JPH11191968A - 超音波モータのステータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】板材にプレス加工にてスリットが形成される超
音波モータのステータであって、容易にプレス加工がで
き、かつプレス加工時の屈曲を未然に防止し得る超音波
モータのステータを提供する。 【解決手段】超音波モータのステータを構成する振動板
１０は、プレス加工にてスリット１０ｃが放射状かつ等
間隔に形成されるとともに、ロータに接触する接触部１
０ｆを有している。そして、前記振動板１０は、そのス
リット１０ｃが奇数箇所に形成される。そのため、振動
板１０は、各スリット１０ｃが振動板１０の中心を通る
同一直線上で向かい合わないように配置されることか
ら、そのスリット１０ｃ部分で屈曲し難い形状を有する
ことになる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は超音波モータのステ
ータに係り、詳しくは、スリットを有する振動板にて構
成される超音波モータのステータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】超音波モータは、圧電素子を取り付けた
ステータに対して、回転軸にフランジ状に連結したロー
タを圧接させて構成されている。そして、圧電素子に高
周波駆動電圧が印加されるとその圧電素子が振動し、そ
の振動がステータに伝搬される。圧電素子の振動に基づ
いてステータのロータとの接触面では進行波が生じ、そ
の進行波に基づいてロータが回転するようになってい
る。

【０００３】このような超音波モータのステータには、
鋼板等の板材をプレス加工にて形成した振動板が用いら
れている。これは製作のし易さと、コスト低減を図る上
で有利なためである。

【０００４】図６は、その振動板を示す。振動板５０
は、その外周部にロータと接触する接触部５０ａを有し
ている。該接触部５０ａにはその外周端部から中心に向
かってのびる複数のスリット５０ｂが等間隔に形成さ
れ、該接触部５０ａは圧電素子の振動がロータに効率よ
く伝搬するように撓み易い形状に形成される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、図６に示す
振動板５０は、そのスリット５０ｂが６４箇所、即ち偶
数箇所に形成されている。従って、振動板５０の中心を
挟んで向かい合うスリット５０ｂは、振動板５０の中心
を通る同一直線上に位置することになるため、そのスリ
ット５０ｂ部分で屈曲し易くなってしまう。屈曲した振
動板５０は、ロータを等しい圧接力で接触させることが
できず、ロータの回転特性を悪化させるため、不良とな
る。その結果、スリットを偶数箇所に設けた振動板は歩
留まりが低下するという問題がある。

【０００６】そこで、厚い板材を使用して振動板を形成
することが考えられるが、上記したように、振動板はプ
レス加工にて形成されるため、その加工が困難になって
しまう。

【０００７】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであって、その目的は、板材にプレス加工に
てスリットが形成される超音波モータのステータであっ
て、容易にプレス加工ができ、かつプレス加工時の屈曲
を未然に防止し得る超音波モータのステータを提供する
ことにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、請求項１に記載の発明は、プレス加工にてスリット
が放射状かつ等間隔に形成されるとともに、ロータに接
触する接触部を有する振動板を備え、圧電素子にて発生
する振動に基づいて前記接触部において進行波を発生さ
せる超音波モータのステータであって、前記振動板は、
そのスリットが奇数箇所に形成されることを要旨とす
る。

【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の超音波モータのステータにおいて、前記スリットの数
は、その数が前記圧電素子にて発生する振動の波数の倍
数以外の数であることを要旨とする。

【００１０】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
に記載の超音波モータのステータにおいて、前記スリッ
トを形成するプレス金型のスロットは、その数が３以上
の奇数であり、かつ等間隔に配置されるものであって、
前記スリットの数は、その数が前記プレス金型のスロッ
ト数の倍数であることを要旨とする。

【００１１】請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の
いずれかに記載の超音波モータのステータにおいて、前
記振動板に対して該振動板の固定部分にロウ付けされる
剛体と、前記振動板に対してその接触部に対応した位置
にロウ付けされるベースリングと、前記ベースリングに
固着され、該ベースリングを介して前記振動板の接触部
に進行波を発生させるための振動を発生する圧電素子と
を備えたことを要旨とする。

【００１２】従って、請求項１に記載の発明によれば、
振動板は、プレス加工にて放射状のスリットが奇数箇所
に等間隔に形成される。すると、振動板は、スリットが
向かい合わないように配置されることから、そのスリッ
ト部分で屈曲し難い形状を有することになる。従って、
板厚を厚くすることなく容易にプレス加工ができ、かつ
プレス加工時の屈曲を未然に防止することができる。

