SU1628011A1

SU1628011A1 - Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов

Info

Publication number: SU1628011A1
Application number: SU884491228A
Authority: SU
Inventors: Леонид Васильевич Каменев; Александр Иванович Федонин; Евгений Васильевич Финк
Priority date: 1988-10-10
Filing date: 1988-10-10
Publication date: 1991-02-15

Abstract

Изобретение относитс к технике контрол полупроводниковых материалов и может быть использовано дл выходного и входного контрол на предпри ти х-изготовител х и потребител х кремни . Цель изобретени - повышение точности путем снижени синфазной составл ющей входного напр жени дифференциального усилител . Устройство содержит токовые 1, 2 и потенциальные 3 4 зонды, источник 6 тока, операционный усилитель 7, буферные усилители 8, 9, дифференциальный усилитель 10, вольтметр 11, резисторы 12, 13. 1 ил.

Description

Ё

frD D D

о ю со

о

Изобретение относитс к технике контрол полупроводниковых материалогз и, в частности , может быть использовано дл выходного и входного контрол на предпри ти х-изготовител х и потребител х кремни .

Цель изобретени - повышение точности .

На чертеже приведена структурна электрическа схема устройства дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов.

Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов содержит первый 1 и второй 2 токовые, третий 3 и четвертый 4 потен циальные зонды, подключенные к контролируемому полупроводниковому материалу 5, источник 6 тока, операционный усилитель 7, первый и второй буферные усилители 8 и 9, дифференциальный усилитель 10, вольтметр 11. а также первый и второй резисторы 12 и 13. Источник 6 тока соединен с зондом 1, зонд 2 соединен с выходом усилител 7. Неинвер- тирующий вход усилител 7 соединен с общей шиной, инвертирующий вход соединен с общей точкой резисторов 12 и 13. Зонды 3 и 4 соединены с входами усилителей 8 и 9 соответственно, выходы усилмте- лей 8 и 9 соединены с входами усилител 10 и входом резистора 12 и выходом резистора 13, выход усилител 10 соединен с вольтметром 11.

Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов работает следующим образом.

Источник 6 тока формирует через токовые зонды 1 и 2 заданное значение тока. Операционный усилитель 7 за счет действи отрицательной обратной св зи по цепи: выход операционного усилител 7, второй токовый зонд 2, контролируемый объект 5, третий потенциальный зонд 3, первый буферный усилитель 8, первый резистор 12, инвертирующий вход операционного усилител 7, и по цепи: выход операционного усилител 7, второй токовый зонд 2. контролируемый объект 5, четвертый потенциальный зонд 4, второй буферный усилитель 9,

второй резистор 13, инвертирующий вход - операционного усилител 7 обеспечивает поддержание на своем инвертирующем входе нулевого напр жени . Благодар этому и

за счет равенства сопротивлений первого и второго резисторов на входах дифференциального усилител 10 формируютс равные по значению, но противоположные по знаку напр жени . Разность этих напр жений, выделаема дифференциальным усилителем 10, пропорциональна информативному напр жению между потенциальными зондами, а следовательно, и удельному сопротивлению, причем синфазна составл юща входного

напр жени дифференциального усилител 10 практически равна нулю.

В результате этого погрешность устройства , обусловленна синфазной составл ющей входного напр жени дифференциального

усилител 10, также равна нулю. Это позвол ет повысить точность измерени ,

Claims

Формула изобретени Устройство дл измерени удельного сопротивлени полупроводниковых материалов содержащее первый, второй токовые, третий и четвертый потенциальные зонды, которые имеют онтакт с исследуемым по- лупроводник зым материалом,источниктока , выход которого соединен с первым токовым зондом, а общий вывод - с общей шиной, первый и второй резисторы, соединенные последовательно, операционный усилитель, выход которого соединен с вторым токовым зондом, входы которого: неин- зер/ирующий соединен с общей шиной, а инвертирующий - с выходом первого резистора , первый и второй буферные усилители , входы которых соответственно соединены

с третьим и четвертым потенциальными зондами , дифференциальный усилитель, входы которого соединены с выходами первого и второго буферных усилителей, выход которого со- единен с вольтметром, отличающеес

тем, что, с целью повышени точности, вход первого резистора и выход второго резистора соответственно соединены с выходами первого и второго буферных усилителей.