JP3165578B2 - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JP3165578B2 JP3165578B2 JP04473994A JP4473994A JP3165578B2 JP 3165578 B2 JP3165578 B2 JP 3165578B2 JP 04473994 A JP04473994 A JP 04473994A JP 4473994 A JP4473994 A JP 4473994A JP 3165578 B2 JP3165578 B2 JP 3165578B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- wiring pattern
- driving
- insulating substrate
- flexible insulating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ステータをアース電位
にすることができる超音波モータに関する。
にすることができる超音波モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は、従来の超音波モータを示す詳細
な断面図である。図において、１は導電性の支持部材で
あり、この支持部材１は、中心穴１Ａ、カバー用ねじ穴
１Ｂ、ステータ用ねじ穴１Ｃおよび取付け穴１Ｄを備え
ている。２はステータであり、このステータ２は円盤状
に形成られており、中心穴２Ａおよび取付け穴２Ｂが設
けられている。
な断面図である。図において、１は導電性の支持部材で
あり、この支持部材１は、中心穴１Ａ、カバー用ねじ穴
１Ｂ、ステータ用ねじ穴１Ｃおよび取付け穴１Ｄを備え
ている。２はステータであり、このステータ２は円盤状
に形成られており、中心穴２Ａおよび取付け穴２Ｂが設
けられている。
【０００３】さらに、ステータ２の周縁部２Ｃの上面側
には、図示せぬ多数の細かい溝が切られており、この周
縁部２Ｃの下面側には、第一駆動用圧電振動板３Ａ、第
二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃが
接着固定されている。４はローターであり、このロータ
ー４は、円盤状に形成されており、中心穴４Ａが設けら
れている。このローター４の周縁部４Ｂの下面側は、凸
状に形成されて、上記ステータ２の周縁部２Ｃの上面側
に圧接している。５は皿ばねであり、この皿ばね５は例
えば８角形状の透穴５Ａを備えている。
には、図示せぬ多数の細かい溝が切られており、この周
縁部２Ｃの下面側には、第一駆動用圧電振動板３Ａ、第
二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃが
接着固定されている。４はローターであり、このロータ
ー４は、円盤状に形成されており、中心穴４Ａが設けら
れている。このローター４の周縁部４Ｂの下面側は、凸
状に形成されて、上記ステータ２の周縁部２Ｃの上面側
に圧接している。５は皿ばねであり、この皿ばね５は例
えば８角形状の透穴５Ａを備えている。
【０００４】６は摩擦部材であり、この摩擦部材６は上
記ローター４の上面に張り付けられており、皿ばね５が
圧接している。７はスラスト型ベアリング、８はカバー
であり、このカバー８は中心穴を持つ凹部８Ａおよび取
付け穴８Ｂを備えている。９は出力軸であり、この出力
軸９の一端は、上記スラスト型ベアリング７で支持され
ており、皿ばね５の８角形状の透穴５Ａに接触する部分
は８角形状に形成されている。
記ローター４の上面に張り付けられており、皿ばね５が
圧接している。７はスラスト型ベアリング、８はカバー
であり、このカバー８は中心穴を持つ凹部８Ａおよび取
付け穴８Ｂを備えている。９は出力軸であり、この出力
軸９の一端は、上記スラスト型ベアリング７で支持され
ており、皿ばね５の８角形状の透穴５Ａに接触する部分
は８角形状に形成されている。
【０００５】そして、この出力軸９は、この皿ばね５の
透穴５Ａ、摩擦部材６の透穴（図示せず）、ロータ４の
中心穴４Ａ、ステータ２の中心穴２Ａ、支持部材１の中
心穴１Ａを通して外部に出される。１０Ａ、１０Ｂおよ
び１０Ｃは、それぞれ第一駆動用圧電振動板３Ａ、第二