【００１３】請求項２に記載の発明によれば、振動板に
は、スリットが圧電素子にて発生する振動の波数の倍数
以外の数で形成される。仮に、スリットが圧電素子にて
発生する振動の波数の倍数で形成されると、圧電素子に
対する振動板の配置によって、振動板の接触部で発生す
る進行波振動の振動特性が大きく異なる場合がある。従
って、スリットが圧電素子にて発生する振動の波数の倍
数以外の数で形成することで、個々の振動板の接触部で
発生する進行波振動の振動特性が大きく異なることはな
い。その結果、個々のモータの回転特性に大きなばらつ
きが生じることはない。

【００１４】請求項３に記載の発明によれば、スリット
を形成するプレス金型のスロットは、その数が３以上の
奇数であり、かつ等間隔に配置される。そして、振動板
には、スリットがそのプレス金型のスロット数の倍数で
形成される。従って、このプレス金型を使用して振動板
にスリットを形成すると、そのスリットののびる方向が
一方向に統一されないため、スリット形成時の振動板の
歪みを小さくすることができる。しかも、スリット数が
このプレス金型のスロット数の倍数であることから、プ
レス加工時の無駄がない。

【００１５】請求項４に記載の発明によれば、ステータ
は、振動板と、該振動板に対して該振動板の固定部分に
ロウ付けされる剛体と、振動板に対してその接触部に対
応した位置にロウ付けされるベースリングと、ベースリ
ングに固着される圧電素子とによって一体に構成され
る。従って、モータ組付時の部品点数を少なくできるこ
とから、モータの組付けを簡略化することができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
の形態を図１〜図５に従って説明する。図１は、超音波
モータの断面図を示す。超音波モータ１のハウジング２
は基台３とカバー４とから構成されている。前記基台３
は、ボールベアリング５を保持するための軸受保持部３
ａと、その軸受保持部３ａの内側開口端から内側に延出
形成された膨出部３ｂと、回転軸６を挿通するための貫
通孔３ｃとを備えている。前記膨出部３ｂには、後記す
るステータ９を固定するためにネジ孔３ｄが設けられて
いる。

【００１７】前記カバー４の上部には、すべり軸受７を
保持するための軸受保持部４ａが形成され、更にその中
央部分には前記回転軸６を挿通する貫通孔４ｂが形成さ
れている。そして、回転軸６は、前記軸受保持部３ａ，
４ａによりそれぞれ保持されたボールベアリング５とす
べり軸受７を介してハウジング２に対して回転可能に支
持されている。

【００１８】又、前記基台３の膨出部３ｂの上面には回
転軸６を挿通する円環状の絶縁プレート８が載置され、
更にその上面にはステータ９が載置されている。このス
テータ９は、圧延鋼板例えば冷間圧延鋼板（ＳＰＣＣ）
よりなる振動板１０と、該振動板１０の内周部下面にロ
ウ付けにて接合されるとともに絶縁プレート８の上面に
載置される円環状の剛体としての金属基板１１と、該振
動板１０の外周部下面にロウ付けにて接合されるベース
リング１２と、該ベースリング１２の下面に接着剤にて
接着される円環状に形成された圧電素子１３とによって
一体に構成されている。

【００１９】前記振動板１０は、図１及び図２に示すよ
うにその中央に前記回転軸６を挿通するための貫通孔１
０ａが形成され、前記膨出部３ｂのネジ孔３ｄと対応す
る位置にはネジ貫通孔１０ｂが形成されている。又、前
記金属基板１１には、振動板１０のネジ貫通孔１０ｂと
対応する位置にネジ貫通孔１１ａが形成されている。

【００２０】前記振動板１０の外周部には、その外周端
部から中心に向かってのびる複数のスリット１０ｃが等
間隔に形成されている。このスリット１０ｃは、本実施
の形態では、振動板１０の５１箇所、即ち奇数箇所に形
成されている。従って、振動板１０は、各スリット１０
ｃが振動板１０の中心を通る同一直線上で向かい合わな
いように配置されることになり、そのスリット１０ｃ部
分で屈曲し難い形状を有することになる。尚、本実施の
形態のスリット１０ｃの幅は一定である。

