JP3156408U - クリーンユニット - Google Patents
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Abstract
Description
内部の塵埃数または病原菌数を制御または維持することができる作業室を有するクリーンユニットであって、
上記作業室の一部が気体分子を通す隔壁から成っており、
上記隔壁の近傍において、上記作業室の内部の気体の流速ベクトルと外部の気体の流速ベクトルとが当該隔壁の両側においてほぼ対称的となるように構成されている
ことを特徴とするものである。
内部の塵埃数または病原菌数を制御または維持することができる作業室を有するクリーンユニットであって、
上記作業室の一部が気体分子を通す隔壁から成っており、
上記隔壁の近傍において、上記作業室の内部の気体の流速ベクトルと外部の気体の流速ベクトルとが有限の大きさを有し、かつ当該隔壁の両側においてほぼ対称的となるように構成されている
ことを特徴とするものである。
内部の塵埃数または病原菌数を制御または維持することができる作業室と、
上記作業室に設けられた通風孔と上記作業室に設けられた別の通風孔とを気密性を持って接続する気体流路とを有するクリーンユニットであって、
上記気体流路に接して外部気体流路が設けられており、この外部気体流路と上記気体流路とは気体分子を通す隔壁を介して互いに連通しており、
上記気体流路中の気体の流速ベクトルと上記外部気体流路中の気体の流速ベクトルとが当該隔壁の両側においてほぼ対称的となるように構成されている
ことを特徴とするものである。
密閉可能に構成され、内部をクリーンな環境に維持することができる作業室と、
上記作業室に設けられた送風動力を有する塵埃フィルターと、
上記作業室に設けられた通風孔と上記塵埃フィルターの入口とを気密性を持って接続する気体流路とを有し、
上記作業室の上記通風孔から流出する気体の全てが上記気体流路を通って上記塵埃フィルターの入口に入るように構成されたクリーンユニットであって、
上記気体流路に接して外部気体流路が設けられており、この外部気体流路と上記気体流路とは直接、またはダスト微粒子を通さず、気体分子は通す隔壁を介して互いに連通している
ことを特徴とするものである。
密閉可能に構成され、内部をクリーンな環境に維持することができる作業室と、
上記作業室に設けられた送風動力を有する塵埃フィルターと、
上記作業室に設けられた通風孔と上記塵埃フィルターの入口とを気密性を持って接続する気体流路とを有し、
上記作業室の上記通風孔から流出する気体の全てが上記気体流路を通って上記塵埃フィルターの入口に入るように構成され、
上記気体流路に接して外部気体流路が設けられており、この外部気体流路と上記気体流路とは直接、またはダスト微粒子を通さず、気体分子は通す隔壁を介して互いに連通しているクリーンユニットの運転方法であって、
上記気体流路および上記外部気体流路中を同じ流速で気体が流れるようにした
ことを特徴とするものである。
密閉可能に構成され、内部をクリーンな環境に維持することができる作業室と、
上記作業室に設けられた送風動力を有する塵埃フィルターと、
上記作業室に設けられた通風孔と上記塵埃フィルターの入口とを気密性を持って接続する気体流路とを有し、
上記作業室の上記通風孔から流出する気体の全てが上記気体流路を通って上記塵埃フィルターの入口に入るように構成されたクリーンユニットであって、
上記作業室の少なくとも一つの壁の一部に、ダスト微粒子を通さず、気体分子は通す隔壁が取り付けられている
ことを特徴とするものである。
クリーンな環境に維持することができるクリーンユニットが複数連結された連結クリーンユニットにおいて、
少なくとも一つのクリーンユニットが、
密閉可能に構成され、内部をクリーンな環境に維持することができる作業室と、
上記作業室に設けられた送風動力を有する塵埃フィルターと、
上記作業室に設けられた通風孔と上記塵埃フィルターの入口とを気密性を持って接続する気体流路とを有し、
上記作業室の上記通風孔から流出する気体の全てが上記気体流路を通って上記塵埃フィルターの入口に入るように構成されたクリーンユニットであって、
上記気体流路に接して外部気体流路が設けられており、この外部気体流路と上記気体流路とは直接、またはダスト微粒子を通さず、気体分子は通す隔壁を介して互いに連通しているものである
ことを特徴とするものである。
フィードバック気体流路43に接して、外部気体流路48が設けられており、フィードバック気体流路43と外部気体流路48とは直接または隔壁45を介して互いに連通している。外部気体流路48の下部の外気の取り入れ口にファン52が取り付けられ、外部気体流路48の上部には排出口50が設けられ、ファン52から外気を取り込んで排出口50より外気を排出できるようになっている。隔壁45は、ダスト微粒子は透過しないが酸素等の気体分子は透過するような材料であって、HEPAフィルターやULPAフィルター等の塵埃フィルター、食品包装材料やガスの漏洩防止のために配管接続部分のシール材(ポリテトラフルオロエチレン製のテープなど)に用いられるガスバリア膜、多孔質のスポンジ材等を使用することができる。
Claims (4)
- 密閉可能に構成され、内部をクリーンな環境に維持することができる作業室と、
上記作業室に設けられた送風動力を有する塵埃フィルターと、
上記作業室に設けられた通風孔と上記塵埃フィルターの入口とを気密性を持って接続する気体流路とを有し、
上記作業室の上記通風孔から流出する気体の全てが上記気体流路を通って上記塵埃フィルターの入口に入るように構成され、
上記作業室の一部が、ダスト微粒子を100%は通さず、気体分子は通す隔壁から成ることを特徴とするクリーンユニット。 - 上記塵埃フィルターは上記作業室の上面に取り付けられ、上記隔壁は上記作業室の側壁に設けられ、上記塵埃フィルターの入口と上記作業室の下部に設けられた上記通風孔とを連結するように上記気体流路が取り付けられていることを特徴とする請求項1記載のクリーンユニット。
- 上記隔壁はULPAフィルター、HEPAフィルターまたはガスバリア膜からなることを特徴とする請求項2記載のクリーンユニット。
- 上記塵埃フィルターはULPAフィルターまたはHEPAフィルターであることを特徴とする請求項3記載のクリーンユニット。
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