駆動用圧電振動板３および検出用圧電振動板３Ｃに接続
された信号線である。
透穴５Ａ、摩擦部材６の透穴（図示せず）、ロータ４の
中心穴４Ａ、ステータ２の中心穴２Ａ、支持部材１の中
心穴１Ａを通して外部に出される。１０Ａ、１０Ｂおよ
び１０Ｃは、それぞれ第一駆動用圧電振動板３Ａ、第二
駆動用圧電振動板３および検出用圧電振動板３Ｃに接続
された信号線である。
【０００６】１１はねじであり、このねじ１１は、上記
ステータ２の取付け穴２Ｂを通して支持部材１のステー
タ用ねじ穴１Ｃにねじ止めして、ステータ２を固定す
る。１２はねじであり、このねじ１２は、上記カバー８
の取付け穴８Ｂを通して支持部材１のカバー用ねじ穴１
Ｂにねじ止めして、カバー８を支持部材１に固定してい
る。
ステータ２の取付け穴２Ｂを通して支持部材１のステー
タ用ねじ穴１Ｃにねじ止めして、ステータ２を固定す
る。１２はねじであり、このねじ１２は、上記カバー８
の取付け穴８Ｂを通して支持部材１のカバー用ねじ穴１
Ｂにねじ止めして、カバー８を支持部材１に固定してい
る。
【０００７】次に、上記構成の超音波モータの組み立て
動作について説明する。まず、ステータ２の周縁部下側
に第一駆動用圧電振動板３Ａ、第二駆動用圧電振動板３
Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃを接着固定する。そし
て、支持部材１の上に、第一駆動用圧電振動板３Ａ、第
二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃを
接着固定したステータ２を重ね、ねじ１１を上記ステー
タ２の取付け穴２Ｂを通して支持部材１のステータ用ね
じ穴１Ｃにねじ止めして、第一駆動用圧電振動板３Ａ、
第二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃ
を接着固定したステータ２を支持部材１に固定する。
動作について説明する。まず、ステータ２の周縁部下側
に第一駆動用圧電振動板３Ａ、第二駆動用圧電振動板３
Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃを接着固定する。そし
て、支持部材１の上に、第一駆動用圧電振動板３Ａ、第
二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃを
接着固定したステータ２を重ね、ねじ１１を上記ステー
タ２の取付け穴２Ｂを通して支持部材１のステータ用ね
じ穴１Ｃにねじ止めして、第一駆動用圧電振動板３Ａ、
第二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃ
を接着固定したステータ２を支持部材１に固定する。
【０００８】そして、このステータ２の上に、摩擦部材
６が貼られたローター４および皿ばね５を重ねた後、一
端にスラスト型ベアリング７を取り付けた出力軸９を貫
通する。そして、カバー８をかぶせた後、ねじ１２をこ
のカバー８の取付け穴８Ｂを通して支持部材１のカバー
用ねじ穴１Ｂにねじ止めして、カバー８を支持部材１に
固定して、組み立て動作が終了することができる。
６が貼られたローター４および皿ばね５を重ねた後、一
端にスラスト型ベアリング７を取り付けた出力軸９を貫
通する。そして、カバー８をかぶせた後、ねじ１２をこ
のカバー８の取付け穴８Ｂを通して支持部材１のカバー
用ねじ穴１Ｂにねじ止めして、カバー８を支持部材１に
固定して、組み立て動作が終了することができる。
【０００９】次に、上記構成の超音波モータの動作につ
いて簡単に説明する。まず、信号線１０Ａ、１０Ｂに駆
動信号を加えると、第一駆動用圧電振動板３Ａおよび第
二駆動用圧電振動板３Ｂが進行性の振動をする。このた
め、この第一駆動用圧電振動板３Ａおよび第二駆動用圧
電振動板３Ｂが固定されているステータ２には増幅され
た進行性の振動をする。
いて簡単に説明する。まず、信号線１０Ａ、１０Ｂに駆
動信号を加えると、第一駆動用圧電振動板３Ａおよび第
二駆動用圧電振動板３Ｂが進行性の振動をする。このた
め、この第一駆動用圧電振動板３Ａおよび第二駆動用圧
電振動板３Ｂが固定されているステータ２には増幅され
た進行性の振動をする。
【００１０】したがって、このステータ２の進行性の振
動により、このステータ２に圧接するローター４が、回
