JP3090173B2 - 固体撮像素子用カバーガラス - Google Patents
固体撮像素子用カバーガラスInfo
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- JP3090173B2 JP3090173B2 JP04361427A JP36142792A JP3090173B2 JP 3090173 B2 JP3090173 B2 JP 3090173B2 JP 04361427 A JP04361427 A JP 04361427A JP 36142792 A JP36142792 A JP 36142792A JP 3090173 B2 JP3090173 B2 JP 3090173B2
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- Japan
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- glass
- solid
- imaging device
- state imaging
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＣＣＤなどの固体撮像
素子を収納するアルミナなどのセラミックパッケージの
窓ガラスとして使用される固体撮像素子用カバ−ガラス
に関するものである。
素子を収納するアルミナなどのセラミックパッケージの
窓ガラスとして使用される固体撮像素子用カバ−ガラス
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より固体撮像装置として、アルミナ
などのセラミックパッケ−ジ内にＣＣＤなどの固体撮像
素子を取り付け、窓ガラスとしての機能をもつカバ−ガ
ラスをセラミックパッケージに封着し、固体撮像素子を
収納した構造のものが広く使用されている。
などのセラミックパッケ−ジ内にＣＣＤなどの固体撮像
素子を取り付け、窓ガラスとしての機能をもつカバ−ガ
ラスをセラミックパッケージに封着し、固体撮像素子を
収納した構造のものが広く使用されている。
【０００３】固体撮像装置は、光信号を素子に取り込む
必要があるので、パッケージには必ず窓ガラスとしての
カバーガラスが封着され、この種のカバーガラスの材質
としては、耐候性に優れたホウケイ酸ガラスや無アルカ
リバリウムケイ酸ガラスが用いられている。
必要があるので、パッケージには必ず窓ガラスとしての
カバーガラスが封着され、この種のカバーガラスの材質
としては、耐候性に優れたホウケイ酸ガラスや無アルカ
リバリウムケイ酸ガラスが用いられている。
【０００４】ところで近年、固体撮像装置の単位面積当
たりの画素数の増大による高精度化が進められており、
これに従って素子が微細になりつつある。そのためカバ
ーガラスの光学的欠陥に関する規格が厳しくなり、ア
ワ、ブツ、脈理等が少なく、均質性の高いガラスが要求
されるようになってきている。
たりの画素数の増大による高精度化が進められており、
これに従って素子が微細になりつつある。そのためカバ
ーガラスの光学的欠陥に関する規格が厳しくなり、ア
ワ、ブツ、脈理等が少なく、均質性の高いガラスが要求
されるようになってきている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら一般にホ
ウケイ酸ガラスや無アルカリバリウムケイ酸ガラスは、
高温で溶融する必要があるため、溶融時において揮発が
多く、均質性の高いガラスを得ることは困難であり、微
細な素子が搭載される固体撮像素子のカバーガラスには
使用し難いという問題を有している。
ウケイ酸ガラスや無アルカリバリウムケイ酸ガラスは、
高温で溶融する必要があるため、溶融時において揮発が
多く、均質性の高いガラスを得ることは困難であり、微
細な素子が搭載される固体撮像素子のカバーガラスには
使用し難いという問題を有している。
【０００６】また一部のホウケイ酸ガラスは、低温溶融
が可能であるが、このようなガラスは、耐候性が悪く、
