ギア減速モー
タ２７が駆動されて回転軸２４が正回転又は逆回転する
と、ドア３１がこれに連動し、プロセスチャンバー２１
の出入口２２を開閉する。
てプロセスチャンバー２１の出入口２２を開閉するドア
３１と連結されている。すなわち、回転軸２４の両端
は、固定バー３２、３３の一端にそれぞれ固定されてお
り、固定バー３２、３３の他端は、ドア３１の上側及び
下側にそれぞれ固定されている。従って、ギア減速モー
タ２７が駆動されて回転軸２４が正回転又は逆回転する
と、ドア３１がこれに連動し、プロセスチャンバー２１
の出入口２２を開閉する。
【００１５】図３は、本実施の形態によるベーク設備の
プロセスチャンバードア開閉装置の動作を説明するため
の図である。本実施の形態のプロセスチャンバードア開
閉装置は、ドア３１の開閉位置を決定する制御手段を備
えている。この制御手段とは、リミットスイッチ３６の
ことである。リミットスイッチ３６は、ドア３１が出入
口２２を閉鎖する位置（以下、「閉鎖位置」という）に
配置されたときにギア減速モータ２７の駆動を停止させ
る第１ボタン３４と、ドア３１が、出入口２２から見
て、ウェーハの出し入れをするのに必要な角度だけ開い
た位置（以下、「開放位置」という）に配置されたとき
にギア減速モータ２７の駆動を停止させる第２ボタン３
５とを有する。第１ボタン３４及び第２ボタン３５は、
いずれも、回転軸２４に固定され、回転軸２４と連動す
るヘッド部３７により操作される。ヘッド部３７は、第
１ボタン３４及び第２ボタン３５にそれぞれ対応する位
置に、第１ボタン３４及び第２ボタン３５を動作させる
第１突起３８及び第２突起３９を備えている。
プロセスチャンバードア開閉装置の動作を説明するため
の図である。本実施の形態のプロセスチャンバードア開
閉装置は、ドア３１の開閉位置を決定する制御手段を備
えている。この制御手段とは、リミットスイッチ３６の
ことである。リミットスイッチ３６は、ドア３１が出入
口２２を閉鎖する位置（以下、「閉鎖位置」という）に
配置されたときにギア減速モータ２７の駆動を停止させ
る第１ボタン３４と、ドア３１が、出入口２２から見
て、ウェーハの出し入れをするのに必要な角度だけ開い
た位置（以下、「開放位置」という）に配置されたとき
にギア減速モータ２７の駆動を停止させる第２ボタン３
５とを有する。第１ボタン３４及び第２ボタン３５は、
いずれも、回転軸２４に固定され、回転軸２４と連動す
るヘッド部３７により操作される。ヘッド部３７は、第
１ボタン３４及び第２ボタン３５にそれぞれ対応する位
置に、第１ボタン３４及び第２ボタン３５を動作させる
第１突起３８及び第２突起３９を備えている。
【００１６】本実施の形態では、ドアの開閉角度は、第
１及び第２ボタン３４、３５を動作させる第１及び第２
突起３８、３９のそれぞれが配置された位置（配置角
度）により決定される。第１突起３８が配置された位置
と、第２突起が配置された位置との間の角度は、９０〜
１８０°の範囲内であることが好ましく、本実施の形態
では、例えばこれを１３５°とし、これにより、ドア３
１を開閉できる角度を１３５°に設定している。
１及び第２ボタン３４、３５を動作させる第１及び第２
突起３８、３９のそれぞれが配置された位置（配置角
度）により決定される。第１突起３８が配置された位置
と、第２突起が配置された位置との間の角度は、９０〜
１８０°の範囲内であることが好ましく、本実施の形態
では、例えばこれを１３５°とし、これにより、ドア３
１を開閉できる角度を１３５°に設定している。
【００１７】次に、上記構成を有するドア開閉装置の動
作を説明する。はじめに、図１乃至図３（Ａ）を用い
て、ドア３１がプロセスチャンバー２１の出入口２２を
閉鎖する場合について説明する。ドア３１が出入口２２
を閉鎖しているときは、回転軸２４と連動するヘッド部
３７の第１突起３８がリミットスイッチ３６の第１ボタ
ン３４を押す。この結果、ギア減速モータ２７は、ドア
３１の閉鎖位置でその駆動を停止する。
作を説明する。はじめに、図１乃至図３（Ａ）を用い
て、ドア３１がプロセスチャンバー２１の出入口２２を
閉鎖する場合について説明する。ドア３１が出入口２２
を閉鎖しているときは、回転軸２４と連動するヘッド部
３７の第１突起３８がリミットスイッチ３６の第１ボタ
ン３４を押す。この結果、ギア減速モータ２７は、ドア
３１の閉鎖位置でその駆動を停止する。
【００１８】次に、ドア３１により出入口２２が閉鎖さ
れた状態から出入口２２を開放しようとする場合には、
