JPH0654557A

JPH0654557A - 超音波モータ

Info

Publication number: JPH0654557A
Application number: JP4198563A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Imabayashi; 浩之今林; Tomoki Funakubo; 朋樹舟窪
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1992-07-24
Filing date: 1992-07-24
Publication date: 1994-02-25

Abstract

(57)【要約】【目的】超音波振動子の配線接続を簡略化し、小スペ
ース内に配置することができる超音波モータを提供す
る。【構成】厚み方向に重合して配置された第１，第２圧
電素子８，９を備えた超音波振動子２と、同振動子２の
一方の端面に配置された回転子３とを有する超音波モー
タ１において、上記圧電素子８，９に正弦波電圧を印加
するための電極部材として、フレキシブルプリント基板
１１，１２，１３を用い、同基板１１，１２，１３は、
上記圧電素子８，９と同形状の電圧印加部と、この電圧
印加部から突設された接続部１１ａ，１２ａ，１３ａと
を有し、同接続部を超音波モータの周面に沿って折曲し
て、スペースをとらないように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波モータ、詳しく
は、電気−機械エネルギー変換素子より発生する振動を
利用して、回転動力を得る超音波モータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、振動発生手段より発生する超音波
振動を利用して、回転動力を得る超音波モータは種々知
られており、例えば、特開平４−９１６７０号公報にも
その一例が開示されている。該公報に記載されている超
音波モータは、振動発生手段としてランジュバン型超音
波振動子を用いている。このランジュバン型超音波振動
子が有する発振子は、電気−機械エネルギー変換素子で
あるリング状の圧電素子と、この圧電素子に電圧を印加
するための電極板とを有していて、この電極板の間に圧
電素子を挟んで接着して構成されている。上記電極板
は、金属導電性の薄板を圧電素子と略同形状に形成して
電圧印加部となし、また、該電極板の一端には、リード
線接続用の端子部が突設されている。

【０００３】上記従来例に示したような、金属導電性の
薄板を用いる電圧印加手段は、容易に制作でき、しかも
圧電素子と良好な密着性が得られるため、古くから多用
されてきた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の従来の
超音波モータでは、上記電極板の端子部が超音波振動子
の外周面からはみ出すために、体積としては小さな端子
部が大きなスペースをとるという問題が存在している。
さらに振動の振幅を大きくするために、圧電素子を多層
に積層する場合があるが、この場合には、多数の端子部
が超音波振動子の外周に突出することになり、この端子
部に接続されるリード線の本数も多くなって、さらにス
ペース上の問題が大きくなる。そして、配線が煩雑にな
ることは言うまでもない。これらは特に小型の超音波モ
ータ（φ１０ｍｍ以下の超音波モータ）において重要な
問題点となっている。

【０００５】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであり、超音波振動子の配線接続を簡略化でき、小ス
ペース内に配置することができる超音波モータを提供す
ることを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明による超音波モータは、位置的に９０度ず
れて配置された第１および第２の電気−機械エネルギー
変換素子に互いに位相が９０度ずれた正弦波電圧を印加
することにより中心軸周りに回転する屈曲振動を発生さ
せる超音波振動子と、この超音波振動子のいずれか一方
の端面に配置された被駆動部材と、上記第１および第２
の電気−機械エネルギー変換素子の端面と同形状の電圧
印加部と該電圧印加部と電気的に接続されており表面の
少なくとも一部を絶縁処理された接続部とを有し、上記
第１および第２の電気−機械エネルギー変換素子に上記
正弦波電圧を印加するフレキシブルプリント基板とを具
備している。

【０００７】

【作用】互いに位相が９０度ずれた正弦波電圧を、フレ
キシブルプリント基板の接続部を介して電圧印加部から
第１および第２の電気−機械エネルギー変換素子に印加
することにより、中心軸周りに回転する屈曲振動が超音
波振動子に発生し、この屈曲振動により被駆動部材が回
動する。

