JP3143036B2 - 抵抗率測定回路 - Google Patents
抵抗率測定回路Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シリコンのバルク、ウ
ェーハ等の抵抗率、シート抵抗、等を直流４探針法を用
いて測定する抵抗率測定回路に係り、特に測定の広範囲
化・高精度化、測定装置の低廉化に好適な抵抗率測定回
路に関する。
ェーハ等の抵抗率、シート抵抗、等を直流４探針法を用
いて測定する抵抗率測定回路に係り、特に測定の広範囲
化・高精度化、測定装置の低廉化に好適な抵抗率測定回
路に関する。
【０００２】
【従来の技術】測定用４探針プローブを用いて試料の抵
抗率を測定する場合に、試料の抵抗率が高くなると試料
と測定用４探針プローブとの接触抵抗は例えばメグオー
ム台にもなる。このため、従来は、測定回路として定電
流電源からの漏洩電流を避けるため定電流電源回路をフ
ローティング方式にした回路構成が採られていた。具体
的には電源に電池を使う回路構成(図３）や、コンデン
サに充電して短時間フローティング回路を形成する回路
構成（図４）等が採られてきた。またあるいは、電圧測
定回路の出力を直流的に絶縁し、その電源部をフローテ
ィングにした回路構成を採っているものもある。
抗率を測定する場合に、試料の抵抗率が高くなると試料
と測定用４探針プローブとの接触抵抗は例えばメグオー
ム台にもなる。このため、従来は、測定回路として定電
流電源からの漏洩電流を避けるため定電流電源回路をフ
ローティング方式にした回路構成が採られていた。具体
的には電源に電池を使う回路構成(図３）や、コンデン
サに充電して短時間フローティング回路を形成する回路
構成（図４）等が採られてきた。またあるいは、電圧測
定回路の出力を直流的に絶縁し、その電源部をフローテ
ィングにした回路構成を採っているものもある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来技術
においては次のような問題がある。すなわち、 （１）フローティング回路の絶縁抵抗を充分高める必要
がある。絶縁抵抗を流れる漏洩電流で誤差を生ずる恐れ
があるからである。 （２）フローティングされる回路から外部誘導雑音（交
流電源）を受け易く雑音分による測定誤差を生じ易い。 （３）フローティング回路は特殊な部材が必要で装置が
高価となる。
においては次のような問題がある。すなわち、 （１）フローティング回路の絶縁抵抗を充分高める必要
がある。絶縁抵抗を流れる漏洩電流で誤差を生ずる恐れ
があるからである。 （２）フローティングされる回路から外部誘導雑音（交
流電源）を受け易く雑音分による測定誤差を生じ易い。 （３）フローティング回路は特殊な部材が必要で装置が
高価となる。
【０００４】これらの問題をさらに図面を用いて説明す
る。図３は電池を電源としたフローティング定電流電源
方式の例であり、破線で囲まれた部分がフローティング
定電流電源部を示す部分である。図４はリレー４４を閉
としてコンデンサ４５に電源４３から充電しておき測定
時に４４を開として破線部分をフローティング定電流電
源回路として構成するものである。
る。図３は電池を電源としたフローティング定電流電源
方式の例であり、破線で囲まれた部分がフローティング
定電流電源部を示す部分である。図４はリレー４４を閉
としてコンデンサ４５に電源４３から充電しておき測定
時に４４を開として破線部分をフローティング定電流電
源回路として構成するものである。
【０００５】図５は図３の回路において外部電源５０、
雑音電源５０′により電圧測定用増幅器５６に対し障害
信号が流入する様子を示す。漏洩電流や誘導電流は、絶
縁抵抗５４または浮遊容量５５を通してフローティング