作業者がドア開放スイッチ２９を操作し、ギア減速モー
タ２７を駆動させる。この結果、回転軸２４が回転し、
この回転軸２４と固定バー３２、３３で連結されたドア
３１が連動し、ドア３１が自動的に出入口２２を開放さ
せる。同時に、ヘッド部３７は、回転軸２４と連動して
回転する。ヘッド部３７の第２突起３９が、リミットス
イッチ３６の第２ボタン３５の位置に達し、第２ボタン
３５を押すと、ギア減速モータ２７の駆動が停止され
る。よって、ドア３１は、所定角度回転した後に、開放
位置で停止する。
れた状態から出入口２２を開放しようとする場合には、
作業者がドア開放スイッチ２９を操作し、ギア減速モー
タ２７を駆動させる。この結果、回転軸２４が回転し、
この回転軸２４と固定バー３２、３３で連結されたドア
３１が連動し、ドア３１が自動的に出入口２２を開放さ
せる。同時に、ヘッド部３７は、回転軸２４と連動して
回転する。ヘッド部３７の第２突起３９が、リミットス
イッチ３６の第２ボタン３５の位置に達し、第２ボタン
３５を押すと、ギア減速モータ２７の駆動が停止され
る。よって、ドア３１は、所定角度回転した後に、開放
位置で停止する。
【００１９】また、出入口２２を開放状態から閉鎖しよ
うとする場合には、今度は、作業者がドア閉鎖スイッチ
３０を操作してギア減速モータ２７を駆動させる。この
結果、回転軸２４は逆回転し、この回転軸２４と固定バ
ー３２、３３で連結されたドア３１が回転軸２４の回転
に連動し、ドア３１が自動的に出入口２２を閉鎖させ
る。同時に、ヘッド部３７は、回転軸２４と連動して回
転する。ヘッド部３７の第１突起３８が、リミットスイ
ッチ３６の第１ボタン３４の位置に達し、第１ボタン３
４を押すと、ギア減速モータ２７の駆動が停止される。
従って、ドア３１は、所定角度回転した後に、閉鎖位置
で停止する。
うとする場合には、今度は、作業者がドア閉鎖スイッチ
３０を操作してギア減速モータ２７を駆動させる。この
結果、回転軸２４は逆回転し、この回転軸２４と固定バ
ー３２、３３で連結されたドア３１が回転軸２４の回転
に連動し、ドア３１が自動的に出入口２２を閉鎖させ
る。同時に、ヘッド部３７は、回転軸２４と連動して回
転する。ヘッド部３７の第１突起３８が、リミットスイ
ッチ３６の第１ボタン３４の位置に達し、第１ボタン３
４を押すと、ギア減速モータ２７の駆動が停止される。
従って、ドア３１は、所定角度回転した後に、閉鎖位置
で停止する。
【００２０】このように、本実施の形態では、プロセス
チャンバー２１の出入口２２の開閉動作が自動的に行わ
れる。また、回転軸２４は、ベアリング２５、２６によ
り回転支持されるので、ドア３１の開閉動作が非常に円
滑であり、回転時の磨耗によるパーティクルの発生を最
小限に抑制することができる。
チャンバー２１の出入口２２の開閉動作が自動的に行わ
れる。また、回転軸２４は、ベアリング２５、２６によ
り回転支持されるので、ドア３１の開閉動作が非常に円
滑であり、回転時の磨耗によるパーティクルの発生を最
小限に抑制することができる。
【００２１】次に参考例について説明する。図４は、ベ
ーク設備のプロセスチャンバードア開閉装置の参考例を
示す斜視図である。また、図５は、図４に示すプロセス
チャンバードア開閉装置の動作を説明するための図であ
る。図４及び図５に示されるように、参考例では、プロ
セスチャンバー４１は、その出入口４２の一方の側の上
部及び下部にそれぞれベアリング４３、４４を設置され
ており、このベアリング４３、４４に、回転軸４５の両
端が回転支持されている。
ーク設備のプロセスチャンバードア開閉装置の参考例を
示す斜視図である。また、図５は、図４に示すプロセス
チャンバードア開閉装置の動作を説明するための図であ
る。図４及び図５に示されるように、参考例では、プロ
セスチャンバー４１は、その出入口４２の一方の側の上
部及び下部にそれぞれベアリング４３、４４を設置され
ており、このベアリング４３、４４に、回転軸４５の両
端が回転支持されている。
【００２２】回転軸４５には、ブラケット４７を介して
ドア４６が取り付けられている。すなわち、ブラケット
４７の一端は、回転軸４５に固定され、回転軸４５とと
もに回転するようになっている。また、ブラケット４７
の他端は、ドア４６に固定され、ドア４６が回転軸４５
と連動するようにしている。
ドア４６が取り付けられている。すなわち、ブラケット
４７の一端は、回転軸４５に固定され、回転軸４５とと
もに回転するようになっている。また、ブラケット４７