【０００８】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１に本発明の第１実施例を示す。この実施例で
は、電気−機械エネルギー変換素子として、電圧印加面
に銀蒸着された圧電素子を用いている。

【０００９】超音波モータ１は、超音波振動子２と、同
超音波振動子２の上端面に圧接された被駆動部材である
回転子３とで、その主要部が構成されており、上記超音
波振動子２は、源振動を発生する発振子４を、同発振子
４の上端面側に配設した上部共振器５と、下端面側に配
設した下部共振器６とで挟み込み接合して構成されてい
る。

【００１０】上記発振子４は、厚み方向に重合して配置
されたドーナツ形状の第１圧電素子８と第２圧電素子９
とを有している。この圧電素子８，９は、図４に示すよ
うに、それぞれ半円形の分極領域８ａ，８ｂと９ａ，９
ｂとに分割されており、圧電素子８の有する分極領域の
境界線８ｃと、圧電素子９の有する分極領域の境界線９
ｃとは互いに９０度ずれるように配置されている。上記
分極領域８ａと８ｂの分極方向は、互いに反転するよう
に分極されていて、例えば領域８ａは上向き（矢印Ｍ
１）、領域８ｂは下向き（矢印Ｍ２）に分極されてい
る。圧電素子９も同様に、領域９ａは下向き（矢印Ｍ
２）、領域９ｂは上向き（矢印Ｍ１）に分極されてい
る。

【００１１】そして、図１に示すように、第１圧電素子
８の上端面、第１圧電素子８と第２圧電素子９との間、
第２圧電素子９の下端面には、これらの圧電素子８，９
に電圧を印加するための電極板の役割をする、フレキシ
ブルプリント基板１１，１２，１３がそれぞれ配置され
ている。

【００１２】このフレキシブルプリント基板１１，１
２，１３は、図２（Ａ），（Ｂ）にその１つを示すよう
に、径方向に突出した長い舌片状の接続部１５と、ドー
ナツ形状の電圧印加部１４とが、ベース板１６と、その
上面と下面とに設けられた銅箔１７，１８とで構成され
ている。

【００１３】上記電圧印加部１４は、前記圧電素子８，
９と等しい径の中心軸孔１９を有し、該圧電素子８，９
と等しい外径のドーナツ状のベース板１６ａの上面と下
面とに、電圧を印加するための銅箔１７，１８を、外径
方向には極力外周近くまで、かつ内径方向には極力上記
孔１９の側近までプリントにより形成している。

【００１４】上記接続部１５は、上記電圧印加部１４の
ベース板１６ａから一体に半径方向に突設された細長の
帯状のベース板１６ｂと、この帯状のベース板１６ｂの
上面と下面とに、上記銅箔１７，１８と一体に設けられ
ている、上記ベース板１６ｂよりも一回り小さく形成さ
れた帯状の銅箔１７ａ，１８ａとで構成されている。該
接続部１５の両面には、他の部分への不用意な導通を防
ぐための絶縁処理２１が施されていて、接続部１５の先
端部だけ銅箔が露出している。また、スルーホール２２
が接続部１５の先端部に設けられていて、図３に示すよ
うに、同ホール２２の内壁に貼設した銅箔２３によっ
て、上面の銅箔１７ａと下面の銅箔１８ａとを導通させ
ている。なお、スルーホール２２は、上記絶縁処理２１
が施された部分に穿孔されている。一方、該接続部１５
の先端１５ａは、半円形状に形成されている。

【００１５】本実施例では、上記ベース板１６は、ポリ
イミド樹脂で厚さ２５μｍに形成されていて、銅箔１
７，１８は、厚さ９μｍに形成されている。

【００１６】再び図１に戻って、上部共振器５は、振動
伝達に優れた材質（アルミニウム合金，ステンレス，リ
ン青銅，ジュラルミン，チタン合金等）で形成されてお
り、本実施例ではＳＵＳ４４０Ｃを熱処理して、硬度を
Ｈｖ８００以上にしている。