固体撮像素子のカバーガラスとして使用している間に曇
りが生じ、その機能を十分に果たすことができなくな
る。
が可能であるが、このようなガラスは、耐候性が悪く、
固体撮像素子のカバーガラスとして使用している間に曇
りが生じ、その機能を十分に果たすことができなくな
る。
【０００７】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
なされたものであり、耐候性に優れ、しかも低温溶融が
可能で高い均質性を有するため、微細な素子が搭載され
る固体撮像装置に使用可能なカバーガラスを提供するこ
とを目的とするものである。
なされたものであり、耐候性に優れ、しかも低温溶融が
可能で高い均質性を有するため、微細な素子が搭載され
る固体撮像装置に使用可能なカバーガラスを提供するこ
とを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の目的
を達成すべく鋭意研究の結果、耐候性の良いホウケイ酸
ガラスの組成中、ＢａＯとＫ2 Ｏの含有量を低く抑える
ことによって、低温溶融が可能となり、均質性の高いガ
ラスが得られることを見いだし、本発明として提案する
に至った。
を達成すべく鋭意研究の結果、耐候性の良いホウケイ酸
ガラスの組成中、ＢａＯとＫ2 Ｏの含有量を低く抑える
ことによって、低温溶融が可能となり、均質性の高いガ
ラスが得られることを見いだし、本発明として提案する
に至った。
【０００９】すなわち本発明の固体撮像素子用カバーガ
ラスは、重量百分率で、ＳｉＯ2６２．０〜７５．０
％、Ａｌ2 Ｏ3 ４．０〜１０．０％、Ｂ2 Ｏ3 ８．
０〜１５．０％、Ｒ2 Ｏ ７．０〜２０．０％（ただし
Ｒは、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋを示す）、Ｌｉ2 Ｏ ０〜３．０
％、Ｎａ2 Ｏ １０．０〜１２．５％、Ｋ2 Ｏ ０〜
２．０％、Ｒ’Ｏ ０．３〜１５．０％（ただしＲ’
は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｚｎを示す）、ＭｇＯ ０〜１
０．０％、ＣａＯ ０〜１０．０％、ＺｎＯ ０．３〜
５．０％、ＢａＯ ０〜０．４％の組成を有することを
特徴とする。
ラスは、重量百分率で、ＳｉＯ2６２．０〜７５．０
％、Ａｌ2 Ｏ3 ４．０〜１０．０％、Ｂ2 Ｏ3 ８．
０〜１５．０％、Ｒ2 Ｏ ７．０〜２０．０％（ただし
Ｒは、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋを示す）、Ｌｉ2 Ｏ ０〜３．０
％、Ｎａ2 Ｏ １０．０〜１２．５％、Ｋ2 Ｏ ０〜
２．０％、Ｒ’Ｏ ０．３〜１５．０％（ただしＲ’
は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｚｎを示す）、ＭｇＯ ０〜１
０．０％、ＣａＯ ０〜１０．０％、ＺｎＯ ０．３〜
５．０％、ＢａＯ ０〜０．４％の組成を有することを
特徴とする。
【００１０】また本発明の固体撮像素子用カバーガラス
は、好ましくは、ＳｉＯ2 ６２．０〜７５．０％、Ａ
ｌ2 Ｏ3 ４．０〜１０．０％、Ｂ2 Ｏ3 ８．０〜１
５．０％、Ｒ2 Ｏ ８．０〜１６．５％（ただしＲは、
Ｌｉ、Ｎａ、Ｋを示す）、Ｌｉ2 Ｏ ０〜３．０％、Ｎ
ａ2 Ｏ １０．０〜１２．５％、Ｋ2 Ｏ ０〜０．５
％、Ｒ’Ｏ ０．３〜１４．０％（ただしＲ’は、Ｍ
ｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｚｎを示す）、ＭｇＯ ０〜５．０
％、ＣａＯ ０〜５．０％、ＺｎＯ ０．３〜５．０
％、ＢａＯ ０〜０．４％の組成を有することを特徴と
する。
は、好ましくは、ＳｉＯ2 ６２．０〜７５．０％、Ａ
ｌ2 Ｏ3 ４．０〜１０．０％、Ｂ2 Ｏ3 ８．０〜１
５．０％、Ｒ2 Ｏ ８．０〜１６．５％（ただしＲは、
Ｌｉ、Ｎａ、Ｋを示す）、Ｌｉ2 Ｏ ０〜３．０％、Ｎ
ａ2 Ｏ １０．０〜１２．５％、Ｋ2 Ｏ ０〜０．５
％、Ｒ’Ｏ ０．３〜１４．０％（ただしＲ’は、Ｍ
ｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｚｎを示す）、ＭｇＯ ０〜５．０
％、ＣａＯ ０〜５．０％、ＺｎＯ ０．３〜５．０
％、ＢａＯ ０〜０．４％の組成を有することを特徴と
する。
【００１１】さらに本発明の固体撮像素子用カバーガラ
スは、３０〜３８０℃の温度範囲における熱膨張係数
を、アルミナのそれ（７０×１０-7／℃）に近い５０〜
７５×１０-7／℃にすると、アルミナセラミックパッケ
ージと容易に封着可能となるため好ましい。
スは、３０〜３８０℃の温度範囲における熱膨張係数
を、アルミナのそれ（７０×１０-7／℃）に近い５０〜
７５×１０-7／℃にすると、アルミナセラミックパッケ
ージと容易に封着可能となるため好ましい。
【００１２】
【作用】次に本発明の固体撮像素子用カバーガラスの組
成を上記のように限定した理由を説明する。
成を上記のように限定した理由を説明する。
【００１３】まずＳｉＯ2 は、ガラスの耐候性を向上さ
せる作用を有するが、その含有量が６２．０％未満で
は、その効果が小さく、一方、７５．０％を超えるとガ
ラスの溶融が困難になる。
せる作用を有するが、その含有量が６２．０％未満で
は、その効果が小さく、一方、７５．０％を超えるとガ
ラスの溶融が困難になる。
【００１４】Ａｌ2 Ｏ3 も、ガラスの耐候性を向上させ
る作用を有するが、その含有量が４．０％未満では、そ
の効果が小さく、一方、１０．０％を超えるとガラスの
溶融が困難になる。
る作用を有するが、その含有量が４．０％未満では、そ
の効果が小さく、一方、１０．０％を超えるとガラスの
溶融が困難になる。
【００１５】Ｂ2 Ｏ3 は、ガラスの粘性を下げて均質性
を高くし、しかもガラスの失透を防止する作用を有する
が、その含有量が８．０％未満では、その効果が小さ
く、一方、１５．０％を超えるとガラスの耐候性が悪く
なり、また溶融時の揮発量が増えて均質なガラスが得ら
れ難くなる。
を高くし、しかもガラスの失透を防止する作用を有する
が、その含有量が８．０％未満では、その効果が小さ
く、一方、１５．０％を超えるとガラスの耐候性が悪く
なり、また溶融時の揮発量が増えて均質なガラスが得ら
れ難くなる。
【００１６】Ｌｉ2 Ｏ、Ｎａ2 Ｏ、Ｋ2 ＯのＲ2 Ｏは、
ガラスの粘性を下げて均質性を高くすると共に、ガラス
の熱膨張係数を調整する作用を有するが、その含有量が
７．０％未満では、粘性が高くなって均質性が低下し、
しかもアルミナセラミックパッケージを用いた固体撮像
素子のカバーガラスとしては、熱膨張係数が低くなりす
ぎる。一方、２０．０％を超えると、ガラスの耐候性が
低下すると共に、熱膨張係数が高くなりすぎる。
ガラスの粘性を下げて均質性を高くすると共に、ガラス
の熱膨張係数を調整する作用を有するが、その含有量が
７．０％未満では、粘性が高くなって均質性が低下し、
しかもアルミナセラミックパッケージを用いた固体撮像
素子のカバーガラスとしては、熱膨張係数が低くなりす
ぎる。一方、２０．０％を超えると、ガラスの耐候性が
低下すると共に、熱膨張係数が高くなりすぎる。
【００１７】ただしＬｉ2 Ｏの含有量が３．０％を超え
ると、熱膨張係数が高くなりすぎるため好ましくない。
ると、熱膨張係数が高くなりすぎるため好ましくない。
【００１８】またＮａ2 Ｏの含有量が１０．０％未満で
は、ガラスの粘性が高くなって均質性が低下すると共
に、熱膨張係数が低くなりすぎ、一方１２．５％を超え
ると、ガラスの耐候性が低下すると共に熱膨張係数が高
くなりすぎるため好ましくない。
は、ガラスの粘性が高くなって均質性が低下すると共
に、熱膨張係数が低くなりすぎ、一方１２．５％を超え
ると、ガラスの耐候性が低下すると共に熱膨張係数が高
くなりすぎるため好ましくない。
【００１９】さらにＫ2 Ｏは、Ｒ2 Ｏの中で相対的にガ
ラスの粘性を上げ、揮発量を増加させ、均質性を低下さ
せるため、その含有量を２．０％まで、より好ましく
は、０．５％までに抑える必要がある。
ラスの粘性を上げ、揮発量を増加させ、均質性を低下さ