の他端は、ドア４６に固定され、ドア４６が回転軸４５
と連動するようにしている。
【００２３】また、ブラケット４７の一端には、エアシ
リンダー４８のシリンダーロッド４９が連動可能に連結
されている。具体的には、シリンダーロッド４９は、そ
の先端部分に、回転軸４５の中心軸と平行な方向に突出
する突起部５３を有し、この突起部５３は、ブラケット
４７の一端であって、回転軸４５に取り付けられている
部位の近くに設けられた溝部５４に摺動可能に挿入され
ている。ここで「摺動可能に」とは、回転軸４５の中心
軸（回転軸）に対し垂直に交わる方向に、又は交差する
方向に摺動することが可能にとの意味である。この突起
部５３と溝部５４とは、シリンダーヘッド４９の直線運
動を回転運動に変換する機構として機能する。つまり、
シリンダーヘッド４９が直線往復運動を行うと、突起部
５３及び溝部５４を介して回転軸４５に回転トルクが加
わり、回転軸４５が回転する。同時に、回転軸４５に固
定されているブラケット４７は、回転軸４５を中心に所
定角度で回転する。
リンダー４８のシリンダーロッド４９が連動可能に連結
されている。具体的には、シリンダーロッド４９は、そ
の先端部分に、回転軸４５の中心軸と平行な方向に突出
する突起部５３を有し、この突起部５３は、ブラケット
４７の一端であって、回転軸４５に取り付けられている
部位の近くに設けられた溝部５４に摺動可能に挿入され
ている。ここで「摺動可能に」とは、回転軸４５の中心
軸（回転軸）に対し垂直に交わる方向に、又は交差する
方向に摺動することが可能にとの意味である。この突起
部５３と溝部５４とは、シリンダーヘッド４９の直線運
動を回転運動に変換する機構として機能する。つまり、
シリンダーヘッド４９が直線往復運動を行うと、突起部
５３及び溝部５４を介して回転軸４５に回転トルクが加
わり、回転軸４５が回転する。同時に、回転軸４５に固
定されているブラケット４７は、回転軸４５を中心に所
定角度で回転する。
【００２４】エアシリンダー４８は、ドア開放スイッチ
５０及び閉鎖スイッチ５１の操作によって駆動される。
つまり、エアシリンダー４８が駆動し、シリンダーロッ
ド４９がドアの閉鎖位置（開放位置）まで前進（後進）
することにより、回転軸４５及びブラケット４７は正回
転（逆回転）し、さらに、これにドア４６が連動し、プ
ロセスチャンバー４１の出入口４２が閉鎖（開放）され
るのである。
５０及び閉鎖スイッチ５１の操作によって駆動される。
つまり、エアシリンダー４８が駆動し、シリンダーロッ
ド４９がドアの閉鎖位置（開放位置）まで前進（後進）
することにより、回転軸４５及びブラケット４７は正回
転（逆回転）し、さらに、これにドア４６が連動し、プ
ロセスチャンバー４１の出入口４２が閉鎖（開放）され
るのである。
【００２５】一方、ドア４６の開閉位置は、シリンダー
ロッド４９の直線移動距離により決定される。シリンダ
ーロッド４９の直線移動距離は、エアシリンダー４８に
一体に備えられたセンサー（不図示）により設定され
る。なお、シリンダーロッド４９の直線移動距離は、ド
ア４６の開閉角度が９０°〜１８０°の範囲内になるよ
うに設定することが好ましい。
ロッド４９の直線移動距離により決定される。シリンダ
ーロッド４９の直線移動距離は、エアシリンダー４８に
一体に備えられたセンサー（不図示）により設定され
る。なお、シリンダーロッド４９の直線移動距離は、ド
ア４６の開閉角度が９０°〜１８０°の範囲内になるよ
うに設定することが好ましい。
【００２６】次に参考例のドア開閉装置の動作について
説明する。図４及び図５（Ａ）は、ドア４６がプロセス
チャンバー４１の出入口４２を閉鎖している状態を示し
ている。これらの図で示される状態では、シリンダーロ
ッド４９は、エアシリンダー４８から前方へ伸びてお
り、ドア４６を閉鎖位置に配置させている。
説明する。図４及び図５（Ａ）は、ドア４６がプロセス
チャンバー４１の出入口４２を閉鎖している状態を示し
ている。これらの図で示される状態では、シリンダーロ
ッド４９は、エアシリンダー４８から前方へ伸びてお
り、ドア４６を閉鎖位置に配置させている。
【００２７】ドア４６が閉鎖されている状態から出入口
４２を開く場合には、作業者がドア開放スイッチ５０を
操作してエアシリンダー４８を駆動させる。この結果、
シリンダーロッド４９はエアーシリンダーの中へと後進
し、開放位置に移動する。このように後進するシリンダ
ーロッド４９は、ブラケット４７の一端を引っ張り、こ