【００１７】上記上部共振器５は、外径が前記発振子４
と同径の有底の短円筒体で形成され、下方の同発振子４
側に中心軸孔３１が設けられている。この中心軸孔３１
の内周面には、支軸である締結部材３２と締結するため
の雌ねじ部が螺刻されている。また、上部共振器５の上
端面から下方の発振子４の方向に向けて、この上部共振
器５の内部が締結部材３２と接触しないように、カップ
状の凹部３３が形成されている。さらに、上部共振器５
の外周面には、剛性を低下させるための複数の周溝３４
がほぼ等間隔位置に形成されている。特に、回転子との
接触面に最も近い周溝３４ａは深く削成されていて、こ
の周溝３４ａにより、上端部３６との間に薄肉のフラン
ジ部３５を形成し、上端部３６がばね特性を有するよう
にしている。

【００１８】また、発振子４の下端面側に配置される下
部共振器６は、上記上部共振器５よりも振動伝達の悪い
材質（真鍮，鋼等）で形成されていて、本実施例ではＳ
４５Ｃを用いている。そして、外周面には下向きのテー
パ６ａが形成され、その下面部６ｂが圧着ナット３８と
線接触するようになっている。なお、この下部共振器６
に設けられている中心軸孔６ｃは、締結部材３２の径よ
り少し大きい径に形成され、この締結部材３２とは直接
接触しないようになされている。

【００１９】これら上部共振器５と下部共振器６とに
は、上部共振器５の回転子３と接触する部分と、下部共
振器６の圧着ナット３８と接触する部分以外に、絶縁処
理（例えば絶縁被覆を形成する等）が施されている。

【００２０】上述したような発振子４と上部，下部共振
器５，６とで構成される超音波振動子２は、以下に述べ
る手順で組み立てる。各構成部材の接着面にエポキシ系
接着剤を塗布後、第１圧電素子８と第２圧電素子９とフ
レキシブルプリント基板１１，１２，１３と下部共振器
６とを、ボルトである締結部材３２に挿通させた状態
で、上部共振器５と圧着ナット３８とを締結部材３２に
ねじ込み、この両者間に挟み込んで圧着し、接着剤を硬
化させて超音波振動子２を構成する。

【００２１】上述のように締結部材３２は、超音波振動
子２を保持するとともに回転子３をも支持している。こ
の回転子３は、比較的厚みのあるリング状の回転子本体
３ａと、この回転子本体３ａの厚み方向の中央部の径方
向内側の中心部に配置された回転子取付用のベアリング
４１とで構成されていて、つまり、回転子本体３ａはベ
アリング４１を介して締結部材３２に回転自在に支持さ
れている。

【００２２】また、該回転子３は、上記振動子２の上端
面に、押圧手段によって圧着されるようになっている。
この第１実施例では押圧手段は、回転子３のベアリング
４１の、上記締結部材３２に固定される内輪４１ａ上に
ばね台座４３を配し、さらに同台座４３の上にコイルバ
ネ４４を設置して、その上方からナット４５を上記締結
部材３２に螺合することにより回転子３を押圧するよう
になっており、ナット４５のねじ込み量によりこの圧着
量を可変できるように構成されている。なお、上記ばね
台座４３は、短円筒体４３ａの外周面中程にフランジ４
３ｂを有していて、この短円筒体４３ａに設けられてい
る軸孔の径は、締結部材３２の外径よりも少し大径に形
成されている。また、回転子本体３ａの内面上部には、
該回転子本体３ａが上記ばね台座４３と接触しないよう
に、すり鉢状の凹部３ｂが形成されている。

【００２３】なお、本実施例の回転子本体３は、アルミ
ニウム合金で形成されていて、さらに表面にシュウ酸ア
ルマイト被膜が形成されている。

【００２４】一方、上記フレキシブルプリント基板１
１，１３には、それぞれの接続部１１ａ，１３ａを介し
て、正弦波電圧が図示しない駆動回路から印加されるよ
うになっている。また、フレキシブルプリント基板１２
は、同基板１２の接続部１２ａを介してアースされるよ
うになっている。