【００２１】前記隣り合うスリット１０ｃ間には、放射
状にのびる櫛歯状部１０ｄが形成されている。櫛歯状部
１０ｄは、その先端部がクランク状に屈曲形成され、上
方に屈曲した部分を延出部１０ｅとし、該延出部１０ｅ
の先端から外側に水平に延びた部分を接触部１０ｆとし
ている。

【００２２】このような振動板１０は、上記した圧延鋼
板例えば冷間圧延鋼板（ＳＰＣＣ）をプレス加工して形
成される。先ず、前記振動板１０を製作するにあたり、
圧延鋼板がプレス打ち抜き加工により円板状に打ち抜か
れる。次に、その円板状の鋼板が、プレス打ち抜き加工
により５１箇所のスリット１０ｃが形成される。

【００２３】この場合、スリット１０ｃを形成するプレ
ス金型は、本実施の形態では、等間隔に配置された３つ
のスロット、即ち１２０°間隔に配置された３つのスロ
ットを有するプレス金型を使用している。従って、１回
のプレス打ち抜き加工で、スリット１０ｃが１２０°間
隔に同時に３つ形成されることになる。そして、前記ス
リット１０ｃは３の倍数の５１箇所に形成されることか
ら、１つの振動板１０に対してプレス打ち抜き加工が１
７回行われる。

【００２４】ここで、前記圧延鋼板は、鋼板を１方向に
圧延させて形成されている。そのため、この圧延鋼板
は、その圧延方向に対して直交する方向に作用する力に
は強く、その圧延方向に対して平行な方向に作用する力
には弱いという性質がある。

【００２５】従って、上記したプレス金型を使用する
と、スリット１０ｃののびる方向が一方向に統一されな
いため、圧延鋼板に一方向のみの力が作用することはな
く、スリット１０ｃ形成時の振動板１０の歪みを小さく
することができる。しかも、スリット１０ｃが上記した
プレス金型のスロット数「３」の倍数の５１箇所に形成
されるため、プレス打ち抜き加工時の無駄がない。尚、
スリット１０ｃ形成時の振動板１０の歪みをより小さく
するためには、プレス金型のスロット数を３以上の奇数
とし、かつ各スロットを等間隔に配置することが望まし
い。

【００２６】そして、プレス屈曲加工にて、スリット１
０ｃとともに形成される櫛歯状部１０ｄの先端がクラン
ク状に屈曲され、前記延出部１０ｅ及び接触部１０ｆが
形成されて、前記振動板１０が形成される。

【００２７】又、前記振動板１０にベースリング１２を
介して取り付けられる圧電素子１３には、本実施の形態
では、図３に示すように分極処理がなされ、隣接する電
極の極性が異なるように配置されている。詳述すると、
圧電素子１３には、８つのＡ相分極領域Ａ１〜Ａ８と、
８つのＢ相分極領域Ｂ１〜Ｂ８と、Ａ相及びＢ相分極領
域Ａ１〜Ａ８，Ｂ１〜Ｂ８との間に介在される４つの連
結分極領域Ｒ１〜Ｒ４とが備えられる。

【００２８】Ａ相及びＢ相分極領域Ａ１〜Ａ８，Ｂ１〜
Ｂ８は、その周方向の長さが圧電素子１３にて発生され
る振動の半波長に相当する長さで形成されている。即
ち、各分極領域Ａ１〜Ａ８，Ｂ１〜Ｂ８は、２つの電極
の周方向の長さが圧電素子１３にて発生される振動の１
波長に相当する長さで形成されている。又、連結分極領
域Ｒ１〜Ｒ４は、その周方向の長さが各分極領域Ａ１〜
Ａ８，Ｂ１〜Ｂ８の半分の長さ、即ち圧電素子１３にて
発生される振動の４分の１波長に相当する長さで形成さ
れている。従って、圧電素子１３は、１周の長さが振動
の９波長に相当することになる。

【００２９】そして、Ａ相及びＢ相分極領域Ａ１〜Ａ
８，Ｂ１〜Ｂ８は、その一端が３つの連結分極領域Ｒ１
〜Ｒ３を介在するように配置され、他端が１つの連結分
極領域Ｒ４を介在するように配置されている。このよう
なＡ相及びＢ相分極領域Ａ１〜Ａ８，Ｂ１〜Ｂ８には、
それぞれ９０°位相のずれた高周波駆動電圧が印加され
る。すると、上記のように分極された圧電素子１３で
は、９周期の進行波振動を発生し、波数が「９」とな
る。

