JP3102911U - カードル搬送収納システム - Google Patents
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Abstract
【課題】容易にシステムの増設が可能であると共に、カードルを搬送するに際し収納ボックスを傷み難くした搬送システムを提供する。
【解決手段】列設された複数のカードル収納ボックスと、該収納ボックスの列設方向に間隔付けて設けたレールと、該レール上を走行する台車と、該台車に積載され該台車の走行方向と直角方向に搬送する無端のコンベヤーとを具備し、該無端のコンベヤー上に積載されたカードルを、該コンベヤーによって前記カードル収納ボックスに搬送するようにした。
【選択図】 図4
【解決手段】列設された複数のカードル収納ボックスと、該収納ボックスの列設方向に間隔付けて設けたレールと、該レール上を走行する台車と、該台車に積載され該台車の走行方向と直角方向に搬送する無端のコンベヤーとを具備し、該無端のコンベヤー上に積載されたカードルを、該コンベヤーによって前記カードル収納ボックスに搬送するようにした。
【選択図】 図4
Description
この考案は、半導体製造装置にガスを供給するカードルを、カードル収納ボックスに搬送収納するシステムに係り、詳記すればカードル収納ボックスを増設する場合も容易に増設可能なカードル搬送収納システムに関する。
従来、半導体製造装置にガスを供給するには、カードル収納ボックス内に収納した多数のカードルから供給していた。
カードル収納ボックス内のボンベのガスがなくなると、従来は、図1に示すように、箱1内に多数のボンベ2を積載し。これをホイストクレーン3で吊り下げて搬送し、カードル収納ボックス4内に収納していた。尚、多くの場合は、図1の(A)、(B)に示すようにボンベ2は縦の状態で搬送するが、ガスの種類によっては、(C)に示すようにボンベ2を横にして搬送していた。
ガスを多量に消費し、カードルを大量に使用するようになると、カードル収納ボックス4を増やす必要が生じる。しかしこの場合に上記システムでは、ホイストクレーンを伸ばさなければならないが、ホイストクレーンは、直進方向と直進方向に垂直方向とに移動させるようにしなければならないので、システムの増設が極めて困難であると共に場所的に不可能となる場合も生じている。そればかりか、カードルが揺れながら搬送されるので、カードルがカードル収納ボックス4に当たってボックス4が傷ついたり壊れたりする問題も生じる。
この考案は、このような問題点を解消しようとするものであり、容易にシステムの増設が可能であると共に、カードルを搬送するに際し収納ボックスが傷み難くした搬送システムを提供することを目的とする。
上記目的に沿う本発明のうち請求項1に記載の発明は、列設された複数のカードル収納ボックスと、該収納ボックスの列設方向に間隔付けて設けたレールと、該レール上を走行する台車と、該台車に積載され該台車の走行方向と直角方向に搬送する無端のコンベヤーと、該無端のコンベヤー上に積載され、該コンベヤーによって前記カードル収納ボックスに搬送されるカードルと、を具備したことを特徴とする。
前記台車がカードルを収容しようとする前記収納ボックスの位置にくると、前記レールに設けたセンサでこれを検知して台車を停止させ、前記無端のコンベヤーで前記カードルの前記カードル収納ボックスへの移送が完了すると、前記台車に設けたセンサがこれを検知して前記コンベヤーを停止させるように構成するのが好ましい(請求項2)。
前記カードル収納ボックス内には、前記無端のコンベヤーと略同一の高さのカードル載置台が無端のコンベヤーに近接して設置され、前記無端のコンベヤーで搬送されたカードルは、該カードル載置台上に載置されるように構成するのが良い(請求項3)。
前記カードル載置台上には、前記カードルを送り易くするコロが設けられ、前記無端のコンベヤーには、前記カードルを挟んで前方に送るのをガイドするガイドローラーを設けるのが好ましい(請求項4)。
本考案によれば、従来の搬送システムと比べて、カードルの使用量が増加しても、容易にシステムの増設が可能であるほか、カードルを搬送するに際し収納ボックスが傷み難い利点が得られる。
以下、前記の目的を達成するための本考案の好ましい実施の形態を、添付した図面に基づいて詳細に説明する。
図2〜図4は、本考案の一実施例を示すものであり、レール5上には、台車6の車輪7,7が嵌合し、台車6上にはカードルを積載する無端のチェンコンベヤー8,8が載置されている。車輪7,7は車軸9に嵌挿され、モータ10によって回転するようになっている。前方車輪7,7の回転に伴い、後方の車輪(図示省略)を嵌挿した従動軸12も回転するようになっている。尚、図3中、符号11は、車輪7,7を外れないようにガイドするガイドローラーユニットである。
チェンコンベヤー8,8は、前後のスプロケットを無端のチェンで連結したものであるが、これは無端のベルトコンベヤーであっても、或はキャタピラーのような無限軌道であっても差し支えない。
チェンコンベヤー8,8は、前後のスプロケットを無端のチェンで連結したものであるが、これは無端のベルトコンベヤーであっても、或はキャタピラーのような無限軌道であっても差し支えない。
チェンコンベヤー8,8は、前端の主軸13の両端に固定したスプロケット14と後端の軸の両端のスプロケットとを無端のチェーンで連結することにより構成している。主軸13は、モータ15で回転するようになっている。