電源部と結合し、測定試料５７を介して流れる電流５３
として発生する。
雑音電源５０′により電圧測定用増幅器５６に対し障害
信号が流入する様子を示す。漏洩電流や誘導電流は、絶
縁抵抗５４または浮遊容量５５を通してフローティング
電源部と結合し、測定試料５７を介して流れる電流５３
として発生する。
【０００６】この電流は試料５７との探針の接触抵抗５
９（ｒ1〜ｒ4）を通じて流れるため電流５３はｒ2また
はｒ3により電圧降下を発生させる。このため障害信号
が増幅器５６に印加され、これが測定値に対する誤差電
圧、あるいは誘導雑音となり、測定器としての性能低下
をもたらす。特に試料の内部抵抗や試料との上記接触抵
抗が大きい場合にはこの性能低下も大きくなりがちで測
定範囲が限定される。
９（ｒ1〜ｒ4）を通じて流れるため電流５３はｒ2また
はｒ3により電圧降下を発生させる。このため障害信号
が増幅器５６に印加され、これが測定値に対する誤差電
圧、あるいは誘導雑音となり、測定器としての性能低下
をもたらす。特に試料の内部抵抗や試料との上記接触抵
抗が大きい場合にはこの性能低下も大きくなりがちで測
定範囲が限定される。
【０００７】さらに、図３、図４のフローティング回路
はテフロン（登録商標）等の絶縁部材を必要とし、また
誘導雑音信号遮蔽のためのシールドボックスを設けるな
ど特殊な部材を必要とする。
はテフロン（登録商標）等の絶縁部材を必要とし、また
誘導雑音信号遮蔽のためのシールドボックスを設けるな
ど特殊な部材を必要とする。
【０００８】本発明の目的は、抵抗率測定における範囲
の拡大および測定の高精度化と、抵抗率測定装置の低廉
化を図った抵抗率測定回路を提供することにある。
の拡大および測定の高精度化と、抵抗率測定装置の低廉
化を図った抵抗率測定回路を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明では例えば図１に示すように、抵抗率の測定
における被測定試料１４に定電流ｉを与える定電流電源
回路１１と、該試料１４からの出力電圧を測定する電圧
測定回路１２とを有する抵抗率測定回路において、上記
定電流電源回路１１と上記電圧測定回路１２に共通に直
流電圧を印加する共通電源１３の回路構成を備えるとと
もに、上記電圧測定回路１２は、上記試料１４からの出
力電圧Δｅの測定端子に差動増幅器１５を接続し、該差
動増幅器１５の電源端子に定電圧を与える定電圧回路１
７と該定電圧回路１７を定電流回路１９を介して上記共
通電源１３の端子に接続する回路構成を備えることとす
る。
め、本発明では例えば図１に示すように、抵抗率の測定
における被測定試料１４に定電流ｉを与える定電流電源
回路１１と、該試料１４からの出力電圧を測定する電圧
測定回路１２とを有する抵抗率測定回路において、上記
定電流電源回路１１と上記電圧測定回路１２に共通に直
流電圧を印加する共通電源１３の回路構成を備えるとと
もに、上記電圧測定回路１２は、上記試料１４からの出
力電圧Δｅの測定端子に差動増幅器１５を接続し、該差
動増幅器１５の電源端子に定電圧を与える定電圧回路１
７と該定電圧回路１７を定電流回路１９を介して上記共
通電源１３の端子に接続する回路構成を備えることとす
る。
【００１０】ここで、上記定電圧回路１７を浮動電源回
路とすることもできる。図１はこの場合を例示するもの
として、定電圧回路１７を電池表示で示している。（な
お、浮動電源回路により定電圧を与えられた差動増幅器
の構成、すなわち、図１の破線で囲んだ１８の部分を以
下浮動電源付き差動増幅器という。） あるいは上記定電圧回路は、例えば図２に示すように、
その電源端子として、上記定電流回路２２または２２′
を介して上記共通電源の各端子に接続する第１の電源端