転動作する。そして、このローター４の回転動作は、摩
擦部材６および皿ばね５を介して出力軸９に回転伝達す
ることができる。
動により、このステータ２に圧接するローター４が、回
転動作する。そして、このローター４の回転動作は、摩
擦部材６および皿ばね５を介して出力軸９に回転伝達す
ることができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記超
音波モータは、支持部材１、ステータ２、カバー８およ
び出力軸９が共通電極となり、これらの共通電極と信号
線１０Ａ、１０Ｂとの間に所定の駆動電圧が印加され
る。このため、支持部材１、ステータ２、カバー８およ
び出力軸９に駆動電圧が印加されるため、絶縁耐圧試験
が困難であるうえ、使用者がそれらに触ると好ましくな
い場合があるなどの問題点がある。
音波モータは、支持部材１、ステータ２、カバー８およ
び出力軸９が共通電極となり、これらの共通電極と信号
線１０Ａ、１０Ｂとの間に所定の駆動電圧が印加され
る。このため、支持部材１、ステータ２、カバー８およ
び出力軸９に駆動電圧が印加されるため、絶縁耐圧試験
が困難であるうえ、使用者がそれらに触ると好ましくな
い場合があるなどの問題点がある。
【００１２】したがって、本発明の目的は、ステータを
アースに取ることができ、支持部材、カバーおよび出力
軸をステータから絶縁することができる超音波モータの
提供にある。
アースに取ることができ、支持部材、カバーおよび出力
軸をステータから絶縁することができる超音波モータの
提供にある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明に係わる超音波モ
ータは、ステータと、このステータの周縁部下側に接着
固定され、進行性の振動を発生する第一駆動用圧電振動
板および第二駆動用圧電振動板と、上記ステータの周縁
部上側に圧接し、このステータの周縁部上側に増幅され
て生ずる進行性の振動によって回転するローターと、こ
のローターの駆動回転を外部に取り出すための出力手段
とを備えた超音波モータにおいて、フレキシブル絶縁基
板と、このフレキシブル絶縁基板上に接着した第一駆動
用配線パターン、第二駆動用配線パターン、およびアー
ス用配線パターンから構成したフレキシブル回路基板
を、上記ステータを支持する支持部材に上記フレキシブ
ル絶縁基板面を当接させるようにして上記支持部材と上
記ステータとの間に重ね、上記支持部材及び出力手段を
上記ステータから絶縁させ、上記第一駆動用圧電振動板
に第一駆動用配線パターンを電気的に接触させ、第二駆
動用圧電振動板に第二駆動用配線パターンを電気的に接
触させ、上記ステータにアース用配線パターンを電気的
に接触させたものである。
ータは、ステータと、このステータの周縁部下側に接着
固定され、進行性の振動を発生する第一駆動用圧電振動
板および第二駆動用圧電振動板と、上記ステータの周縁
部上側に圧接し、このステータの周縁部上側に増幅され
て生ずる進行性の振動によって回転するローターと、こ
のローターの駆動回転を外部に取り出すための出力手段
とを備えた超音波モータにおいて、フレキシブル絶縁基
板と、このフレキシブル絶縁基板上に接着した第一駆動
用配線パターン、第二駆動用配線パターン、およびアー
ス用配線パターンから構成したフレキシブル回路基板
を、上記ステータを支持する支持部材に上記フレキシブ
ル絶縁基板面を当接させるようにして上記支持部材と上
記ステータとの間に重ね、上記支持部材及び出力手段を
上記ステータから絶縁させ、上記第一駆動用圧電振動板
に第一駆動用配線パターンを電気的に接触させ、第二駆
動用圧電振動板に第二駆動用配線パターンを電気的に接
触させ、上記ステータにアース用配線パターンを電気的
に接触させたものである。
【００１４】
【作用】本発明は、支持部材、カバー又は出力軸に手が
触れても、安全で、しかも、絶縁耐圧試験を容易に行う
ことができるものである。
触れても、安全で、しかも、絶縁耐圧試験を容易に行う
ことができるものである。
【００１５】
【実施例】図１は、本発明に係る超音波モータの一実施
例を示す詳細な断面図である。図において、１４はフレ
キシブル回路基板であり、このフレキシブル回路基板１
４は、その詳細な平面図を図２（Ａ）および図２（Ｂ）