図5に示すように、台車6がレール5上を走行してカードル収納ボックス1〜3の位置に達すると、レールに設けたセンサがこれを検知し、モータ10を停止させて台車6を停止させるようになっている。
カードル収納ボックス1〜3の所定の位置で台車6が停止すると、モータ15が回転してチェンコンベヤー8,8が回転するようになっている。チェンコンベヤー8,8上には、カードル(図示省略)が載置されているので、カードルはチェンコンベヤー8,8の回転に伴って前方に移送される。
図2及び図4に示すように、チェンコンベヤー8,8のカードル収納ボックス1〜3対向位置には、ガイドローラー16,16が設けられている。カードルは、このガイドローラー16,16に案内されて前方に送られるようになっている。
カードル収納ボックス1〜3内には、無端のコンベヤー8,8と略同一の高さのカードル載置台17が無端のコンベヤーに近接して設置され、無端のチェーンコンベヤーで搬送されたカードルは、カードル載置台17上に載置されるようになっている。
カードル収納ボックス1〜3内には、無端のコンベヤー8,8と略同一の高さのカードル載置台17が無端のコンベヤーに近接して設置され、無端のチェーンコンベヤーで搬送されたカードルは、カードル載置台17上に載置されるようになっている。
図4に示すように、カードル載置台17上には、カードルを送り易くする多数のコロ18が設けられている
カードルのカードル載置台17上への移送が完了すると、台車に設けたセンサ19がこれを検知して前記コンベヤー8,8を回転させるモータ15の回転を停止させる。
カードルのカードル載置台17上への移送が完了すると、台車に設けたセンサ19がこれを検知して前記コンベヤー8,8を回転させるモータ15の回転を停止させる。
本考案によれば、カードルの使用量が増加し、カードル収納ボックスを増やす必要が生じても、台車が走行するレールを延長するだけで良いので、システムの増設を極めて容易に行うことができる。
また、カードルは従来のように大きく揺れることなく搬送されるので、カードル収納ボックスにカードルが当たってボックスが傷ついたり壊れたりする恐れを無くすことができる。
5 レール
6 台車
7 車輪
8 チェーンコンベヤー(無端のコンベヤー)
6 台車
7 車輪
8 チェーンコンベヤー(無端のコンベヤー)
Claims (4)
- 列設された複数のカードル収納ボックスと、該収納ボックスの列設方向に間隔付けて設けたレールと、該レール上を走行する台車と、該台車に積載され該台車の走行方向と直角方向に搬送する無端のコンベヤーと、該無端のコンベヤー上に積載され、該コンベヤーによって前記カードル収納ボックスに搬送されるカードルと、を具備したことを特徴とするカードル搬送収納システム。
- 前記台車がカードルを収容しようとする前記収納ボックスの位置にくると、前記レールに設けたセンサでこれを検知して台車を停止させ、前記無端のコンベヤーで前記カードルの前記カードル収納ボックスへの移送が完了すると、前記台車に設けたセンサがこれを検知して前記コンベヤーを停止させるように構成してなる請求項1に記載のカードル搬送収納システム。
- 前記カードル収納ボックス内には、前記無端のコンベヤーと略同一の高さのカードル載置台が無端のコンベヤーに近接して設置され、前記無端のコンベヤーで搬送されたカードルは、該カードル載置台上に載置される請求項1又は2に記載のカードル搬送収納システム。
- 前記カードル載置台上には、前記カードルを送り易くするコロが設けられ、前記無端のコンベヤーには、前記カードルを挟んで前方に送るのをガイドするガイドローラーが設けられている請求項3記載のカードル搬送収納システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004000210U JP3102911U (ja) | 2004-01-21 | 2004-01-21 | カードル搬送収納システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004000210U JP3102911U (ja) | 2004-01-21 | 2004-01-21 | カードル搬送収納システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3102911U true JP3102911U (ja) | 2004-07-22 |
Family
ID=43256415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004000210U Expired - Lifetime JP3102911U (ja) | 2004-01-21 | 2004-01-21 | カードル搬送収納システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3102911U (ja) |
-
2004
- 2004-01-21 JP JP2004000210U patent/JP3102911U/ja not_active Expired - Lifetime
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