【００３０】ここで、前記振動板１０は、５１箇所のス
リット１０ｃ、即ち５１個の櫛歯状部１０ｄを有してお
り、前記波数「９」の倍数以外の数の櫛歯状部１０ｄを
有している。そのため、振動板１０の櫛歯状部１０ｄ
は、図４に示すように例えば圧電素子１３のＡ相分極領
域Ａ１〜Ａ８に対して不規則に配置される。

【００３１】仮に、図５（ａ）に示すように、６３箇所
のスリット１０ｃ、即ち６３個の櫛歯状部１０ｄを有し
た振動板１０に、上記した波数が「９」の圧電素子１３
を取り付けた場合、振動板１０の櫛歯状部１０ｄが例え
ば圧電素子１３の各Ａ相分極領域Ａ１〜Ａ８に対して規
則的に配置される。すると、図５（ａ）に示すように各
分極領域Ａ１〜Ａ８の境界が櫛歯状部１０ｄの中央に配
置されるときと、図５（ｂ）に示すように各分極領域Ａ
１〜Ａ８の境界がスリット１０ｃの中央に配置される場
合がある。この場合、図５（ａ）（ｂ）のように圧電素
子１３に対して振動板１０が配置されると、櫛歯状部１
０ｄに形成された接触部１０ｆで生ずるそれぞれの進行
波振動の振動特性が大きく異なってしまう。そのため、
個々のモータの回転特性にばらつきが生じることから、
モータ組付け後に各モータに対して、例えば圧電素子１
３に印加される高周波駆動電圧の電圧値や周波数の調
整、又後記するステータ９に対するロータ１５の加圧力
の調整等を行う必要があり、その調整が煩雑である。

【００３２】従って、上記したように本実施の形態の振
動板１０は、波数「９」の倍数以外の数の櫛歯状部１０
ｄを有していることから、例えばＡ相分極領域Ａ１〜Ａ
８に対して不規則に配置されることになり、個々のモー
タにおける振動板１０の接触部１０ｆで生ずる進行波振
動の振動特性が大きく異なることはない。そのため、個
々のモータの回転特性に大きなばらつきが生じることは
なく、モータ組付け後に各モータに対して調整を行う必
要はない。

【００３３】そして、前記ステータ９は、絶縁ワッシャ
１４ａを取り付けたネジ１４をネジ貫通孔１０ｂ，１１
ａから前記絶縁プレート８を介して前記ネジ孔３ｄに螺
合させて基台３に固定される。尚、前記ステータ９と前
記基台３の膨出部３ｂとは、絶縁プレート８及び絶縁ワ
ッシャ１４ａによって電気的に絶縁状態となっている。

【００３４】前記ステータ１０の上面にはステンレス又
はアルミニウム合金よりなるロータ１５が配置され、そ
のロータ１５は前記接触部１０ｆの上面にライニング材
１６を介して当接するようになっている。

【００３５】前記ロータ１５は、その中央に嵌合孔１５
ａが形成されている。該嵌合孔１５ａには、絶縁カラー
１７が嵌着されている。そして、絶縁カラー１７とロー
タ１５とは、相対回転不能に組付けられている。又、絶
縁カラー１７は、その中央に嵌合孔１７ａが形成されて
いる。該嵌合孔１７ａには前記回転軸６が相対回転不能
に嵌合されている。従って、ロータ１５は、絶縁カラー
１７を介して前記回転軸６に対し一体に組付けられてい
る。

【００３６】前記絶縁カラー１７の上面は、皿バネ１８
ａと円盤状のプレート１８ｂとからなる加圧部材１８に
より加圧されている。この皿バネ１８ａは、その頂部１
８ｃが絶縁カラー１７に当接し、底部１８ｄがプレート
１８ｂの下面に当接している。又、プレート１８ｂに
は、その中央に前記回転軸６に嵌合する嵌合孔１８ｅが
形成されている。