れにより、ブラケット４７及び回転軸４５が回転する。
同時に、ブラケット４７と連結されているドア４６がブ
ラケット４７と連動し、出入口４２が自動的に開放され
る。
４２を開く場合には、作業者がドア開放スイッチ５０を
操作してエアシリンダー４８を駆動させる。この結果、
シリンダーロッド４９はエアーシリンダーの中へと後進
し、開放位置に移動する。このように後進するシリンダ
ーロッド４９は、ブラケット４７の一端を引っ張り、こ
れにより、ブラケット４７及び回転軸４５が回転する。
同時に、ブラケット４７と連結されているドア４６がブ
ラケット４７と連動し、出入口４２が自動的に開放され
る。
【００２８】また、出入口４２が開放状態にある場合
に、出入口４２を閉鎖しようとするときは、作業者は、
ドア閉鎖スイッチ５１を操作し、エアシリンダー４８を
駆動させる。この結果、シリンダーロッド４９はエアシ
リンダー４８の前方へと前進し、ドア４６の閉鎖位置に
移動する。前進するシリンダーロッド４９は、ブラケッ
ト４７の一端を押して回転させ、これにより、ブラケッ
ト４７と連結されているドア４６が連動し、ドア４６が
自動的に出入口４２を閉鎖させる。
に、出入口４２を閉鎖しようとするときは、作業者は、
ドア閉鎖スイッチ５１を操作し、エアシリンダー４８を
駆動させる。この結果、シリンダーロッド４９はエアシ
リンダー４８の前方へと前進し、ドア４６の閉鎖位置に
移動する。前進するシリンダーロッド４９は、ブラケッ
ト４７の一端を押して回転させ、これにより、ブラケッ
ト４７と連結されているドア４６が連動し、ドア４６が
自動的に出入口４２を閉鎖させる。
【００２９】このように、参考例のプロセスチャンバー
４１の出入口４２は、開閉動作が自動的に行われる。し
かも、回転軸４５がベアリング４３、４４で回転支持さ
れているので、ドア４６の開閉動作が非常に円滑であ
り、回転時の摩耗によるパーティクルの発生を最小限に
抑制することが可能である。
４１の出入口４２は、開閉動作が自動的に行われる。し
かも、回転軸４５がベアリング４３、４４で回転支持さ
れているので、ドア４６の開閉動作が非常に円滑であ
り、回転時の摩耗によるパーティクルの発生を最小限に
抑制することが可能である。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明による半導体デバ
イス製造用ベーク設備のプロセスチャンバードア開閉装
置によると、ドアの開閉動作が自動的に行われるので、
作業性が向上する。また、ドアの回転動作が円滑に行わ
れ、回転部位における磨耗に起因したパーティクルの発
生が抑制され、収率が向上する。さらに、作業者が直接
ドアを開閉する必要がないので、プロセスチャンバー内
の高熱から作業者を保護できるという効果も奏される。
イス製造用ベーク設備のプロセスチャンバードア開閉装
置によると、ドアの開閉動作が自動的に行われるので、
作業性が向上する。また、ドアの回転動作が円滑に行わ
れ、回転部位における磨耗に起因したパーティクルの発
生が抑制され、収率が向上する。さらに、作業者が直接
ドアを開閉する必要がないので、プロセスチャンバー内
の高熱から作業者を保護できるという効果も奏される。
【００３１】以上において本発明は、記載された具体例
に対してのみ詳細に説明したが、本発明の技術思想範囲
内で、多様な変形及び修正が可能であることは、当業者
によって明らかなものであり、このような変形及び修正
は、特許請求の範囲に当然属するものである。
に対してのみ詳細に説明したが、本発明の技術思想範囲
内で、多様な変形及び修正が可能であることは、当業者
によって明らかなものであり、このような変形及び修正
は、特許請求の範囲に当然属するものである。
【図１】本発明の第１の実施の形態によるベーク設備の
プロセスチャンバードア開閉装置を示した斜視図であ
る。
プロセスチャンバードア開閉装置を示した斜視図であ
る。
【図２】本発明の第１の実施の形態によるベーク設備の
プロセスチャンバードア開閉装置を示した正面図であ
る。
プロセスチャンバードア開閉装置を示した正面図であ
る。
【図３】本発明の第１の実施の形態によるベーク設備の
プロセスチャンバードア開閉装置の動作を説明する図で
ある。
プロセスチャンバードア開閉装置の動作を説明する図で
ある。
【図４】参考例によるベーク設備のプロセスチャンバー
ドア開閉装置を示した斜視図である。
ドア開閉装置を示した斜視図である。
【図５】参考例によるベーク設備のプロセスチャンバー
ドア開閉装置の動作を説明する図である。