子Ｓ１と第２の電源端子Ｓ２を有し、該第１の電源端子
Ｓ１と上記差動増幅器の各出力端子ａおよびｂとの間に
同一抵抗値の抵抗Ｒをそれぞれ接続し、これと同じ抵抗
値の抵抗Ｒを、上記第２の電源端子Ｓ２と上記差動増幅
器の各出力端子ａおよびｂとの間にそれぞれ接続する回
路構成を備えるとともに、上記第１の電源端子Ｓ１と第
２の電源端子Ｓ２の各電圧を上記差動増幅器の各電源端
子ｃおよびｄにそれぞれ与える回路構成として、その電
源端子にエミッタを、上記第１の電源端子Ｓ１および第
２の電源端子Ｓ２のそれぞれにベースを、また上記共通
電源の各端子にコレクタをそれぞれ接続するトランジス
タ２３および２３′の構成を備えるようにしてもよい。
路とすることもできる。図１はこの場合を例示するもの
として、定電圧回路１７を電池表示で示している。（な
お、浮動電源回路により定電圧を与えられた差動増幅器
の構成、すなわち、図１の破線で囲んだ１８の部分を以
下浮動電源付き差動増幅器という。） あるいは上記定電圧回路は、例えば図２に示すように、
その電源端子として、上記定電流回路２２または２２′
を介して上記共通電源の各端子に接続する第１の電源端
子Ｓ１と第２の電源端子Ｓ２を有し、該第１の電源端子
Ｓ１と上記差動増幅器の各出力端子ａおよびｂとの間に
同一抵抗値の抵抗Ｒをそれぞれ接続し、これと同じ抵抗
値の抵抗Ｒを、上記第２の電源端子Ｓ２と上記差動増幅
器の各出力端子ａおよびｂとの間にそれぞれ接続する回
路構成を備えるとともに、上記第１の電源端子Ｓ１と第
２の電源端子Ｓ２の各電圧を上記差動増幅器の各電源端
子ｃおよびｄにそれぞれ与える回路構成として、その電
源端子にエミッタを、上記第１の電源端子Ｓ１および第
２の電源端子Ｓ２のそれぞれにベースを、また上記共通
電源の各端子にコレクタをそれぞれ接続するトランジス
タ２３および２３′の構成を備えるようにしてもよい。
【００１１】
【作用】抵抗率は４探針法により次のように測定され
る。すなわち、図１において、定電流電源回路１１の出
力電流ｉを４探針プローブを介し、例えばシリコンの試
料１４に流し、試料の抵抗率に比例した電圧Δｅを測定
端子に発生させる。Δｅは電圧測定回路１２により計測
されるが、これにより抵抗率ρは（数１）で計算され
る。
る。すなわち、図１において、定電流電源回路１１の出
力電流ｉを４探針プローブを介し、例えばシリコンの試
料１４に流し、試料の抵抗率に比例した電圧Δｅを測定
端子に発生させる。Δｅは電圧測定回路１２により計測
されるが、これにより抵抗率ρは（数１）で計算され
る。
【００１２】
【数１】
【００１３】これらの計算式、測定法は公知のものであ
る。
る。
【００１４】本発明では定電流電源回路１１は上記のよ
うに共通電源１３に直接接続されているから、従来技術
で述べたような、電源のフローティングに伴い電源に結
合して流れる漏洩電流や誘導電流の入り込む余地が極め
て小さく、測定電圧Δｅの発生に誤差が少なく、かつ試
料内部抵抗や探針の接触抵抗の広範囲の値に対応して発
生する例えば数Ｖから数１０Ｖ以上にわたる広範囲な出
力電圧においても定電流特性を維持し、高精度な測定電
圧Δｅの発生を得ることが可能になる。
うに共通電源１３に直接接続されているから、従来技術
で述べたような、電源のフローティングに伴い電源に結
合して流れる漏洩電流や誘導電流の入り込む余地が極め
て小さく、測定電圧Δｅの発生に誤差が少なく、かつ試
料内部抵抗や探針の接触抵抗の広範囲の値に対応して発
生する例えば数Ｖから数１０Ｖ以上にわたる広範囲な出
力電圧においても定電流特性を維持し、高精度な測定電
圧Δｅの発生を得ることが可能になる。
【００１５】このように抵抗測定の広範囲にわたる高精
