KR930700855A - 전자 소자 테스트및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템 및 그 방법 - Google Patents

전자 소자 테스트및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템 및 그 방법

Info

Publication number
KR930700855A
KR930700855A KR1019920702980A KR920702980A KR930700855A KR 930700855 A KR930700855 A KR 930700855A KR 1019920702980 A KR1019920702980 A KR 1019920702980A KR 920702980 A KR920702980 A KR 920702980A KR 930700855 A KR930700855 A KR 930700855A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lead
probe
current
frequency
test
Prior art date
Application number
KR1019920702980A
Other languages
English (en)
Other versions
KR0168823B1 (ko
Inventor
데이. 브루노 데이빗
디. 크로스 죤
Original Assignee
레리 티.랩
일렉트로 싸이언티픽 인더스트리즈 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 레리 티.랩, 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리즈 인코포레이티드 filed Critical 레리 티.랩
Publication of KR930700855A publication Critical patent/KR930700855A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0168823B1 publication Critical patent/KR0168823B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R27/00Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
    • G01R27/02Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
    • G01R27/08Measuring resistance by measuring both voltage and current
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/50Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

내용 없음.

Description

전자 소자 테스트및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템 및 그 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 리드 검사 및 소자 테스트가 동시에 실행되는 본 발명의 시스템을 나타내는 블럭도,
제5도는 본 발명에 사용되는 전류원 회로를 나타내는 도,
제6도는 본 발명에 사용되는 감지 증폭기 회로를 나타내는 도,
제7도는 본 발명에 사용되는 비교기 회로를 나타내는 도.

Claims (23)