【００２５】この接続部１１ａ，１２ａ，１３ａへのリ
ード線の接続は、図５に示すように、これらに接続され
るリード線５１，５２，５３が、同リード線５１，５
２，５３の接続されたコネクタ５５に、各接続部１１
ａ，１２ａ，１３ａの先端（銅箔露出部）を差し込むこ
とにより、導通して接続されるようになっている。

【００２６】上記コネクタ５５の内部構造は市販品によ
って異なっているが、例えば図５に斜視図として示した
コネクタ５５を、図中一点鎖線により矢印Ａ方向へ切断
したときの断面図を図６に示す。該コネクタ５５は、コ
ネクタ外箱５６の内部に２枚の板ばね５７を互いに相対
して設け、この板ばね５７の一方の開口側にリード線５
２の導線部５２ａを挟み込み、半田付け５８をして支持
導通させ、他方の開口側に上記フレキシブルプリント基
板１２の接続部１２ａを挿入して、同基板１２上の銅箔
と導通するように構成している。

【００２７】このように構成された上記実施例の超音波
モータは、通常の一般的に周知の超音波モータと全く同
様に動作する。すなわち、互いに位相が９０度ずれた正
弦波電圧を、フレキシブルプリント基板１１，１３の接
続部１１ａ，１３ａを介して電圧印加部から第１，第２
圧電素子８，９に印加することにより、中心軸周りに回
転する屈曲振動が超音波振動子２に発生し、この屈曲振
動により回転子３が回転する。

【００２８】上記フレキシブルプリント基板１１，１
２，１３に用いられるポリイミド樹脂は、上部共振器５
に用いられているＳＵＳ４４０Ｃ等に比べると振動伝達
速度は非常に遅く、これらの音響インピーダンスは大き
く異なっているが、該基板の厚さを２５μｍと極力薄く
形成して、ポリイミド樹脂層での超音波振動の吸収を極
小に押さえ、振動特性を損なわないようにしている。

【００２９】また、フレキシブルプリント基板１１，１
２，１３の銅箔は、厚さが６μｍと薄く、超音波振動子
２を構成するときの圧着力によって、共振器５，６や圧
電素子８，９の端面の、微細なうねりや凹凸に追従し、
金属性の電極板を用いたときに生じる浮き上がりや、振
動子内部の微少な空洞を防止することができる。このよ
うにフレキシブルプリント基板の薄肉化によって、金属
性の電極板を用いたときとほとんど変わらない性能を維
持できる。超音波モータの性能は、フレキシブルプリン
ト基板の厚さを１００μｍ以下にしておけば、それほど
低下せず実用性があるが、１００μｍを越えるとその性
能の低下が顕著に現れてくる。

【００３０】そして、フレキシブルプリント基板は、そ
の特徴である柔軟性によって、折り曲げ形成するなどに
より、振動子の外周面に沿って接続部を設置することが
可能である。

【００３１】このような超音波モータによれば、図１に
示したように、電極板としてフレキシブルプリント基板
を採用したことによって、超音波振動子からのはみ出し
部分を少なくして小スペースに配置することができ、モ
ータを小型化した場合に非常に有効である。また、フレ
キシブルプリント基板は、コネクタ等を介することによ
って容易にリード線と接続することができ、作業の単純
化による低コスト化が図れる。

【００３２】図７は、本発明の第２実施例を示したもの
である。この第２実施例における超音波モータは、前述
の第１実施例とほぼ同様な構成であるので、異なる部分
であるフレキシブルプリント基板のみを示す。また、以
下に示す第３，第４，第５実施例においても同様とす
る。

【００３３】この第２実施例のフレキシブルプリント基
板は、前述の第１実施例の３つのフレキシブルプリント
基板を、その先端部で接続したごとくに構成されたもの
である。