せるため、その含有量を２．０％まで、より好ましく
は、０．５％までに抑える必要がある。
【００２０】ＭｇＯ、ＣａＯ、ＺｎＯ、ＢａＯのＲ’Ｏ
は、ガラスの耐候性を向上させると共に、ガラスの粘性
を下げて均質性を高くし、しかも溶融時の揮発を抑える
作用を有するが、その含有量が０．３％未満では、その
効果が小さく、一方１５．０％を超えるとガラスが失透
しやすくなる。
は、ガラスの耐候性を向上させると共に、ガラスの粘性
を下げて均質性を高くし、しかも溶融時の揮発を抑える
作用を有するが、その含有量が０．３％未満では、その
効果が小さく、一方１５．０％を超えるとガラスが失透
しやすくなる。
【００２１】ＭｇＯ及びＣａＯは、いずれもガラスの耐
候性を向上させる作用を有し、各々１０．０％まで含有
させることが可能である。
候性を向上させる作用を有し、各々１０．０％まで含有
させることが可能である。
【００２２】ＺｎＯは、Ｂ2 Ｏ3 やＲ2 Ｏ成分の揮発を
抑制する作用を有するが、その含有量が０．３％より少
ないと、その効果が小さく、一方５．０％より多いと、
ガラスの耐候性が低下する。
抑制する作用を有するが、その含有量が０．３％より少
ないと、その効果が小さく、一方５．０％より多いと、
ガラスの耐候性が低下する。
【００２３】ＢａＯは、Ｒ’Ｏの中で、相対的にガラス
の粘性を上げ、均質性を低下させるため、その含有量を
０．４％までに抑える必要がある。
の粘性を上げ、均質性を低下させるため、その含有量を
０．４％までに抑える必要がある。
【００２４】尚、本発明においては、上記の成分以外に
も、ガラスの特性を劣化させない範囲で、清澄剤として
Ａｓ2 Ｏ3 、Ｓｂ2 Ｏ3 、塩化物、弗化物を含有させる
ことが可能である。
も、ガラスの特性を劣化させない範囲で、清澄剤として
Ａｓ2 Ｏ3 、Ｓｂ2 Ｏ3 、塩化物、弗化物を含有させる
ことが可能である。
【００２５】
【実施例】以下、本発明の固体撮像素子用カバーガラス
を実施例に基いて詳細に説明する。
を実施例に基いて詳細に説明する。
【００２６】表１、２は、実施例（試料Ｎｏ．１〜４）
と、比較例（試料Ｎｏ．５〜８）のガラスを示すもので
ある。
と、比較例（試料Ｎｏ．５〜８）のガラスを示すもので
ある。
【００２７】
【表１】
【００２８】
【表２】
【００２９】表のＮｏ．１〜８の各試料は、次のように
して調製した。
して調製した。
【００３０】まず表に示す組成のガラスとなるように調
合したガラス原料を白金ルツボに入れ、電気炉中で１５
００℃、５時間の条件で溶融した後、この溶融ガラスを
グラファイト上に流し出し、次いで徐冷炉で除歪した。
合したガラス原料を白金ルツボに入れ、電気炉中で１５
００℃、５時間の条件で溶融した後、この溶融ガラスを
グラファイト上に流し出し、次いで徐冷炉で除歪した。
【００３１】こうして作製した各試料を用いて３０〜３
８０℃の温度範囲における熱膨張係数、アルカリ溶出
量、１０2.5 ポイズ粘度に相当する温度を測定した。
８０℃の温度範囲における熱膨張係数、アルカリ溶出
量、１０2.5 ポイズ粘度に相当する温度を測定した。
【００３２】表から明らかなように、Ｎｏ．１〜４の各
試料は、熱膨張係数が６３〜７４×１０-7／℃であり、
アルミナセラミックのそれに近似していた。またアルカ
リ溶出量が０．０８ｍｇ以下と少ないため耐候性に優
れ、しかも１０2.5 ポイズ粘度に相当する温度が１３６
０℃以下であるため、溶融温度が低く、均質性の高いガ
ラスであることが理解できた。
試料は、熱膨張係数が６３〜７４×１０-7／℃であり、
アルミナセラミックのそれに近似していた。またアルカ
リ溶出量が０．０８ｍｇ以下と少ないため耐候性に優
れ、しかも１０2.5 ポイズ粘度に相当する温度が１３６
０℃以下であるため、溶融温度が低く、均質性の高いガ
ラスであることが理解できた。
【００３３】それに対し、比較例であるＮｏ．５の試料
は、熱膨張係数が６４×１０-7／℃であり、１０2.5 ポ
イズ粘度に相当する温度が１２９０℃と低かったが、ア
ルカリ溶出量が０．７ｍｇと多く、実施例の各試料に比
べて耐候性に劣ることが判った。