度化した測定電圧の発生に対応して、その電圧測定回路
においても充分高精度測定を可能にする必要がある。本
発明において、共通電源に接続された電圧測定回路１２
はこれを可能にするものである。すなわち後述において
もさらに詳述もするように、差動増幅器１５は定電圧が
与えられ、しかも浮動電源付き差動増幅器１８が内部抵
抗の高い定電流回路１９を介して共通電源に接続されて
おり、広範囲の同相入力電圧に対して追従して動作する
ので、浮動電源付き差動増幅器１８は高精度で高い安定
度の出力が確保可能となる。この場合に浮動電源付き差
動増幅器１８の入力端子間には、測定信号電圧Δｅに比
例する電圧が含まれるとともに、それぞれの入力端子に
は共通に図１に示す同相電圧（この電圧は試料の内部抵
抗や探針の接触抵抗の大きさに関係して発生する電圧で
あり、以下コモンモード電圧ともいう）ｅcが含まれて
いるが、浮動電源付き差動増幅器１８の差動出力からは
コモンモード電圧が除かれ、測定電圧Δｅに比例する出
力電圧のみが得られることになる。すなわち、本発明の
電圧測定回路１２の構成によれば、広範な大きさのコモ
ンモード電圧に対しても、これに無関係な安定出力電圧
が得られ、高精度の電圧測定が可能になる。
度化した測定電圧の発生に対応して、その電圧測定回路
においても充分高精度測定を可能にする必要がある。本
発明において、共通電源に接続された電圧測定回路１２
はこれを可能にするものである。すなわち後述において
もさらに詳述もするように、差動増幅器１５は定電圧が
与えられ、しかも浮動電源付き差動増幅器１８が内部抵
抗の高い定電流回路１９を介して共通電源に接続されて
おり、広範囲の同相入力電圧に対して追従して動作する
ので、浮動電源付き差動増幅器１８は高精度で高い安定
度の出力が確保可能となる。この場合に浮動電源付き差
動増幅器１８の入力端子間には、測定信号電圧Δｅに比
例する電圧が含まれるとともに、それぞれの入力端子に
は共通に図１に示す同相電圧（この電圧は試料の内部抵
抗や探針の接触抵抗の大きさに関係して発生する電圧で
あり、以下コモンモード電圧ともいう）ｅcが含まれて
いるが、浮動電源付き差動増幅器１８の差動出力からは
コモンモード電圧が除かれ、測定電圧Δｅに比例する出
力電圧のみが得られることになる。すなわち、本発明の
電圧測定回路１２の構成によれば、広範な大きさのコモ
ンモード電圧に対しても、これに無関係な安定出力電圧
が得られ、高精度の電圧測定が可能になる。
【００１６】定電圧回路の電圧として、定電流が流れる
抵抗の端子電圧を利用することとして、その電圧を例え
ばトランジスタを介して増幅器の電源端子に印加すれ
ば、上記抵抗に流れる電流が一定である限り一定の電圧
を増幅器に印加できるようになる。
抵抗の端子電圧を利用することとして、その電圧を例え
ばトランジスタを介して増幅器の電源端子に印加すれ
ば、上記抵抗に流れる電流が一定である限り一定の電圧
を増幅器に印加できるようになる。
【００１７】さらに、本発明によれば、回路をフローテ
ィングさせるための部材を必要としないので装置を廉価
にすることもできるようになる。
ィングさせるための部材を必要としないので装置を廉価
にすることもできるようになる。
【００１８】
【実施例】図１は本発明の抵抗率測定回路の実施例を示
すものであり、図２は本発明の電圧測定回路の他の実施
例を示すものである。上述した中で、特に本発明の特徴
的構成を図１および図２を引用して説明した。また、図
１に示した本発明の構成のうち、定電流電源回路１１に
ついてはさらに詳述する必要もなく明らかと思われるの
で、以下特に図２の電圧測定回路の実施例を用いて広範
なコモンモード電圧で動作可能となることを詳細に説明
する。
すものであり、図２は本発明の電圧測定回路の他の実施