に示すように、フレキシブル絶縁基板１５、このフレキ
シブル絶縁基板１５上に接着した第一駆動用配線パター
ン１６Ａ、第二駆動用配線パターン１６Ｂ、検出用配線
パターン１６Ｃおよびアース用配線パターン１６Ｄから
構成する。
例を示す詳細な断面図である。図において、１４はフレ
キシブル回路基板であり、このフレキシブル回路基板１
４は、その詳細な平面図を図２（Ａ）および図２（Ｂ）
に示すように、フレキシブル絶縁基板１５、このフレキ
シブル絶縁基板１５上に接着した第一駆動用配線パター
ン１６Ａ、第二駆動用配線パターン１６Ｂ、検出用配線
パターン１６Ｃおよびアース用配線パターン１６Ｄから
構成する。
【００１６】１７はコネクタであり、このコネクタ１７
は、図示せぬ支持フレームを介して上記支持部材１に固
定し、その端子に上記フレキシブル回路基板１４の端子
がハンダ付けなどにより接続固定する。
は、図示せぬ支持フレームを介して上記支持部材１に固
定し、その端子に上記フレキシブル回路基板１４の端子
がハンダ付けなどにより接続固定する。
【００１７】図２（Ａ）および図２（Ｂ）において、１
８は中心穴（斜線で示す）、１９は取付け穴（斜線で示
す）、２０Ａは上記第一駆動用配線パターン１６Ａから
引き出した第一引き出し信号線、２０Ｂは上記第二駆動
用配線パターン１６Ｂから引き出した第二引き出し信号
線、２０Ｃは検出用配線パターン１６Ｃから引き出した
第三引き出し信号線、２０Ｄおよび２０Ｅは上記アース
用配線パターン１６Ｄからの引き出したアース引き出し
線、２１Ａ〜２１Ｄは端子である。
８は中心穴（斜線で示す）、１９は取付け穴（斜線で示
す）、２０Ａは上記第一駆動用配線パターン１６Ａから
引き出した第一引き出し信号線、２０Ｂは上記第二駆動
用配線パターン１６Ｂから引き出した第二引き出し信号
線、２０Ｃは検出用配線パターン１６Ｃから引き出した
第三引き出し信号線、２０Ｄおよび２０Ｅは上記アース
用配線パターン１６Ｄからの引き出したアース引き出し
線、２１Ａ〜２１Ｄは端子である。
【００１８】次に、上記構成の超音波モータの組み立て
動作について説明する。まず、ステータ２の周縁部下側
に第一駆動用圧電振動板３Ａ、第二駆動用圧電振動板３
Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃを接着固定する。
動作について説明する。まず、ステータ２の周縁部下側
に第一駆動用圧電振動板３Ａ、第二駆動用圧電振動板３
Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃを接着固定する。
【００１９】そして、支持部材１の上に、フレキシブル
絶縁基板１５の面が当接するようにして、フレキシブル
回路基板１４を重ね、さらに、第一駆動用圧電振動板３
Ａ、第二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板
３Ｃを接着固定したステータ２を重ね、ねじ１１を上記
ステータ２の取付け穴２Ｂ、およびフレキシブル回路基
板１４の取付け穴１９を通して支持部材１のステータ用
ねじ穴１Ｃにねじ止めして支持部材１をステータ２から
絶縁させ、第一駆動用圧電振動板３Ａ、第二駆動用圧電
振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃを接着固定した
ステータ２とフレキシブル回路基板１４を支持部材１に
固定する。
絶縁基板１５の面が当接するようにして、フレキシブル
回路基板１４を重ね、さらに、第一駆動用圧電振動板３
Ａ、第二駆動用圧電振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板
３Ｃを接着固定したステータ２を重ね、ねじ１１を上記
ステータ２の取付け穴２Ｂ、およびフレキシブル回路基
板１４の取付け穴１９を通して支持部材１のステータ用
ねじ穴１Ｃにねじ止めして支持部材１をステータ２から
絶縁させ、第一駆動用圧電振動板３Ａ、第二駆動用圧電
振動板３Ｂおよび検出用圧電振動板３Ｃを接着固定した
ステータ２とフレキシブル回路基板１４を支持部材１に
固定する。
【００２０】そして、この支持部材１に、コネクタ１７
を図示せぬ支持フレームを介して固定し、その端子に上
記フレキシブル回路基板１４の端子をハンダ付けなどに
より接続固定する。そして、このステータ２の上に、摩