【００３４】該フレキシブルプリント基板６１は、３葉
に分岐した接続部６２を有していて、この接続部６２の
有する接続分岐６２ａ，６２ｂ，６２ｃのそれぞれの一
端には、前記第１実施例に示したと同様の電圧印加部１
４が設けられている。上記接続部６２の３つの分岐の起
点部６３は、接続分岐６２ａ，６２ｂ，６２ｃを３つ並
列に束ねたごとくの構成となっており、同接続分岐を介
して設けられている帯状の銅箔６４ａ，６４ｂ，６４ｃ
は、この分岐起点部６３においても互いに導通すること
がないように配置されている。

【００３５】また、上記接続部６２の分岐起点部６３寄
りの部分には、スルーホール２２がそれぞれ設けられて
いて、上面と下面の銅箔を導通させていることや、分岐
起点部６３の基端部６３ａを除いて接続部６２に絶縁処
理が施されていて、該基端部６３ａにおいては、銅箔６
４ａ，６４ｂ，６４ｃの端部がそれぞれ露出しているこ
とは、前述の第１実施例と同様である。

【００３６】図８に上記フレキシブルプリント基板６１
を用いて超音波振動子を構成したときの、接続部６２の
拡大側面図を示す。同基板６１の接続部６２は、電圧印
加部１４に近い部分で折り曲げられて、振動子２の側面
に沿って、例えば下方に向かって配置される。

【００３７】このような第２実施例のモータ作用も、前
述の第１実施例と同様である。

【００３８】以上に述べた第２実施例によれば、３つの
電極板の電圧印加部の接続部がその一端部で一体に構成
されるため、コネクタとの接続が容易となる。そしてこ
れによって、さらに配線の接続を簡略にすることがで
き、また、接続の信頼性が向上する。

【００３９】図９は、本発明の第３実施例を示す。この
第３実施例の超音波モータも、前述の第１，第２実施例
とほぼ同様な構成であるので、異なる部分であるフレキ
シブルプリント基板のみを示す。

【００４０】この第３実施例のフレキシブルプリント基
板７１は、前述の第１実施例のフレキシブルプリント基
板とほぼ同様の構成であるが、電圧印加部１４の銅箔７
２，７３（図９（Ｂ）参照）に、複数の放射状の切り込
み７２ａが外周から中心方向に向かって形成されている
ところが異なっている。この切り込み７２ａは、外周に
沿ってほぼ等間隔に設けられている。また、この切り込
み７２ａの深さは、中心の軸孔１９にまでは達しておら
ず、該軸孔１９の周囲では、切り込み７２により形成さ
れた放射状の凸部７２ｂの基部が互いに一体となってい
る。その他の、接続部１５に絶縁処理２１が施されてい
る点や、接続部１５の先端部にスルーホール２２が設け
られている点は、前述の第１実施例と同様である。ま
た、圧電素子８，９の電圧印加面に銀蒸着が施されてい
る点も、前述の第１実施例と同様である。

【００４１】このように構成された第３実施例によれ
ば、電圧印加部１４の銅箔７２，７３に設けられた放射
状の切り込み７２ａによって、圧電素子８，９の僅かな
うねりや凹凸状にさらに追従しやすくなり、圧電素子
８，９に安定して電圧を印加することができる。また、
圧電素子８，９の電圧印加面には銀蒸着が施されている
ため、切り込み７２ａにより銅箔が形成されていない部
分にも、電圧が供給されることは言うまでもない。この
第３実施例によれば、さらに安定した電圧供給が可能と
なる。

【００４２】図１０は、本発明の第４実施例を示す。こ
の実施例における超音波モータも、前述の第１，第２，
第３実施例とほぼ同様であるので、異なる部分である発
振子４の圧電素子とフレキシブルプリント基板を分解斜
視図として示す。

【００４３】この第４実施例では、圧電素子８１，８２
は前述の第１実施例とは異なり２つの分極領域に分割さ
れてはおらず、矢印Ｍ２に示すように一方向にのみ分極
されていて、また、その分極方向は、どちらも矢印Ｍ２
の示す方向であるので互いに一致している。なお、これ
らの圧電素子８１，８２の形状は、前述の第１実施例の
圧電素子と同様である。また、圧電素子８１，８２の電
圧印加面には、銀蒸着は施されていない。