例を示すものである。上述した中で、特に本発明の特徴
的構成を図１および図２を引用して説明した。また、図
１に示した本発明の構成のうち、定電流電源回路１１に
ついてはさらに詳述する必要もなく明らかと思われるの
で、以下特に図２の電圧測定回路の実施例を用いて広範
なコモンモード電圧で動作可能となることを詳細に説明
する。
【００１９】図２において、２１は一般的な計測用差動
演算増幅器である。２２、２２′は定電流回路、２３、
２３′は２１の増幅器の電源端子ｃ、ｄへ定電圧を供給
するためのトランジスタである。２３、２３′のベース
エミッタ間の電圧Ｖｂeは通常０.６Ｖ位で２３のベース
電圧ｅs1、２３′のベース電圧ｅs2は、ほぼｃ点、ｄ点
の電圧と見なしてもよい。そこで２１の増幅器の電源電
圧、すなわちｃ−ｄ間の電圧は、 Ｖs＝ｅs1−ｅs2 ………（数２） で表してもかまわない。ここでコモンモード電圧ｅcが
変動してもＶsが一定であれば２１の増幅器は広範なコ
モンモード電圧で動作可能となる。この点をさらに次に
説明する。
演算増幅器である。２２、２２′は定電流回路、２３、
２３′は２１の増幅器の電源端子ｃ、ｄへ定電圧を供給
するためのトランジスタである。２３、２３′のベース
エミッタ間の電圧Ｖｂeは通常０.６Ｖ位で２３のベース
電圧ｅs1、２３′のベース電圧ｅs2は、ほぼｃ点、ｄ点
の電圧と見なしてもよい。そこで２１の増幅器の電源電
圧、すなわちｃ−ｄ間の電圧は、 Ｖs＝ｅs1−ｅs2 ………（数２） で表してもかまわない。ここでコモンモード電圧ｅcが
変動してもＶsが一定であれば２１の増幅器は広範なコ
モンモード電圧で動作可能となる。この点をさらに次に
説明する。
【００２０】２１の入力をΔｅとする。
【００２１】
【数３】
【００２２】ｂ点の出力ｅbは ｅb＝ｅc−ｎ・Δｅ ………（数４） ｓ1点の電圧ｅs1は ｅs1＝ｅa＋ｉ1・Ｒ ………（数５） または ｅs1＝ｅb＋ｉ2・Ｒ ………（数６） ｓ2点の電圧ｅs2は ｅs2＝ｅb−ｉ2′・Ｒ ………（数７） または ｅs2＝ｅa−ｉ1′・Ｒ ………（数８） （数３）、（数４）を（数５）〜（数８）に代入すると ｅs1＝ｅc＋ｉ1・Ｒ＋ｎ・Δｅ ………（数９） ｅs1＝ｅc＋ｉ2・Ｒ−ｎ・Δｅ ………（数１０） ｅs2＝ｅc−ｉ2′・Ｒ−ｎ・Δｅ ………（数１１） ｅs2＝ｅc−ｉ1′・Ｒ−ｎ・Δｅ ………（数１２） （数９）〜（数１２）を（数２）に代入して（数９）、
（数１１）から Ｖs＝ｅs1−ｅs2＝ｉ1・Ｒ＋ｉ2′・Ｒ ………（数１３） が得られ、（数１０）、（数１２）から Ｖs＝ｅs1−ｅs2＝ｉ2・Ｒ＋ｉ1′・Ｒ ………（数１４） を得る。（数１３）、（数１４）の両辺を加えると ２Ｖs＝ｉ1・Ｒ＋ｉ2′・Ｒ＋ｉ2・Ｒ＋ｉ1′・Ｒ ＝（ｉ1＋ｉ2＋ｉ1′＋ｉ2′）・Ｒ ………（数１５） となる。ｓ1、ｓ2点での２３、２３′のベース電流を無
視すれば ｉ1＋ｉ2＝ｉ＝ｉ1′＋ｉ2′ となり、これを（数１５）に代入して ２Ｖｓ＝２ｉ・
Ｒ すなわち Ｖs＝ｉ・Ｒ ………（数１６） を得る。
（数１１）から Ｖs＝ｅs1−ｅs2＝ｉ1・Ｒ＋ｉ2′・Ｒ ………（数１３） が得られ、（数１０）、（数１２）から Ｖs＝ｅs1−ｅs2＝ｉ2・Ｒ＋ｉ1′・Ｒ ………（数１４） を得る。（数１３）、（数１４）の両辺を加えると ２Ｖs＝ｉ1・Ｒ＋ｉ2′・Ｒ＋ｉ2・Ｒ＋ｉ1′・Ｒ ＝（ｉ1＋ｉ2＋ｉ1′＋ｉ2′）・Ｒ ………（数１５） となる。ｓ1、ｓ2点での２３、２３′のベース電流を無
視すれば ｉ1＋ｉ2＝ｉ＝ｉ1′＋ｉ2′ となり、これを（数１５）に代入して ２Ｖｓ＝２ｉ・
Ｒ すなわち Ｖs＝ｉ・Ｒ ………（数１６） を得る。