  1. 전자 소자 테스트 및 리드검사를 동시에 실행하는 시스템에 있어서, 제1및 제2전기 탐침과,제1탐침 및 소자의 리드간과, 제2탐침 및 소자 리드간의 접촉 저항의 합을 결정하기 위해 제1 및 제2탐침에 전기적으로 연결되며, 제1탐침, 소자의 리드, 및 제2탐침을 통하여 흐르는 전류 I1을 발생하는 제1전류 구동 수단을 포함하는 접촉 저항 결정 수단, 및 접촉 저강 수단이 접촉 저항의 합계를 결정하는 동안 소자의 파라메터 값을 결정하며, 제1 및 제2탐침에 전기적으로 연결되고, 소자를 통하여 전류 I2를 발생하는 제2전류 구동 수단을 포함하는 소자 테스트 수단을 구비하며, 상기 전류 I1및 I2는 주파수를 가지며, I1의 주파수는 I2의 주파수와 다르고, 상기 소자 테스트 수단은 전류 I1을 차단하는 제1주파수 차단 수단을 포함하며, 상기 접촉 저항 결정 수단은 전류 I2를 차단하는 제2주파수 차단 수단을 포함하는 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 전류 I1이 제로 주파수의 직류 전류인, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 전류 I1의 주파수가 전류 I2의주파수보다 높은, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템
  4. 제1항에 있어서, 전류 I2의 주파수가 전류 I1의주파수보다 높은, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 소자 테스트 수단으로부터 접촉 저항 결정 수단을 전기적으로 절연시키는 절연된 DC/DC 변환 수단을 더 포함하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 접촉 저항 결정 수단이 제1탐침의 전압 및 제2탐침의 전압간의 차를 결정하는 감지 증폭 수단을 포함하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  7. 제1항에 있어서, 소자 테스트 수단이 종래의 브리지를 포함하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  8. 제1항에 있어서, 파라메트는 캐패시턴스이며, 소자는 캐패시터인, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  9. 제1항에 있어서, 리드는 제1리드이며, 소자는 제2리드를 포함하고, 소자 테스트 수단이 제1리드의 전압 및 소자의 제2리드의 전압간에 차를 결정하는 수단을 포함하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  10. 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템에 있어서, 제1및 제2전기 탐침과, 제1탐침 및 소자의 리드간과, 제2탐침 및 소자의 리드간에 접촉 저항의 합을 결정하며, 제1및 제2탐침에 리드간에 접촉 저향의 합을 결정하며, 제1및 제2탐침에 전기적으로 연결된 접촉 저항 결정 수단과, 상기 접촉 저항 결정 수단이 제1탐침 및 소자의 리드간과, 제2탐침 및 소자의 리드간에 접촉 저항의 합계를 결정하는 동안, 소자의 파라메터 값을 결정하며, 상기 제1및 제2탐침에 전기적으로 연결되고, 상기 접촉 저항 결정 수단과는 서로간에 전기적으로 절연된 소자 테스트 수단을 구비하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 접촉 저항 결정 수단과 소자 테스트 수단에 전기적으로 연결되는 제3 및 제4탐침을 더 구비하며, 소자의 리드는 제1리드이고, 접촉 저항의 합계가 제1합계이며, 접촉 저항 결정 수단이 제3탐침 및 소자의 제2리드간과, 제4탐침 및 소자의 제2리드간의 접촉 저항의 제2합계를 결정하는 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  12. 제11항에 있어서, 제1합계가 제1한계를 초과하는지, 제2합계가 제2한계를 초과하는지, 제1 및 제2의 합계가 제3함계를 초과하는지를 결정하는 비교 수단을 더 구비하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  13. 제12항에 있어서, 제1한계가 제2한계와 같고, 제1한계와 제3한계와 같은, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  14. 제10항에 있어서, 접촉 저항 결정 수단이 제1탐침, 소자의 리드, 및 제2탐침을 통해 흐르는 전류 I1을 발생하는 제1전류 구동 수단으로 포함하고, 소자 테스트 수단이 소자를 통해 흐르는 전류 I2를 발생하는 제2전류 구동 수단을 포함하며, 전류 I1및 I2는 주파수를 가지고, I1의 주파수는 I2의 주파수와는 다르며, 접촉 저항 결정 수단이 전류 I2를 차단하는 제2주파수 차단 수단을 포함하며, 소자 테스트 수단이 전류 I1을 차단하는 제1주파수 차단 수단을 포함하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  15. 제10항에 있어서, 소자 테스트 수단으로부터 접촉 저항 결정 수단을 전기적으로 절연시키는 절연된 DC/DC 변환 수단을 더 구비하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  16. 제10항에 있어서, 접촉 저항 결정 수단이 제1탐침의 전압 및 제2탐침의 전압간의 차를 결정하는 감지 증폭 수단을 포함하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  17. 제10항에 있어서, 리드는 제1리드이며, 소자는 제2리드를 포함하고, 소자 테스트 수단이 소자의 제2리드 전압 및 제1리드 전압간의 차를 결정하는 감지 증폭 수단을 포함하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  18. 리드를 가지는 전기 소자의 리드 검사 및 테스트를 동시에 실행하는 방법에 있어서, 제1 및 제2전기적 탐침을 소자의 리드와 물리적으로 접속하게 하고, 전류를 발생시켜, 제1탐침, 부품의 리드, 및 제2탐침을 통해 전류를 흐르게하며, 제1 및 제2탐침의 전압간의 차를 측정하여, 그 차가 소정의 값을 초과하는가를 결장하고, 상기 전압간의 차가 측정되는 동안 부품의 파라메터를 측정하는 단계를 구비하는 방법.
  19. 제1항에 있어서, 소자 테스트 수단이 컨테이너에 포함되며, 제1주파수 차단 수단이 상기 컨테이너 내에 포함되는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  20. 제1항에 있어서, 소자 테스트 수단이 컨테이너에 포함되며, 제1주파수 차단 수단이 상기 컨테이너 외부에 위치하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  21. 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템에 있어서, 제1 및 제2전기적 탐침과, 제1탐침 및 소자의 리드간과, 제2탐침 및 소자의 리드간의 접촉 저항의 합계를 결정하기 위해 제1 및 제2탐침에 전기적으로 연결되고, 제1탐침, 소자의 리드, 및 제2탐침을 통해 흐르는 전류 I1을 발생하는 제1전류 구동 수단을 구비하는 접촉 저항 결정 수단과, 상기 접촉 저항 결정 수단이 접촉 저항의 합계를 결정하는 동안, 소자의 파라메터 값을 결정하기 위해 제1 및 제2탐침에 전기적으로 연결되며, 소자를 통해 흐르는 전류 I2를 발생하는 제2전류 구동 수단을 포함하는 소자 테스트 수단, 여기에서 전류 I1및 I2는 전류 I1의 주파수가 전류 I2의 주파수와는 다른 주파수를 가지게 되며, 전류 I1이 소자 테스트 수단에 들어가는 것을 차단하는 제1주파수 차단 수단, 전류 I2가 접촉 저항 결정 수단에 들어가는 것을 차단하는 접촉 저항 결정 수단에 포함된 제2주파수 차단 수단을 구비하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  22. 제21항에 있어서, 소자 테스트 수단이 컨테이너에 포함되며, 제1주파수 차단 수단이 상기 컨테이너 외부에 위치하는, 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템.
  23. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920702980A 1990-05-29 1991-04-18 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템 및 방법 KR0168823B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/531,077 US5057772A (en) 1990-05-29 1990-05-29 Method and system for concurrent electronic component testing and lead verification
US531,077 1990-05-29
PCT/US1991/002693 WO1991019202A1 (en) 1990-05-29 1991-04-18 Method and system for concurrent electronic component testing and lead verification