ドア開閉装置の動作を説明する図である。
【図６】従来のベーク設備を示した斜視図である。
【図７】従来のベーク設備の内部を示した断面構造図で
ある。
ある。
１、２１、４１ プロセスチャンバー ８、２２、４２ 出入口 ９、３１、４６ ドア ２３ ボス ２４、４５ 回転軸 ２５、２６、４３、４４ ベアリング ２７ ギア減速モータ ２８ 出力軸 ２９、５０ ドア開放スイッチ ３０、５１ ドア閉鎖スイッチ ３２、３３ 固定バー ３４、３５ ボタン ３６ リミットスイッチ ３７ ヘッド部 ３８、３９： 突起 ４７ ブラケット ４８ エアシリンダー ４９ シリンダーロッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 F27D 1/18
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体デバイス製造用ベーク設備のプロ
セスチャンバードア開閉装置において、 プロセスチャンバーの出入口の一方の側に形成されたボ
スと、 前記ボスに回転可能に貫通し、両端がボスの両側から露
出している回転軸と、 前記プロセスチャンバーに固定され、前記回転軸の端部
を回転可能に支持するベアリングと、 前記回転軸を所定角度で正回転及び逆回転させる駆動手
段と、 前記回転軸と連動し、前記プロセスチャンバーの出入口
の開閉に用いられるドアと、 前記ドアの開閉位置を制御する制御手段とを含み、前記
制御手段は、 前記駆動手段の動作を停止させる第１ボタン及び第２ボ
タンを有するリミットスイッチと、 第１突起及び第２突起を有し、前記回転軸と連動するヘ
ッド部とを含み、前記第１突起は、前記ドアが前記プロ
セスチャンバーの出入口を閉鎖する位置に達したときに
前記第１ボタンに接触して前記リミットスイッチを作動
させ、前記第２突起は、前記ドアが前記プロセスチャン
バーの出入口から所定角度だけ開いたときに前記第２ボ
タンに接触して前記リミットスイッチを作動させること
を特徴とするドア開閉装置。 - 【請求項２】 前記所定角度は、９０°から１８０°ま
での範囲内の角度であることを特徴とする請求項１に記
載のドア開閉装置。 - 【請求項３】 前記駆動手段は、前記回転軸の一端とそ
の軸が連結されたギア減速モータであることを特徴とす
る請求項１に記載のドア開閉装置。 - 【請求項４】 前記ドアは、一端が前記回転軸に固定さ
れ、他端が前記ドアの上端部に固定された第１の固定バ
ーと、一端が前記回転軸に固定され、他端が前記ドアの
下端部に固定された第２の固定バーとにより前記回転軸
に固定されていることを特徴とする請求項１に記載のド
ア開閉装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970000382A KR100238944B1 (ko) | 1997-01-09 | 1997-01-09 | 반도체장치 제조용 베이크설비의 공정챔버 도어개폐장치 |
| KR1997-382 | 1997-01-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10209245A JPH10209245A (ja) | 1998-08-07 |
| JP3183855B2 true JP3183855B2 (ja) | 2001-07-09 |
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ID=19494330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30028297A Expired - Fee Related JP3183855B2 (ja) | 1997-01-09 | 1997-10-31 | 半導体デバイス製造用ベーク設備のプロセスチャンバードア開閉装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6113734A (ja) |
| JP (1) | JP3183855B2 (ja) |
| KR (1) | KR100238944B1 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| KR100506972B1 (ko) * | 1999-01-12 | 2005-08-09 | 삼성전자주식회사 | 이온 주입기의 로드락 도어 개폐 장치 |