【００２３】したがって、Ｖsはｅcやｅcの変化には無
関係で定電流電源２２、２２′の電圧出力許容範囲内で
はｅcの大きさの変化に対しても一定電圧Ｖsを２１の電
源として供給可能となる。その間２１は差動増幅器とし
ての動作を維持する。ここで２１の差動出力電圧（ｅa
−ｅb）は（数３）、（数４）から
関係で定電流電源２２、２２′の電圧出力許容範囲内で
はｅcの大きさの変化に対しても一定電圧Ｖsを２１の電
源として供給可能となる。その間２１は差動増幅器とし
ての動作を維持する。ここで２１の差動出力電圧（ｅa
−ｅb）は（数３）、（数４）から
【００２４】
【数１７】
【００２５】でコモンモード電圧ｅcと無関係となり
（ｅa−ｅb）を図１の差動入力型Ａ／Ｄ変換器１６の入
力とすればΔｅの測定が可能となる。
（ｅa−ｅb）を図１の差動入力型Ａ／Ｄ変換器１６の入
力とすればΔｅの測定が可能となる。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、測定回路上の誤差要因
が除去できるため、高抵抗、低抵抗の広範囲の測定範囲
に対して高精度の抵抗率測定ができる。また、回路をフ
ローティングさせるための部材、すなわち、電池、充電
用コンデンサ、絶縁増幅器、切換リレー等が不要となり
測定装置が廉価となる。
が除去できるため、高抵抗、低抵抗の広範囲の測定範囲
に対して高精度の抵抗率測定ができる。また、回路をフ
ローティングさせるための部材、すなわち、電池、充電
用コンデンサ、絶縁増幅器、切換リレー等が不要となり
測定装置が廉価となる。
【図１】本発明の抵抗率測定回路の実施例図。
【図２】本発明の電圧測定回路の他の実施例図。
【図３】電池を用いたフローティング電源方式の従来例
図。
図。
【図４】コンデンサを用いたフローティング電源方式の
従来例図。
従来例図。
【図５】従来技術における障害信号の流入例を示す図。
１１…定電流電源回路 １２…電圧測
定回路 １３…共通電源 １４…試料 １５…差動増幅器 １６…差動入
力型Ａ／Ｄ変換器 １７…定電圧回路または浮動電源を意味する電池表示 １８…浮動電源付き差動増幅器 １９…定電流
回路 ２１…計測用差動演算増幅器 ２２、２２′…定電流
回路 ２３、２３′…トランジスタ ３１…定電流回路 ３２…電池 ３６…差動演算増幅器 ３７…試料 ３８…Ａ／Ｄ変換器 ４１…定電流回路 ４３…電源 ４４…リレー ４５…コンデ
ンサ ４６…差動演算増幅器 ４７…試料 ４８…Ａ／Ｄ変換器 ５０…外部電源 ５０′…雑音電
源 ５１…定電流回路 ５３…電流
（障害信号電流） ５４…絶縁抵抗 ５５…浮遊容
量 ５６…差動演算増幅器 ５７…試料 ５８…Ａ／Ｄ変換器 ５９…探針の
接触抵抗
定回路 １３…共通電源 １４…試料 １５…差動増幅器 １６…差動入
力型Ａ／Ｄ変換器 １７…定電圧回路または浮動電源を意味する電池表示 １８…浮動電源付き差動増幅器 １９…定電流
回路 ２１…計測用差動演算増幅器 ２２、２２′…定電流
回路 ２３、２３′…トランジスタ ３１…定電流回路 ３２…電池 ３６…差動演算増幅器 ３７…試料 ３８…Ａ／Ｄ変換器 ４１…定電流回路 ４３…電源 ４４…リレー ４５…コンデ
ンサ ４６…差動演算増幅器 ４７…試料 ４８…Ａ／Ｄ変換器 ５０…外部電源 ５０′…雑音電
源 ５１…定電流回路 ５３…電流
（障害信号電流） ５４…絶縁抵抗 ５５…浮遊容
量 ５６…差動演算増幅器 ５７…試料 ５８…Ａ／Ｄ変換器 ５９…探針の
接触抵抗
Claims (3)
- 【請求項１】抵抗率の測定における被測定試料に定電流
を与える定電流電源回路と、該試料からの出力電圧を測
定する電圧測定回路とを有する抵抗率測定回路におい
て、 上記定電流電源回路と上記電圧測定回路に共通に直流電