【００４４】そして、２枚の圧電素子８１，８２に挟ま
れた電極板であるフレキシブルプリント基板８４は、前
述の第１実施例のものと同様であるが、圧電素子８１，
８２のもう一方の端面、すなわち外側の端面に設置され
るフレキシブルプリント基板８３，８５は、圧電素子８
１，８２に対向する側の面にのみ銅箔が形成されてい
て、この銅箔はフレキシブルプリント基板８４の対称軸
を分割線として２分割されて銅箔８３ａ，８３ｂおよび
銅箔８５ａ，８５ｂとなっている。これらの銅箔８３ａ
と８３ｂとは互いに導通してはおらず、銅箔８５ａと８
５ｂも同様に互いに導通はしていない。そして、フレキ
シブルプリント基板８３とフレキシブルプリント基板８
５は、位置的に９０度ずれて配置される。

【００４５】銅箔８３ａ，８３ｂは、交流電源８８に並
列に接続されており、その一方、例えば銅箔８３ｂは、
電圧反転装置８７を介して同交流電源８８と接続されて
いる。また、銅箔８５ａ，８５ｂも同様に、交流電源８
９に並列に接続されており、その一方、例えば銅箔８５
ａは、電圧反転装置８７を介して同交流電源８９と接続
されている。また、フレキシブルプリント基板８４はア
ースされている。

【００４６】上記フレキシブルプリント基板８３，８５
の銅箔、例えば、銅箔８３ａと銅箔８５ｂとには、位相
的に９０度ずれた正弦波電圧がそれぞれ印加され、そし
て、２分割されたもう一方の銅箔８３ｂには、電圧反転
装置８７により上記銅箔８３ａに加える電圧が反転され
て、さらに銅箔８５ａには上記銅箔８５ｂに加える電圧
が反転されてそれぞれ印加される。

【００４７】このように構成された第４実施例によれ
ば、圧電素子を２つの分極領域に分割しなくても、２つ
の圧電素子にそれぞれ発生した屈曲振動から回転運動を
合成することが可能となるような超音波振動子を構成で
きる。

【００４８】金属導電性の電極板を２分割して、上記の
ように構成する方法は従来から知られているが、金属導
電性の電極板を配置するのが逆に面倒であり、しかも、
位置的に９０度正確に合わせにくくなる等の問題点が起
こっていたが、本実施例の場合は、銅箔はポリイミド樹
脂によって保持されているため、設置が容易で、位置的
に９０度正確に合わせやすい。この第４実施例による
と、圧電素子の分極の作業が簡略化でき、超音波モータ
の低コスト化が図れる。

【００４９】図１１は、本発明の第５実施例を示す。こ
の実施例における超音波モータは、前述の第１，第２，
第３，第４実施例とほぼ同様であるので、異なる部分で
ある圧電素子とフレキシブルプリント基板のみを示す。

【００５０】この第５実施例では、フレキシブルプリン
ト基板上に、周波数追尾用の分割された銅箔を設置して
いる。圧電素子９１は銀蒸着が施されておらず、それ以
外の、例えば分極領域が２分割されている等の点は、前
述の第１実施例と同様である。

【００５１】電極板であるフレキシブルプリント基板９
２には銅箔が設けられているが、図のように銅箔の一部
が分割されていて、ドーナツ状をなし電圧印加部の面積
をほぼ占める電圧印加用銅箔９２ａと、接続部近傍の外
周に沿って略半円状に設けられているセンサ信号出力用
銅箔９２ｂとで構成されている。これらの銅箔９２ａ，
９２ｂは、互いに導通してはおらず、また、銅箔の一部
９２ｃ，９２ｄを接続部へそれぞれ延出している。

【００５２】そして、基板９２の接続部において、上面
の銅箔と下面の銅箔とを導通させるためのスルーホール
２２が、銅箔の一部９２ｃ，９２ｄにそれぞれ設けられ
ている。また、接続部に絶縁処理２１が施されているこ
とは、前述の実施例と同様である。