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR930700855A true KR930700855A (ko) 1993-03-16
KR0168823B1 KR0168823B1 (ko) 1999-03-20

Family

ID=24116158

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019920702980A KR0168823B1 (ko) 1990-05-29 1991-04-18 전자 소자 테스트 및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템 및 방법

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5057772A (ko)
EP (1) EP0531323A1 (ko)
JP (1) JPH05507556A (ko)
KR (1) KR0168823B1 (ko)
CA (1) CA2083701A1 (ko)
IE (1) IE911567A1 (ko)
MY (1) MY105336A (ko)
WO (1) WO1991019202A1 (ko)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04329381A (ja) * 1991-05-02 1992-11-18 Mitsubishi Electric Corp 電子回路試験装置およびその試験方法
JP2720688B2 (ja) * 1992-01-31 1998-03-04 ジェイエスアール株式会社 回路基板の検査方法
US5600255A (en) * 1995-11-20 1997-02-04 Electro-Test, Inc. Live circuit resistance measurement system and method
KR100187727B1 (ko) * 1996-02-29 1999-06-01 윤종용 처리기 접촉 불량을 확인할 수 있는 접촉 점검 장치 및 이를 내장한 집적회로 소자 검사 시스템
US5984079A (en) * 1996-07-12 1999-11-16 Electro Scientific Industries, Inc. Method and apparatus for loading electronic components
US5785484A (en) * 1996-08-23 1998-07-28 Electro Scientific Industries, Inc. Method and apparatus for orienting miniature components
CA2267281A1 (en) 1996-10-03 1998-04-09 Ysi Incorporated Conductivity measuring apparatus and method
US6225810B1 (en) 1998-02-12 2001-05-01 The Boeing Company Loop resistance tester (LRT) for cable shield integrity
US6160402A (en) * 1998-08-28 2000-12-12 Motorola, Inc. Method and apparatus for determining contact resistance
JP3402274B2 (ja) 1999-08-05 2003-05-06 株式会社村田製作所 電子部品のインピーダンス測定装置
US6509739B1 (en) * 2000-11-08 2003-01-21 Xilinx, Inc. Method for locating defects and measuring resistance in a test structure
US20020105348A1 (en) * 2000-12-12 2002-08-08 Resor Griffith L. Electronically measuring pin-to-pad alignment using resistive pads
US6791344B2 (en) 2000-12-28 2004-09-14 International Business Machines Corporation System for and method of testing a microelectronic device using a dual probe technique
KR100466984B1 (ko) * 2002-05-15 2005-01-24 삼성전자주식회사 테스트 소자 그룹 회로를 포함하는 집적 회로 칩 및 그것의 테스트 방법
JP4456325B2 (ja) * 2002-12-12 2010-04-28 東京エレクトロン株式会社 検査方法及び検査装置
JP4695920B2 (ja) * 2005-05-19 2011-06-08 日置電機株式会社 インピーダンス測定装置
JP4735250B2 (ja) * 2005-12-28 2011-07-27 横河電機株式会社 計測装置
US7443179B2 (en) * 2006-11-30 2008-10-28 Electro Scientific Industries, Inc. Zero motion contact actuation
US7683630B2 (en) * 2006-11-30 2010-03-23 Electro Scientific Industries, Inc. Self test, monitoring, and diagnostics in grouped circuitry modules
US7602192B2 (en) * 2006-11-30 2009-10-13 Electro Scientific Industries, Inc. Passive station power distribution for cable reduction
JP2011085483A (ja) * 2009-10-15 2011-04-28 Hioki Ee Corp インピーダンス測定装置
US8922271B1 (en) * 2013-07-29 2014-12-30 Micrel, Inc. Programmable high current voltage supply for automatic test equipment
US10944259B2 (en) * 2018-10-08 2021-03-09 Cheng Bao System and method for over voltage protection in both positive and negative polarities
CN110426622B (zh) * 2019-08-15 2024-08-20 北京华峰测控技术股份有限公司 一种电压电流源测试电路及测试方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4038599A (en) * 1974-12-30 1977-07-26 International Business Machines Corporation High density wafer contacting and test system
US4175253A (en) * 1978-02-22 1979-11-20 Teradyne, Inc. Analyzing electrical circuit boards
US4342958A (en) * 1980-03-28 1982-08-03 Honeywell Information Systems Inc. Automatic test equipment test probe contact isolation detection method
JPS5866870A (ja) * 1981-10-16 1983-04-21 Matsushita Electric Works Ltd 抵抗測定回路
US4780836A (en) * 1985-08-14 1988-10-25 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of testing semiconductor devices using a probe card
DE3768039D1 (de) * 1986-04-07 1991-03-28 Siemens Ag Pruefeinrichtung fuer den uebergangswiderstand von anschlussklemmen ueber die ein energiespeicher mit einem elektrischen geraet verbunden ist.
US4891577A (en) * 1986-10-31 1990-01-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Apparatus for measuring noise characteristics
DE3704021A1 (de) * 1987-02-10 1988-08-18 Bosch Gmbh Robert Schaltung zum messen des spannungsabfalls an einem in einem wechselstromkreis liegenden veraenderbaren widerstand
JPH0714916Y2 (ja) * 1988-03-04 1995-04-10 横河・ヒユーレット・パツカード株式会社 回路定数測定装置
US4918374A (en) * 1988-10-05 1990-04-17 Applied Precision, Inc. Method and apparatus for inspecting integrated circuit probe cards