| WO2001006560A1 (fr) * | 1999-07-14 | 2001-01-25 | Tokyo Electron Limited | Dispositif d'ouverture/fermeture pour un couvercle d'ouverture/fermeture de boite de stockage d'objet non traite et systeme de traitement d'objet non traite |
| US6735906B1 (en) | 1999-12-31 | 2004-05-18 | Thomas R. Largent | Warp resistant access door assembly for a high temperature combustion chamber |
| US6593551B2 (en) * | 2000-07-14 | 2003-07-15 | Robert Haber | User sensing chafing dish |
| KR100368051B1 (ko) * | 2001-02-16 | 2003-01-14 | 주식회사 엘지이아이 | 플라즈마를 이용한 고분자막 연속중합장비의 도어 개폐장치 |
| TW554409B (en) * | 2002-07-16 | 2003-09-21 | Au Optronics Corp | Movable shutter structure of baking apparatus for semiconductor or liquid crystal display industry related process |
| US20040261712A1 (en) * | 2003-04-25 | 2004-12-30 | Daisuke Hayashi | Plasma processing apparatus |
| CN100416207C (zh) * | 2005-06-15 | 2008-09-03 | 陈岳忠 | 窑门电控开启装置 |
| KR100730743B1 (ko) | 2006-06-15 | 2007-06-21 | 세메스 주식회사 | 기판 베이킹 장치 |
| KR101447184B1 (ko) * | 2006-11-10 | 2014-10-08 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버 |
| ES2581378T3 (es) † | 2008-06-20 | 2016-09-05 | Volker Probst | Dispositivo de procesamiento y procedimiento para procesar productos de procesamiento apilados |
| JP5497114B2 (ja) * | 2011-07-29 | 2014-05-21 | セメス株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
| US20130101372A1 (en) * | 2011-10-19 | 2013-04-25 | Lam Research Ag | Method and apparatus for processing wafer-shaped articles |
| KR101425357B1 (ko) * | 2013-01-31 | 2014-08-04 | 주식회사 우전앤한단 | 수직형 기판의 표면 처리 장치와 이것에 의해 제조된 처리물 |
| JP5908857B2 (ja) * | 2013-03-25 | 2016-04-26 | 住友重機械工業株式会社 | 成膜装置 |
| KR102046083B1 (ko) * | 2013-03-28 | 2019-12-02 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판처리장치 |
| US9234703B2 (en) | 2013-12-17 | 2016-01-12 | Honda Motor Co., Ltd. | Automatic charge hearth access door assembly |
| KR101531632B1 (ko) * | 2014-02-24 | 2015-06-29 | 주식회사 아스타 | 진공시스템의 게이트 밸브 구조 |