【００３７】このような加圧部材１８は、前記回転軸６
に対して相対回転不能に、かつサークリップ１９により
軸方向にそれ以上上動不能に連結されている。そして、
加圧部材１８の加圧力、即ち皿バネ１８ａの弾性力によ
って、前記ロータ１５はステータ１０に対して圧接され
る。尚、前記ロータ１５と前記加圧部材１８及び前記回
転軸６とは、絶縁カラー１７によって電気的に絶縁状態
となっている。

【００３８】前記カバー４の外壁面にはコネクタ２０が
取着されている。該コネクタ２０は、前記圧電素子１３
とリード線２１を介して電気的に接続される。そして、
前記圧電素子１３は、リード線２１及びコネクタ２０を
介して超音波モータ１を駆動制御する図示しないコント
ローラに電気的に接続され、該コントローラから高周波
駆動電圧が供給される。

【００３９】このように構成された超音波モータにおい
て、圧電素子１３にコントローラからの高周波駆動電圧
が印加されると、該圧電素子１３は振動する。圧電素子
１３の振動は、ベースリング１２及びステータ９の延出
部１０ｅを介してロータ１５との接触面である接触部１
０ｆにおいて進行波振動となる。そして、接触部１０ｆ
に圧接されたロータ１５は、その進行波振動に基づいて
回転し回転軸６を回転させる。

【００４０】上記したように、本実施の形態では、以下
に示す特徴がある。 （１）振動板１０の外周部には、その外周端部から中心
に向かってのびるスリット１０ｃが５１箇所、即ち奇数
箇所に等間隔に形成される。すると、振動板１０は、各
スリット１０ｃが振動板１０の中心を通る同一直線上で
向かい合わないように配置されることから、そのスリッ
ト１０ｃ部分で屈曲し難い形状を有することになる。従
って、板厚を厚くすることなく容易にプレス加工がで
き、かつプレス加工時の屈曲を未然に防止することがで
きる。その結果、ステータの歩留まりを向上させること
ができる。

【００４１】（２）又、スリット１０ｃの数は、圧電素
子１３にて発生する振動の波数「９」の倍数以外の数で
ある。従って、スリット１０ｃ（櫛歯状部１０ｄ）が圧
電素子１３に対して、そのＡ相分極領域Ａ１〜Ａ８又は
Ｂ相分極領域Ｂ１〜Ｂ８に不規則に配置されることにな
り、個々のモータにおける振動板１０の接触部１０ｆで
生ずる進行波振動の振動特性が大きく異なることはな
い。その結果、個々のモータの回転特性に大きなばらつ
きが生じることはない。

【００４２】（３）スリット１０ｃを形成するプレス金
型は、等間隔に配置された３つのスロットを有するプレ
ス金型を使用している。又、スリット１０ｃの数は、そ
のプレス金型のスロット数「３」の倍数である。従っ
て、このプレス金型を使用すると、スリット１０ｃのの
びる方向が一方向に統一されないため、圧延鋼板に一方
向のみの力が作用することはなく、スリット１０ｃ形成
時の振動板１０の歪みを小さくすることができる。しか
も、スリット１０ｃが上記したプレス金型のスロット数
「３」の倍数の５１箇所に形成されるため、プレス打ち
抜き加工時の無駄がない。

【００４３】（４）ステータ９は、振動板１０と、該振
動板１０の内周部下面にロウ付けされる金属基板１１
と、該振動板１０の外周部下面にロウ付けされるベース
リング１２と、該ベースリング１２の下面に接着剤にて
接着される圧電素子１３とによって一体に構成されてい
る。従って、モータ組付時の部品点数を少なくできるこ
とから、モータの組付けを簡略化することができる。

【００４４】尚、本発明は上記形態に限定されることは
なく、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で以下のように
してもよい。 ○上記実施の形態では、振動板１０に対してスリット１
０ｃを、圧電素子１３にて発生する振動の波数「９」の
倍数以外の数であって、しかもプレス金型のスロット数
「３」の倍数である５１個形成したが、スリット１０ｃ
の数が奇数であればこれらの条件を満たさなくてもよ
い。又、スリット１０ｃの数が奇数であって、圧電素子
１３にて発生する振動の波数の倍数以外の数、或いはプ
レス金型のスロット数の倍数のいずれかを満たすような
数で形成してもよい。

【００４５】○上記実施の形態では、圧電素子１３にて
発生する振動の波数が「９」となるように圧電素子１３
を分極したが、この数に限定されるものではない。 ○上記実施の形態では、等間隔に配置された３つのスロ
ットを有するプレス金型を使用したが、その他の数及び
配置のスロットを有するプレス金型を使用してもよい。