Also Published As

Publication number Publication date
US5057772A (en) 1991-10-15
EP0531323A1 (en) 1993-03-17
MY105336A (en) 1994-09-30
WO1991019202A1 (en) 1991-12-12
CA2083701A1 (en) 1991-11-30
JPH05507556A (ja) 1993-10-28
KR0168823B1 (ko) 1999-03-20
IE911567A1 (en) 1991-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR930700855A (ko) 전자 소자 테스트및 리드 검사를 동시에 실행하는 시스템 및 그 방법
US4496900A (en) Nonlinearity detection using fault-generated second harmonic
US7292048B2 (en) Method and apparatus for measuring a dielectric response of an electrical insulating system
ATE438103T1 (de) Messvorrichtung für wechselstrom und/oder gleichstrom
JP2003028900A (ja) 非接触電圧測定方法およびその装置
Flora et al. Factors affecting polarization and depolarization current measurements on insulation of transformers
US5959463A (en) Semiconductor test apparatus for measuring power supply current of semiconductor device
US5502375A (en) Method and apparatus for determining orientation of polarized capacitors
CN213210440U (zh) 一种用于集成电路自动测试机的小电流量测校准架构
KR20010021222A (ko) 프로브 접촉상태 검출방법 및 프로브 접촉상태 검출장치
JP3241944B2 (ja) 絶縁体の誘電正接測定方法及び電力ケーブルの絶縁劣化診断方法
JP3892345B2 (ja) 微小電流測定装置
JP4674005B2 (ja) 電源装置、及び試験装置
JP2764773B2 (ja) 測定プローブの接触検出装置
JPS63119216A (ja) 電解コンデンサの極性判別方法及びその装置
Tokoro et al. Detection of high field AC conduction loss current in polymeric insulating materials
JP3964654B2 (ja) 電気回路診断装置
GB2337337A (en) Method and means for determining the polarity of a capacitor
Reynolds et al. DC insulation analysis: A new and better method
JP3143036B2 (ja) 抵抗率測定回路
KR970022342A (ko) 반도체 장치의 테스트 장치
JPH05196678A (ja) 電気回路試験装置
JP3469160B2 (ja) 接触検査の感度向上装置
JPS61105470A (ja) 絶縁抵抗判定制御方式
JPH10293154A (ja) 半導体試験装置用バイアス電源回路

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee