JP3119075B2 - リング状ヒーターランプ - Google Patents
リング状ヒーターランプInfo
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- JP3119075B2 JP3119075B2 JP06111915A JP11191594A JP3119075B2 JP 3119075 B2 JP3119075 B2 JP 3119075B2 JP 06111915 A JP06111915 A JP 06111915A JP 11191594 A JP11191594 A JP 11191594A JP 3119075 B2 JP3119075 B2 JP 3119075B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハの加熱
や、真空蒸着装置内の加熱源、その他の加熱源に使用さ
れるリング状ヒーターランプに関する。
や、真空蒸着装置内の加熱源、その他の加熱源に使用さ
れるリング状ヒーターランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ヒーターランプで物を加熱する場
合、ある面積、ある空間範囲を加熱する関係で、ランプ
が直管状の場合、複数本同一平面状に並べて使用するの
が一般的である。この場合、加熱装置が複雑になった
り、多数のランプの取扱が煩雑になる欠点がある。その
ため、最近では、例えば、特公昭６２−４４８４７、実
公平５−２５１９６に見られるように、リング状のヒー
ターランプが好まれる。また、実開昭６４−４１９９５
にも種々の赤外線発熱体が紹介されている。
合、ある面積、ある空間範囲を加熱する関係で、ランプ
が直管状の場合、複数本同一平面状に並べて使用するの
が一般的である。この場合、加熱装置が複雑になった
り、多数のランプの取扱が煩雑になる欠点がある。その
ため、最近では、例えば、特公昭６２−４４８４７、実
公平５−２５１９６に見られるように、リング状のヒー
ターランプが好まれる。また、実開昭６４−４１９９５
にも種々の赤外線発熱体が紹介されている。
【０００３】ところで、被加熱物が大型になると、リン
グ状ヒーターの場合、リングの径を大きくする必要が生
じるが、リングを大きくすると非常に破損率が高くな
る。例えば、破損しやすい箇所は、ランプのリング部か
ら伸びている、封止部を含む直管部分である。したがっ
て、この直管部分を短くする試みや、２本の直管部分を
極接近させてランプを作る試みなどがなされているが、
作りにくい欠点があるうえに、必ずしも安全な設計とも
言えない。そのため、リング状ヒーターランプで、上記
の直管部のない、リング部のみのランプも提案されてい
る（特開昭６４−１０５６８）。
グ状ヒーターの場合、リングの径を大きくする必要が生
じるが、リングを大きくすると非常に破損率が高くな
る。例えば、破損しやすい箇所は、ランプのリング部か
ら伸びている、封止部を含む直管部分である。したがっ
て、この直管部分を短くする試みや、２本の直管部分を
極接近させてランプを作る試みなどがなされているが、
作りにくい欠点があるうえに、必ずしも安全な設計とも
言えない。そのため、リング状ヒーターランプで、上記
の直管部のない、リング部のみのランプも提案されてい
る（特開昭６４−１０５６８）。
【０００４】しかし、上記の直管部のないリング状ヒー
ターランプでも、ガラスバルブの両端部に形成された偏
平な圧潰封止部が、リングが形成する平面と平行であっ
て、かつ両端封止部の平面が同一平面上に存在するの
で、それらの面に対する垂直方向に力に対して、ランプ
は破損しやすい。特に、実際には、封止からは、外部リ
ード部材が伸びだし、その外部リード部材に電力供給線
が接続されたいるので、ランプ取扱上破損しやすい。ま
た、前記のとうり、リングが大きくなると、これ自体変
形しやすく、輸送中の振動、衝撃に対しても弱い。
ターランプでも、ガラスバルブの両端部に形成された偏
平な圧潰封止部が、リングが形成する平面と平行であっ
て、かつ両端封止部の平面が同一平面上に存在するの
で、それらの面に対する垂直方向に力に対して、ランプ
は破損しやすい。特に、実際には、封止からは、外部リ
ード部材が伸びだし、その外部リード部材に電力供給線
が接続されたいるので、ランプ取扱上破損しやすい。ま
た、前記のとうり、リングが大きくなると、これ自体変
形しやすく、輸送中の振動、衝撃に対しても弱い。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記事情に
鑑みなされたものであって、その目的とするところは、
破損しにくいリング状ヒーターランプを提供することに
ある。
鑑みなされたものであって、その目的とするところは、
破損しにくいリング状ヒーターランプを提供することに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のリング
状ヒーターランプは、両端部が互いに向き合うようにリ
ング状に曲成されたガラスバルブと、ガラスバルブの内
部に配置された発熱体と、前記ガラスバルブの両端部に
偏平に形成された圧潰封止部と、この封止部に埋設され
た導電体と、この導電体に接続され前記封止部から外側
に伸びる外部リード部材と、発熱体と導電体とを接続す
る内部リード部材と、ガラスバルブの内部に充填された
ガスとよりなるリング状ヒーターランプにおいて、前記
両方の外部リード部材は、リング状に曲成されたガラス
バルブによるリングが形成する平面と同一平面に存在
し、両端部の封止部を、前記リングが形成する平面に対
して、外部リード部材を中心に互いに端部が向き合った
状態で逆方向に傾斜させ、それぞれの封止部の偏平な平
面を含む平面が、互いに交差するように形成されてなる
ことを特徴とする。請求項２に記載のリング状ヒーター
ランプは、請求項１に記載のリング状ヒーターランプで
あって、特に、外部リード部材に被覆リード線が接続さ
れ、両方の封止部と外部リード部材を受容する凹所を具
えたセラミックスベースで両端部を接着剤で一体に連結
固定してなることを特徴とする。請求項３に記載のリン
グ状ヒーターランプは、請求項２に記載のリング状ヒー
ターランプであって、特に、セラミックスベースに、取
付用係合機構が形成されてなることを特徴とする。請求
項４に記載のリング状ヒーターランプは、請求項３に記
載のリング状ヒーターランプであって、特に、取付用係
合機構が貫通孔であることを特徴とする。請求項５に記
載のリング状ヒーターランプは、請求項２に記載のリン
グ状ヒーターランプであって、特に、両端部の封止部の
離間距離が、３０ｍｍよりも短いことを特徴とする。
状ヒーターランプは、両端部が互いに向き合うようにリ
ング状に曲成されたガラスバルブと、ガラスバルブの内
部に配置された発熱体と、前記ガラスバルブの両端部に
偏平に形成された圧潰封止部と、この封止部に埋設され
た導電体と、この導電体に接続され前記封止部から外側
に伸びる外部リード部材と、発熱体と導電体とを接続す
る内部リード部材と、ガラスバルブの内部に充填された
ガスとよりなるリング状ヒーターランプにおいて、前記
両方の外部リード部材は、リング状に曲成されたガラス
バルブによるリングが形成する平面と同一平面に存在
し、両端部の封止部を、前記リングが形成する平面に対
して、外部リード部材を中心に互いに端部が向き合った
状態で逆方向に傾斜させ、それぞれの封止部の偏平な平
面を含む平面が、互いに交差するように形成されてなる
ことを特徴とする。請求項２に記載のリング状ヒーター
ランプは、請求項１に記載のリング状ヒーターランプで
あって、特に、外部リード部材に被覆リード線が接続さ
れ、両方の封止部と外部リード部材を受容する凹所を具
えたセラミックスベースで両端部を接着剤で一体に連結
固定してなることを特徴とする。請求項３に記載のリン
グ状ヒーターランプは、請求項２に記載のリング状ヒー
ターランプであって、特に、セラミックスベースに、取
付用係合機構が形成されてなることを特徴とする。請求
項４に記載のリング状ヒーターランプは、請求項３に記
載のリング状ヒーターランプであって、特に、取付用係
合機構が貫通孔であることを特徴とする。請求項５に記
載のリング状ヒーターランプは、請求項２に記載のリン
グ状ヒーターランプであって、特に、両端部の封止部の
離間距離が、３０ｍｍよりも短いことを特徴とする。
【０００７】
【作用】上記構成のリング状ヒーターランプにおいて
は、両方の外部リード部材は、リング状に曲成されたガ
ラスバルブによるリングが形成する平面と同一平面に存
在し、両端部の封止部を、リングが形成する平面に対し
て、外部リード部材を中心に互いに端部が向き合った状
態で逆方向に傾斜させ、それぞれの封止部の偏平な平面
を含む平面が、互いに交差するように形成されているの
で、リングが形成する面に垂直な方向からの力に対し
て、ランプの両端部は破損しにくい。また、両端部をで
きるだけ近づけて、両者をセラミックスベースと接着剤
を用いて連結してしまうと、実質上「円」となり、両端
部が自由端の場合に比べ、著しく安全になるとともに取
扱いも容易になる。
は、両方の外部リード部材は、リング状に曲成されたガ
ラスバルブによるリングが形成する平面と同一平面に存
在し、両端部の封止部を、リングが形成する平面に対し
て、外部リード部材を中心に互いに端部が向き合った状
態で逆方向に傾斜させ、それぞれの封止部の偏平な平面
を含む平面が、互いに交差するように形成されているの
で、リングが形成する面に垂直な方向からの力に対し
て、ランプの両端部は破損しにくい。また、両端部をで
きるだけ近づけて、両者をセラミックスベースと接着剤
を用いて連結してしまうと、実質上「円」となり、両端
部が自由端の場合に比べ、著しく安全になるとともに取
扱いも容易になる。
【０００８】
【実施例】図１は、本発明のリング状ヒーターランプの
実施例の説明図である。図において、１は内径約３０ｃ
ｍのリング状の石英ガラスバルブ、２はタングステンコ
イルからなる発熱体、３はタングステンワイヤからなる
サポータ、４と５はバルブ１の両端部に形成された圧潰
封止部、６と７は太さ０．８ｍｍのモリブデン線からな
る外部リード部材、８と９は封止部に埋設されたモリブ
デン箔からなる導電体である。ガスには微量のハロゲン
が含まれているキセノンを使用する。発熱体と導電体と
は、内部リード部材で接続されている。
実施例の説明図である。図において、１は内径約３０ｃ
ｍのリング状の石英ガラスバルブ、２はタングステンコ
イルからなる発熱体、３はタングステンワイヤからなる
サポータ、４と５はバルブ１の両端部に形成された圧潰
封止部、６と７は太さ０．８ｍｍのモリブデン線からな
る外部リード部材、８と９は封止部に埋設されたモリブ
デン箔からなる導電体である。ガスには微量のハロゲン
が含まれているキセノンを使用する。発熱体と導電体と
は、内部リード部材で接続されている。
【０００９】そして、図１に示すように、両方の外部リ
ード部材６、７は、リング状に曲成されたガラスバルブ
１によるリングが形成する平面と同一平面に存在し、両
端部の封止部４、５をこのリングが形成する平面に対し
て、外部リード部材６、７を中心に互いに端部が向き合
った状態で逆方向に傾斜させ、それぞれの封止部４、５
の偏平な平面を含む平面が、互いに交差するようになっ
ている。この結果、リングが形成する面に対して垂直な
力に対して封止部は破損しにくい。なお、封止部は、最
も近い距離が２．５ｃｍになるまで両端部は接近してい
て、外部リード部材の最も近い距離が約０．５ｃｍであ
る。
ード部材６、７は、リング状に曲成されたガラスバルブ
１によるリングが形成する平面と同一平面に存在し、両
端部の封止部４、５をこのリングが形成する平面に対し
て、外部リード部材６、７を中心に互いに端部が向き合
った状態で逆方向に傾斜させ、それぞれの封止部４、５
の偏平な平面を含む平面が、互いに交差するようになっ
ている。この結果、リングが形成する面に対して垂直な
力に対して封止部は破損しにくい。なお、封止部は、最
も近い距離が２．５ｃｍになるまで両端部は接近してい
て、外部リード部材の最も近い距離が約０．５ｃｍであ
る。
【００１０】図２は、バルブの両端部を一体に連結固定
するセラミックスベースである。図において、１０は封
止部５を受ける斜面であって、対面１１とともに封止部
５を受容する。１２は封止部４を受ける斜面であって、
対面１３とともに封止部４を受容する。１４は貫通孔で
あって、ボルト−ナット機構で他の装置に取り付ける場
合に使用する。あるいは、貫通孔１４に代えて、一対の
溝１５，１６を形成しておいて、バンドを用いて他の装
置に固定できるようにする。その他、外部リード部材に
被覆リード線を接続した場合、リード線の導出孔もしく
は導出溝を形成しておいても良い。
するセラミックスベースである。図において、１０は封
止部５を受ける斜面であって、対面１１とともに封止部
５を受容する。１２は封止部４を受ける斜面であって、
対面１３とともに封止部４を受容する。１４は貫通孔で
あって、ボルト−ナット機構で他の装置に取り付ける場
合に使用する。あるいは、貫通孔１４に代えて、一対の
溝１５，１６を形成しておいて、バンドを用いて他の装
置に固定できるようにする。その他、外部リード部材に
被覆リード線を接続した場合、リード線の導出孔もしく
は導出溝を形成しておいても良い。
【００１１】図３は、外部リード部材６，７に被覆リー
ド線１７，１８を夫々接続し、セラミックスベースの凹
所内で、封止部、外部リード部材、被覆リード線を接着
剤で一体に連結固定し、更に、貫通孔１４を利用してボ
ルト１９とナット２０で、相手側装置２１に固定した構
成の説明図である。ランプ取り付け方向は、リングの作
る面が、重力方向に対して、平行でも垂直でも良い。図
からも理解されるように、リング状ヒーターランプが機
械強度的に安定するとともに、被覆リード線もしっかり
固定される。同様に、相手側の装置にも非常に固定しや
すい。
ド線１７，１８を夫々接続し、セラミックスベースの凹
所内で、封止部、外部リード部材、被覆リード線を接着
剤で一体に連結固定し、更に、貫通孔１４を利用してボ
ルト１９とナット２０で、相手側装置２１に固定した構
成の説明図である。ランプ取り付け方向は、リングの作
る面が、重力方向に対して、平行でも垂直でも良い。図
からも理解されるように、リング状ヒーターランプが機
械強度的に安定するとともに、被覆リード線もしっかり
固定される。同様に、相手側の装置にも非常に固定しや
すい。
【００１２】
【発明の効果】以上の実施例の説明からも理解されるよ
うに、リングが大きくなっても取扱いが容易で、破損事
故の少ないリング状ヒーターランプが提供できることが
分かる。また、輸送中の振動、衝撃に対しても非常に強
いものが提供できる。なお、封止部の離間距離は、外部
リード部材が接触しない距離、あるいは、セラミックス
ベースに設けられた仕切部２２の厚み等を考慮して、小
さい方が良く、したがって３ｃｍよりも小さい方が良
い。他の装置への取り付け固定は、前記のとおりバンド
でも良いから、仕切部２２は必ずしも必要としない。
うに、リングが大きくなっても取扱いが容易で、破損事
故の少ないリング状ヒーターランプが提供できることが
分かる。また、輸送中の振動、衝撃に対しても非常に強
いものが提供できる。なお、封止部の離間距離は、外部
リード部材が接触しない距離、あるいは、セラミックス
ベースに設けられた仕切部２２の厚み等を考慮して、小
さい方が良く、したがって３ｃｍよりも小さい方が良
い。他の装置への取り付け固定は、前記のとおりバンド
でも良いから、仕切部２２は必ずしも必要としない。
【図１】本発明のリング状ヒーターランプの実施例の説
明図である。
明図である。
【図２】セラミックスベースの説明図である。
【図３】本発明のリング状ヒーターランプの他の装置へ
の取付構造の説明図である。
の取付構造の説明図である。
１ 石英ガラスバルブ ２ 発熱体 ３ サポータ ４，５ 封止部 ６，７ 外部リード部材 ８，９ 導電体
Claims (5)
- 【請求項１】 両端部が互いに向き合うようにリング状
に曲成されたガラスバルブと、ガラスバルブの内部に配
置された発熱体と、前記ガラスバルブの両端部に偏平に
形成された圧潰封止部と、この封止部に埋設された導電
体と、この導電体に接続され前記封止部から外側に伸び
る外部リード部材と、発熱体と導電体とを接続する内部
リード部材と、ガラスバルブの内部に充填されたガスと
よりなるリング状ヒーターランプにおいて、前記両方の外部リード部材は、リング状に曲成されたガ
ラスバルブによるリングが形成する平面と同一平面に存
在し、 両端部の封止部を、前記リングが形成する平面に対し
て、外部リード部材を中心に互いに端部が向き合った状
態で逆方向に傾斜させ、それぞれの封止部の偏平な平面
を含む平面が、互いに交差するように形成されてなるこ
とを特徴とするリング状ヒーターランプ。 - 【請求項２】 外部リード部材に被覆リード線が接続さ
れ、両方の封止部と外部リード部材を受容する凹所を具
えたセラミックスベースで両端部を接着剤で一体に連結
固定してなることを特徴とする請求項１に記載のリング
状ヒーターランプ。 - 【請求項３】 セラミックスベースに、取付用係合機構
が形成されてなることを特徴とする請求項２に記載のリ
ング状ヒーターランプ。 - 【請求項４】 取付用係合機構が貫通孔であることを特
徴とする請求項３に記載のリング状ヒーターランプ。 - 【請求項５】 両端部の封止部の離間距離が、３０ｍｍ
よりも短いことを特徴とする請求項２に記載のリング状
ヒーターランプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06111915A JP3119075B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | リング状ヒーターランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06111915A JP3119075B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | リング状ヒーターランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07296949A JPH07296949A (ja) | 1995-11-10 |
| JP3119075B2 true JP3119075B2 (ja) | 2000-12-18 |
Family
ID=14573310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06111915A Expired - Fee Related JP3119075B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | リング状ヒーターランプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3119075B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6559421B1 (en) | 1999-10-29 | 2003-05-06 | Ricoh Company, Ltd. | Image forming apparatus and fixing device therefor |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP06111915A patent/JP3119075B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07296949A (ja) | 1995-11-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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