【００４６】○上記実施の形態では、振動板１０、金属
基板１１、ベースリング１２及び圧電素子１３とによっ
てステータ９を一体に構成したが、それぞれ別体として
モータ組付け時にそれらを組み付けるようにしてもよ
い。

【００４７】上記実施の各形態から把握できる請求項以
外の技術思想について、以下にその効果とともに記載す
る。 （イ）ハウジング（２）に回転可能に支持されたロータ
（１５）と、プレス加工にてスリット（１０ｃ）が放射
状かつ等間隔に形成されるとともに、前記ロータ（１
５）に接触する接触部（１０ｆ）を有する振動板（１
０）と、前記振動板（１０）の接触部（１０ｆ）に進行
波を発生させるための振動を発生する圧電素子（１３）
とを備えた超音波モータであって、前記振動板（１０）
は、そのスリット（１０ｃ）が奇数箇所に形成されると
ともに、その形成されたスリット（１０ｃ）の数が前記
圧電素子（１３）にて発生する振動の波数の倍数以外の
数であることを特徴とする超音波モータ。このように構
成すれば、振動板は、そのスリットが振動板の中心を通
る同一直線上で向かい合わないように配置されることか
ら、そのスリット部分で屈曲し難い形状を有することに
なる。従って、板厚を厚くすることなく容易にプレス加
工ができ、しかも屈曲し難くしてステータの歩留まりを
向上することができる。その結果、超音波モータの歩留
まりの向上に貢献することができる。しかも、スリット
が圧電素子にて発生する振動の波数の倍数以外の数で形
成することで、個々の振動板の接触部で発生する進行波
振動の振動特性が大きく異なることはない。従って、個
々のモータの回転特性に大きなばらつきが生じることは
ない。

【００４８】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
板材にプレス加工にてスリットが形成される超音波モー
タのステータであって、容易にプレス加工ができ、かつ
プレス加工時の屈曲を未然に防止し得る超音波モータの
ステータを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本実施の形態における超音波モータを示す断
面図。

【図２】 振動板を示す平面図。

【図３】 圧電素子を示す平面図。

【図４】 振動板と圧電素子との位置関係を説明するた
めの説明図。

【図５】 振動板と圧電素子との位置関係を説明するた
めの説明図。

【図６】 従来の振動板を示す平面図。

【符号の説明】

１０…振動板、１０ｃ…スリット、１０ｆ…接触部、１
１…剛体としての金属基板、１２…ベースリング、１３
…圧電素子、１５…ロータ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プレス加工にてスリット（１０ｃ）が放
   射状かつ等間隔に形成されるとともに、ロータ（１５）
   に接触する接触部（１０ｆ）を有する振動板（１０）を
   備え、圧電素子（１３）にて発生する振動に基づいて前
   記接触部（１０ｆ）において進行波を発生させる超音波
   モータのステータであって、 前記振動板（１０）は、そのスリット（１０ｃ）が奇数
   箇所に形成されることを特徴とする超音波モータのステ
   ータ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の超音波モータのステー
   タにおいて、 前記スリット（１０ｃ）の数は、その数が前記圧電素子
   （１３）にて発生する振動の波数の倍数以外の数である
   ことを特徴とする超音波モータのステータ。
3. 【請求項３】 請求項１又は２に記載の超音波モータの
   ステータにおいて、 前記スリット（１０ｃ）を形成するプレス金型のスロッ
   トは、その数が３以上の奇数であり、かつ等間隔に配置
   されるものであって、 前記スリット（１０ｃ）の数は、その数が前記プレス金
   型のスロット数の倍数であることを特徴とする超音波モ
   ータのステータ。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の超音波
   モータのステータにおいて、 前記振動板（１０）に対して該振動板（１０）の固定部
   分にロウ付けされる剛体（１１）と、 前記振動板（１０）に対してその接触部（１０ｆ）に対
   応した位置にロウ付けされるベースリング（１２）と、 前記ベースリング（１２）に固着され、該ベースリング
   （１２）を介して前記振動板（１０）の接触部（１０
   ｆ）に進行波を発生させるための振動を発生する圧電素
   子（１３）とを備えたことを特徴とする超音波モータの
   ステータ。