擦部材６が貼られたローター４、皿ばね５を重ねた後、
一端にスラスト型ベアリング７を取り付けた出力軸９を
ステータ２から絶縁させ状態で貫通する。そして、カバ
ー８をかぶせた後、ねじ１２をこのカバー８の取付け穴
８Ｂを通して支持部材１のカバー用ねじ穴１Ｂにねじ止
めして、カバー８を支持部材１に固定して、組み立て動
作が終了することができる。
を図示せぬ支持フレームを介して固定し、その端子に上
記フレキシブル回路基板１４の端子をハンダ付けなどに
より接続固定する。そして、このステータ２の上に、摩
擦部材６が貼られたローター４、皿ばね５を重ねた後、
一端にスラスト型ベアリング７を取り付けた出力軸９を
ステータ２から絶縁させ状態で貫通する。そして、カバ
ー８をかぶせた後、ねじ１２をこのカバー８の取付け穴
８Ｂを通して支持部材１のカバー用ねじ穴１Ｂにねじ止
めして、カバー８を支持部材１に固定して、組み立て動
作が終了することができる。
【００２１】次に、上記構成の超音波モータの動作につ
いて簡単に説明する。まず、駆動信号を、コネクタ１７
の端子からフレキシブル回路基板１４の端子２１Ａ、第
一引き出し信号線２０Ａおよび第一駆動用配線パターン
１６Ａと、フレキシブル回路基板１４の端子２１Ｂ、第
二引き出し信号線２０Ｂおよび第二駆動用配線パターン
１６Ｂと、フレキシブル回路基板１４の端子２１Ｄ、ア
ース引き出し線２０Ｄおよびアース用配線パターン１６
Ｄとの間に印加すると、第一駆動用圧電振動板３Ａおよ
び第二駆動用圧電振動板３Ｂが進行性の振動をする。
いて簡単に説明する。まず、駆動信号を、コネクタ１７
の端子からフレキシブル回路基板１４の端子２１Ａ、第
一引き出し信号線２０Ａおよび第一駆動用配線パターン
１６Ａと、フレキシブル回路基板１４の端子２１Ｂ、第
二引き出し信号線２０Ｂおよび第二駆動用配線パターン
１６Ｂと、フレキシブル回路基板１４の端子２１Ｄ、ア
ース引き出し線２０Ｄおよびアース用配線パターン１６
Ｄとの間に印加すると、第一駆動用圧電振動板３Ａおよ
び第二駆動用圧電振動板３Ｂが進行性の振動をする。
【００２２】このため、この第一駆動用圧電振動板３Ａ
および第二駆動用圧電振動板３Ｂが固定されているステ
ータ２も増幅された進行性の振動をする。したがって、
このステータ２の進行性の振動により、このステータ２
に圧接するローター４が、回転動作する。そして、この
ローター４の回転動作は、摩擦部材６および皿ばね５を
介して出力軸９に回転伝達することができる。
および第二駆動用圧電振動板３Ｂが固定されているステ
ータ２も増幅された進行性の振動をする。したがって、
このステータ２の進行性の振動により、このステータ２
に圧接するローター４が、回転動作する。そして、この
ローター４の回転動作は、摩擦部材６および皿ばね５を
介して出力軸９に回転伝達することができる。
【００２３】図３（Ａ）および図３（Ｂ）は、図２
（Ａ）および図２（Ｂ）に示すフレキシブル回路基板の
第二の実施例を示す。図において、２２はＣ字型の抜き
穴であり、このＣ字型の抜き穴２２により、第一駆動用
配線パターン１６Ａおよび第二駆動用配線パターン１６
Ｂとアース用配線パターン１６Ｄとの間に、軸方向に段
差があっても、フレキシブル回路基板１４は、ひねられ
ることなしに固定することができる。
（Ａ）および図２（Ｂ）に示すフレキシブル回路基板の
第二の実施例を示す。図において、２２はＣ字型の抜き
穴であり、このＣ字型の抜き穴２２により、第一駆動用
配線パターン１６Ａおよび第二駆動用配線パターン１６
Ｂとアース用配線パターン１６Ｄとの間に、軸方向に段
差があっても、フレキシブル回路基板１４は、ひねられ
ることなしに固定することができる。
【００２４】図４（Ａ）および図４（Ｂ）は、図２
（Ａ）および図２（Ｂ）に示すフレキシブル回路基板の
第三の実施例を示す。図において、２３は振動抑え部材
であり、この振動抑え部材２３は、超音波モータの動作
によりフレキシブル回路基板１４の振動を抑えることが
できる。
（Ａ）および図２（Ｂ）に示すフレキシブル回路基板の
第三の実施例を示す。図において、２３は振動抑え部材
であり、この振動抑え部材２３は、超音波モータの動作
によりフレキシブル回路基板１４の振動を抑えることが
できる。
【００２５】図５（Ａ）および図５（Ｂ）は、図２
（Ａ）および図２（Ｂ）に示すフレキシブル回路基板の
第四の実施例を示す。このフレキシブル回路基板は、第
一フレキシブル絶縁基板２４と、この第一フレキシブル
絶縁基板２４上に接着された第一駆動用配線パターン１
６Ａ、第二駆動用配線パターン１６Ｂ、および検出用配
線パターン１６Ｃと、第二フレキシブル絶縁基板２５上
に接着されたアース用配線パターン１６Ｄとから構成さ
れる。
（Ａ）および図２（Ｂ）に示すフレキシブル回路基板の
第四の実施例を示す。このフレキシブル回路基板は、第
一フレキシブル絶縁基板２４と、この第一フレキシブル
絶縁基板２４上に接着された第一駆動用配線パターン１
６Ａ、第二駆動用配線パターン１６Ｂ、および検出用配
線パターン１６Ｃと、第二フレキシブル絶縁基板２５上
に接着されたアース用配線パターン１６Ｄとから構成さ
れる。
【００２６】なお、このフレキシブル回路基板の中央部
には大きな穴２４Ａが設けてあり、第二フレキシブル絶
縁基板２５は第一フレキシブル絶縁基板２４上に重ねら
れ、図３（Ａ）や図４（Ａ）のようなフレキシブル絶縁
基板１４が形成される。また、この構成のフレキシブル
回路基板の取付けについては、図２（Ａ）および図２
（Ｂ）と同様であることは、もちろんである。
には大きな穴２４Ａが設けてあり、第二フレキシブル絶
縁基板２５は第一フレキシブル絶縁基板２４上に重ねら
れ、図３（Ａ）や図４（Ａ）のようなフレキシブル絶縁
基板１４が形成される。また、この構成のフレキシブル
回路基板の取付けについては、図２（Ａ）および図２
（Ｂ）と同様であることは、もちろんである。
【００２７】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
係る超音波モータによれば、支持部材、カバー、および
出力軸に手が触れても、安全で、しかも、絶縁耐圧試験
を容易に行うことができるなどの効果がある。
係る超音波モータによれば、支持部材、カバー、および
出力軸に手が触れても、安全で、しかも、絶縁耐圧試験
を容易に行うことができるなどの効果がある。
【図１】本発明に係る超音波モータの一実施例を示す詳
細な断面図である。
細な断面図である。
【図２】図１に示すフレキシブル回路基板の詳細な平面
図（Ａ）およびそのＡ１−Ａ２間断面図（Ｂ）である。
図（Ａ）およびそのＡ１−Ａ２間断面図（Ｂ）である。
【図３】図２に示すフレキシブル回路基板の第二の実施
例を示す詳細な平面図（Ａ）およびそのＢ１−Ｂ２間断
面図（Ｂ）である。
例を示す詳細な平面図（Ａ）およびそのＢ１−Ｂ２間断
面図（Ｂ）である。
【図４】図２に示すフレキシブル回路基板の第三の実施
例を示す詳細な平面図（Ａ）およびそのＣ１−Ｃ２間断
面図（Ｂ）である。
例を示す詳細な平面図（Ａ）およびそのＣ１−Ｃ２間断
面図（Ｂ）である。
【図５】図２に示すフレキシブル回路基板の第四の実施
例を示す詳細な平面図である。
例を示す詳細な平面図である。
【図６】従来の超音波モータを示す断面図である。
１４‥‥フレキシブル回路基板 １５‥‥フレキシブル絶縁基板 １６Ａ‥第一駆動用配線パターン １６Ｂ‥第二駆動用配線パターン １６Ｃ‥検出用配線パターン １６Ｄ‥アース用配線パターン １７‥‥コネクタ ２０Ａ‥第一引き出し信号線 ２０Ｂ‥第二引き出し信号線 ２０Ｃ‥第三引き出し信号線 ２０Ｄ‥アース引き出し線 ２０Ｅ‥アース引き出し線 ２３‥‥振動抑え部材 ２４‥‥第一フレキシブル絶縁基板 ２５‥‥第二フレキシブル絶縁基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H02N 2/00 - 2/18
Claims (2)
- 【請求項１】 ステータと、 このステータの周縁部下側に接着固定され、進行性の振
動を発生する第一駆動用圧電振動板および第二駆動用圧
電振動板と、このステータの周縁部上側に圧接し、この
ステータの周縁部上側に増幅されて生ずる進行性の振動
によって回転するローターと、このローターの駆動回転
を外部に取り出すための出力手段とを備えた超音波モー
タにおいて、 フレキシブル絶縁基板と、このフレキシブル絶縁基板上
に接着した第一駆動用配線パターン、第二駆動用配線パ
ターン、およびアース用配線パターンとから構成したフ
レキシブル回路基板を、上記ステータを支持する支持部
材に上記フレキシブル絶縁基板面を当接させるようにし
て上記支持部材と上記ステータとの間に重ね、上記支持
部材及び出力手段を上記ステータから絶縁させ、 上記第一駆動用圧電振動板に第一駆動用配線パターンを
電気的に接触させ、上記第二駆動用圧電振動板に第二駆
動用配線パターンを電気的に接触させ、上記ステータに
アース用配線パターンを電気的に接触させたことを特徴
とする超音波モータ。 - 【請求項２】 上記フレキシブル回路基板は、第一フレ
キシブル絶縁基板と、この第一フレキシブル絶縁基板上
に接着した第一駆動用配線パターンおよび第二駆動用配
線パターンと、第二フレキシブル絶縁基板と、この第二
フレキシブル絶縁基板上に接着したアース用配線パター
ンから構成したことを特徴とする請求項１記載の超音波
モータ。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP04473994A JP3165578B2 (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04473994A JP3165578B2 (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08140371A JPH08140371A (ja) | 1996-05-31 |
| JP3165578B2 true JP3165578B2 (ja) | 2001-05-14 |
Family
ID=12699824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04473994A Expired - Lifetime JP3165578B2 (ja) | 1994-02-21 | 1994-02-21 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3165578B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7935966B2 (en) | 2005-01-20 | 2011-05-03 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Semiconductor device with heterojunctions and an inter-finger structure |
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-
1994
- 1994-02-21 JP JP04473994A patent/JP3165578B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7935966B2 (en) | 2005-01-20 | 2011-05-03 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Semiconductor device with heterojunctions and an inter-finger structure |
| US8421074B2 (en) | 2005-01-20 | 2013-04-16 | Centre National De La Recherche Scientifique (Cnrs) | Semiconductor device with heterojunctions and an interdigitated structure |
| WO2021218838A1 (zh) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 维沃移动通信有限公司 | 马达及电子设备 |
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| Publication number | Publication date |
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| JPH08140371A (ja) | 1996-05-31 |
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