圧を印加する共通電源の回路構成を備えるとともに、 上記電圧測定回路は、上記試料からの出力電圧測定端子
に差動増幅器を接続し、該差動増幅器の電源端子に定電
圧を与える定電圧回路と該定電圧回路を定電流回路を介
して上記共通電源の端子に接続する回路構成を備えるこ
とを特徴とする抵抗率測定回路。 - 【請求項２】請求項１記載の抵抗率測定回路において、
上記定電圧回路を浮動電源回路とすることを特徴とする
抵抗率測定回路。 - 【請求項３】請求項１記載の抵抗率測定回路において、
上記定電圧回路は、その電源端子として、上記定電流回
路を介して上記共通電源の各端子に接続する第１の電源
端子と第２の電源端子とを有し、該第１の電源端子と上
記差動増幅器の各出力端子との間に同一抵抗値の抵抗を
それぞれ接続し、これと同じ抵抗値の抵抗を、上記第２
の電源端子と上記差動増幅器の各出力端子との間にそれ
ぞれ接続する回路構成を備えるとともに、上記第１の電
源端子と第２の電源端子の各電圧を上記差動増幅器の各
電源端子にそれぞれ与える回路構成として、差動増幅器
の電源端子にエミッタを、上記第１の電源端子および第
２の電源端子のそれぞれにベースを、また上記共通電源
の各端子にコレクタをそれぞれ接続するトランジスタの
構成を備えるものであることを特徴とする抵抗率測定回
路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07083591A JP3143036B2 (ja) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | 抵抗率測定回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07083591A JP3143036B2 (ja) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | 抵抗率測定回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08278335A JPH08278335A (ja) | 1996-10-22 |
| JP3143036B2 true JP3143036B2 (ja) | 2001-03-07 |
Family
ID=13806740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07083591A Expired - Lifetime JP3143036B2 (ja) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | 抵抗率測定回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3143036B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5920088B2 (ja) * | 2012-07-24 | 2016-05-18 | コニカミノルタ株式会社 | 電流検出回路及び電流検出回路を用いた超音波診断装置 |
| CN105486928B (zh) * | 2015-11-25 | 2019-02-15 | 广东工业大学 | 一种热电材料电阻率测量电路 |
-
1995
- 1995-04-10 JP JP07083591A patent/JP3143036B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08278335A (ja) | 1996-10-22 |
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