JP3058775B2 - 分析用パーキング - Google Patents
分析用パーキングInfo
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- JP3058775B2 JP3058775B2 JP5036981A JP3698193A JP3058775B2 JP 3058775 B2 JP3058775 B2 JP 3058775B2 JP 5036981 A JP5036981 A JP 5036981A JP 3698193 A JP3698193 A JP 3698193A JP 3058775 B2 JP3058775 B2 JP 3058775B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は試料を一時的に格納し、
その格納位置において表面分析、像観察を行うことがで
きる分析用パーキングに関する。
その格納位置において表面分析、像観察を行うことがで
きる分析用パーキングに関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）および
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等超高真空下で表面分析並び
に観察を行う装置において、観察用試料を各分析室や処
理室へ搬送するために一時的に試料を格納し、その格納
位置で表面分析や観察を行うことができるような分析用
パーキングが知られている。
原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等超高真空下で表面分析並び
に観察を行う装置において、観察用試料を各分析室や処
理室へ搬送するために一時的に試料を格納し、その格納
位置で表面分析や観察を行うことができるような分析用
パーキングが知られている。
【０００３】図６はこのような分析用パーキングを示す
もので、分析用パーキング０１にはギヤ駆動部３で回転
駆動されるギヤ２と係合するギヤ１上に試料格納部４，
５、探針格納部１０等が設けられ、その周囲に配置され
た分析装置０２に対して搬送機構（ＭＧＬ）０３によっ
て試料を搬送したり、或いはＳＴＭ用の探針を搬送でき
るようになっている。この分析用パーキング０１はギヤ
駆動部３を駆動させ、ギヤ２を介してギヤ１を回転させ
ることにより探針格納部、試料格納部を適宜の位置に移
動させ、またパーキング全体が傾斜できるようにもなっ
ている。
もので、分析用パーキング０１にはギヤ駆動部３で回転
駆動されるギヤ２と係合するギヤ１上に試料格納部４，
５、探針格納部１０等が設けられ、その周囲に配置され
た分析装置０２に対して搬送機構（ＭＧＬ）０３によっ
て試料を搬送したり、或いはＳＴＭ用の探針を搬送でき
るようになっている。この分析用パーキング０１はギヤ
駆動部３を駆動させ、ギヤ２を介してギヤ１を回転させ
ることにより探針格納部、試料格納部を適宜の位置に移
動させ、またパーキング全体が傾斜できるようにもなっ
ている。
【０００４】この分析用パーキングの構造は、図５
（ａ）（平面図）、図５（ｂ）（断面図）、図５（ｃ）
（裏面図）に詳細に示されており、ギヤ駆動部３とギヤ
２との係合は傘歯車１１を介して行われ、またギヤ１は
ベアリング１２によりベース６に回転可能に支持されて
いる。各試料格納部は分析室や処理室へ観察用試料を搬
送する試料搬送機構０３との接続位置で停止でき、また
格納位置においても表面分析や観察ができるように分析
装置の分析点でも停止できる機構となっている。
（ａ）（平面図）、図５（ｂ）（断面図）、図５（ｃ）
（裏面図）に詳細に示されており、ギヤ駆動部３とギヤ
２との係合は傘歯車１１を介して行われ、またギヤ１は
ベアリング１２によりベース６に回転可能に支持されて
いる。各試料格納部は分析室や処理室へ観察用試料を搬
送する試料搬送機構０３との接続位置で停止でき、また
格納位置においても表面分析や観察ができるように分析
装置の分析点でも停止できる機構となっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
分析用パーキングでは観察用試料の汚染、不純物を除去
するために観察用試料を通電加熱処理したり、また試料
を分析並びに観察する際には観察用試料表面を高温にす
ることが多く、そのために試料格納部４，５は図７に示
すように、分析用パーキングの外側に設けられたコネク
タ１５を通して通電できるように配線されており、この
配線は図５（ａ）に示す押え板７、図５（ｃ）に示す押
え板８，９等で支持され、配線の一端は回転や傾斜とい
った動作をするパーキング側、配線の他端はパーキング
がある部屋のポートに固定されたコネクタ１５に接続さ
れる構造となっている。このような配線の存在のため
に、ギヤ１の回転角度が制限され、またギヤ１の回転分
だけリード線を弛ませておく必要があるため、ギヤ１が
回転する際リード線が踊るように動作し、分析並びに観
察スペースに入りこんでその障害になることがある。ま
た、ギヤ１の回転毎にリード線の動作が異なり、周辺の
分析装置に接触したり、また配線作業自体が困難であ
る。さらに試料格納部の個数によって配線をそのつど変
えなければならず、また外観上も好ましいものではなか
った。
分析用パーキングでは観察用試料の汚染、不純物を除去
するために観察用試料を通電加熱処理したり、また試料
を分析並びに観察する際には観察用試料表面を高温にす
ることが多く、そのために試料格納部４，５は図７に示
すように、分析用パーキングの外側に設けられたコネク
タ１５を通して通電できるように配線されており、この
配線は図５（ａ）に示す押え板７、図５（ｃ）に示す押
え板８，９等で支持され、配線の一端は回転や傾斜とい
った動作をするパーキング側、配線の他端はパーキング
がある部屋のポートに固定されたコネクタ１５に接続さ
れる構造となっている。このような配線の存在のため
に、ギヤ１の回転角度が制限され、またギヤ１の回転分
だけリード線を弛ませておく必要があるため、ギヤ１が
回転する際リード線が踊るように動作し、分析並びに観
察スペースに入りこんでその障害になることがある。ま
た、ギヤ１の回転毎にリード線の動作が異なり、周辺の
分析装置に接触したり、また配線作業自体が困難であ
る。さらに試料格納部の個数によって配線をそのつど変
えなければならず、また外観上も好ましいものではなか
った。
【０００６】本発明は上記課題を解決するためのもの
で、ギヤの回転角度の制限をなくし、またリード線によ
る分析の障害、接触、短絡等をなくし、配線作業を容易
にし、かつ外観もすっきりさせることができる分析用パ
ーキングを提供することを目的とする。
で、ギヤの回転角度の制限をなくし、またリード線によ
る分析の障害、接触、短絡等をなくし、配線作業を容易
にし、かつ外観もすっきりさせることができる分析用パ
ーキングを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、駆動手段によ
り回転駆動される回転ギアに試料格納部、探針格納部等
が設けられ、操作機構により試料、探針等が格納可能で
あるとともに、分析・処理位置へ搬送可能であり、さら
に試料格納部の位置で試料の通電加熱、分析処理が可能
な分析用パーキングにおいて、回転ギヤ中心に対して同
心円状にメタライズ処理され、互いに絶縁された複数の
帯状の面を有する固定配置された第１の中継碍子と、回
転ギヤ上に配置され、前記第１の中継碍子の帯状の面に
弾性接触してスライドする接点を有する第２の中継碍子
を１つ以上備え、試料格納部の通電端子を前記第２の中
継碍子の各接点に接続し、前記第１の中継碍子の各帯状
の面と電気的に導通したリード線より、第１、第２の中
継碍子を通して試料格納部に通電するようにしたことを
特徴とする。
り回転駆動される回転ギアに試料格納部、探針格納部等
が設けられ、操作機構により試料、探針等が格納可能で
あるとともに、分析・処理位置へ搬送可能であり、さら
に試料格納部の位置で試料の通電加熱、分析処理が可能
な分析用パーキングにおいて、回転ギヤ中心に対して同
心円状にメタライズ処理され、互いに絶縁された複数の
帯状の面を有する固定配置された第１の中継碍子と、回
転ギヤ上に配置され、前記第１の中継碍子の帯状の面に
弾性接触してスライドする接点を有する第２の中継碍子
を１つ以上備え、試料格納部の通電端子を前記第２の中
継碍子の各接点に接続し、前記第１の中継碍子の各帯状
の面と電気的に導通したリード線より、第１、第２の中
継碍子を通して試料格納部に通電するようにしたことを
特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明は分析用パーキングの配線を回転部と回
転部、回転部と固定部、固定部と固定部の３つに独立さ
せると共に、電気的に導通させるようにしたので、パー
キングの回転がエンドレスとなり、またリード線が常に
静止するようになったので、分析の障害、接触、短絡等
をなくすことが可能となる。
転部、回転部と固定部、固定部と固定部の３つに独立さ
せると共に、電気的に導通させるようにしたので、パー
キングの回転がエンドレスとなり、またリード線が常に
静止するようになったので、分析の障害、接触、短絡等
をなくすことが可能となる。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の分析用パーキングの１実施例
を示す図、図２は中継碍子の構造を示す図、図３は固定
中継碍子の構造を示す図、図４は配線を説明する図であ
る。なお、分析用パーキング２０はギヤ駆動部４３、傘
歯車４４、ギヤ４２を介してギヤ４１が回転駆動される
のは従来のものと同じである。
を示す図、図２は中継碍子の構造を示す図、図３は固定
中継碍子の構造を示す図、図４は配線を説明する図であ
る。なお、分析用パーキング２０はギヤ駆動部４３、傘
歯車４４、ギヤ４２を介してギヤ４１が回転駆動される
のは従来のものと同じである。
【００１０】本実施例のギヤ４１には試料格納部２１，
２２，２３の３個、探針格納部３８，３９，４０の３
個、コネクタから試料格納部へ電流を中継するための中
継碍子２４，２５の２個がそれぞれ固定配置されてい
る。ここで、各試料格納部の配線について説明すると、
ギヤ４１の中央部に設けられた試料格納部２３の電流入
口側リード線２３ｉ、電流出口側リード線２３ｏ共に格
納部に設けられた小孔２３ａ，２３ｂを通ってパーキン
グ２０の表側に出てくる。そして電流入口側リード線２
３ｉは中継碍子２５の内側端子に、電流出口側リード線
２３ｏは試料格納部２２の電流出口側端子に接続され
る。試料格納部２２は電流入口側は中継碍子２５の外側
端子に、電流出口側は試料格納部２１の電流出口側に接
続される。試料格納部２１は電流入口側は中継碍子２４
の外側端子に、電流出口側は中継碍子２４の内側端子に
それぞれ接続され、図１（ｃ）に示すようにパーキング
の裏側から電流入力用３本、電流出力用１本の計４本の
リード線４６として取り出され、これらの配線を示すと
図４のようになり、各リード線はコネクタ４７に接続さ
れている。
２２，２３の３個、探針格納部３８，３９，４０の３
個、コネクタから試料格納部へ電流を中継するための中
継碍子２４，２５の２個がそれぞれ固定配置されてい
る。ここで、各試料格納部の配線について説明すると、
ギヤ４１の中央部に設けられた試料格納部２３の電流入
口側リード線２３ｉ、電流出口側リード線２３ｏ共に格
納部に設けられた小孔２３ａ，２３ｂを通ってパーキン
グ２０の表側に出てくる。そして電流入口側リード線２
３ｉは中継碍子２５の内側端子に、電流出口側リード線
２３ｏは試料格納部２２の電流出口側端子に接続され
る。試料格納部２２は電流入口側は中継碍子２５の外側
端子に、電流出口側は試料格納部２１の電流出口側に接
続される。試料格納部２１は電流入口側は中継碍子２４
の外側端子に、電流出口側は中継碍子２４の内側端子に
それぞれ接続され、図１（ｃ）に示すようにパーキング
の裏側から電流入力用３本、電流出力用１本の計４本の
リード線４６として取り出され、これらの配線を示すと
図４のようになり、各リード線はコネクタ４７に接続さ
れている。
【００１１】ここで、中継碍子２４の構造を図２により
説明する。回転ギヤ４１に固定された中継碍子２４の底
面と、中継碍子２４にスライド可能に嵌合したシャフト
３０に取り付けられたＥリング３４との間に圧縮バネ３
２を取り付ける。圧縮バネ３２の両端には座金３１，３
３が設けられて、これが中継碍子２４の底面とＥリング
３４とに係止される。圧縮バネ３２は適度な力が発生す
る長さに圧縮され、シャフト３０はベース２８に固定さ
れた中継碍子２６に押し当てられることになる。なお、
中継碍子２５も中継碍子２４と同様な構造である。
説明する。回転ギヤ４１に固定された中継碍子２４の底
面と、中継碍子２４にスライド可能に嵌合したシャフト
３０に取り付けられたＥリング３４との間に圧縮バネ３
２を取り付ける。圧縮バネ３２の両端には座金３１，３
３が設けられて、これが中継碍子２４の底面とＥリング
３４とに係止される。圧縮バネ３２は適度な力が発生す
る長さに圧縮され、シャフト３０はベース２８に固定さ
れた中継碍子２６に押し当てられることになる。なお、
中継碍子２５も中継碍子２４と同様な構造である。
【００１２】次に、固定中継碍子２６の構造を図３によ
り説明する。中継碍子２６の上面には凸部２６ａ，２６
ｂ，２６ｃ，２６ｄが回転ギヤの中心を中心とした同心
円状に設けられ、凸部２６ａの表面に対応してポスト３
５が絶縁碍子４５にろう付けされている。凸部２６ａの
表面とポスト３５の間には小孔が設けられていて、凸部
２６ａ、小孔３５ｂとポスト３５と碍子４５の接触面３
５ａにはメタライズ処理が施されているので、表面２６
ａとポスト３５は電気的に導通している。
り説明する。中継碍子２６の上面には凸部２６ａ，２６
ｂ，２６ｃ，２６ｄが回転ギヤの中心を中心とした同心
円状に設けられ、凸部２６ａの表面に対応してポスト３
５が絶縁碍子４５にろう付けされている。凸部２６ａの
表面とポスト３５の間には小孔が設けられていて、凸部
２６ａ、小孔３５ｂとポスト３５と碍子４５の接触面３
５ａにはメタライズ処理が施されているので、表面２６
ａとポスト３５は電気的に導通している。
【００１３】凸部２６ｂ，２６ｃ．２６ｄもそれぞれ同
じ構造となっており、各凸部表面と各ポストはそれぞれ
電気的に導通している。従って、中継碍子２４の外側の
シャフト（試料格納部２１の電流入口側）は凸部２６ａ
の表面、中継碍子２４の内側のシャフト（試料格納部２
１，２２，２３の電流出口側）は凸部２６ｃの表面、中
継碍子２５の外側のシャフト（試料格納部２２の電流入
口側）は凸部２６ｂの表面、中継碍子２５の内側のシャ
フト（試料格納部２３の電流入口側）は凸部２６ｄの表
面にそれぞれ接触しており、各ポストと各試料格納部と
は電気的に独立して導通している。各ポストから引き出
されたリード線４６はベース２８に取り付けられた押え
板２７に集められ、束ねられてコネクタ４７に配線され
る。なお、全てのリード線は碍管等の絶縁物によって絶
縁されている。
じ構造となっており、各凸部表面と各ポストはそれぞれ
電気的に導通している。従って、中継碍子２４の外側の
シャフト（試料格納部２１の電流入口側）は凸部２６ａ
の表面、中継碍子２４の内側のシャフト（試料格納部２
１，２２，２３の電流出口側）は凸部２６ｃの表面、中
継碍子２５の外側のシャフト（試料格納部２２の電流入
口側）は凸部２６ｂの表面、中継碍子２５の内側のシャ
フト（試料格納部２３の電流入口側）は凸部２６ｄの表
面にそれぞれ接触しており、各ポストと各試料格納部と
は電気的に独立して導通している。各ポストから引き出
されたリード線４６はベース２８に取り付けられた押え
板２７に集められ、束ねられてコネクタ４７に配線され
る。なお、全てのリード線は碍管等の絶縁物によって絶
縁されている。
【００１４】このような構造において、ギヤ４１が回転
した時、試料格納部２１，２２，２３と中継碍子２４，
２５の間で配線されたリード線は試料格納部２１，２
２，２３と中継碍子２４，２５がギヤ４１に固定されて
いるため、常に静止している。中継碍子２４，２５に納
められているシャフト３０も常に静止した状態で、固定
中継碍子２６の凸部表面上をスライドする。また、ベー
ス２８に固定された中継碍子２６の各ポスト３５から引
き出されたリード線４６はパーキング機構が取り付けら
れたポートに固定されたコネクタ４７に配線されるた
め、ギヤ４１の回転に関係なく常に静止している。従っ
て配線は電気的には導通しているものの、接続的には３
つに独立しており、それぞれはギヤ４１の回転に関係な
く常に静止した状態である。また、回転部であるギヤ４
１と固定部であるコネクタ４７との配線を独立させたこ
とによりギヤ４１は回転角度の制限なしにエンドレスに
回転できるようになり、ギヤ４１のストッパ機構の省
略、かつ操作性を向上させることができる。また、パー
キング装置を傾斜させる場合、従来のものでは配線が踊
って分析装置の分析の邪魔をすることが多々あったがそ
れも解消され、傾斜も可能となった。
した時、試料格納部２１，２２，２３と中継碍子２４，
２５の間で配線されたリード線は試料格納部２１，２
２，２３と中継碍子２４，２５がギヤ４１に固定されて
いるため、常に静止している。中継碍子２４，２５に納
められているシャフト３０も常に静止した状態で、固定
中継碍子２６の凸部表面上をスライドする。また、ベー
ス２８に固定された中継碍子２６の各ポスト３５から引
き出されたリード線４６はパーキング機構が取り付けら
れたポートに固定されたコネクタ４７に配線されるた
め、ギヤ４１の回転に関係なく常に静止している。従っ
て配線は電気的には導通しているものの、接続的には３
つに独立しており、それぞれはギヤ４１の回転に関係な
く常に静止した状態である。また、回転部であるギヤ４
１と固定部であるコネクタ４７との配線を独立させたこ
とによりギヤ４１は回転角度の制限なしにエンドレスに
回転できるようになり、ギヤ４１のストッパ機構の省
略、かつ操作性を向上させることができる。また、パー
キング装置を傾斜させる場合、従来のものでは配線が踊
って分析装置の分析の邪魔をすることが多々あったがそ
れも解消され、傾斜も可能となった。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、リード線
が常に静止するようになったので、分析の妨害、接触に
よる短絡がなくなり、また配線が３つに独立するので、
ギヤの回転角度の制限がなくなりフリーとなった。さら
に配線が単純となり、パターン化されたことにより試料
格納部数により配線方法をそのつど変える必要がなくな
り、配線作業性が向上し、また配線が単純となったた
め、外観もすっきりさせることが可能となった。
が常に静止するようになったので、分析の妨害、接触に
よる短絡がなくなり、また配線が３つに独立するので、
ギヤの回転角度の制限がなくなりフリーとなった。さら
に配線が単純となり、パターン化されたことにより試料
格納部数により配線方法をそのつど変える必要がなくな
り、配線作業性が向上し、また配線が単純となったた
め、外観もすっきりさせることが可能となった。
【図１】 本発明の分析用パーキングの１実施例を示す
図である。
図である。
【図２】 中継碍子の構造を示す図である。
【図３】 固定中継碍子の構造を示す図である。
【図４】 配線を説明する図である。
【図５】 従来の分析用パーキングを示す図である。
【図６】 従来の分析用パーキングを示す図である。
【図７】 従来の分析用パーキングの配線図である。
２０…分析用パーキング、２１，２２，２３…試料格納
部、２４，２５，２６…中継碍子、２７…押え板、２８
…ベース、３８，３９，４０…短針格納部、４１，４２
…ギヤ。
部、２４，２５，２６…中継碍子、２７…押え板、２８
…ベース、３８，３９，４０…短針格納部、４１，４２
…ギヤ。
Claims (1)
- 【請求項１】 駆動手段により回転駆動される回転ギア
に試料格納部、探針格納部等が設けられ、操作機構によ
り試料、探針等が格納可能であるとともに、分析・処理
位置へ搬送可能であり、さらに試料格納部の位置で試料
の通電加熱、分析処理が可能な分析用パーキングにおい
て、回転ギヤ中心に対して同心円状にメタライズ処理さ
れ、互いに絶縁された複数の帯状の面を有する固定配置
された第１の中継碍子と、回転ギヤ上に配置され、前記
第１の中継碍子の帯状の面に弾性接触してスライドする
接点を有する第２の中継碍子を１つ以上備え、試料格納
部の通電端子を前記第２の中継碍子の各接点に接続し、
前記第１の中継碍子の各帯状の面と電気的に導通したリ
ード線より、第１、第２の中継碍子を通して試料格納部
に通電するようにしたことを特徴とする分析用パーキン
グ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5036981A JP3058775B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 分析用パーキング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5036981A JP3058775B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 分析用パーキング |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06251740A JPH06251740A (ja) | 1994-09-09 |
| JP3058775B2 true JP3058775B2 (ja) | 2000-07-04 |
Family
ID=12484934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5036981A Expired - Fee Related JP3058775B2 (ja) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | 分析用パーキング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3058775B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3280205B2 (ja) * | 1995-09-20 | 2002-04-30 | 日本電子株式会社 | ホルダ受および試料ホルダ |
-
1993
- 1993-02-25 JP JP5036981A patent/JP3058775B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06251740A (ja) | 1994-09-09 |
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