は、熱膨張係数が６４×１０-7／℃であり、１０2.5 ポ
イズ粘度に相当する温度が１２９０℃と低かったが、ア
ルカリ溶出量が０．７ｍｇと多く、実施例の各試料に比
べて耐候性に劣ることが判った。
【００３４】またＮｏ．６、７の各試料は、各々熱膨張
係数が６０×１０-7／℃、５７×１０-7／℃であり、ア
ルカリ溶出量が０．０９ｍｇ、０．０５ｍｇと少なかっ
たが、１０2.5 ポイズ粘度に相当する温度が１４５０
℃、１４９０℃と高いため、実施例の各試料に比べて溶
融温度が高く、ガラスの均質性に劣ることが判った。
係数が６０×１０-7／℃、５７×１０-7／℃であり、ア
ルカリ溶出量が０．０９ｍｇ、０．０５ｍｇと少なかっ
たが、１０2.5 ポイズ粘度に相当する温度が１４５０
℃、１４９０℃と高いため、実施例の各試料に比べて溶
融温度が高く、ガラスの均質性に劣ることが判った。
【００３５】さらにＮｏ．８の試料は、無アルカリバリ
ウムケイ酸ガラスであり、アルカリ溶出量が０ｍｇであ
ったが、熱膨張係数が４７×１０-7／℃と低いため、実
施例の各試料に比べてアルミナセラミックパッケージに
封着し難く、しかも１０2.5ポイズに相当する温度が１
４７０℃と高いため、実施例の各試料に比べて溶融温度
が高く、ガラスの均質性に劣ることが判った。
ウムケイ酸ガラスであり、アルカリ溶出量が０ｍｇであ
ったが、熱膨張係数が４７×１０-7／℃と低いため、実
施例の各試料に比べてアルミナセラミックパッケージに
封着し難く、しかも１０2.5ポイズに相当する温度が１
４７０℃と高いため、実施例の各試料に比べて溶融温度
が高く、ガラスの均質性に劣ることが判った。
【００３６】また実施例の各試料の組成からなるカバー
ガラスを作製し、これらを固体撮像素子を取り付けたア
ルミナセラミックパッケージに封着し、このような固体
撮像装置を長時間使用したが、曇りは認められず、機能
上の問題は全く発生しなかった。
ガラスを作製し、これらを固体撮像素子を取り付けたア
ルミナセラミックパッケージに封着し、このような固体
撮像装置を長時間使用したが、曇りは認められず、機能
上の問題は全く発生しなかった。
【００３７】尚、表中の熱膨張係数は、石英管式膨張計
を用いて測定し、アルカリ溶出量は、ＪＩＳ Ｒ３５０
２に基づいて測定したものである。また１０2.5 ポイズ
粘度に相当する温度は、各試料を再溶融し、周知の白金
球引き上げ法によって測定したものである。
を用いて測定し、アルカリ溶出量は、ＪＩＳ Ｒ３５０
２に基づいて測定したものである。また１０2.5 ポイズ
粘度に相当する温度は、各試料を再溶融し、周知の白金
球引き上げ法によって測定したものである。
【００３８】
【発明の効果】以上のように、本発明の固体撮像素子用
カバーガラスは、耐候性に優れ、しかも低温溶融が可能
で高い均質性を有するガラスからなるため、特に微細な
素子が搭載される固体撮像装置のカバーガラスとして有
用である。
カバーガラスは、耐候性に優れ、しかも低温溶融が可能
で高い均質性を有するガラスからなるため、特に微細な
素子が搭載される固体撮像装置のカバーガラスとして有
用である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03C 1/00 - 14/00 H01L 27/14 H01L 21/339 H01L 29/762 H01L 23/02,23/04,23/10 H01L 33/10
Claims (3)
- 【請求項１】 重量百分率で、ＳｉＯ2 ６２．０〜７
５．０％、Ａｌ2 Ｏ3４．０〜１０．０％、Ｂ2 Ｏ3
８．０〜１５．０％、Ｒ2 Ｏ ７．０〜２０．０％（た
だしＲは、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋを示す）、Ｌｉ2 Ｏ ０〜
３．０％、Ｎａ2Ｏ １０．０〜１２．５％、Ｋ2 Ｏ
０〜２．０％、Ｒ’Ｏ ０．３〜１５．０％（ただし
Ｒ’は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｚｎを示す）、ＭｇＯ ０
〜１０．０％、ＣａＯ ０〜１０．０％、ＺｎＯ ０．
３〜５．０％、ＢａＯ ０〜０．４％の組成を有するこ
とを特徴とする固体撮像素子用カバーガラス。 - 【請求項２】 重量百分率で、ＳｉＯ2 ６２．０〜７
５．０％、Ａｌ2 Ｏ3４．０〜１０．０％、Ｂ2 Ｏ3
８．０〜１５．０％、Ｒ2 Ｏ ８．０〜１６．５％（た
だしＲは、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋを示す）、Ｌｉ2 Ｏ ０〜
３．０％、Ｎａ2Ｏ １０．０〜１２．５％、Ｋ2 Ｏ
０〜０．５％、Ｒ’Ｏ ０．３〜１４．０％（ただし
Ｒ’は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｂａ、Ｚｎを示す）、ＭｇＯ ０
〜１０．０％、ＣａＯ ０〜１０．０％、ＺｎＯ ０．
３〜５．０％、ＢａＯ ０〜０．４％の組成を有するこ
とを特徴とする請求項１の固体撮像素子用カバーガラ
ス。 - 【請求項３】 ３０〜３８０℃の温度範囲における熱膨
張係数が５０〜７５×１０-7／℃であることを特徴とす
る請求項１の固体撮像素子用カバーガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04361427A JP3090173B2 (ja) | 1992-12-29 | 1992-12-29 | 固体撮像素子用カバーガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04361427A JP3090173B2 (ja) | 1992-12-29 | 1992-12-29 | 固体撮像素子用カバーガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06211538A JPH06211538A (ja) | 1994-08-02 |
| JP3090173B2 true JP3090173B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=18473534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04361427A Expired - Fee Related JP3090173B2 (ja) | 1992-12-29 | 1992-12-29 | 固体撮像素子用カバーガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3090173B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101717525B1 (ko) * | 2010-07-13 | 2017-03-17 | 엘지전자 주식회사 | 냉장고 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106242270A (zh) * | 2016-08-11 | 2016-12-21 | 东旭科技集团有限公司 | 一种玻璃用组合物、铝硼硅酸盐玻璃及其制备方法和应用以及导光板 |
| JP2018095514A (ja) * | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 日本電気硝子株式会社 | 支持ガラス基板及びこれを用いた積層体 |
-
1992
- 1992-12-29 JP JP04361427A patent/JP3090173B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101717525B1 (ko) * | 2010-07-13 | 2017-03-17 | 엘지전자 주식회사 | 냉장고 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06211538A (ja) | 1994-08-02 |
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