【００５３】なお、フレキシブルプリント基板９３は、
前述の第１実施例のフレキシブルプリント基板と同様で
あり、また、アースに接続されている点も同様である。

【００５４】このように構成された第５実施例による
と、駆動用の圧電素子の一部をセンサ用として用いてい
るため、モータの出力が低下する可能性が考えられる
が、センサとして用いる圧電素子は小さい面積でよく、
例えば１（平方ｍｍ）程度で十分である。このため、モ
ータ性能に与える影響は少ない。また、周波数追尾用の
圧電素子を別に設けたり、電極板を増加させる必要もな
く、非常に簡単な構成とすることができる。

【００５５】このセンサ用の圧電素子部からの出力信号
を、駆動電圧と位相比較したり、出力信号のピーク値を
制御することによって、超音波モータの最適周波数に駆
動周波数を合わせることができる。

【００５６】この第５実施例によると、周波数追尾のた
めの圧電素子と電極板が、フレキシブルプリント基板の
銅箔を分割することによって、非常に簡単に構成できる
ため、モータの組立性の向上、低コスト化が実現でき、
配線接続も容易にすることができる。

【００５７】なお、銀蒸着された圧電素子９６を用いる
場合は、フレキシブルプリント基板の銅箔９２ａ，９２
ｂの分割形状に合わせて、図１２のように蒸着パターン
９７，９８を設けると良く、この場合にも、上述の第５
実施例と同様の効果が得られる。

【００５８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、超
音波振動子の配線接続を簡略化して、小スペース内に配
置することができる超音波モータを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す超音波モータの、左
半部を断面で示した側面図。

【図２】上記第１実施例の超音波モータにおけるフレキ
シブルプリント基板の斜視図と側面図。

【図３】上記第１実施例の超音波モータにおけるフレキ
シブルプリント基板のスルーホールを示す拡大断面図。

【図４】上記第１実施例の超音波モータにおける第１圧
電素子と第２圧電素子の斜視図。

【図５】上記第１実施例の超音波モータにおけるフレキ
シブルプリント基板とリード線との、コネクタによる接
続状態を示す斜視図。

【図６】上記図５に示したコネクタのＡＡ断面図。

【図７】本発明の第２実施例の超音波モータにおけるフ
レキシブルプリント基板の平面図。

【図８】上記図７のフレキシブルプリント基板の、接続
部の折曲状態を示す要部拡大側面図。

【図９】本発明の第３実施例の超音波モータにおけるフ
レキシブルプリント基板の斜視図と側面図。

【図１０】本発明の超音波モータにおける第４実施例の
発振子の分解斜視図。

【図１１】本発明の超音波モータにおける第５実施例の
圧電素子と電極板の斜視図。

【図１２】上記第５実施例の超音波モータにおける圧電
素子の変形例を示す斜視図。

【符号の説明】

１…超音波モータ２…超音波振動子３…回転子（被駆動部材）８，９…圧電素子（電気−機械エネルギー変換素子）１１，１２，１３…フレキシブルプリント基板１１ａ，１２ａ，１３ａ，１５…接続部１４…電圧印加部１６…ベース板１７，１８…銅箔２１…絶縁処理２２…スルーホール

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】位置的に９０度ずれて配置された第１お
よび第２の電気−機械エネルギー変換素子に、互いに位
相が９０度ずれた正弦波電圧を印加することにより、中
心軸周りに回転する屈曲振動を発生させる超音波振動子
と、この超音波振動子のいずれか一方の端面に配置された被
駆動部材と、上記第１および第２の電気−機械エネルギー変換素子の
端面と同形状の電圧印加部と、該電圧印加部と電気的に
接続されており、表面の少なくとも一部を絶縁処理され
た接続部とを有し、上記第１および第２の電気−機械エ
ネルギー変換素子に上記正弦波電圧を印加するフレキシ
ブルプリント基板と、を具備したことを特徴とする超音波モータ。