| JP6510925B2 (ja) * | 2015-07-24 | 2019-05-08 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
| CN106979691A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-07-25 | 江苏石川岛丰东真空技术有限公司 | 一种新型真空炉自动旋转门 |
| EP3431689B1 (en) * | 2017-07-19 | 2024-06-12 | Electrolux Appliances Aktiebolag | Door hinge system for a pivotng door of a domestic appliance |
| US10636629B2 (en) | 2017-10-05 | 2020-04-28 | Applied Materials, Inc. | Split slit liner door |
| JP6426816B2 (ja) * | 2017-11-20 | 2018-11-21 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
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| CN111436881B (zh) * | 2020-03-31 | 2023-10-20 | 宁波方太厨具有限公司 | 一种清洗机及其开关门方法 |
| KR102614509B1 (ko) * | 2020-09-10 | 2023-12-18 | 세메스 주식회사 | 셔터 장치 및 이를 갖는 기판 처리 장치 |
| KR102494219B1 (ko) * | 2021-04-23 | 2023-02-06 | 주식회사 에스엔씨솔루션 | 기판 정렬 시스템 |
| KR102261600B1 (ko) * | 2021-04-29 | 2021-06-07 | 주식회사 파인솔루션 | 동력쉬프트 부재를 이용한 탑 리드 개폐 장치 |
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|---|---|---|---|---|
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| JPH04257244A (ja) * | 1991-02-12 | 1992-09-11 | Fujitsu Ltd | ウェーハキャリア |
| US5449289A (en) * | 1992-06-15 | 1995-09-12 | Semitool, Inc. | Semiconductor processor opening and closure construction |
| US5803021A (en) * | 1994-10-11 | 1998-09-08 | Combustion Engineering, Inc. | Boiler access door construction |
| US5674123A (en) * | 1995-07-18 | 1997-10-07 | Semifab | Docking and environmental purging system for integrated circuit wafer transport assemblies |
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1997
- 1997-01-09 KR KR1019970000382A patent/KR100238944B1/ko not_active IP Right Cessation
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- 1997-12-22 US US08/996,094 patent/US6113734A/en not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-03-06 US US09/519,426 patent/US6302684B1/en not_active Expired - Fee Related
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